FBAR Oscillator and MEMS Tunable VCSEL to Generate the Probe Lasers for Microfabricated Atomic Clock

Motoaki Hara, Satoshi Shinada, Yuichiro Yano, Tetsuya Ido, Zhijian Zhao, Masaya Toda, Takahito Ono, Horoyuki Ito

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS   2022-October   2022年

Study of 3-GHz-band thin-film bulk acoustic resonator oscillators for microfabricated atomic clocks 査読

Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Shinsuke Hara, Akifumi Kasamatsu, Hiroyuki Ito, Tetsuya Ido

2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   2021年9月

Distributed time synchronization network under the cluster time system 査読

Yuichiro Yano, Motoaki Hara, Tetsuya Ido

2021 Joint Conference of European Frequency and Time Forum & The IEEE International Frequency Control Symposium   2021年7月

Micro-Device Technologies for Mass Production of Miniaturized Atomic Clock System 査読

2021 Joint Conference of European Frequency and Time Forum & The IEEE International Frequency Control Symposium   2021年7月

Evaluation of New Solid Rubidium Source Using Atomic Clock Stabilization Loop 査読

Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masaya Toda, Takahito Ono, Tetsuya Ido

2021 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)   2021年6月

Reflection-type vapor cell for micro atomic clocks using local anodic bonding of 45° mirrors 査読

Hitoshi Nishino, Yuichiro Yano, Motoaki Hara, Masaya Toda, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Takahito Ono

Optics Letters   46 ( 10 )   2272 - 2272   2021年5月

Super‐high‐frequency‐band injection‐locked two‐divider oscillator using thin‐film bulk acoustic resonator 査読

Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Yuki Takahashi, Toshio Nishizawa, Shinsuke Hara, Akifumi Kasamatsu, Masanori Ueda, Hiroyuki Ito, Tetsuya Ido

Electronics Letters   57 ( 3 )   132 - 134   2021年1月

FBAR-based Frequency Divider Oscillator for Lock-in Amplifier Free Atomic Stabilization Loop 査読

M. Hara, Y. Yano, S. Hara, A. Kasamatsu, H. Ito, T. Ido

IEEE International Ultrasonic Symposium 2020 (IUS2020)   2020年9月

Micro-Device-Technologies toward Chip Level Integration of Microwave Atomic Clock System 査読

Y. Yano, M. Hara, M. Kajita, S. Hara, A. Kasamatsu, M. Toda, T. Ono, H. Ito, T. Ido

Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics   2020年7月

Injection Locking Type 1/2 Frequency Divider Employing Piezoelectric MEMS Resonator for Simplifying the Micro Atomic Clock System 査読

Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Shinsuke Hara, Akifumi Kasamatsu, Hiroyuki Ito, Tetsuya Ido

2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)   2020年1月

Drift-free FBAR oscillator using an atomic-resonance-stabilization technique 査読

Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Shinsuke Hara, Akifumi Kasamatsu, Masaya Toda, Hiroyuki Ito, Takahito Ono, Tetsuya Ido

The 2019 IEEE International Ultrasonics Symposium   2019年10月

Fast numerical analysis of the time response in coherent population trapping resonance based on Galerkin spectral method 査読

Yano Yuichiro, Kajita Masatoshi, Ido Tetsuya, Hara Motoaki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58   2019年7月

A Reflection Type Vapor Cell Based on Local Anodic Bonding of 45° Mirrors for Micro Atomic Clocks 査読

Hitoshi Nishino, Masaya Toda, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Motoaki Hara, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)   1530 - 1532   2019年6月

A Reflection-Type Vapor Cell for Micro Atomic Clock 査読

Hitoshi Nishino, Masaya Toda, Yoshiaki Kanamori, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Motoaki Hara, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)   2019-January   915 - 918   2019年1月

A reflection-type vapor cell using anisotropic etching of silicon for micro atomic clocks 査読

Hitoshi Nishino, Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masaya Toda, Yoshiaki Kanamori, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Takahito Ono

Applied Physics Express   12 ( 7 )   2019年

Microwave oscillator using piezoelectric thin-film resonator aiming for ultraminiaturization of atomic clock 査読

M. Hara, Y. Yano, M. Kajita, H. Nishino, Y. Ibata, M. Toda, S. Hara, A. Kasamatsu, H. Ito, T. Ono, T. Ido

Review of Scientific Instruments   89 ( 10 )   105002   2018年10月

FBAR oscillator stabilized by Rb atomic resonator for SHF/EHF band wireless devices 査読

M. Hara, Y. Yano, M. Kajita, S. Hara, A. Kasamatsu, M. Toda, H. Ito, T. Ono, T. Ido

the 2018 IEEE International Ultrasonics Symposium   2018年10月

Coherent Population Trapping Atomic Clock by Phase Modulation to Utilize a 3.5 GHz-band-FBAR VCO 査読

Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Motoaki Hara

2018 IEEE International Frequency Control Symposium   2018年5月

Micro atomic frequency standards employing an integrated FBAR-VCO oscillating on the⁸⁷RB clock frequency without a phase locked loop 査読

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)   2018-January   715 - 718   2018年4月

FBAR-based 3.4 GHz Oscillator without Frequency Multiplications Aiming for an Integrated Atomic Clock Chip 査読

M. Hara, Y. Yano, M. Kajita, S. Hara, A. Kasamatsu, M. Toda, H. Ito, T. Ono, T. Ido

the 2018 European Frequency and Time Seminar   2018年4月

MICRO ATOMIC FREQUENCY STANDARDS EMPLOYING AN INTEGRATED FBAR-VCO OSCILLATING ON THE 87RB CLOCK FREQUENCY WITHOUT A PHASE LOCKED LOOP 査読

M. Hara, Y. Yano, M. Kajita, H. Nishino, Y. Ibata, M. Toda, S. Hara, A. Kasamatsu, H. Ito, T. Ono, T. Ido

The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems   2018年1月

FBAR Oscillator Stabilized by Rb Atomic Resonator for SHF/EHF-Band Wireless Devices 査読

Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Hiroyuki Ito, Masaya Toda, Takahito Ono, Masatoshi Kajita, Shinsuke Hara, Akifumi Kasamatsu, Tetsuya Ido

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS   2018-January   2018年

Coherent population trapping atomic clock by phase modulation for wide locking range 査読

Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Motoaki Hara

APPLIED PHYSICS LETTERS   111 ( 20 )   2017年11月

Theoretical and experimental study of Rb coherent population trapping atomic clock with phase modulation detection 査読

Yuichiro Yano, Motoaki Hara, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido

2017 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium, EFTF/IFC 2017 - Proceedings   277   2017年10月

Highly Sensitive Wireless Sensor Node Using Surface Acoustic Wave Devices for Structural Health Monitoring 査読

Zhongqiao Bao, Motoaki Hara, Hiroki Kuwano

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN   99 ( 10 )   81 - 87   2016年10月

Nonlinear restoring force of spring with stopper for ferroelectric dipole electret-based electrostatic vibration energy harvesters 査読

H. Asanuma, M. Hara, H. Oguchi, H. Kuwano

AIP ADVANCES   6 ( 7 )   075286   2016年7月

Micromachined multiple focused-ion-beam devices 査読

Ryo Yoshida, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano

Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics   34 ( 2 )   2016年3月

Micromachined multiple focused-ion-beam devices 査読

Ryo Yoshida, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   34 ( 2 )   2016年3月

Investigation of Interface between Ge Electrodes and Ionic Liquid Electrolyte for Development of Electric Double Layer Capacitors 査読

R. M. Abeysinghe, H. Oguchi, M. Hara, H. Kuwano

2016 IEEE 11TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)   2016年

Oscillator based surface acoustic wave gyroscopes 査読

Yusuke Musha, Motoaki Hara, Hiroki Asano, Hiroki Kuwano

2016 IEEE 11TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)   2016年

Lead-Free (K,Na)NbO3 Impact-Induced-Oscillation Microenergy Harvester 査読

Le Van Minh, Motoaki Hara, Hiroki Kuwano

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS   24 ( 6 )   1887 - 1895   2015年12月

Highly Piezoelectric MgZr Co-Doped Aluminum Nitride-Based Vibrational Energy Harvesters 査読

Le Van Minh, Motoaki Hara, Tsuyoshi Yokoyama, Tokihiro Nishihara, Masanori Ueda, Hiroki Kuwano

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL   62 ( 11 )   2005 - 2008   2015年11月

Air gap optimization for output power and band width in out-of-plane vibration energy harvesters employing electrets 査読

H. Asanuma, M. Hara, H. Oguchi, H. Kuwano

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING   25 ( 10 )   104013 - 104013   2015年10月

Highly sensitive strain sensors using surface acoustic wave on aluminum nitride thin film for wireless sensor networks 査読

Z. Bao, M. Hara, H. Kuwano

2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2015   1239 - 1242   2015年8月

Surface-Acoustic-Wave-Driven Directional Atomizers Integrated With Pico-Liter Micropumps 査読

Shun Sugimoto, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS   24 ( 3 )   696 - 702   2015年6月

Current sensors using Fe-B-Nd-Nb magnetic metallic glass micro-cantilevers 査読

Tuan Anh Phan, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano

MICROELECTRONIC ENGINEERING   135   28 - 31   2015年3月

MICROFABRICATED ELECTROSTATIC PLANAR LENS ARRAY AND EXTRACTORS FOR MULTI-FOCUSED ION BEAM SYSTEM USING IONIC LIQUID ION SOURCE EMITTER ARRAY 査読

Ryo Yoshida, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano

2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015)   93 - 96   2015年

Investigation of surface-acoustic-wave atomization using phase Doppler anemometry 査読

Taiki Hirotomto, Motoaki Hara, Hiroki Kuwano, Taku Kudo, Hideaki Kobayashi

2015 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)   2015年

C-axis tilted AlN films for vibration energy harvesters 査読

H. H. Nguyen, M. Hara, H. Oguchi, H. Kuwano

15TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2015)   660   2015年

PIEZOELECTRIC MICRO ENERGY HARVESTERS EMPLOYING ADVANCED (MG,ZR)-CODOPED ALN THIN FILM 査読

L. V. Minh, M. Hara, H. Kuwano, T. Yokoyama, T. Nishihara, M. Ueda

2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015)   1094 - 1097   2015年

A self-converging atomized mist spray device using surface acoustic wave 査読

Atsushi Yabe, Yuichiro Hamate, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Sumito Nagasawa, Hiroki Kuwano

MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS   17 ( 4 )   701 - 710   2014年10月

Arrayed micro ion source with ionic liquid for flexible and concurrent MEMS fabrication 査読

Tatsuya Suzuki, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   215   161 - 166   2014年8月

New output power estimation method for cantilever-based piezoelectric energy harvesters 査読

Motoaki Hara, Le Van Minh, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   53 ( 7 )   2014年7月

INVESTIGATION OF DOMINANT FACTORS TO CONTROL C-AXIS TILT ANGLE OF ALN THIN FILMS FOR EFFICIENT ENERGY HARVESTING 査読

Qi Wang, Hiroyuki Oguchi, Motoaki Hara, Hiroki Kuwano

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)   636 - 639   2014年

SURFACE-ACOUSTIC-WAVE DRIVEN POINT SOURCE ATOMIZER INTEGRATED WITH PICOLITER MICRO PUMPS FOR POLYMERIC NANOPARTICLES SYNTHESIS 査読

Shun Sugimoto, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Atsushi Yabe, Hiroki Kuwano

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)   1043 - 1046   2014年

CONCURRENT REACTIVE ION ETCHING EMPLOYING MICROMACHINED IONIC LIQUID ION SOURCE ARRAY 査読

Ryo Yoshida, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Tatsuya Suzuki, Hiroki Kuwano

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)   463 - 466   2014年

Q-enhancement with electrode materials in the FBAR for timing devices 査読

Motoaki Hara, Hiroki Kuwano

2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)   2023 - 2026   2014年

A MICRO-STRUCTURED SI-BASED ELECTRODES FOR HIGH CAPACITY ELECTRICAL DOUBLE LAYER CAPACITORS 査読

Valdas Krikscikas, Hiroyuki Oguchi, Hiroshi Yanazawa, Motoaki Hara, Hiroki Kuwano

14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2014)   557   2014年

Electrostatic Force-induced Broadband Effect in Electret-based Vertical Vibration Energy Harvesters using Fine-grained Stainless Steel Oscillator 査読

H. Asanuma, M. Hara, H. Oguchi, H. Kuwano

14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2014)   557   2014年

Porous Ge based Electric Double Layer Capacitors with High Compatibility for Low Threshold Voltage Diode Rectifiers 査読

A. Sekiguchi, M. Hara, H. Oguchi, H. Kuwano

14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2014)   557   2014年

HIGH PERFORMANCE NONLINEAR MICRO ENERGY HARVESTER INTEGRATED WITH (K,Na)NbO3/Si COMPOSITE QUAD-CANTILEVER 査読

Le Van Minh, Motoaki Hara, Hiroki Kuwano

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)   397 - 400   2014年

Concurrent life-course trajectories of employment and marijuana-use: Exploring interdependence of longitudinal outcomes 査読

Motoaki Hara, David Y. C. Huang, Robert E. Weiss, Yih-Ing Hser

JOURNAL OF SUBSTANCE ABUSE TREATMENT   45 ( 5 )   426 - 432   2013年11月

Fe-B-Nd-Nb metallic glass thin films for microelectromechanical systems 査読

T. A. Phan, H. Oguchi, M. Hara, M. Shikida, H. Hida, T. Ando, K. Sato, H. Kuwano

Applied Physics Letters   103 ( 18 )   181901   2013年10月

Ferroelectric dipole electrets for output power enhancement in electrostatic vibration energy harvesters 査読

Haruhiko Asanuma, Hiroyuki Oguchi, Motoaki Hara, Ryo Yoshida, Hiroki Kuwano

APPLIED PHYSICS LETTERS   103 ( 16 )   2013年10月

Surface acoustic wave based sensors employing ionic liquid for hydrogen sulfide gas detection 査読

Yoshinobu Murakawa, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Yuichiro Hamate, Hiroki Kuwano

Microsystem Technologies   19 ( 8 )   1255 - 1259   2013年8月

Micro-Energy Harvesters Integrated with a Quatrefoil-Shaped Proof Mass Suspended by Multiple (K,Na)NbO3 Beams 査読

Le Van Minh, Motoaki Hara, Hiroki Kuwano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   52 ( 7 )   2013年7月

Bulk micromachined energy harvesters employing (K, Na)NbO3 thin film 査読

Le Van Minh, Motoaki Hara, Fumimasa Horikiri, Kenji Shibata, Tomoyoshi Mishima, Hiroki Kuwano

Journal of Micromechanics and Microengineering   23 ( 3 )   2013年3月

A thin-film bulk acoustic resonator and filter with optimal edge shapes for mass production 査読

Motoaki Hara, Masanori Ueda, Yoshio Satoh

ULTRASONICS   53 ( 1 )   90 - 96   2013年1月

Micromachined Pyroelectric Probe for Non-Contact Thermal Diagnostic Systems 査読

Kenji Suita, Motoaki Hara, Shinya Ishikawa, Katsuhiro Tanaka, Sumito Nagasawa, Hiroki Kuwano

JOURNAL OF ADVANCED MECHANICAL DESIGN SYSTEMS AND MANUFACTURING   7 ( 2 )   95 - 102   2013年

IONIC-LIQUID MICRO ION SOURCE ARRAY FOR FLEXYBLE CONCURRENT MEMS PROCESS 査読

Tatsuya Suzuki, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano

26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)   315 - 318   2013年

LEAD-FREE (K,Na)NbO3 BASED IMPACT TYPE ENERGY HARVESTERS INTEGRATED WITH A CYLINDRICAL CAVITY FOR METAL BALL 査読

Le Van Minh, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano

26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)   833 - 836   2013年

Oscillator-based strain gauges employing surface acoustic wave resonators for wireless sensor network 査読

Tomokatsu Konno, Motoaki Hara, Hiroki Kuwano

2013 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)   1930 - 1933   2013年

High output power AlN vibration-driven energy harvesters 査読

Z. Cao, J. He, Q. Wang, M. Hara, H. Oguchi, H. Kuwano

13TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2013)   476   2013年

Ferroelectric Dipole Electrets Prepared from Soft and Hard PZT Ceramics in Electrostatic Vibration Energy Harvesters 査読

H. Asanuma, H. Oguchi, M. Hara, H. Kuwano

13TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2013)   476   2013年

A spontaneous polarization electret for electrostatic vibration energy harvesting 査読

H. Asanuma, H. Oguchi, M. Hara, H. Kuwano

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013   1332 - 1335   2013年

A new metallic glass Fe-B-Nd-Nb thin film material for micro sensors and actuators: Fabrication and characterization 査読

P. A. Tuan, H. Oguchi, M. Hara, M. Shikida, H. Hida, T. Ando, K. Sato, H. Kuwano

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013   1040 - 1043   2013年

Power Estimation for Piezoelectric Energy Harvesters in Flexure Mode with Large Displacement Amplitude 査読

M. Hara, L. V. Minh, H. Oguchi, H. Kuwano

13TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2013)   476   2013年

Miniaturised multi-beam (K, Na) NbO3-based energy harvester 査読

LV Minh, M Hara, H Kuwano

Proceedings of PowerMEMS 2012   2012年12月

Stacking Electrets for Electrostatic Vibration Energy Harvesters 査読

Y Wada, H Oguchi, M Hara, H Asanuma, H. Kuwano

Proceedings of PowerMEMS 2012   2012年12月

Experimental Study of Highly Sensitive Sensor Using a Surface Acoustic Wave Resonator for Wireless Strain Detection 査読

Bao Zhongqing, Motoaki Hara, Misato Mitsui, Koji Sano, Sumito Nagasawa, Hiroki Kuwano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   51 ( 7 )   2012年7月

Spurious Suppression without Energy Dissipation in Aluminum-Nitride-Based Thin-Film Bulk Acoustic Resonator Using Thin Ring on Electrode Edge 査読

Motoaki Hara, Hiroki Kuwano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   51 ( 7 )   2012年7月

Use of Fluorine-Doped Silicon Oxide for Temperature Compensation of Radio Frequency Surface Acoustic Wave Devices 査読

Satoru Matsuda, Motoaki Hara, Michio Miura, Takashi Matsuda, Masanori Ueda, Yoshio Satoh, Ken-ya Hashimoto

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL   59 ( 1 )   135 - 138   2012年1月

Micro fabrication development of a vibration-based sputtered PZT thin film micro energy harvester 査読

K. Shibata, S. Ishikawa, K. Tanaka, S. Nagasawa, Z. Cao, H. Oguchi, M. Hara, H. Kuwano

Proceedings of IEEE Sensors   2012年

Correlation Between Temperature Coefficient of Elasticity and Fourier Transform Infrared Spectra of Silicon Dioxide Films for Surface Acoustic Wave Devices 査読

Satoru Matsuda, Motoaki Hara, Michio Miura, Takashi Matsuda, Masanori Ueda, Yoshio Satoh, Ken-ya Hashimoto

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL   58 ( 8 )   1684 - 1687   2011年8月

A Precise Nonlinear Simulation for SAW Duplexers Considering Nonlinear Elasticity 査読

S. Inoue, S. Mitobe, M. Hara, M. Iwaki, J. Tsutsumi, H. Nakamura, M. Ueda, Y. Satoh

2011 41ST EUROPEAN MICROWAVE CONFERENCE   599 - 602   2011年

Application of Fluorine Doped SiO2 Films for Temperature Compensated SAW Devices 査読

S. Matsuda, M. Hara, M. Miura, T. Matsuda, M. Ueda, Y. Satoh, K. Hashimoto

2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)   76 - 78   2011年

A Design Technique to Enhance Isolation of Duplexer in Single-ended and Differential modes 査読

J. Tsutsumi, S. Inoue, M. Iwaki, M. Hara, H. Nakamura, K. Matsumoto, M. Ueda, Y. Satoh

2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)   1833 - 1836   2011年

A Nonlinear Elastic Model for Predicting Triple Beat in SAW Duplexers 査読

S. Inoue, M. Hara, M. Iwaki, J. Tsutsumi, H. Nakamura, M. Ueda, Y. Satoh, S. Mitobe

2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)   1837 - 1841   2011年

Super-High-Frequency Band Filters Configured with Air-Gap-Type Thin-Film Bulk Acoustic Resonators 査読

Motoaki Hara, Tsuyoshi Yokoyama, Takeshi Sakashita, Shinji Taniguchi, Masafumi Iwaki, Tokihiro Nishihara, Masanori Ueda, Yoshio Satoh

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 7 )   2010年

A study of the thin film bulk acoustic resonator filters in several ten GHz band 査読

Motoaki Hara, Tsuyoshi Yokoyama, Takeshi Sakashita, Masanori Ueda, Yoshio Satoh

Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium   2009年

Development of an X-Band Filter Using Air-Gap-Type Film Bulk Acoustic Resonators 査読

Masanori Ueda, Motoaki Hara, Shinji Taniguchi, Tsuyoshi Yokoyama, Tokihiro Nishihara, Ken-ya Hashimoto, Yoshio Satoh

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   47 ( 5 )   4007 - 4010   2008年5月

K-band Ladder Filters Employing Air-Gap type Thin Film Bulk Acoustic Resonators 査読

Tsuyoshi Yokoyama, Motoaki Hara, Masanori Ueda, Yoshio Satoh

2008 IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM, VOLS 1-4 AND APPENDIX   598 - 601   2008年

X-band filters utilizing A1N thin film bulk acoustic resonators 査読

Motoaki Hara, Tsuyoshi Yokoyama, Masanori Ueda, Yoshio Satoh

2007 IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS, VOLS 1-6   1152 - 1155   2007年

MEMS-based thin film bulk acoustic resonator for wireless medical sensing system 査読

Motoaki Hara, Masayoshi Esashi

FUTURE MEDICAL ENGINEERING BASED ON BIONANOTECHNOLOGY, PROCEEDINGS   331 - +   2006年

Surface micromachined AlN thin film 2 GHz resonator for CMOS integration 査読

M Hara, J Kuypers, T Abe, M Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   117 ( 2 )   211 - 216   2005年1月

Rotational infrared polarization modulator using a MEMS-based air turbine with different types of journal bearing 査読

Motoaki Hara, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering   13 ( 2 )   223 - 228   2003年3月

Alminium nitride based thin film bulk acoustic resonator using germanium sacrificial layer etching 査読

M Hara, J Kuypers, T Abe, M Esashi

BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2   1780 - 1783   2003年

MEMS based thin film 2 GHz resonator for CMOS integration 査読

M Hara, J Kuypers, T Abe, M Esashi

2003 IEEE MTT-S INTERNATIONAL MICROWAVE SYMPOSIUM DIGEST, VOLS 1-3   1797 - 1800   2003年

Mechanical polarization modulator using micro-turbo machinery for Fourier transform infrared spectroscopy 査読

S Tanaka, M Hara, M Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   96 ( 2-3 )   215 - 222   2002年2月

Micro-turbomachine driving an infrared polarization modulator for Fourier transform infrared spectroscopy 査読

M Hara, S Tanaka, M Esashi

14TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST   282 - 285   2001年

原子時計用MEMSガスセルの量産化を目指した製造・評価技術の新規提案と試作

原基揚, 清瀬俊, 島田弥力, 小田切雄介, 平井義和, 波多野智, 福岡政大, 矢野雄一郎, 五箇繁善, 井戸哲也

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)   41st   2024年

Beyond5Gの要素技術 Beyond5Gを実現する時空同期技術

原基揚, 矢野雄一郎, 安田哲, 福岡政大, 志賀信泰, 市川隆一, 井戸哲也

情報通信研究機構研究報告   70 ( 1 )   2024年

時刻同期ネットワークにおける複数の小型原子時計を用いた周波数安定化の検討—Investigation of frequency stabilization using multiple small atomic clocks in a time synchronization network—電子回路研究会・次世代周波数精密計測の基礎と応用

矢野 雄一郎, 原 基揚, 花土 ゆう子, 井戸 哲也, 柿沼 優人, 川口 貴弘, 織田 健太郎, 石崎 孝幸, 川野 真裕, 百武 健二, 橋本 直也, 大塚 信吾, 倉田 陽介, 岩本 哲也

電気学会研究会資料. ECT = The papers of technical meeting on electronic circuits, IEE Japan / 電子回路研究会 [編]   2023 ( 48-53 )   1 - 4   2023年9月

時刻同期ネットワークにおける複数の小型原子時計を用いた周波数安定化の検討

矢野雄一郎, 原基揚, 花土ゆう子, 井戸哲也, 柿沼優人, 川口貴弘, 織田健太郎, 石崎孝幸, 川野真裕, 百武健二, 橋本直也, 大塚信吾, 倉田陽介, 岩本哲也

電気学会研究会資料(Web)   ( ECT-23-048-053 )   2023年

原子時計チップを利用した分散型時刻同期ネットワークの検討

矢野 雄一郎, 井戸 哲也, 原 基揚

電子回路研究会   2022年9月

CLIFS: Chip Level Integrated Frequency Standard, How do we approach the cliff of CLIFS? 招待

原 基揚

第17回D2Tシンポジウム   2022年9月

原子時計チップの開発進捗と近年の時刻同期システムの動向

原 基揚

弾性波素子技術コンソーシアム第7回研究会   2022年6月

B5G/6G に向けた超精密周波数標準チップの開発 査読

原 基揚, 矢野 雄一郎, 戸田 雅也, 品田 聡, 伊藤 浩之, 小野 崇人, 井戸 哲也

圧電材料デバイスシンポジウム2022   2022年1月

原子時計チップと量子デバイスへの展開 査読

原 基揚

電気学会全国大会シンポジウム   2022年1月

超小型原子時計の量産化に向けた3.5GHz帯圧電薄膜発振器の研究開発 査読

原 基揚, 矢野 雄一郎, 原 紳介, 笠松 章史, 戸田 雅也, 伊藤 浩之, 小野 崇人, 井戸 哲也

第38回「センサマイクロマシンと応用システム」シンポジウム   2021年11月

800nm波長帯域面発光レーザー素子のための可動式誘電体多層膜ミラーチップ 査読

趙 智健, 戸田 雅也, 原 基揚, 品田 聡, 小野 崇人

第38回「センサマイクロマシンと応用システム」シンポジウム   2021年11月

量子エレクトロニクスと弾性波素子技術－原子時計チップの開発から－

原 基揚

弾性波素子技術コンソーシアム第４回研究会   2021年9月

マイクロ波原子時計チップの開発進捗

原基揚, 矢野雄一郎, 戸田雅也, 原紳介, 笠松章史, 伊藤浩之, 小野崇人, 井戸哲也

圧電材料デバイスシンポジウム2021   2021年1月

新規固体ルビジウム源を用いたマイクロガスセルの原子時計システムへの組込検証 査読

原基揚, 矢野雄一郎, 戸田雅也, 小野崇人, 井戸哲也

第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(USE2019)   2020年11月

アジ化ルビジウムを用いた原子時計用マイクロガスセルの作製 査読

原 基揚, 矢野 雄一郎, 戸田 雅也, 小野 崇人, 井戸 哲也

第37回「センサマイクロマシンと応用システム」シンポジウム   2020年10月

スマホに載る原子時計実現へのシナリオ

原 基揚

日経エレクトロニクス   2020年9月

原子時計のチップ化が導く超高精度デジタルツイン

原 基揚

日経エレクトロニクス   2020年7月

原子時計チップ─新たなマイクロデバイスとしての可能性─ 査読

原 基揚

電子情報通信学会機関紙   2020年4月

小型原子時計のためのガスセルの開発 査読

西野 仁, 戸田雅也, 矢野雄一郎, 梶田雅稔, 井戸哲也, 原 基揚, 小野崇人

圧電材料デバイスシンポジウム2020   2020年1月

マイクロ波原子時計チップの検討

原 基揚, 矢野 雄一郎, 梶田 雅稔, 井戸 哲也

圧電材料デバイスシンポジウム2020   2020年1月

自励発振型原子時計のための注入同期型MEMS発振器の開発

原 基揚, 矢野 雄一郎, 梶田 雅稔, 原 紳介, 笠松 章史, 伊藤 浩之, 井戸 哲也

第36回「センサマイクロマシンと応用システム」シンポジウム   2019年11月

Injection-Lock-Type BAW Oscillator Aiming for Self-Oscillating Atomic Clock

M. Hara, Y. Yano, M. Kajita, S. Hara, A. Kasamatsu, H. Ito, T. Ido

第40回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(USE2019)   2019年11月

GHz帯圧電薄膜共振子による小型原子時計システム

原基揚

応用物理   88 ( 7 )   456‐459   2019年7月

原子時計チップの開発とその展望

原基揚

クリーンテクノロジー   29 ( 5 )   52‐56   2019年5月

Time evolution analysis of Coherent Population Trapping resonance for atomic clock chip

YANO Yuichiro, KAJITA Masatoshi, IDO Tetsuya, HARA Motoaki

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(CD-ROM)   39th   ROMBUNNO.2P2‐14   2018年10月

原子時計チップ開発に向けた卓上原子時計テストベンチによるMEMSガスセルおよびFBAR-VCOの評価

原 基揚, 矢野 雄一郎, 梶田 雅稔, 西野 仁, 井端 泰大, 朱 敏杰, Latif Imran, 戸田 雅也, 小野 崇人, 井戸 哲也

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   34   4p   2017年10月

Integrated VCOs employing FBARs for direct oscillation of Rb clock frequency

HARA Motoaki, YANO Yuichiro, KAJITA Masatoshi, HARA Shinsuke, KASAMATSU Akifumi, ITO Hiroyuki, IDO Tetsuya

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(CD-ROM)   38th   ROMBUNNO.1J3‐3   2017年10月

時間応答を考慮したCoherent Poulation Trapping共鳴の検出方法の検討

矢野雄一郎, 原基揚, 梶田雅稔, 井戸哲也

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   64th   ROMBUNNO.17p‐418‐1   2017年3月

超小型原子時計チップの開発に向けたPLLレス3.4GHzVCO の設計

原 基揚, 矢野 雄一郎, 梶田 雅稔, 井戸 哲也

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   33   1 - 4   2016年10月

超小型原子時計の高安定化に向けたCPT共鳴検出方法の検討

矢野雄一郎, 原基揚, 梶田雅稔, 井戸哲也

電気学会電子回路研究会資料   ECT-16 ( 59-67 )   13‐15   2016年9月

原子時計のチップ化に向けた3.4GHz帯PLLレスVCOの設計

原基揚, 矢野雄一郎, 梶田雅稔, 井戸哲也

電気学会電子回路研究会資料   ECT-16 ( 59-67 )   17‐20   2016年9月

表面弾性波共振子を利用したマルチセンサモジュールのための超小型角速度センサの開発

原基揚

村田学術振興財団年報   ( 30 )   242‐251   2016年6月

弾性表面波共振子を利用した超小型角速度センサ

武舎祐輔, 原基揚, 桑野博喜

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)   32nd   ROMBUNNO.28PM1-A-3   2015年10月

28pm3-F-2 革新的AlN系圧電薄膜の開発研究

Nguyen Hoang Hung, 大口 裕之, 原 基揚, 桑野 博喜

マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2015 ( 7 )   "28pm3 - F-2-1"-"28pm3-F-2-2"   2015年10月

マイクロマシニングによるマルチ集束イオンビームデバイス作製法の研究

吉田凌, 清水康司, 原基揚, 大口裕之, 桑野博喜

精密工学会大会学術講演会講演論文集   2015 ( 0 )   ROMBUNNO.I70 - 560   2015年8月

圧電薄膜を用いた高出力振動発電機の開発

今野理洋, 原基揚, VAN MINH Le, 桑野博喜

材料とプロセス(CD-ROM)   28 ( 1 )   ROMBUNNO.D12   2015年3月

29pm3-PN-37 高い圧電性を有するMg-Zr共ドープ窒化アルミニウムを用いたカンチレバー形振動発電素子

レ バン ミン, 原 基揚, 横山 剛, 西原 時弘, 上田 政則, 桑野 博喜

マイクロナノ工学シンポ   2015 ( 0 )   _29pm3 - PN--_29pm3-PN-   2015年

構造ヘルスモニタリングのための表面弾性波素子を利用した高感度ワイヤレスセンサノード

包忠青, 原基揚, 桑野博喜

電気学会論文誌 E   135 ( 9 )   367 - 371   2015年

表面弾性波を用いた超小型ジャイロセンサの検討

武舎祐輔, 原基揚, 桑野博喜

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)   50th   ROMBUNNO.228   2015年

Directional Spraying Systems Employing Surface Acoustic Wave Resonators

SUGIMOTO Shun, HARA Motoaki, OGUCHI Hiroyuki, KUWANO Hiroki

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集   35th   205 - 206   2014年12月

タイミングデバイス用圧電薄膜共振子における電極材料によるQ値改善の検討

原基揚, 桑野博喜

日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)   6th   ROMBUNNO.21PM1-A4   2014年10月

ZnO/ステンレス構造を有する振動型エナジーハーベスタの試作

細川翔多, 原基揚, 大口裕之, 桑野博喜

日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)   6th   ROMBUNNO.21PM3-PM013   2014年10月

ステンレス箔振動子を用いた静電誘導型の振動発電素子の発電量向上の検討

浅沼春彦, 大口裕之, 原基揚, 桑野博喜

日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)   6th   ROMBUNNO.22AM2-E2   2014年10月

ステンレス板ばね構造を有するAlN圧電薄膜発電機

HE Jianjun, 原基揚, 桑野博喜

日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)   6th   ROMBUNNO.22AM2-E4   2014年10月

300MHz帯表面弾性波共振器を利用した発振器型ひずみセンサ

今野智一, BAO Zhongqing, 原基揚, 桑野博喜

日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)   2014   ROMBUNNO.J2230204   2014年9月

磁気駆動型マイクロ電流センサの研究

千葉由孝, 大口裕之, 原基揚, 桑野博喜

日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)   2014   ROMBUNNO.J2230205   2014年9月

イオン液体を用いた並列型マイクロイオン源による反応性イオンエッチングの検討

吉田凌, 原基揚, 大口裕之, 鈴木達也, 桑野博喜

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)   49th   ROMBUNNO.105   2014年3月

窒化アルミニウム圧電薄膜を用いた表面弾性波ひずみセンサの開発

BAO Zhongqing, 原基揚, 桑野博喜

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)   31st   ROMBUNNO.20PM3-PS061   2014年

3J4-2 ニオブ酸カリウムナトリム/シリコン複合カンチレバーを用いた小型振動発電素子(強力超音波,ソノケミストリー,海洋音響)

ミン レ バン, 原 基揚, 桑野 博喜

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集   34   585 - 586   2013年11月

2P4-18 カンチレバー型エナジーハーベスタの出力計算手法の提案と試作(ポスターセッション)

原 基揚, ミン レバン, 大口 裕之, 桑野 博喜

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集   34   297 - 298   2013年11月

軟磁性体を用いた片持ち梁型小型電流センサ感度に及ぼす磁気異方性の影響

千葉 由孝, 大口 裕之, 原 基揚

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   30   1 - 4   2013年11月

Fe-B-Nd-Nb磁性薄膜金属ガラスを利用した非接触型電流センサの検討

ファン アン チュアン, 原 基揚, 大口 裕之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   30   1 - 4   2013年11月

表面弾性波を利用した集積型点集束噴霧器

杉本 駿, 矢部 敦士, 原 基揚

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   30   1 - 4   2013年11月

加速度センサを用いた二線式有線ネットワークによる橋脚の振動観測

北吉 均, 賀 建軍, 原 基揚

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   30   1 - 4   2013年11月

転がり機構を用いた両面エレクトレット型静電発電素子

吉田凌, 原基揚, 大口裕之, 桑野博喜

日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集   5th   9‐10   2013年11月

強誘電双極子エレクトレットの開発と静電誘導型振動発電デバイスへの応用

浅沼春彦, 大口裕之, 原基揚, 桑野博喜

日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集   5th   1‐2   2013年11月

6PM3-PMN-008 窒化アルミ圧電薄膜を用いた振動発電デバイスにおいて振動方向が発電量に与える影響の調査研究(OS4 電池レス・デバイスのためのエネルギーハーベストの展開,ポスターセッション)

曹 自平, 賀 建軍, 原 基揚, 大口 裕之, 桑野 博喜

マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2013 ( 5 )   183 - 184   2013年11月

Fe‐B‐Nd‐Nb金属ガラス薄膜の破壊靭性評価

TUAN P.A, 大口裕之, 原基揚, 式田光宏, 肥田博隆, 安藤妙子, 佐藤一雄, 桑野博喜

日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)   2013   ROMBUNNO.J211023   2013年9月

ステンレスを基材とするZnO振動型エナジーハーベスタの開発

細川翔多, 原基揚, 大口裕之, 桑野博喜

電気学会論文誌 E   133 ( 4 )   126 - 127   2013年

表面弾性波ひずみセンサを用いた構造物ヘルスモニタリングシステム

ZHONGQING Bao, 原基揚, 桑野博喜

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)   30th   ROMBUNNO.5PM3-PSS-53   2013年

300MHz帯SAW発振器を用いた高感度ひずみセンサの開発

今野智一, 原基揚, 桑野博喜

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)   30th   ROMBUNNO.5PM3-PSS-47   2013年

超音波デバイス ワイヤレスセンサノードのための表面弾性波を用いた高感度ひずみセンサ

原基揚, 包忠青, 桑野博喜

超音波Techno   24 ( 6 )   76 - 80   2012年12月

2E3-2 (K,Na)NbO_3用いた超小型エネジーハーベスタの開発(圧電デバイス,海洋音響)

ミン レ バン, 原 基揚, 桑野 博喜

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集   33   277 - 278   2012年11月

円弧形状を有するすだれ状電極を用いた点集束型表面弾性波噴霧器

矢部敦士, 濱手雄一郎, 大口裕之, 長澤純人, 原基揚, 桑野博喜

日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集   4th   231 - 232   2012年10月

表面弾性波素子を用いた無線計測用高感度ひずみセンサ

BAO Zhonqing, 原基揚, 長澤純人, 桑野博喜

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集   47th   136‐137   2012年3月

166 ZnO薄膜を用いたマイクロ振動発電の研究(情報・知能・精密機器/技術と社会,一般講演)

細川 翔多, 曹 自平, 原 基揚, 長澤 純人, 桑野 博喜

講演論文集   2012 ( 47 )   138 - 139   2012年3月

ZnO薄膜を用いたマイクロ振動発電の研究

細川翔多, CAO Ziping, 原基揚, 長澤純人, 桑野博喜

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集   47th   138‐139   2012年3月

温度補償SAWデバイスへのSiOF膜の適用

松田聡, 三浦道雄, 松田隆志, 上田政則, 佐藤良夫, 原基揚, 橋本研也

圧電材料・デバイスシンポジウム   2012   71 - 72   2012年1月

2Pa3-5 窒化アルミニウムを用いた圧電薄膜共振子におけるスプリアス抑制手法の提案(ポスターセッション)

原 基揚, 桑野 博喜

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集   32   101 - 102   2011年11月

1J3-2 無線観測システミのための表面弾性波素子を用いた高感度ひずみセンサ(圧電デバイス(バルク波デバイス,弾性表面波デバイス))

包 忠青, 原 基揚, 三井 聖望, 今野 理洋, 佐野 広滋, 長澤 純人, 桑野 博喜

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集   32   3 - 4   2011年11月

2Pb3-5 温度補償SAWデバイスへ最適化したSiO_2膜とSiOF膜の適用(ポスターセッション)

松田 聡, 原 基揚, 三浦 道雄, 松田 隆志, 上田 政則, 佐藤 良夫, 橋本 研也

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集   32   221 - 222   2011年11月

超広帯域受信フィルタを有する第4世代携帯電話向け圧電薄膜共振子デュープレクサ

原 基揚, 坂下 武, 西原 時弘, 上田 政則, 佐藤 良夫, 岡 慎也, 岡田 隆

電子情報通信学会論文誌. A, 基礎・境界 = The transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. A   94 ( 6 )   438 - 439   2011年6月

超高周波帯通信システムのための圧電薄膜共振子フィルタ

原基揚, 横山剛, 坂下武, 岩城匡郁, 谷口眞司, 西原時弘, 上田政則, 佐藤良夫

EMシンポジウム   39th   43 - 46   2010年5月

3P3-1 エアギャップ型圧電薄膜共振子を用いたSHF帯フィルタの開発(ポスターセッション)

原 基揚, 横山 剛, 坂下 武, 谷口 眞司, 岩城 匡郁, 西原 時弘, 上田 政則, 佐藤 良夫

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集   30   477 - 478   2009年11月

Air‐gap型圧電薄膜共振器を用いたKバンドフィルタ

横山剛, 原基揚, 谷口眞司, 西原時弘, 上田政則, 佐藤良夫

圧電材料・デバイスシンポジウム   2009   55 - 58   2009年2月

エアギャップ型FBARフィルタ

上田政則, 原基揚, 横山剛, 谷口眞司, 岩城匡郁, 西原時弘, 橋本研也, 佐藤良夫

圧電材料・デバイスシンポジウム   2008   85 - 88   2008年1月

Air‐Gap型高周波FBARフィルタ

横山剛, 原基揚, 谷口眞司, 西原時弘, 上田政則, 佐藤良夫

EMシンポジウム   37th   65 - 68   2008年

1-05-04 Air-Gap型圧電薄膜共振器を使用した高周波フィルタ(バルク波デバイス)

上田 政則, 原 基揚, 横山 剛, 佐藤 良夫, 谷口 眞司, 岩城 匡郁, 西原 時弘

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集   28   153 - 154   2007年11月

Air‐Gap型圧電薄膜共振器を使用した高周波フィルタ

上田政則, 原基揚, 横山剛, 佐藤良夫, 谷口眞司, 岩城匡郁, 西原時弘

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集   28th   153 - 154   2007年11月

高音響インピーダンス電極膜を用いたAir‐Gap型FBARフィルタの開発

横山剛, 谷口眞司, 原基揚, 岩城匡郁, 西原時弘, 上田政則, 佐藤良夫

EMシンポジウム   36th   59 - 62   2007年

RFMEMS及びMEMSパッケージング(原標題は英語)

原基揚, 江刺正喜

EMシンポジウム   33rd   41 - 46   2004年

ガラス基板貫通配線を用いたアレイMEMSの大口径ウェハ対応プロセス

李興華, 安部隆, 原基揚, 江刺正喜

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集   20th   97   2003年7月

P32-01 超小形ガスタービン発電機の研究プロジェクト

田中 秀治, 杉本 真也, 李 敬鋒, 山田 高史, 山口 広, 伊地知 伸彰, 江刺 正喜, 磯村 浩介, 源田 敬史, 原 基揚, 村山 元英, 高橋 克昌, 加藤 琢真, 釜土 敏裕, 中橋 和博

動エネシンポ   2002 ( 0 )   507 - 512   2002年6月

マイクロエアタービンの高速化に関する研究

原基揚, 田中秀治, 江刺正喜

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集   19th   113   2002年

フーリエ変換赤外分光用エアタービン駆動マイクロ偏光変調器の開発

田中秀治, 原基揚, 江刺正喜

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集   17th   4   2000年5月

122 炭化珪素微細加工とマイクロガスタービンとに関する研究

田中 秀治, 中橋 和博, 江刺 正喜, 杉本 真也, 原 基揚, 釜土 敏裕

IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集   2000 ( 0 )   92 - 97   2000年3月