DIELECTRIC-PROPERTIES OF (BA, SR)TIO3 THIN-FILMS DEPOSITED BY RF-SPUTTERING

T HORIKAWA, N MIKAMI, T MAKITA, J TANIMURA, M KATAOKA, K SATO, M NUNOSHITA

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   32 ( 9B )   4126 - 4130   1993年9月

Detail analysis of reflection behavior for O-band and C-band silicon waveguides by OFDR profiles

Tsuyoshi Horikawa, Nobuhiko Nishiyama

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   65 ( 4 )   2026年2月

Low propagation loss in LPCVD Si₃N₄ waveguides without the need for high-temperature annealing: expanding applications in silicon photonics

Norikatsu Takaura, Shoma Miyata, Moataz Eissa, Takaaki Noda, Yuji Urano, Zhao Jiaang, Hiroaki Takahashi, Shuntaro Machida, Tsuyoshi Horikawa, Nobuhiko Nishiyama

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   65 ( 1 )   2026年1月

Silicon Oxynitride/Silicon Interlayer Couplers: Flexible Index Control, High Efficiency and Compact on Silicon Platform

Kaibin Yao, Moataz Eissa, Tsuyoshi Horikawa, Nobuhiko Nishiyama

2025 30TH OPTOELECTRONICS AND COMMUNICATIONS CONFERENCE, OECC AND 2025 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHOTONICS IN SWITCHING AND COMPUTING, PSC   2025年

Low-loss amorphous-Si Strip-Loaded Thin Film Lithium Niobate on Insulator Waveguides with Compact Bending Radius

Moataz Eissa, Yoshitaka Ohiso, Kensuke Ogawa, Yuki Nomoto, Tsuyoshi Horikawa, Shoichiro Yamaguchi, Masahiko Namerikawa, Nobuhiko Nishiyama

2025 30TH OPTOELECTRONICS AND COMMUNICATIONS CONFERENCE, OECC AND 2025 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHOTONICS IN SWITCHING AND COMPUTING, PSC   2025年

Integrated Testing Strategy of Wafer and Chip-level Characterization for Photonic Integrated Circuits

Moataz Eissa, Tsuyoshi Horikawa, Suguru Yoshida, Nobuhiko Nishiyama

2025 30TH OPTOELECTRONICS AND COMMUNICATIONS CONFERENCE, OECC AND 2025 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHOTONICS IN SWITCHING AND COMPUTING, PSC   2025年

Wafer and chip-level characterization of edge-coupled photonic integrated circuits by cascaded grating couplers and spot-size converters

Moataz Eissa, Ryuya Sasaki, Tsuyoshi Horikawa, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers   63 ( 7 )   2024年7月

Precise waveguide loss extraction using 300-mm wafer-level OFDR for optical process control monitoring

Tsuyoshi Horikawa, Atsushi Kitamura, Masanori Yatani, Nobuhiko Nishiyama

2024 IEEE SILICON PHOTONICS CONFERENCE, SIPHOTONICS   2024年

Monolithic integration of various-type III-V epitaxial structures on silicon-photonics platform using chip-on-wafer hydrophilic bonding process

Takehiko Kikuchi, Munetaka Kurokawa, Naoki Fujiwara, Naoko Inoue, Takuya Mitarai, Hidenari Fujikata, Takuo Hiratani, Toshiyuki Nitta, Yuhki Itoh, Tohma Watanabe, Chang-Yong Lee, Akira Furuya, Tsuyoshi Horikawa, Nobuhiko Nishiyama, Hideki Yagi

2024 IEEE SILICON PHOTONICS CONFERENCE, SIPHOTONICS   2024年

Coupling structure for enabling both wafer- and chip-level characterization of silicon photonic integrated circuits

Moataz Eissa, Ryuya Sasaki, Tsuyoshi Horikawa, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama

2024 IEEE SILICON PHOTONICS CONFERENCE, SIPHOTONICS   2024年

Mach–Zehnder interferometric engineering in silicon optical modulators: towards extrinsic OMA enhancement

Tadashi Murao, Tsuyoshi Horikawa

Applied Optics   62 ( 28 )   7387 - 7387   2023年9月

High-temperature and high-efficiency operation of a membrane optical link with a buried-ridge-waveguide bonded on a Si substrate

Weicheng Fang, Naoki Takahashi, Tsuyoshi Horikawa, Yoshitaka Ohiso, Ruihao Xue, Shunto Katsumi, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama

Optics Express   30 ( 19 )   34420 - 34428   2022年9月

Compact behavioral model and parametric extraction for optical phase shifters in carrier-depletion Mach–Zehnder silicon modulators

Tadashi Murao, Jun Ushida, Hiroyuki Takahashi, Masatoshi Tokushima, Akemi Shiina, Tsuyoshi Horikawa

Optics Communications   507   2022年3月

Systematic identification of crosstalk and bandwidth upper limit in highly cascaded Mach-Zehnder lattice optical filters

Jun Ushida, Tadashi Murao, Akemi Shiina, Tsuyoshi Horikawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( 2 )   2022年2月

High Temperature Operation of Membrane Photonic Integrated Circuits with Buried-Ridge-Waveguide on Si

Weicheng Fang, Naoki Takahashi, Tsuyoshi Horikawa, Yoshitaka Ohiso, Ruihao Xue, Shunto Katsumi, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama

Conference Digest - IEEE International Semiconductor Laser Conference   2022-October   2022年

Understanding Inter-Arm Imbalance in MachZehnder Silicon Optical Modulators: Impact on OMA and Frequency Chirp

Tadashi Murao, Jun Ushida, Hiroyuki Takahashi, Masatoshi Tokushima, Akemi Shiina, Tsuyoshi Horikawa

Journal of Lightwave Technology   40 ( 15 )   5171 - 5189   2022年

High-Temperature Operation of Chip-Scale Silicon-Photonic Transceiver

Di Okamoto, Y. Suzuki, J. Fujikata, M. Tokushima, J. Ushida, T. Horikawa, K. Takemura, T. Nakamura, Y. Hagihara, K. Yashiki, M. Kurihara, K. Kinoshita, K. Kurata

Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   2020-June   2020年6月

Phase behaviors or silicon-wire multistage delayed interferometric WDM filters across a whole 300-mm silicon-on-insulator wafer 査読

Seok-Hwan Jeong, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS   37 ( 6 )   1847 - 1856   2020年6月

Polarization Diversified 16 lambda Demultiplexer Based on Silicon Wire Delayed Interferometers and Arrayed Waveguide Gratings 査読

Seok-Hwan Jeong, Yosuke Onawa, Daisuke Shimura, Hideaki Okayama, Tsuyoshi Aoki, Hiroki Yaegashi, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura

JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY   38 ( 9 )   2680 - 2687   2020年5月

Fingertip-Size Optical Module, "Optical I/O Core", and Its Application in FPGA 査読

Takahiro Nakamura, Kenichiro Yashiki, Kenji Mizutani, Takaaki Nedachi, Junichi Fujikata, Masatoshi Tokushima, Jun Ushida, Masataka Noguchi, Daisuke Okamoto, Yasuyuki Suzuki, Takanori Shimizu, Koichi Takemura, Akio Ukita, Yasuhiro Ibusuki, Mitsuru Kurihara, Keizo Kinoshita, Tsuyoshi Horikawa, Hiroshi Yamaguchi, Junichi Tsuchida, Yasuhiko Hagihara, Kazuhiko Kurata

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E102C ( 4 )   333 - 339   2019年4月

Siフォトニクス技術を用いた超小型光トランシーバ『光I/Oコア』の開発 査読

藏田和彦, 木下啓藏, 栗原充, 萩原靖彦, 屋敷健一郎, 岡本大典, 清水隆徳, 竹村浩一, 徳島正敏, 堀川剛

エレクトロニクス実装学会誌   22 ( 6 )   551 - 558   2019年

Silicon photonics based 16O-WDM demultiplexers for operating in C-band and O-band spectral regimes

Seok Hwan Jeong, Yosuke Onawa, Daisuke Shimura, Hideaki Okayama, Tsuyoshi Aoki, Hiroki Yaegashi, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura

IET Conference Publications   2019 ( CP765 )   2019年

A 300-mm-wafer silicon photonics technology for advanced information systems 査読

Koji Yamada, Guangwei Cong, Makoto Okano, Yuriko Maegami, Morifumi. Ohno, Keijiro Suzuki, Satoshi Suda, Ryotaro Konoike, Kazuhiro Ikeda, Hitoshi Kawashima, Tsuyoshi Horikawa, Shu Namiki, Masahiko Mori, Shota Kita, Kengo Nozaki, Akihiko Shinya, Masaya Notomi

2019 2ND INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON DEVICES, CIRCUITS AND SYSTEMS (ISDCS 2019)   2019年

Post-Integrated Dual-Core Large-End Spot-Size Converter With Si Vertical Taper for Fiber Butt-Coupling to Si-Photonics Chip 査読

Tokushima Masatoshi, Kawashima Hitoshi, Horikawa Tsuyoshi, Kurata Kazuhiko

JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY   36 ( 20 )   4783 - 4791   2018年10月

1.2 Tbps/cm(2) Enabling Silicon Photonics IC Technology Based on 40-nm Generation Platform 査読

Mogami Tohru, Horikawa Tsuyoshi, Kinoshita Keizo, Hagihara Yasuhiko, Ushida Jun, Tokushima Masatoshi, Fujikata Junichi, Takahashi Shigeki, Shimizu Takanori, Ukita Akio, Takemura Koichi, Kurihara Mitsuru, Yashiki Kenichiro, Okamoto Daisuke, Suzuki Yasuyuki, Sobu Yohei, Jeong Seok-Hwan, Tanaka Yu, Nakamura Takahiro, Kurata Kazuhiko

JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY   36 ( 20 )   4701 - 4712   2018年10月

Study on the effects of the Si capping layer growth conditions on the leakage current of Ge photodetector 査読

Okumura Shigekazu, Kinoshita Keizo, Fujikata Junichi, Simoyama Takasi, Ono Hideki, Tanaka Yu, Morito Ken, Horikawa Tsuyoshi, Mogami Tohru

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 10 )   2017年10月

A 300-mm-wafer silicon photonics technology for ultra-low energy optical network systems

Koji Yamada, Tsuyoshi Horikawa, Makoto Okano, Guangwei Cong, Yuriko Maegami, Morifumi Ohno, Noritsugu Yamamoto, Keijiro Suzuki, Ken Tanizawa, Satoshi Suda, Hiroyuki Matsuura, Keiji Koshino, Nobuyuki Yokoyama, Minoru Ohtsuka, Miyoshi Seki, Kazuyuki Matsumaro, Toshihiro Narushima, Kazuhiro Ikeda, Hitoshi Kawashima, Shu Namiki, Masahiko Mori

2017 ASIA COMMUNICATIONS AND PHOTONICS CONFERENCE (ACP)   2017年

Hydrogenated amorphous silicon waveguide with vertical pin structure for infrared detection 査読

Y. Maegami, R. Takei, G. Cong, M. Ohno, M. Okano, T. Horikawa, K. Yamada, T. Kamei

Electronics Letters   52 ( 20 )   1705 - 1707   2016年9月

High-speed and high-efficiency Si optical modulator with MOS junction, using solid-phase crystallization of polycrystalline silicon

Junichi Fujikata, Masashi Takahashi, Shigeki Takahashi, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 4 )   2016年4月

High-performance optical waveguide devices using 300mm Si photonics platform 査読

Mogami T, Horikawa T, Kinoshita K, Sasaki H, Morito K, Kurata K

Microelectronic Engineering   156   55 - 58   2016年4月

First Demonstration of Athermal Silicon Optical Interposers With Quantum Dot Lasers Operating up to 125 degrees C 査読

Yutaka Urino, Nobuaki Hatori, Kenji Mizutani, Tatsuya Usuki, Junichi Fujikata, Koji Yamada, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY   33 ( 6 )   1223 - 1229   2015年3月

Electrical characterization of 3C-SiC lateral MOSFETs fabricated on heteroepitaxial films including high density of defects 査読

Yukimune Watanabe, Noriyasu Kawana, Tsuyoshi Horikawa, Kiichi Kamimura

Materials Science Forum   821-823   733 - 736   2015年

Athermal silicon optical interposers operating up to 125 degrees C 査読

Yutaka Urino, Nobuaki Hatori, Kenji Mizutani, Tatsuya Usuki, Junichi Fujikata, Koji Yamada, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

NEXT-GENERATION OPTICAL NETWORKS FOR DATA CENTERS AND SHORT-REACH LINKS II   9390   2015年

Ultra-fine Si photonics fabrication technology based on 40-nm-node CMOS process 査読

Tsuyoshi Horikawa, Tohru Mogami

2015 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICS (GFP)   201 - 202   2015年

A 300mm Si Photonics Platform for Optical Interconnection 査読

Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita, Hironori Sasaki, Ken Morito, Kazuhiko Kurata

2015 IEEE International Interconnect Technology Conference and 2015 IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (IITC/MAM)   273 - 275   2015年

A 300mm Si Photonics Platform for Multi-applications 査読

Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita, Hironori Sasaki, Ken Morito, Kazuhiko Kurata

2015 OPTO-ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS CONFERENCE (OECC)   2015年

Process Control and Monitoring in Device Fabrication for Optical Interconnection using Silicon Photonics Technology 査読

Tsuyoshi Horikawa, Daisuke Shimura, Seok-Hwan Jeong, Masatoshi Tokushima, Keizo Kinoshita, Tohru Mogami

2015 IEEE International Interconnect Technology Conference and 2015 IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (IITC/MAM)   277 - 279   2015年

Athermal silicon optical interposers with quantum dot lasers operating from 25 to 125 degrees C 査読

Y. Urino, N. Hatori, T. Akagawa, T. Shimizu, M. Okano, M. Ishizaka, T. Yamamoto, H. Okayama, Y. Onawa, H. Takahashi, D. Shimura, H. Yaegashi, H. Nishi, H. Fukuda, K. Yamada, M. Miura, J. Fujikata, S. Akiyama, T. Baba, T. Usuki, Y. Noguchi, M. Noguchi, M. Imai, N. Hirayama, S. Saitou, M. Yamagishi, M. Takahashi, E. Saito, D. Okamoto, M. Mori, T. Horikawa, T. Nakamura, Y. Arakawa

ELECTRONICS LETTERS   50 ( 19 )   1377 - +   2014年9月

Si-nanowire-based multistage delayed Mach-Zehnder interferometer optical MUX/DeMUX fabricated by an ArF-immersion lithography process on a 300 mm SOI wafer 査読

Seok-Hwan Jeong, Daisuke Shimura, Takasi Simoyama, Tsuyoshi Horikawa, Yu Tanaka, Ken Morito

OPTICS LETTERS   39 ( 13 )   3702 - 3705   2014年7月

High-density and wide-bandwidth optical interconnects with silicon optical interposers [Invited] 査読

Yutaka Urino, Tatsuya Usuki, Junichi Fujikata, Masashige Ishizaka, Koji Yamada, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

PHOTONICS RESEARCH   2 ( 3 )   A1 - A7   2014年6月

Growth mechanisms of 3C-SiC layer by carbonization of Si(100) substrates in high-vacuum region 査読

Yukimune Watanabe, Tsuyoshi Horikawa, Kiichi Kamimura

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   53 ( 4 )   2014年4月

High-density optical interconnects by using silicon photonics 査読

Yutaka Urino, Tatsuya Usuki, Junichi Fujikata, Masashige Ishizaka, Koji Yamada, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

NEXT-GENERATION OPTICAL NETWORKS FOR DATA CENTERS AND SHORT-REACH LINKS   9010   2014年

First demonstration of athermal silicon optical interposers with quantum dot lasers operating up to 125 °c 査読

Yutaka Urino, Nobuaki Hatori, Kenji Mizutani, Tatsuya Usuki, Junichi Fujikata, Koji Yamada, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

Journal of Lightwave Technology   33 ( 6 )   1223 - 1229   2014年

The influence of the carbonization mechanisms on the crystalline quality of the carbonization layer for heteroepitaxial growth of 3C-SiC 査読

Yukimune Watanabe, Tsuyoshi Horikawa, Kiichi Kamimura

SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2013, PTS 1 AND 2   778-780   230 - +   2014年

Observation of Suppressed dark current of Ge on Si (100) using ultrathin Ge seed layer 査読

Shigekazu Okumura, Takasi Simoyama, Hideki Ono, Masaki Okuno, Makoto Miura, Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Yu Tanaka, Ken Morito

2014 7TH INTERNATIONAL SILICON-GERMANIUM TECHNOLOGY AND DEVICE MEETING (ISTDM)   89 - 90   2014年

High precision Si waveguide devices designed for 1.31 mu m and 1.55 mu m wavelengths on 300mm-SOI 査読

Daisuke Shimura, Tsuyoshi Horikawa, Hideaki Okayama, Seok-Hwan Jeong, Masatoshi Tokushima, Hironori Sasaki, Tohru Mogami

2014 IEEE 11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICS (GFP)   2014年

Low-loss, flat-topped and spectrally uniform silicon-nanowire-based 5th-order CROW fabricated by ArF-immersion lithography process on a 300-mm SOI wafer 査読

Seok-Hwan Jeong, Daisuke Shimura, Takasi Simoyama, Miyoshi Seki, Nobuyuki Yokoyama, Minoru Ohtsuka, Keiji Koshino, Tsuyoshi Horikawa, Yu Tanaka, Ken Morito

OPTICS EXPRESS   21 ( 25 )   30163 - 30174   2013年12月

High-density optical interposers fully integrated with silicon photonics 招待

Y. Urino, Y. Urino, J. Fujikata, J. Fujikata, T. Usuki, T. Usuki, M. Ishizaka, M. Ishizaka, K. Yamada, K. Yamada, T. Horikawa, T. Horikawa, T. Nakamura, T. Nakamura, Y. Arakawa, Y. Arakawa

2013 18th OptoElectronics and Communications Conference Held Jointly with 2013 International Conference on Photonics in Switching, OECC/PS 2013   2013年10月

Differential receivers with highly-uniform MSM Germanium photodetectors capped by SiGe layer 査読

Makoto Miura, Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Daisuke Okamoto, Tsuyoshi Horikawa, Yasuhiko Arakawa

Optics Express   21 ( 20 )   23295 - 23306   2013年10月

Si wire array waveguide grating with stray light reduction scheme fabricated by ArF excimer immersion lithography 査読

H. Okayama, D. Shimura, Y. Onawa, H. Takahashi, M. Seki, K. Koshino, N. Yokoyama, M. Oshtsuka, T. Tsuchizawa, H. Nishi, K. Yamada, H. Yaegashi, T. Horikawa, H. Sasaki

ELECTRONICS LETTERS   49 ( 22 )   1401 - 1402   2013年10月

50-Gb/s ring-resonator-based silicon modulator 査読

Takeshi Baba, Suguru Akiyama, Masahiko Imai, Naoki Hirayama, Hiroyuki Takahashi, Yoshiji Noguchi, Tsuyoshi Horikawa, Tatsuya Usuki

OPTICS EXPRESS   21 ( 10 )   11869 - 11876   2013年5月

Si waveguide-integrated metal-semiconductor-metal and p-i-n-Type ge photodiodes using si-capping layer 査読

Junichi Fujikata, Makoto Miura, Masataka Noguchi, Daisuke Okamoto, Tsuyoshi Horikawa, Yasuhiko Arakawa

Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 4 )   2013年4月

Si wire array waveguide grating with parallel star coupler configuration fabricated by ArF excimer immersion lithography 査読

H. Okayama, D. Shimura, H. Takahashi, M. Seki, M. Toyama, T. Sano, K. Koshino, N. Yokoyama, M. Ohtsuka, A. Sugiyama, S. Ishitsuka, T. Tsuchizawa, H. Nishi, K. Yamada, H. Yaegashi, T. Horikawa, H. Sasaki

Electronics Letters   49 ( 6 )   422 - 424   2013年3月

Compact PIN-diode-based silicon modulator using side-wall-grating waveguide 査読

Suguru Akiyama, Masahiko Imai, Takeshi Baba, Takeshi Akagawa, Naoki Hirayama, Yoshiji Noguchi, Miyoshi Seki, Keiji Koshino, Munehiro Toyama, Tsuyoshi Horikawa, Tatsuya Usuki

IEEE Journal on Selected Topics in Quantum Electronics   19 ( 6 )   2013年

Study of carbonization process on surface of Si substrate in high vacuum region with hydrocarbon gas 査読

Yukimune Watanabe, Keisuke Shinoda, Masahiro Tsukahara, Hiroyuki Shimada, Masahiro Furusawa, Tsuyoshi Horikawa, Kiichi Kamimura

Materials Science Forum   740-742   161 - 164   2013年

Demonstration of 12.5-Gbps optical interconnects integrated with lasers, optical splitters, optical modulators and photodetectors on a single silicon substrate 査読

Yutaka Urino, Yoshiji Noguchi, Masataka Noguchi, Masahiko Imai, Masashi Yamagishi, Shigeru Saitou, Naoki Hirayama, Masashi Takahashi, Hiroyuki Takahashi, Emiko Saito, Makoto Okano, Takanori Shimizu, Nobuaki Hatori, Masashige Ishizaka, Tsuyoshi Yamamoto, Takeshi Baba, Takeshi Akagawa, Suguru Akiyama, Tatsuya Usuki, Daisuke Okamoto, Makoto Miura, Junichi Fujikata, Daisuke Shimura, Hideaki Okayama, Hiroki Yaegashi, Tai Tsuchizawa, Koji Yamada, Masahiko Mori, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

OPTICS EXPRESS   20 ( 26 )   B256 - B263   2012年12月

Mach-Zehnder filter using multiple Si waveguide structure sections for width error tolerance 査読

H. Okayama, D. Shimura, H. Takahashi, M. Seki, M. Toyama, T. Sano, H. Yaegashi, T. Horikawa, H. Sasaki

ELECTRONICS LETTERS   48 ( 14 )   869 - U96   2012年7月

Dual-tapered 10-μm-spot-size converter with double core for coupling polarization-independent silicon rib waveguides to single-mode optical fibers 査読

Masatoshi Tokushima, Akio Kamei, Tsuyoshi Horikawa

Applied Physics Express   5 ( 2 )   2012年2月

12.5-Gb/s operation with 0.29-V.cm V pi L using silicon Mach-Zehnder modulator based-on forward-biased pin diode 査読

Suguru Akiyama, Takeshi Baba, Masahiko Imai, Takeshi Akagawa, Masashi Takahashi, Naoki Hirayama, Hiroyuki Takahashi, Yoshiji Noguchi, Hideaki Okayama, Tsuyoshi Horikawa, Tatsuya Usuki

OPTICS EXPRESS   20 ( 3 )   2911 - 2923   2012年1月

Abrupt Lateral-Source Heterostructures with Relaxed/Strained Layers for Ballistic Complementary Metal Oxide Semiconductor Transistors Fabricated by Local O+ Ion-Induced Relaxation Technique of Strained Substrates 査読

Tomohisa Mizuno, Mitsuo Hasegawa, Keiji Ikeda, Masashi Nojiri, Tsuyoshi Horikawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 4 )   2011年4月

SiO2/Si interfaces on high-index surfaces: Re-evaluation of trap densities and characterization of bonding structures 査読

Shoichi Ogata, Shinya Ohno, Masatoshi Tanaka, Takahiro Mori, Tsuyoshi Horikawa, Tetsuji Yasuda

APPLIED PHYSICS LETTERS   98 ( 9 )   2011年2月

Vacuum-ultraviolet reflectance difference spectroscopy for characterizing dielectrics-semiconductor interfaces 査読

Shoichi Ogata, Shinya Ohno, Masatoshi Tanaka, Takahiro Mori, Tsuyoshi Horikawa, Tetsuji Yasuda

THIN SOLID FILMS   519 ( 9 )   2830 - 2833   2011年2月

Reflectance Difference Spectroscopy in Vacuum-Ultraviolet Range: Developing Measurement System and Applying to Characterization of SiO2/Si Interfaces 査読

Shoichi Ogata, Shinya Ohno, Masatoshi Tanaka, Tsuyoshi Horikawa, Tetsuji Yasuda

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 2 )   2010年

Reliability perspective of high-k gate stack assessed by temperature dependence of dielectric breakdown 査読

Kenji Okada, Tsuyoshi Horikawa, Hideki Satake, Seiji Inumiya, Yasushi Akasaka, Fumio Ootsuka, Yasuo Nara, Hiroyuki Ota, Toshihide Nabatame, Akira Toriumi

2007 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS   34 - +   2007年

Roles of predominant and subordinate carriers in breakdown mechanism of high-k gate dielectrics studied with HfAlOx/SiO2 stacks

Kenji Okada, Hiroyuki Ota, Arito Ogawa, Wataru Mizubayashi, Tsuyoshi Horikawa, Hideki Satake, Toshihide Nabatame, Akira Toriumi, Akira Toriumi

ECS Transactions   1   179 - 189   2005年12月

Two-dimensional void growth during thermal decomposition of thin HfO2 films on Si 査読

Noriyuki Miyata, Yukinori Morita, Tsuyoshi Horikawa, Toshihide Nabatame, Masakazu Ichikawa, Akira Toriumi

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics   71 ( 23 )   2005年6月

Advantages of HfAlON gate dielectric film for advanced low power CMOS application 査読

A Toriumi, K Iwamoto, H Ota, M Kadoshima, W Mizubayashi, T Nabatame, A Ogawa, K Tominaga, T Horikawa, H Satake

MICROELECTRONIC ENGINEERING   80 ( SUPPL. )   190 - 197   2005年6月

Nanometer-scale crystallization of thin HfO2 films studied by HF-chemical etching 査読

S Fujii, N Miyata, S Migita, T Horikawa, A Toriumi

APPLIED PHYSICS LETTERS   86 ( 21 )   1 - 3   2005年5月

Degradation mechanism of HfAlOX/SiO2 stacked gate dielectrics studied by transient and steady-state leakage current analysis 査読

K Okada, W Mizubayashi, N Yasuda, H Ota, K Tominaga, K Iwamoto, T Horikawa, K Yamamoto, H Hisamatsu, H Satake, T Nabatame, A Toriumi

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   97 ( 7 )   2005年4月

Importance of Leakage Current Noise Analysis for Accurate Lifetime Prediction of High-k Gate Dielectrics

Kenji OKADA, Hiroyuki OTA, Tsuyoshi HORIKAWA, Yasuyuki TAMURA, Takaoki SASAKI, Tomonori AOYAMA, Fumio OOTSUKA, Akira TORIUM

2005年

Effect of the interfacial SiO2 layer thickness on the dominant carrier type in leakage currents through HfAlOx/SiO2 gate dielectric films 査読

W Mizubayashi, N Yasuda, H Hisamatsu, K Iwamoto, K Tominaga, K Yamamoto, H Ota, T Horikawa, T Nabatame, A Toriumi

APPLIED PHYSICS LETTERS   85 ( 25 )   6227 - 6229   2004年12月

Roles of nitrogen incorporation in HfAlOx(N) gate dielectrics for suppression of boron penetration 査読

T Nabatame, K Iwamoto, K Yamamoto, K Tominaga, H Hisamatsu, M Ohno, K Akiyama, M Ikeda, T Nishimura, H Ota, T Horikawa, A Toriumi

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   22 ( 4 )   2128 - 2131   2004年7月

Decomposition of SiN interlayer during thermal annealing of HfAlOx/SiN/Si(001) structure 査読

M Kundu, N Miyata, Y Morita, T Horikawa, T Nabatame, M Ichikawa, A Toriumi

APPLIED PHYSICS LETTERS   84 ( 26 )   5326 - 5328   2004年6月

Flat-band Voltage Tunability and No Depletion Effect of Poly-Si Gate CMOS with Nanometer-size Metal Dots at the Poly-Si/Dielectric Interface

Hideaki Fujiwara, Masaru Kadoshima, Koji Akiyama, Nobuyuki Mise, Shinji Migita, Hiroyuki Ota, Morifumi Ohno, Toshihide Nabatame, Tsuyoshi Horikawa, Akira Torium

2004年

Study of HfAlOx films deposited by layer-by-layer growth for CMOS high-k gate dielectrics 査読

A Toriumi, T Nabatame, T Horikawa

FUNDAMENTALS OF NOVEL OXIDE/SEMICONDUCTOR INTERFACES   786   135 - 145   2004年

Comparative Studies on Oxygen Diffusion Coefficients for Amorphous and γ-al2o3 Films using 18O Isotope

Toshihide Nabatame, Tetsuji Yasuda, Masayasu Nishizawa, Minoru Ikeda, Tsuyoshi Horikawa, Akira Toriumi, Akira Toriumi

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers   42 ( 12 )   7205 - 7208   2003年12月

Void nucleation in thin HfO2 layer on Si 査読

N Miyata, T Nabatame, T Horikawa, M Ichikawa, A Toriumi

APPLIED PHYSICS LETTERS   82 ( 22 )   3880 - 3882   2003年6月

Effect of Al2O3 capping layer on suppression of interfacial SiO2 growth in HfO2/ultrathin SiO2/Si(001) structure 査読

M Kundu, N Miyata, T Nabatame, T Horikawa, M Ichikawa, A Toriumi

APPLIED PHYSICS LETTERS   82 ( 20 )   3442 - 3444   2003年5月

Thermal stability of a thin HfO2/ultrathin SiO2/Si structure: Interfacial Si oxidation and silicidation

N Miyata, M Ichikawa, T Nabatame, T Horikawa, A Toriumi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS   42 ( 2B )   L138 - L140   2003年2月

Etching yields of HfO2 under Ar+ and CFX+ (X = 1, 2, 3) ion beam irradiation

Kazuhiro Karahashi, Nobuhisa Yamagishi, Tsuyoshi Horikawa, Akira Torium

2003年

Improved fabrication process for Ru/BST/Ru capacitor by liquid source chemical vapor deposition 査読

M Tarutani, M Yamamuka, T Takenaga, T Kuroiwa, T Horikawa

THIN SOLID FILMS   409 ( 1 )   8 - 14   2002年4月

Surface reaction mechanisms in the chemical vapor deposition of (Ba,Sr)TiO3 films

M. Yamamuka, T. Kawahara, M. Tarutani, T. Horikawa, T. Oomori, T. Shibano

Materials Research Society Symposium - Proceedings   2001年12月

Measurement of atomic incorporation rates and modeling of surface reactions in (Ba, Sr)TiO3 films prepared by a liquid source chemical vapor deposition

M Yamamuka, T Kawahara, M Tarutani, T Horikawa, T Shibano, T Oomori

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   40 ( 5A )   3435 - 3441   2001年5月

Conformal step coverage of (Ba,Sr)TiO3 films prepared by liquid source CVD using Ti(t-BuO)2(DPM)2

Takaaki Kawahara, Shigeru Matsuno, Mikio Yamamuka, Masayoshi Tarutani, Takehiko Sato, Tsuyoshi Horikawa, Fusaoki Uchikawa, Kouichi Ono, Kouichi Ono

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers   38 ( 4 )   2205 - 2209   1999年12月

Modeling of gas-phase and surface reactions in liquid-source chemical-vapor deposition of (Ba,Sr)TiO3 films

M Yamamuka, T Kawahara, M Tarutani, T Horikawa, T Oomori, K Ono

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   86 ( 2 )   1082 - 1089   1999年7月

Chemical vapor deposition technology of (Ba,Sr)TiO3 thin films for Gbit-scale dynamic random access memories 査読

T Horikawa, M Tarutani, T Kawahara, M Yamamuka, N Hirano, T Sato, S Matsuno, T Shibano, F Uchikawa, K Ono, T Oomori

FERROELECTRIC THIN FILMS VII   541   3 - 10   1999年

Effects of post-annealing on dielectric properties of (Ba, Sr)TiO3 thin films prepared by liquid source chemical vapor deposition

Tsuyoshi Horikawa, Junji Tanimura, Takaaki Kawahara, Mikio Yamamuka, Masayoshi Tarutani, Kouichi Ono

IEICE Transactions on Electronics   E81-C   497 - 503   1998年12月

Effects of post-annealing on dielectric properties of (Ba, Sr)TiO3 thin films prepared by liquid source chemical vapor deposition 査読

T Horikawa, J Tanimura, T Kawahara, M Yamamuka, M Tarutani, K Ono

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E81C ( 4 )   497 - 504   1998年4月

Mechanisms of x-ray radiation-induced damage in (Ba,Sr)TiO3 capacitors

M Tarutani, M Suita, T Horikawa, J Tanimura, T Kawahara, M Yamamura, H Sumitani, K Ono

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   37 ( 3B )   1328 - 1331   1998年3月

Step coverage and electrical properties of (Ba,Sr)TiO3 films prepared by liquid source chemical vapor deposition 査読

T Kawahara, M Yamamuka, M Tarutani, T Horikawa, K Ono

DIELECTRIC MATERIAL INTEGRATION FOR MICROELECTRONICS   98 ( 3 )   190 - 195   1998年

Effects of post-annealing on dielectric properties of (Ba, Sr)TiO3 thin films prepared by liquid source CVD

T Horikawa, T Kawahara, M Yamamuka, K Ono

INTEGRATED FERROELECTRICS   20 ( 1-4 )   249 - 250   1998年

Effects of post-annealing on dielectric properties of (Ba, Sr)TiO3 thin films prepared by liquid source CVD 査読

T Horikawa, T Kawahara, M Yamamuka, K Ono

INTEGRATED FERROELECTRICS   20 ( 1-4 )   249 - 250   1998年

Influence of buffer layers and barrier metals on properties of (Ba, Sr)TiO3 films prepared by liquid source chemical vapor deposition

T Kawahara, M Yamamuka, J Tanimura, M Tarutani, T Kuroiwa, T Horikawa, K Ono

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   36 ( 9B )   5874 - 5878   1997年9月

Novel stacked capacitor technology for 1-Gbit DRAMs with (Ba,Sr)TiO3 thin films 査読

T Horikawa, A Yuuki, T Shibano, T Kawahara, T Makita, T Kuroiwa, M Yamamuka, T Oomori, N Mikami, K Ono

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN PART II-ELECTRONICS   80 ( 5 )   70 - 78   1997年5月

A mass spectrometric study of reaction mechanisms in chemical vapor deposition of (Ba, Sr)TiO3 films

M Yamamuka, T Kawahara, T Horikawa, K Ono

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   36 ( 4B )   2555 - 2560   1997年4月

(Ba,Sr)TiO3 capacitor technology for Gbit-scale DRAMs 査読

N Mikami, T Kawahara, T Horikawa, M Yamamuka, T Makita, T Kuroiwa, A Yuuki, T Shibano, T Oomori, K Ono, S Satoh, H Abe

JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   29   S598 - S602   1996年11月

Integration of BaxSr1-xTiO3 thin film for DRAM application 査読

K Kashihara, T Okudaira, Y Tsunemine, Y Ohno, H Itoh, T Nishimura, M Hirayama, T Horikawa, T Shibano, K Horie

MICROELECTRONIC DEVICE AND MULTILEVEL INTERCONNECTION TECHNOLOGY   2636   134 - 142   1995年

Integration of BST thin film for DRAM fabrication 査読

H Itoh, K Kashihara, T Okudaira, Y Tsunemine, Y Ohno, T Nishimura, T Horikawa, T Shibano

INTEGRATED FERROELECTRICS   11 ( 1-4 )   101 - 109   1995年

(BA0.75SR0.25) TIO3 FILMS FOR 256-MBIT DRAM

T HORIKAWA, N MIKAMI, H ITO, Y OHNO, T MAKITA, K SATO

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E77C ( 3 )   385 - 391   1994年3月

Dielectric properties of (BaxSr1–x)TiO3 thin films prepared by rf sputtering for dynamic random access memory application

Takeharu Kuroiwa, Yoshikazu Tsunemine, Tsuyoshi Horikawa, Tetsuro Makita, Jyunji Tanimura, Noboru Mikami, Kazunao Sato

Japanese Journal of Applied Physics   33 ( 9 S )   5187 - 5191   1994年

Edge enhancement recording with ferroelectric liquid crystal spatial light modulator using si02/a-si:H photosensor 査読

Hajime Nakajima, Masahiro Shikai, Shin Tahata, Tsuyoshi Horikawa, Tatsuo Masumi

Ferroelectrics   149 ( 1 )   207 - 215   1993年

ELECTRICAL-PROPERTIES AND FILM STRUCTURES OF (BAXSR1-X)TIO3 THIN-FILMS BY RF-SPUTTERING 査読

T MAKITA, T HORIKAWA, H KUROKI, M KATAOKA, J TANIMURA, N MIKAMI, K SATO, M NUNOSHITA

AMORPHOUS INSULATING THIN FILMS   284   529 - 534   1993年

Uniformly aligned ferroelectric liquid crystal cell applied to a light valve 査読

Shin Tahata, Tatsuo Masumi, Shigeyuki Kaho, Masaya Mizunuma, Tsuyoshi Horikawa, Hajime Nakajima, Kazuro Nishi

Molecular Crystals and Liquid Crystals Science and Technology. Section A. Molecular Crystals and Liquid Crystals   222 ( 1 )   189 - 194   1992年1月

UNIFORMLY ALIGNED FERROELECTRIC LIQUID-CRYSTAL CELL APPLIED TO A LIGHT VALVE 査読

S TAHATA, T MASUMI, S KAHO, M MIZUNUMA, T HORIKAWA, H NAKAJIMA, K NISHI

MOLECULAR CRYSTALS AND LIQUID CRYSTALS   223 ( 1 )   189 - 194   1992年

FERROELECTRIC LIQUID-CRYSTAL LIGHT VALVE USING SIO2 A-SI-H PHOTODIODE 査読

T HORIKAWA, S TAHATA, S KAHO, T MASUMI, N MIKAMI, K TAKAHASHI, M NUNOSHITA, H NAKAJIMA, K NISHI

AMORPHOUS SILICON TECHNOLOGY - 1991   219   203 - 208   1991年

HIGH-RESOLUTION DISPLAY USING A LASER ADDRESSED FERROELECTRIC LIQUID-CRYSTAL LIGHT VALVE 査読

H NAKAJIMA, J KISAKI, S TAHATA, T HORIKAWA, K NISHI

LARGE-SCREEN-PROJECTION, AVIONIC, AND HELMET-MOUNTED DISPLAYS   1456   29 - 39   1991年

GENERAL GRAPH-THEORETICAL FORMULA FOR THE LONDON SUSCEPTIBILITY OF A CYCLIC CONJUGATED SYSTEM WITH HIGHLY DEGENERATE ORBITALS 査読

J AIHARA, T HORIKAWA

CHEMICAL PHYSICS LETTERS   95 ( 6 )   561 - 563   1983年

GRAPH-THEORETICAL FORMULA FOR RING CURRENTS INDUCED IN A POLYCYCLIC CONJUGATED SYSTEM 査読

J AIHARA, T HORIKAWA

BULLETIN OF THE CHEMICAL SOCIETY OF JAPAN   56 ( 6 )   1853 - 1854   1983年

CONTRIBUTION OF QUADRUPLY DEGENERATE PI-ELECTRON ORBITALS TO LONDON SUSCEPTIBILITY 査読

T HORIKAWA, J AIHARA

BULLETIN OF THE CHEMICAL SOCIETY OF JAPAN   56 ( 5 )   1547 - 1548   1983年

新LSI技術体系 MIRAIの挑戦

鳥海 明, 生田目 俊秀, 堀川 剛

日経マイクロデバイス   2002 ( 12 )   163 - 170   2002年12月

半導体デバイス : 微細化を越えて機能融合へ

高田裕, 堀川剛

三菱電機技報   75(1)   2001年1月

2000最新半導体プロセス技術 Technology & Equipment 第1編 第2章 0.13μm時代の新材料/新プロセス技術 高誘電体導入を狙うキャパシタ形成プロセス

柏原慶一朗, 常峰美和, 油谷明栄, 奥平智仁, 藤田靖, 堀川剛, 芝野照夫, 大森達夫, 犬石昌秀

月刊Semiconductor World   18 ( 13 )   58 - 64   1999年11月

ギガDRAM対応BST集積化技術 サイドウォール利用で凝似立体Pt電極を

柏原慶一朗, 油谷明栄, 奥平智仁, 藤田靖, 伊藤博巳, 堀川剛, 芝野照夫, 大森達夫, 斧高一

月刊Semiconductor World   18 ( 4 )   58 - 63   1999年4月

材料・分析技術の応用と展開 溶液気化CVD法による次世代メモリ用BSTキャパシタ膜

松野繁, 堀川剛, 佐藤剛彦, 川原孝昭, 内川英興

三菱電機技報   73 ( 2 )   116 - 119   1999年2月

スパッタリング法により作製した（ＢａｘＳｒ１－ｘ）ＴｉＯ３薄膜の誘電特性 招待

堀川 剛

表面科学   17 ( 11 )   660 - 665   1996年11月

半導体 X線転写によるRu/BST/Ruスタックキャパシタを持つIGビットDRAMセル

西岡康隆, 堀川剛, 炭谷博昭, 芝野照夫, 結城照正, 木村良佳

三菱電機技報   70 ( 3 )   322 - 326   1996年3月

DRAM用(Ba,Sr)TiO₃キャパシタ膜 高誘電率酸化物研究開発の最前線

三上登, 堀川剛, 蒔田哲郎, 常峰美和, 黒岩丈晴, 難波敬典

NSMF News (New Supercond Mater Forum)   1994年10月

256MDRAMセル向けに高誘電率膜の薄膜と低リークを両立 招待

栄森 貴尚, 大野 吉和, 伊藤 博巳, 西村 正, 堀川 剛, 芝野 照夫, 佐藤 一直, 難波 敬典

日経マイクロデバイス   1994 ( 2 )   99 - 103   1994年2月

Low-loss amorphous-Si Strip-Loaded Thin Film Lithium Niobate on Insulator Waveguides with Compact Bending Radius

Moataz Eissa, Yoshitaka Ohiso, Kensuke Ogawa, Yuki Nomoto, Tsuyoshi Horikawa, Shoichiro Yamaguchi, Masahiko Namerikawa, Nobuhiko Nishiyama

2025 30TH OPTOELECTRONICS AND COMMUNICATIONS CONFERENCE, OECC AND 2025 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHOTONICS IN SWITCHING AND COMPUTING, PSC  2025年 

Coupling structure for enabling both wafer- and chip-level characterization of silicon photonic integrated circuits

Moataz Eissa, Ryuya Sasaki, Tsuyoshi Horikawa, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama

2024 IEEE SILICON PHOTONICS CONFERENCE, SIPHOTONICS  2024年 

Extraction of Reflection Coefficient in Silicon Waveguides using Multiple Reflection Signals in OFDR

Tsuyoshi Horikawa, Atsushi Kitamura, Masanori Yatani, Nobuhiko Nishiyama

CLEO: Applications and Technology, CLEO: A and T 2024 in Proceedings CLEO 2024 - Part of Conference on Lasers and Electro-Optics  2024年 

Monolithic integration of various-type III-V epitaxial structures on silicon-photonics platform using chip-on-wafer hydrophilic bonding process

Takehiko Kikuchi, Munetaka Kurokawa, Naoki Fujiwara, Naoko Inoue, Takuya Mitarai, Hidenari Fujikata, Takuo Hiratani, Toshiyuki Nitta, Yuhki Itoh, Tohma Watanabe, Chang-Yong Lee, Akira Furuya, Tsuyoshi Horikawa, Nobuhiko Nishiyama, Hideki Yagi

2024 IEEE SILICON PHOTONICS CONFERENCE, SIPHOTONICS  2024年 

Precise waveguide loss extraction using 300-mm wafer-level OFDR for optical process control monitoring

Tsuyoshi Horikawa, Atsushi Kitamura, Masanori Yatani, Nobuhiko Nishiyama

2024 IEEE SILICON PHOTONICS CONFERENCE, SIPHOTONICS  2024年 

Peak Frequency Control of Photon-Photon Resonance GaInAsP Membrane DR Lasers on Si with Rear-Side Spacer Waveguide

N. Takahashi, S. Yoshida, Y. Oiso, T. Horikawa, K. Tsutsui, K. Nishimura, S. Nimura, H. Takahashi, M. Suzuki, N. Nishiyama

Conference Digest - IEEE International Semiconductor Laser Conference  2024年 

Formulation for multiple reflection in silicon waveguide observed in OFDR depth profile

Tsuyoshi Horikawa, Atsushi Kitamura, Masanori Yatani, Nobuhiko Nishiyama

2024 IEEE PHOTONICS CONFERENCE, IPC 2024  2024年 

OFDR法を用いたウェーハレベル光集積デバイス特性検査-細線導波路伝搬損失の高精度評価-

堀川剛, 北村敦, 八谷将典, 西山伸彦, 西山伸彦, 西山伸彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2023年9月 

集積フォトニクスのエコシステムの状況と展望

堀川剛

電子情報通信学会技術研究報告(Web)  2023年8月 

Inverse Design of Low Back Reflection Grating Coupler

Yuduan Wang, Tsuyoshi Horikawa, Yoshitaka Ohiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama

JSAP-Optica Joint Symposia in Proceedings JSAP-Optica Joint Symposia 2023 Abstracts, JSAP 2023  2023年 

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のMMIにおける反射影響とOMA増強効果の発現に関する検討

村尾覚志, 堀川剛

電子情報通信学会技術研究報告(Web)  2023年 

導波路加工偏差モニタリングによる方向性結合器の分岐比ばらつき解析

堀川剛, 西山伸彦, 西山伸彦, 西山伸彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2023年 

UVナノインプリントリソグラフィを用いた大面積集積フォトニクスプロセスの開発

雨宮智宏, 岡田祥, 高橋直樹, 佐々木龍耶, 堀川剛, 渥美裕樹, 小田悠貴, 原悠太, 野田真司, 山本宏, UHRMANN Thomas, KNEIDINGER Andrea, 森莉紗子, 藤井恭, 浅井隆宏, 塩田大, 西山伸彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2023年 

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器における異常OMA増強効果の発現と構造の提案

村尾覚志, 堀川剛

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2023年 

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のMMI合分岐領域における反射による動的消光比への影響検討

村尾覚志, 堀川剛

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2023年 

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のデュアル駆動によるチャープ可変量の理論的検討

村尾覚志, 牛田淳, 高橋博之, 徳島正敏, 椎名明美, 堀川剛

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2022年 

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のアーム間不均衡によるチャープへの影響検討

村尾覚志, 牛田淳, 高橋博之, 徳島正敏, 椎名明美, 堀川剛

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2022年 

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のアーム間不均衡によるチャープへの影響の理論および実験的検討

村尾覚志, 村尾覚志, 牛田淳, 高橋博之, 徳島正敏, 椎名明美, 堀川剛

電子情報通信学会技術研究報告(Web)  2022年 

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器の個別アーム吸収損失測定手法に対するアーム間分岐比ずれの影響検討

村尾覚志, 牛田淳, 高橋博之, 徳島正敏, 椎名明美, 堀川剛

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2022年 

キャリア空乏型マッハ・ツェンダシリコン変調器における光位相シフタのコンパクトモデルの提案およびパラメータ抽出

村尾覚志, 牛田淳, 高橋博之, 徳島正敏, 椎名明美, 堀川剛

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2021年 

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のアーム間不均衡によるOMAペナルティの理論および実験的検討

村尾覚志, 牛田淳, 高橋博之, 徳島正敏, 椎名明美, 堀川剛

電子情報通信学会技術研究報告(Web)  2021年 

シリコン光変調器の消光比および位相シフタ吸収損失のウェーハレベル自動評価技術の開発

村尾覚志, 牛田淳, 高橋博之, 徳島正敏, 椎名明美, 堀川剛

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2021年 

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のアーム間不均衡によるOMAペナルティの評価

村尾覚志, 牛田淳, 高橋博之, 徳島正敏, 椎名明美, 堀川剛

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2021年 

Extraction of SOI thickness deviation based on resonant wavelength analysis for silicon photonics devices

Tsuyoshi Horikawa, Daisuke Shimura, Hiroyuki Takahashi, Jun Ushida, Yohei Sobu, Akemi Shiina, Masatoshi Tokushima, Seok Hwan Jeong, Keizo Kinoshita, Tohru Mogami

2017 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Unified Conference, S3S 2017  2018年3月 

300mmラインによるシリコンフォトニクス集積回路開発と今後の展望

最上徹, 堀川剛, 堀川剛

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2018年3月 

シリコンリング共振器のスペクトルを用いた導波路加工偏差解析

堀川剛, 堀川剛, 志村大輔, 高橋博之, 牛田淳, 蘇武洋平, 椎名明美, JEONG Seok‐Hwan, 徳島正敏, 木下啓藏, 最上徹

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2018年3月 

Spectral Variation Analysis of Integrated Silicon Photonics Devices by Using Optical Wafer Probing

Tsuyoshi Horikawa, Tohru Mogami

2018 INTERNATIONAL CONFERENCE ON IC DESIGN AND TECHNOLOGY (ICICDT 2018)  2018年 

Advanced devices and packaging of Si-photonics-based optical transceiver for optical interconnection 招待

K. Kurata, K. Yashiki, J. Fujikata, T. Horikawa, K. Kinoshita, J. Ushida, M. Tokushima, Y. Suzuki, D. Okamoto, S. Takahashi, A. Ukita, K. Takemura, Y. Ibusuki, T. Shimizu, M. Kurihara, Y. Hagihara, T. Mogami, T. Nakamura

2017 IEDM  2017年12月 

High-performance Si optical modulator with strained p-SiGe layer and its application to 25 Gbps optical transceiver

Junichi Fujikata, Keizo Kinoshita, Jaehoon Han, Tsuyoshi Horikawa, Shigeki Takahashi, Kenichiro Yashiki, Mitsuru Kurihara, Yasuhiko Hagihara, Mitsuru Takenaka, Takahiro Nakamura, Kazuhiko Kurata, Tohru Mogami

14th International Conference on Group IV Photonics, GFP 2017  2017年10月 

簡易構造横PIN型Ge受光器の高速動作特性

下山峰史, 木下啓藏, 堀川剛, 田中有, 最上徹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2017年8月 

シリコン導波路における光反射の解析

臼杵達哉, 蘇武洋平, JEONG Seok‐Hwan, 堀川剛

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2017年8月 

High-performance silicon photonics platform for low-power photonic integrated circuits

Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita

Proceedings of the 24th International Conference on Mixed Design of Integrated Circuits and Systems, MIXDES 2017  2017年8月 

High density optical and electrical interfaces for chip-scale silicon photonic receiver

Koichi Takemura, Yasuhiro Ibusuki, Akio Ukita, Mitsuru Kurihara, Keizo Kinoshita, Daisuke Okamoto, Junichi Fujikata, Kenichiro Yashiki, Yasuyuki Suzuki, Tsuyoshi Horikawa, Tohru Mogami, Kazuhiko Kurata

2017 International Conference on Electronics Packaging, ICEP 2017  2017年6月 

Cu/ポリイミド再配線を適用した12ch用光I/Oコア受信機

竹村浩一, 木下啓藏, 岡本大典, 浮田明生, 指宿康弘, 栗原充, 藤方潤一, 屋敷健一郎, 鈴木康之, 堀川剛, 最上徹, 蔵田和彦

エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM)  2017年3月 

シリコン導波路における光散乱の解析

臼杵達哉, 蘇武洋平, JEONG Seok‐Hwan, 堀川剛

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2017年3月 

高集積受信回路実現に向けた300mm径SOI基板上高性能面入射型Ge受光器の開発

藤方潤一, 木下啓藏, 堀川剛, 堀川剛, 竹村浩一, 岡本大典, 高橋重樹, 今井雅彦, 野口将高, 鈴木康之, 栗原充, 萩原靖彦, 中村隆宏, 蔵田和彦, 最上徹

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2017年3月 

A 300-mm-wafer silicon photonics technology for ultra-low energy optical network systems

Koji Yamada, Tsuyoshi Horikawa, Makoto Okano, Guangwei Cong, Yuriko Maegami, Morifumi Ohno, Noritsugu Yamamoto, Keijiro Suzuki, Ken Tanizawa, Satoshi Suda, Hiroyuki Matsuura, Keiji Koshino, Nobuyuki Yokoyama, Minoru Ohtsuka, Miyoshi Seki, Kazuyuki Matsumaro, Toshihiro Narushima, Kazuhiro Ikeda, Hitoshi Kawashima, Shu Namiki, Masahiko Mori

2017 ASIA COMMUNICATIONS AND PHOTONICS CONFERENCE (ACP)  2017年 

High-performance silicon photonics process platform for low-power photonic integrated circuits

Tohru Mogami, Suguru Akiyama, Takeshi Baba, Shigekazu Okumura, Junichi Fujikata, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita

2016 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2016  2016年9月 

シリコングレーティングカプラの波長特性ばらつきに及ぼす製造誤差の影響

堀川剛, 堀川剛, 牛田淳, 蘇武洋平, 志村大輔, 椎名明美, 徳島正敏, JEONG Seok‐Hwan, 木下啓藏, 最上徹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2016年9月 

Ultra-fme Si photonics fabrication technology based on 40-nm-node CMOS process

Tsuyoshi Horikawa, Tohru Mogami

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP  2015年10月  IEEE Computer Society

シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題 (Ⅳ) Ge受光器に向けた選択Ge/Siエピ成長技術開発

木下 啓藏, 奥村 滋一, 藤方 潤一, 堀川 剛, 最上 徹

応用物理学会学術講演会講演予稿集  2015年8月  公益社団法人 応用物理学会

選択成長Siキャップ層適用低暗電流Ge受光器の開発

奥村滋一, 木下啓藏, 藤方潤一, 下山峰史, 小野英輝, 田中有, 森戸健, 堀川剛, 最上徹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2015年8月 

シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題(III)低LER加工と表面清浄化による低損失導波路の形成

堀川剛, 志村大輔, JEONG Seok‐Hwan, 徳島正敏, 木下啓藏, 最上徹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2015年8月 

シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題(IV)Ge受光器に向けた選択Ge/Siエピ成長技術開発

木下啓藏, 奥村滋一, 藤方潤一, 堀川剛, 堀川剛, 最上徹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2015年8月 

CI-4-7 低損失・高精度シリコン光配線技術(CI-4.光配線・光実装技術の現状と展望,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画) 招待

堀川 剛, 最上 徹

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2015年8月 

シリコンフォトニクス技術を用いた光インターコネクション 招待

最上徹, 堀川剛

半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集  2015年7月 

シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題 (Ⅱ) 光機能素子の集積と実装

木下 啓藏, 堀川 剛, 奥村 滋一, 竹村 浩一, 清水 隆徳, 藤方 潤一, 最上 徹

応用物理学会学術講演会講演予稿集  2015年2月  公益社団法人 応用物理学会

シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題(II)光機能素子の集積と実装

木下啓藏, 堀川剛, 奥村滋一, 竹村浩一, 清水隆徳, 藤方潤一, 最上徹

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2015年2月 

Siの結晶異方性エッチングを利用したスポットサイズ変換器

宮村悟史, 小野英輝, 岡部豊, 太縄陽介, 八重樫浩樹, 堀川剛, 平山直紀, 佐々木浩紀

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2015年2月 

シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題(I)高精度加工及びプロセスモニタリング

堀川剛, 志村大輔, JEONG Seok‐Hwan, 徳島正敏, 木下啓藏, 最上徹

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2015年2月 

Ultra-fine Si photonics fabrication technology based on 40-nm-node CMOS process

Tsuyoshi Horikawa, Tohru Mogami

2015 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICS (GFP)  2015年 

Process Control and Monitoring in Device Fabrication for Optical Interconnection using Silicon Photonics Technology

Tsuyoshi Horikawa, Daisuke Shimura, Seok-Hwan Jeong, Masatoshi Tokushima, Keizo Kinoshita, Tohru Mogami

2015 IEEE International Interconnect Technology Conference and 2015 IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (IITC/MAM)  2015年 

A 300mm Si Photonics Platform for Optical Interconnection

Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita, Hironori Sasaki, Ken Morito, Kazuhiko Kurata

2015 IEEE International Interconnect Technology Conference and 2015 IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (IITC/MAM)  2015年 

A 300mm Si Photonics Platform for Multi-applications

Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita, Hironori Sasaki, Ken Morito, Kazuhiko Kurata

2015 OPTO-ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS CONFERENCE (OECC)  2015年 

C-3-57 シリコンフォトニクス錮線導波路デバイスの伝搬損失と製造誤差(C3.光エレクトロニクス,一般セッション)

堀川 剛, 志村 大輔, 鄭 錫煥, 徳島 正敏, 最上 徹

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2014年9月 

MOS型Si光変調器とGe受光器の集積化とCMOS駆動による高速動作

藤方潤一, 高橋重樹, 高橋正志, 野口将高, 野口栄実, 栗原充, 堀川剛, 中村隆宏, 荒川泰彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2014年9月 

Si細線導波路に対応した偏波無依存型スポットサイズ変換器

宮村悟史, 岡部豊, 小野英輝, 亀井明夫, 徳島正敏, 堀川剛, 佐々木浩紀

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2014年9月 

PINダイオードを用いたシリコン変調器によるαV_πLの低減

馬場威, 秋山傑, 今井雅彦, 堀川剛, 臼杵達哉

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2014年9月 

極薄膜Geシード層を適用したSi(001)基板上Ge層の低暗電流の観察

奥村滋一, 下山峰史, 小野英輝, 三浦真, 野口将高, 藤方潤一, 最上徹, 堀川剛, 田中有, 森戸健

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2014年9月 

First demonstration of athermal silicon optical interposers with quantum dot lasers operating up to 125 °C 国際会議

Yutaka Urino, Nobuaki Hatori, Takeshi Akagawa, Takanori Shimizu, Makoto Okano, Masashige Ishizaka, Tsuyoshi Yamamoto, Hideaki Okayama, Yosuke Onawa, Hiroyuki Takahashi, Daisuke Shimura, Hiroki Yaegashi, Hidetaka Nishi, Hiroshi Fukuda, Koji Yamada, Makoto Miura, Junichi Fujikata, Suguru Akiyama, Takeshi Baba, Tatsuya Usuki, Yoshiji Noguchi, Masataka Noguchi, Masahiko Imai, Naoki Hirayama, Shigeru Saitou, Masashi Yamagishi, Masashi Takahashi, Emiko Saito, Daisuke Okamoto, Masahiko Mori, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakaw

ECOC 2014  2014年9月 

C-3-71 大容量チップ間光インターコネクション向けハイブリッド集積光源の1200チャンネル動作(光周波数・位相制御,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

清水 隆徳, 岡野 誠, 高橋 博之, 羽鳥 伸明, 石坂 政茂, 山本 剛之, 森 雅彦, 堀川 剛, 賣野 豊, 中村 隆宏, 荒川 泰彦

電子情報通信学会総合大会講演論文集  2014年3月 

C-3-77 300ミリArF液浸露光工程を用いて作製したシリコン細線遅延干渉型合分波器(シリコンフォトニクス(1),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

鄭 錫煥, 志村 大輔, 下山 峰史, 堀川 剛, 田中 有, 森戸 健

電子情報通信学会総合大会講演論文集  2014年3月 

C-3-81 量子ドットレーザ搭載によるシリコン光インターポーザの高温リンク実証(シリコンフォトニクス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション) 招待

賣野 豊, 羽鳥 伸明, 赤川 武志, 清水 隆徳, 岡野 誠, 石坂 政茂, 山本 剛之, 岡山 秀彰, 太縄 陽介, 高橋 博之, 志村 大輔, 八重樫 浩樹, 西 英隆, 福田 浩, 山田 浩治, 三浦 真, 藤方 潤一, 秋山 傑, 馬場 威, 臼杵 達哉, 埜口 良二, 野口 将高, 今井 雅彦, 平山 直紀, 斎藤 茂, 山岸 雅司, 高橋 正志, 斉藤 恵美子, 岡本 大典, 森 雅彦, 堀川 剛, 中村 隆宏, 荒川 泰彦

電子情報通信学会総合大会講演論文集  2014年3月 

C-3-76 シリコンフォトニクスに向けた集積プロセスプラットフォーム技術(シリコンフォトニクス(1),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

堀川 剛, 埜口 良二, 野口 将高, 今井 雅彦, 山岸 雅司, 斎藤 茂, 平山 直紀, 斉藤 恵美子, 高橋 正志, 高橋 博之, 賣野 豊, 秋山 傑, 藤方 潤一, 三浦 真, 清水 隆徳, 岡野 誠, 羽鳥 伸明, 中村 隆宏

電子情報通信学会総合大会講演論文集  2014年3月 

CI-2-2 チップ間光配線に向けたシリコンナノフォトニックデバイス集積技術(CI-2.マイクロ・ナノフォトニクス集積および実装技術とその展開,ソサイエティ企画) 招待

賣野 豊, 臼杵 達哉, 藤方 潤一, 石坂 政茂, 山田 浩治, 堀川 剛, 中村 隆宏, 荒川 泰彦

電子情報通信学会総合大会講演論文集  2014年3月 

大容量チップ間光インターコネクション向けハイブリッド集積光源の1200チャンネル動作

清水隆徳, 岡野誠, 高橋博之, 羽鳥伸明, 石坂政茂, 山本剛之, 森雅彦, 堀川剛, 賣野豊, 中村隆宏, 荒川泰彦

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2014年3月 

3D‐AFMおよびCDSEMによるSi光導波路側面ラフネス解析

平山直紀, 山岸雅司, 埜口良二, 斉藤茂, 高橋博之, 堀川剛

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2014年3月 

Al系積層型ジョセフソン接合を用いた超伝導量子ビットの作製

佐藤哲朗, 埜口良二, 山岸雅司, 永沢秀一, 日野出憲治, 日高睦夫, 前澤正明, 堀川剛

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2014年3月 

超伝導量子ビット集積化に向けた積層型微小接合作製プロセス

前澤正明, 佐藤哲朗, 埜口良二, 山岸雅司, 日高睦夫, 堀川剛

電子情報通信学会技術研究報告  2014年1月 

Fully integrated silicon optical interposers with high bandwidth density

Yutaka Urino, Tatsuya Usuki, Junichi Fujikata, Masashige Ishizaka, Koji Yamada, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

Optics InfoBase Conference Papers  2014年1月 

Observation of Suppressed dark current of Ge on Si (100) using ultrathin Ge seed layer

Shigekazu Okumura, Takasi Simoyama, Hideki Ono, Masaki Okuno, Makoto Miura, Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Yu Tanaka, Ken Morito

2014 7TH INTERNATIONAL SILICON-GERMANIUM TECHNOLOGY AND DEVICE MEETING (ISTDM)  2014年 

3D-AFMおよびCDSEMによるSi光導波路側面ラフネス解析

平山直紀, 平山直紀, 山岸雅司, 山岸雅司, 埜口良二, 埜口良二, 斉藤茂, 斉藤茂, 高橋博之, 高橋博之, 堀川剛, 堀川剛

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2014年 

シリコンフォトニクス細線導波路デバイスの伝搬損失と製造誤差

堀川剛, 志村大輔, JEONG Seok-Hwan, 徳島正敏, 最上徹

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2014年 

Delayed Interferometer Based Si-wire WDM Demultiplexers Fabricated by Phase Controllable and Productive 300-mm Wafer-scale ArF-Immersion Lithography Technology

Seok-Hwan Jeong, Daisuke Shimura, Takasi Simoyama, Tsuyoshi Horikawa, Yu Tanaka, Ken Morito

2014 OPTICAL FIBER COMMUNICATIONS CONFERENCE AND EXHIBITION (OFC)  2014年 

Demonstration of over 1000-Channel Hybrid Integrated Light Source for Ultra-High Bandwidth Interchip Optical Interconnection

Takanori Shimizu, Makoto Okano, Hiroyuki Takahashi, Nobuaki Hatori, Masashige Ishizaka, Tsuyoshi Yamamoto, Masahiko Mori, Tsuyoshi Horikawa, Yutaka Urino, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

2014 OPTICAL FIBER COMMUNICATIONS CONFERENCE AND EXHIBITION (OFC)  2014年 

Multi-channel and High-density Hybrid Integrated Light Source by Thermal Management for Low Power Consumption for Ultra-high Bandwidth Optical Interconnection

Takanori Shimizu, Makoto Okano, Hiroyuki Takahashi, Nobuaki Hatori, Masashige Ishizaka, Tsuyoshi Yamamoto, Masahiko Mori, Tsuyoshi Horikawa, Yutaka Urino, Takahiro Nakamura, Yashuhiko Arakawa

2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONICS PACKAGING (ICEP)  2014年 

シリコンフォトニクスに向けた集積プロセスプラットフォーム技術

堀川剛, 堀川剛, 埜口良二, 埜口良二, 野口将高, 野口将高, 今井雅彦, 今井雅彦, 山岸雅司, 山岸雅司, 斎藤茂, 斎藤茂, 平山直紀, 平山直紀, 斉藤恵美子, 斉藤恵美子, 高橋正志, 高橋正志, 高橋博之, 高橋博之, 賣野豊, 賣野豊, 秋山傑, 秋山傑, 藤方潤一, 藤方潤一, 三浦真, 三浦真, 清水隆徳, 清水隆徳, 岡野誠, 岡野誠, 羽鳥伸明, 羽鳥伸明, 中村隆宏, 中村隆宏

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2014年 

300ミリArF液浸露光工程を用いて作製したシリコン細線遅延干渉型合分波器

JEONG Seok-Hwan, 志村大輔, 下山峰史, 堀川剛, 堀川剛, 田中有, 森戸健

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2014年 

Demonstration of 25-Gbps Optical Data Links on Silicon Optical Interposer Using FPGA Transceiver

Daisuke Okamoto, Yutaka Urino, Takeshi Akagawa, Suguru Akiyama, Takeshi Baba, Tatsuya Usuki, Makoto Miura, Junichi Fujikata, Takanori Shimizu, Makoto Okano, Nobuaki Hatori, Masashige Ishizaka, Tsuyoshi Yamamoto, Hiroyuki Takahashi, Yoshiji Noguchi, Masataka Noguchi, Masahiko Imai, Masashi Yamagishi, Shigeru Saitou, Naoki Hirayama, Masashi Takahashi, Emiko Saito, Daisuke Shimura, Hideaki Okayama, Yosuke Onawa, Hiroki Yaegashi, Hidetaka Nishi, Hiroshi Fukuda, Koji Yamada, Masahiko Mori, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

2014 EUROPEAN CONFERENCE ON OPTICAL COMMUNICATION (ECOC)  2014年 

High precision Si waveguide devices designed for 1.31 mu m and 1.55 mu m wavelengths on 300mm-SOI

Daisuke Shimura, Tsuyoshi Horikawa, Hideaki Okayama, Seok-Hwan Jeong, Masatoshi Tokushima, Hironori Sasaki, Tohru Mogami

2014 IEEE 11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICS (GFP)  2014年 

Low-alpha V L-pi 25-Gb/s Silicon Modulator Based on Forward-Biased Pin Diodes

T. Baba, S. Akiyama, M. Imai, T. Horikawa, T. Usuki

2014 IEEE 11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICS (GFP)  2014年 

Low-loss and flatband silicon-nanowire-based 5th-order coupled resonator optical waveguides (CROW) fabricated by ArF-immersion lithography process on a 300-mm SOI wafer

Seok-Hwan Jeong, Daisuke Shimura, Takasi Simoyama, Miyoshi Seki, Nobuyuki Yokoyama, Minoru Ohtsuka, Keiji Koshino, Tsuyoshi Horikawa, Yu Tanaka, Ken Morito

SILICON PHOTONICS IX  2014年 

Advances in photonics-electronics convergent system technology 招待 国際会議

Yasuhiko Arakawa, Yasuhiko Arakawa, Takahiro Nakamura, Takahiro Nakamura, Yutaka Urino, Yutaka Urino, Tsuyoshi Horikawa, Tsuyoshi Horikawa

Optics InfoBase Conference Papers  2013年12月 

Si wire array waveguide grating with reduced phase error: Effect of advanced lithography process 国際会議

H. Okayama, D. Shimura, H. Takahashi, M. Seki, M. Toyama, T. Sano, K. Koshino, N. Yokoyama, M. Ohtsuka, A. Sugiyama, S. Ishitsuka, T. Tsuchizawa, H. Nishi, K. Yamada, H. Yaegashi, T. Horikawa, H. Sasaki

2013 18th OptoElectronics and Communications Conference Held Jointly with 2013 International Conference on Photonics in Switching, OECC/PS 2013  2013年10月 

全ての光コンポーネントを単一シリコン基板上に集積したシリコン光インターポーザの30Tbps/cm²動作実証 招待

賣野豊, 秋山傑, 赤川武志, 馬場威, 臼杵達哉, 岡本大典, 三浦真, 藤方潤一, 清水隆徳, 岡野誠, 羽鳥伸明, 石坂政茂, 山本剛之, 高橋博之, 埜口良二, 野口将高, 今井雅彦, 山岸雅司, 斎藤茂, 平山直紀, 高橋正志, 斉藤恵美子, 志村大輔, 岡山秀彰, 太縄陽介, 八重樫浩樹, 西英隆, 福田浩, 山田浩治, 森雅彦, 堀川剛, 中村隆宏, 荒川泰彦

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2013年9月 

C-3-10 ArF液浸露光を用いた2次元フォトニック結晶スラブ導波路(シリコンフォトニクス(1),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

堀川 剛, 岡野 誠, 鈴木 恵治郎, 外山 宗博, 関 三好, 佐野 作

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2013年9月 

C-3-18 全ての光コンポーネントを単一シリコン基板上に集積したシリコン光インターポーザの30Tbps/cm2動作実証(シリコンフォトニクス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション) 招待

費野 豊, 秋山 傑, 赤川 武志, 馬場 威, 臼杵 達哉, 岡本 大典, 三浦 真, 藤方 潤, 清水 隆徳, 岡野 誠, 羽鳥 伸明, 石坂 政茂, 山本 剛之, 高橋 博之, 埜口 良二, 野口 将高, 今井 雅彦, 山岸 雅司, 斎藤 茂, 平山 直紀, 高橋 正志, 斉藤 恵美子, 志村 大輔, 岡山 英彰, 太縄 陽介, 八重樫 浩樹, 西 英隆, 福田 浩, 山田 浩治, 森 雅彦, 堀川 剛, 中村 隆宏, 荒川 泰彦

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2013年9月 

C-3-9 高精度ArF液浸露光を用いたシリコンフォトニクスデバイス(シリコンフォトニクス(1),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション) 招待

堀川 剛

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2013年9月 

微小Al系積層型ジョセフソン接合作製プロセスの改善

佐藤哲朗, 埜口良二, 山岸雅司, 永沢秀一, 日野出憲治, 日高睦夫, 前澤正明, 堀川剛

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年8月 

SiOx薄膜スラブを用いたモード制御によるSiテーパ‐SSCの構造トレランスの拡大

高橋博之, 羽鳥伸明, 清水隆徳, 石坂政茂, 岡野誠, 堀川剛

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年8月 

300mm SOI基板上にハーフトーンマスクで作製したシリコン細線導波路

平野秀, 相馬宗厳, 北智洋, 田主裕一朗, 関三好, 外山宗博, 堀川剛, 山田博仁

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年8月 

1.55μm及び1.3μm波長帯用高効率MOS型Si光変調器

高橋重樹, 藤方潤一, 高橋正志, 堀川剛, 中村隆宏, 荒川泰彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年8月 

PINダイオードを用いたリング共振器型シリコン変調器の50Gb/s動作

馬場威, 秋山傑, 今井雅彦, 平山直紀, 高橋博之, 埜口良二, 堀川剛, 臼杵達哉

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年8月 

50GHz帯域Si導波路集積PIN型Geフォトダイオードの検討

野口将高, 藤方潤一, 三浦真, 岡本大典, 堀川剛, 荒川泰彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年8月 

300mm SOI基板上に作製したリング共振器の特性均一性

相馬宗厳, 平野秀, 田主裕一朗, 北智洋, 外山宗博, 佐野作, 堀川剛, 山田博仁

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年8月 

側面格子導波路を有するPIN型シリコン変調器の高速・高効率動作の検討(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般) 招待

秋山 傑, 馬場 威, 今井 雅彦, 平山 直紀, 高橋 博之, 埜口 良二, 堀川 剛, 臼杵 達哉

電子情報通信学会技術研究報告. LQE, レーザ・量子エレクトロニクス, R, 信頼性,EMD, 機構デバイス, CPM, 電子部品・材料,OPE, 光エレクトロニクス  2013年8月 

Uniform characteristics of Si-wire waveguide devices fabricated on 300 mm SOI wafers by using ArF immersion lithography

Yuichiro Tanushi, Tomohiro Kita, Munehiro Toyama, Miyoshi Seki, Keiji Koshino, Nobuyuki Yokoyama, Minoru Ohtsuka, Akinobu Sugiyama, Eiichi Ishitsuka, Tsukuru Sano, Tsuyoshi Horikawa, Hirohito Yamada

10th International Conference on Group IV Photonics  2013年8月  IEEE

シリコンフォトニクスを用いた高密度チップ間インターコネクト 招待

賣野豊, 賣野豊, 堀川剛, 堀川剛, 中村隆宏, 中村隆宏, 荒川泰彦, 荒川泰彦

電気学会電磁界理論研究会資料  2013年7月 

300mm基板上にArF液侵リソグラフィーを用いて作製したシリコンフォトニクスデバイス(アクティブデバイスと集積化技術、一般「材料デバイスサマーミーティング」)

北 智洋, 田主 裕一朗, 奈良 匡樹, 平野 秀, 外山 宗博, 関 三好, 越野 圭二, 横山 信幸, 大塚 実, 杉山 曜宣, 石塚 栄一, 佐野 作, 堀川 剛, 山田 博仁

電子情報通信学会技術研究報告. OPE, 光エレクトロニクス, LQE, レーザ・量子エレクトロニクス  2013年6月 

光結合器応用に向けたRF‐PECVDを用いたSiOx膜の検討

高橋博之, 山岸雅司, 平山直紀, 斉藤茂, 埜口良二, 堀川剛

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年3月 

超小型Ge受光器実現に向けたエピタキシャル成長プロセス検討

三浦真, 藤方潤一, 野口将高, 堀川剛, 荒川泰彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年3月 

シリコンフォトニクスを用いた高密度チップ間インターコネクト(フォトニック,NW・デバイス,フォトニック結晶,ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般) 招待

賣野 豊, 堀川 剛, 中村 隆宏, 荒川 泰彦

電子情報通信学会技術研究報告. EST, エレクトロニクスシミュレーション, PN, フォトニックネットワーク, LQE, レーザ・量子エレクトロニクス  2013年1月 

ArF液浸露光を用いた2次元フォトニック結晶スラブ導波路

堀川剛, 岡野誠, 鈴木恵治郎, 外山宗博, 関三好, 佐野作

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2013年 

Large-scale silicon photonics integrated circuits for interconnect and telecom applications

Hiroshi Fukuda, Kotaro Takeda, Tatsuro Hiraki, Tai Tsuchizawa, Hidetaka Nishi, Rai Kou, Yasuhiko Ishikawa, Kazumi Wada, Tsuyoshi Yamamoto, Koji Yamada, Yutaka Urino, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP  2013年 

Efficient 50-Gb/s silicon microring modulator based on forward-biased pin diodes

T. Baba, S. Akiyama, M. Imai, N. Hirayama, H. Takahashi, Y. Noguchi, T. Horikawa, T. Usuki

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP  2013年 

High Performance PIN Ge Photodetector and Si Optical Modulator with MOS Junction for Photonics-Electronics Convergence System

Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Makoto Miura, Masashi Takahashi, Shigeki Takahashi, Tsuyoshi Horikawa, Yutaka Urino, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

2013 18TH ASIA AND SOUTH PACIFIC DESIGN AUTOMATION CONFERENCE (ASP-DAC)  2013年 

High speed and highly efficient Si optical modulator with MOS junction for 1.55 μm and 1.3 μm wavelengths

Junichi Fujikata, Shigeki Takahashi, Masashi Takahashi, Tsuyoshi Horikawa

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP  2013年 

High-density Silicon Optical Interposer for Inter-chip Interconnects based on Compact and High Speed Components

Takahiro Nakamura, Yutaka Urino, Junichi Fujikata, Tatsuya Usuki, Masashige Ishizaka, Koji Yamada, Tsuyoshi Horikawa, Yasuhiko Arakawa

2013 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS (CLEO)  2013年 

High Density Optical Interconnects Integrated with Lasers, Optical Modulators and Photodetectors on a Single Silicon Chip

Yutaka Urino, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

2013 OPTICAL FIBER COMMUNICATION CONFERENCE AND EXPOSITION AND THE NATIONAL FIBER OPTIC ENGINEERS CONFERENCE (OFC/NFOEC)  2013年 

Demonstration of 30-Tbps/cm2 bandwidth density by silicon optical interposers fully integrated with optical components

Yutaka Urino, Suguru Akiyama, Takeshi Akagawa, Takeshi Baba, Tatsuya Usuki, Daisuke Okamoto, Makoto Miura, Junichi Fujikata, Takanori Shimizu, Makoto Okano, Nobuaki Hatori, Masashige Ishizaka, Tsuyoshi Yamamoto, Hiroyuki Takahashi, Yoshiji Noguchi, Masataka Noguchi, Masahiko Imai, Masashi Yamagishi, Shigeru Saitou, Naoki Hirayama, Masashi Takahashi, Emiko Saito, Daisuke Shimura, Hideaki Okayama, Yosuke Onawa, Hiroki Yaegashi, Hidetaka Nishi, Hiroshi Fukuda, Koji Yamada, Masahiko Mori, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

IET Conference Publications  2013年 

SiOx薄膜スラブを用いたモード制御によるSiテーパ-SSCの構造トレランスの拡大

高橋博之, 高橋博之, 羽鳥伸明, 羽鳥伸明, 清水隆徳, 清水隆徳, 石坂政茂, 石坂政茂, 岡野誠, 岡野誠, 堀川剛, 堀川剛

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年 

光結合器応用に向けたRF-PECVDを用いたSiOx膜の検討

高橋博之, 高橋博之, 山岸雅司, 山岸雅司, 平山直紀, 平山直紀, 斉藤茂, 斉藤茂, 埜口良二, 埜口良二, 堀川剛, 堀川剛

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2013年 

高精度ArF液浸露光を用いたシリコンフォトニクスデバイス

堀川剛

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  2013年 

C-3-56 高密度シリコンフォトニクス回路向け集積プロセス技術(I)(シリコンフォトニクス,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

今井 雅彦, 藤方 潤一, 埜口 良二, 野口 将高, 高橋 博之, 三浦 真, 秋山 傑, 山田 浩治, 和田 一実, 賣野 豊, 堀川 剛

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2012年8月 

C-3-66 単一シリコン基板上にレーザ・光分岐器・光変調器・受光器を集積したシリコン光インターポーザの12.5Gbps動作実証(シリコンフォトニクス,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション) 招待

賣野 豊, 埜口 良二, 野口 将高, 今井 雅彦, 山岸 雅司, 斎藤 茂, 平山 直紀, 高橋 正志, 高橋 博之, 斉藤 恵美子, 岡野 誠, 清水 隆徳, 羽鳥 伸明, 石坂 政茂, 山本 剛之, 馬場 威, 赤川 武志, 秋山 傑, 臼杵 達哉, 岡本 大典, 三浦 真, 藤方 潤一, 志村 大輔, 岡山 秀彰, 八重樫 浩樹, 土澤 泰, 山田 浩治, 森 雅彦, 堀川 剛, 中村 隆宏, 荒川 泰彦

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2012年8月 

C-11-2 SiONゲート絶縁膜形成後大気曝露の絶縁破壊特性への影響(C-11. シリコン材料・デバイス,一般セッション)

松木 武雄, 小川 有人, 伊藤 周, 堀川 剛, 菊池 俊之, 劉 紫園

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2012年8月 

C-3-64 Si導波路集積PIN型およびショットキー型Ge受光器の検討(シリコンフォトニクス,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

野口 将高, 藤方 潤一, 三浦 真, 岡本 大典, 堀川 剛, 荒川 泰彦

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2012年8月 

C-3-57 SOI導波路プロセス(VI) : 液浸ArF露光を用いた導波路パターン形成(II)(シリコンフォトニクス,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

堀川 剛, 関 三好, 外山 宗博, 越野 圭二, 横山 信幸, 大塚 実, 杉山 曜宣, 石塚 栄一, 山岸 雅司, 佐野 作

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2012年8月 

微小Al/AlO_x/Al積層型ジョセフソン接合の作製プロセス開発

佐藤哲朗, 埜口良二, 山岸雅司, 永沢秀一, 日野出憲治, 日高睦夫, 前澤正明, 堀川剛

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年8月 

ArF液浸露光を用いたシリコンフォトニクスデバイスの作製誤差制御

高橋博之, 関三好, 外山宗博, 志村大輔, 越野圭二, 横山信幸, 大塚実, 杉山曜宣, 石塚栄一, 佐野作, 堀川剛

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年8月 

PIN型ダイオードを用いた作用長250μmのシリコン変調器の50Gbps動作

秋山傑, 馬場威, 今井雅彦, 赤川武志, 野口将高, 斉藤恵美子, 埜口良二, 平山直紀, 堀川剛, 臼杵達哉

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年8月 

SOI導波路プロセス(V)―光集積回路に向けたEB露光技術の確立―

堀川剛, 平山直紀, 高橋博之, 埜口良二, 山岸雅司

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年8月 

低損失ポリシリコンゲートを有する高効率MOS型Si光変調器

高橋重樹, 藤方潤一, 高橋正志, 赤川武志, 野口将高, 堀川剛, 中村隆宏, 荒川泰彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年8月 

SiGe cap層を用いた差動対MSM型Ge受光素子

三浦真, 野口将高, 藤方潤一, 岡本大典, 堀川剛, 荒川泰彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年8月 

多結晶シリコン導波路における導波損失と抵抗率の改善

堀川剛, 高橋正志, 藤方潤一, 野口将高, 赤川武志

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年8月 

光集積回路と光ファイバーの直接光結合技術 信号光を拡大縮小する微小な光変換器を高性能化

徳島正敏, 亀井明夫, 堀川剛

産総研TODAY(Web)  2012年8月 

C-3-36 シリコンフォトニクス集積に向けたCMOS技術(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション) 招待

堀川 剛, 高橋 博之, 藤方 潤一, 秋山 傑, 徳島 正敏, 清水 隆徳, 平山 直紀, 関 三好, 中村 隆宏

電子情報通信学会総合大会講演論文集  2012年3月 

CI-3-3 高密度光配線用シリコン光集積回路(CI-3.通信システム・光配線システム応用にむけた高密度集積フォトニックプラットフォーム,依頼シンポジウム) 招待

中村 隆宏, 賣野 豊, 臼杵 達哉, 藤方 潤一, 石坂 政茂, 山田 浩治, 八重樫 浩樹, 堀川 剛, 荒川 泰彦

電子情報通信学会総合大会講演論文集  2012年3月 

Si導波路集積PIN型Geフォトダイオードの検討

野口将高, 藤方潤一, 三浦真, 岡本大典, 堀川剛, 荒川泰彦

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年2月 

SOI導波路プロセス(IV)―液浸ArF露光を用いた導波路パターン形成―

関三好, 高橋博之, 外山宗博, 越野圭二, 横山信幸, 大塚実, 杉山曜宣, 石塚栄一, 平山直紀, 佐野作, 堀川剛

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年2月 

Si導波路と10μm光ファイバーの結合用スポットサイズ変換器

徳島正敏, 亀井明夫, 堀川剛

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年2月 

高密度光配線用シリコン光集積回路

中村隆宏, 中村隆宏, 賣野豊, 賣野豊, 臼杵達哉, 臼杵達哉, 藤方潤一, 藤方潤一, 石坂政茂, 石坂政茂, 山田浩治, 山田浩治, 八重樫浩樹, 八重樫浩樹, 堀川剛, 堀川剛, 荒川泰彦, 荒川泰彦

電子情報通信学会大会講演論文集  2012年 

Demonstration of 12.5-Gbps optical interconnects integrated with lasers, optic

Yutaka Urino, Yoshiji Noguchi, Masataka Noguchi, Masahiko Imai, Masashi Yamagishi, Shigeru Saitou, Naoki Hirayama, Masashi Takahashi, Hiroyuki Takahashi, Emiko Saito, Makoto Okano, Takanori Shimizu, Nobuaki Hatori, Masashige Ishizaka, Tsuyoshi Yamamoto, Takeshi Baba, Takeshi Akagawa, Suguru Akiyama, Tatsuya Usuki, Daisuke Okamoto, Makoto Miura, Junichi Fujikata, Daisuke Shimura, Hideaki Okayama, Hiroki Yaegashi, Tai Tsuchizawa, Koji Yamada, Masahiko Mori, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

European Conference and Exhibition on Optical Communication, ECEOC 2012  2012年 

SiONゲート絶縁膜形成後大気曝露の絶縁破壊特性への影響

松木武雄, 小川有人, 伊藤周, 堀川剛, 菊池俊之, LIU Ziyuan

電子情報通信学会大会講演論文集  2012年 

50-Gb/s silicon modulator using 250-μm-Long phase shifter based-on forward-biased pin diodes

S. Akiyama, T. Baba, M. Imai, T. Akagawa, M. Noguchi, E. Saito, Y. Noguchi, N. Hirayama, T. Horikawa, T. Usuki

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP  2012年 

High-uniformity waveguide-integrated metal-semiconductor-metal germanium photodetector with sige capping layer and its application to differential receivers

Makoto Miura, Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Daisuke Okamoto, Tsuyoshi Horikawa, Yasuhiko Arakawa

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP  2012年 

Photonics-Electronics Convergence System for High Density Inter-chip Interconnects by using Silicon Photonics

Yutaka Urino, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

2012 IEEE COMPOUND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT SYMPOSIUM (CSICS)  2012年 

Demonstration of 12.5-Gbps Optical Interconnects Integrated with Lasers, Optical Splitters, Optical Modulators and Photodetectors on a Single Silicon Substrate

Yutaka Urino, Yoshiji Noguchi, Masataka Noguchi, Masahiko Imai, Masashi Yamagishi, Shigeru Saitou, Naoki Hirayama, Masashi Takahashi, Hiroyuki Takahashi, Emiko Saito, Makoto Okano, Takanori Shimizu, Nobuaki Hatori, Masashige Ishizaka, Tsuyoshi Yamamoto, Takeshi Baba, Takeshi Akagawa, Suguru Akiyama, Tatsuya Usuki, Daisuke Okamoto, Makoto Miura, Junichi Fujikata, Daisuke Shimura, Hideaki Okayama, Hiroki Yaegashi, Tai Tsuchizawa, Koji Yamada, Masahiko Mori, Tsuyoshi Horikawa, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Arakawa

2012 38TH EUROPEAN CONFERENCE AND EXHIBITION ON OPTICAL COMMUNICATIONS (ECOC)  2012年 

25-Gbps Operation of Silicon p-i-n Mach-Zehnder Optical Modulator with 100-mu m-Long Phase Shifter

T. Baba, S. Akiyama, M. Imai, T. Akagawa, M. Takahashi, N. Hirayama, H. Takahashi, Y. Noguchi, H. Okayama, T. Horikawa, T. Usuki

2012 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS (CLEO)  2012年 

SOI導波路プロセス(V)-光集積回路に向けたEB露光技術の確立-

堀川剛, 堀川剛, 平山直紀, 平山直紀, 高橋博之, 高橋博之, 埜口良二, 埜口良二, 山岸雅司, 山岸雅司

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2012年 

Si導波路集積PIN型およびショットキー型Ge受光器の検討

野口将高, 野口将高, 藤方潤一, 藤方潤一, 三浦真, 三浦真, 岡本大典, 岡本大典, 堀川剛, 堀川剛, 荒川泰彦, 荒川泰彦

電子情報通信学会大会講演論文集  2012年 

SOI導波路プロセス(VI)-液浸ArF露光を用いた導波路パターン形成(II)-

堀川剛, 関三好, 外山宗博, 越野圭二, 横山信幸, 大塚実, 杉山曜宣, 石塚栄一, 山岸雅司, 佐野作

電子情報通信学会大会講演論文集  2012年 

シリコンフォトニクス集積に向けたCMOS技術

堀川剛, 堀川剛, 高橋博之, 高橋博之, 藤方潤一, 藤方潤一, 秋山傑, 秋山傑, 徳島正敏, 清水隆徳, 清水隆徳, 平山直紀, 平山直紀, 関三好, 関三好, 中村隆宏, 中村隆宏

電子情報通信学会大会講演論文集  2012年 

高密度シリコンフォトニクス回路向け集積プロセス技術(I)

今井雅彦, 今井雅彦, 藤方潤一, 藤方潤一, 埜口良二, 埜口良二, 野口将高, 野口将高, 高橋博之, 高橋博之, 三浦真, 三浦真, 秋山傑, 秋山傑, 山田浩治, 山田浩治, 和田一実, 和田一実, 賣野豊, 賣野豊, 堀川剛, 堀川剛

電子情報通信学会大会講演論文集  2012年 

Si導波路集積MSM型Geフォトダイオードの検討

野口将高, 藤方潤一, 三浦真, 岡本大典, 堀川剛, 荒川泰彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2011年8月 

MSM型Geフォトダイオードと光電子集積に向けた受信回路の検討

野口将高, 藤方潤一, 岡本大典, 三浦真, 堀川剛, 荒川泰彦

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2011年3月 

多結晶シリコン導波路における導波損失機構の検討

高橋正志, 藤方潤一, 野口将高, 山本宗継, 赤川武志, 高橋博之, 平山直紀, 堀川剛

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2011年3月 

NiGe/n⁺ Geコンタクトの低抵抗/浅接合化

三浦真, 野口将高, 藤方潤一, 堀川剛, 高橋正志, 埜口良二, 荒川泰彦

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2011年3月 

SOI導波路プロセス(III)―EB多重露光プロセスによる導波損失低減―

平山直紀, 高橋博之, 志村大輔, 堀川剛

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2011年3月 

リブ導波路の曲がりのための緩和曲線に関する考察

徳島正敏, 亀井明夫, CHU Tao, 堀川剛

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2011年3月 

C-3-59 低損失多結晶Si光導波路と光変調器への応用(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

藤方 潤一, 高橋 正志, 野口 将高, 高橋 重樹, 山本 宗継, 赤川 武志, 高橋 博之, 平山 直紀, 堀川 剛

電子情報通信学会総合大会講演論文集  2011年2月 

12.5-Gb/s operation of efficient silicon modulator using side-wall grating waveguide

S. Akiyama, T. Baba, M. Imai, T. Akagawa, M. Takahashi, N. Hirayama, H. Takahashi, Y. Noguchi, H. Okayama, T. Horikawa, T. Usuki

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP  2011年 

SOI導波路プロセス(III)-EB多重露光プロセスによる導波損失低減-

平山直紀, 高橋博之, 志村大輔, 堀川剛, 平山直紀, 高橋博之, 志村大輔, 堀川剛

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2011年 

IMPACT OF AIR-INDUCED POLY-SI/OXYNITRIDE INTERFACE LAYER DEGRADATION ON GATE-EDGE LEAKAGE

Ziyuan Liu, Shuu Ito, Tomoya Saito, Soon W. Chang, Arito Ogawa, Sadayoshi Horii, Tsuyoshi Horikawa, Markus Wilde, Katsuyuki Fukutani, Toyohiro Chikyow

2011 IEEE INTERNATIONAL RELIABILITY PHYSICS SYMPOSIUM (IRPS)  2011年 

CI-3-5 光デバイスファウンドリーの現状と展望(CI-3.半導体製造技術の現状と今後の展望,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)

中村 隆宏, 堀川 剛, 荒川 泰彦

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集  2010年8月 

TiN電極へのAl導入によるEOTの低減

小川有人, 板谷秀治, 堀井貞義, 三瀬信行, 堀川剛

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2010年8月 

単一半導体を用いた新ソースヘテロ構造の検討(III):急峻な横方向歪み分布の実現

水野智久, 長谷川光央, 野尻真士, 堀川剛

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2010年8月 

緩和曲線による多モード・リブ導波路の透過改善

徳島正敏, 亀井明夫, CHU Tao, 堀川剛

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  2010年8月 

MOS構造における電極の仕事関数抽出の再検討

小川有人, 板谷秀治, 堀井貞義, 三瀬信行, 堀川剛

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2010年3月 

SOI導波路プロセス(II)―リブ導波路の高速/高精度形成

徳島正敏, CHU Tao, 亀井明夫, 堀川剛

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2010年3月 

SOI導波路プロセス(I)―CMOSプロセスの適用検討―

堀川剛, CHU Tao, 徳島正敏, 亀井明夫

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2010年3月 

EUPSによるTiN膜の仕事関数の膜厚及び下地high‐k膜依存の評価

石塚知明, 大塚照久, 葛西彪, 小川有人, 堀川剛, 富江敏尚

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2010年3月 

SOI導波路プロセス(I)-CMOSプロセスの適用検討-

堀川剛, CHU Tao, 徳島正敏, 亀井明夫

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2010年 

EUPSによるTiN膜の仕事関数の膜厚及び下地high-k膜依存の評価

石塚知明, 大塚照久, 葛西彪, 小川有人, 堀川剛, 富江敏尚

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  2010年 

Si高指数面上に形成したSiO₂界面の真空紫外RDS評価:ウェット酸化とドライ酸化の比較

尾形祥一, 大野真也, 田中正俊, 堀川剛, 安田哲二

応用物理学会学術講演会講演予稿集  2009年9月 

Analysis of transient charging components in NBTI degradation studied for TaN gated HfO2/SiO2 dielectrics

Kenji Okada, Tsuyoshi Horikawa, Hiroyuki Ota, Toshihide Nabatame, Akira Toriumi

ESSDERC 2007: PROCEEDINGS OF THE 37TH EUROPEAN SOLID-STATE DEVICE RESEARCH CONFERENCE  2007年 

Reliability perspective of high-k gate stack assessed by temperature dependence of dielectric breakdown

Kenji Okada, Tsuyoshi Horikawa, Hideki Satake, Seiji Inumiya, Yasushi Akasaka, Fumio Ootsuka, Yasuo Nara, Hiroyuki Ota, Toshihide Nabatame, Akira Toriumi

2007 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS  2007年 

Si表面量子化層中のドーパント不純物電荷の考慮によるフラットバンド電圧の精密評価

安田直樹, 太田裕之, 堀川剛, 鳥海明, 田村泰之

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2006年3月 

Mechanism of gradual increase of gate current in high-k gate dielectrics and its application to reliability assessment

Kenji Okada, Tsuyoshi Horikawa, Hideki Satake, Hiroyuki Ota, Arito Ogawa, Toshihide Nabatame, Akira Toriumi

2006 IEEE INTERNATIONAL RELIABILITY PHYSICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS - 44TH ANNUAL  2006年 

Impact of Initial Traps on TDDB and NBTI Reliabilities in High-k Gate Dielectrics

Kenji OKADA, Hiroyuki OTA, Tsuyoshi HORIKAWA, Masaru KADOSHIMA, Arito OGAWA, Toshihide NABATAME, Akira TORIUM

SSDM  2006年 

キャリア分離法を用いたhigh-k stackゲート絶縁膜のキャリア伝導及び絶縁性劣化機構の解析

水林亘, 安田直樹, 岡田健治, 太田裕之, 堀川剛, 岩本邦彦, 生田目俊秀, 佐竹秀喜, 鳥海明, 鳥海明

電気学会電子材料研究会資料  2005年7月 

HfAlO_X/SiO₂ゲート絶縁膜における絶縁破壊機構

岡田健治, 水林亘, 安田直樹, 佐竹秀喜, 太田裕之, 門島勝, 富永浩二, 堀川剛, 鳥海明

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2005年3月 

Quantitative analysis of contribution of initial traps to breakdown in HfAlOX/SiO2 stacked gate dielectrics

K Okada, H Ota, W Mizubayashi, H Satake, A Ogawa, K Iwamoto, T Horikawa, T Nabatame, A Toriumi

2005 Symposium on VLSI Technology, Digest of Technical Papers  2005年 

Low frequency noise characteristics in HfAlOx/SiO2 n-mosfets

T. Horikawa, N. Yasuda, W. Mizubayashi, K. Iwamoto, K. Tominaga, K. Akiyama, K. Yamamoto, H. Hisamatsu, H. Ota, T. Nabatame, A. Toriumi, A. Toriumi

Proceedings - Electrochemical Society  2004年10月 

Degradation Mechanism of HfAlO_x/SiO_2 Stacked Gate Dielectric Films through Transient and Steady State Leakage Current Analysis

OKADA Kenji, MIZUBAYASHI Wataru, YASUDA Naoki, OTA Hiroyuki, TOMINAGA Koji, IWAMOTO Kunihiko, HORIKAWA Tsuyoshi, YAMAMOTO Katsuhiko, HISAMATSU Hirokazu, SATAKE Hideki, NABATAME Toshihide, TORIUMI Akira

Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials  2004年9月 

堆積温度上昇によるMACVD HfO₂膜のフッ酸エッチング速度の急激な低下

藤井真治, 宮田典幸, 右田真司, 堀川剛, 鳥海明

電子情報通信学会技術研究報告  2004年6月 

堆積温度上昇によるMOCVD HfO_2膜のフッ酸エッチング速度の急激な低下(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

藤井 眞治, 宮田 典幸, 右田 真司, 堀川 剛, 鳥海 明

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス  2004年6月 

Poly‐Si/High‐k界面を持つMIS構造に特有な非飽和C‐V特性

安田直樹, 岩本邦彦, 富永浩二, 太田裕之, 久松裕和, 秋山浩二, 生田目俊秀, 堀川剛, 鳥海明

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

BCl_x⁺,SiCl_x⁺イオン照射によるHfO₂エッチング反応のエネルギー依存性

唐橋一浩, 三瀬信行, 山岸信久, 堀川剛, 鳥海明

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

フルシリサイドNiSiメタルゲート電極におけるドーパントの効果

生田目俊秀, 門島勝, 山本克彦, 大野守史, 三瀬信行, 秋山浩二, 岩本邦彦, 富永浩二, 堀川剛

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

薄いHfO₂膜の熱分解過程で観察される二次元ボイド成長機構のモデル化

宮田典幸, 市川昌和, 生田目俊秀, 堀川剛, 鳥海明

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

HfAlO_x(N)MOSFETにおける電子と正孔の散乱機構の違い

太田裕之, 久松裕和, 岩本邦彦, 富永浩二, 水林亘, 安田直樹, 大野守史, 堀川剛, 生田目俊秀

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

LL‐D&A法を用いたHfAlO_X(N)ゲートスタック技術

大野守史, 堀川剛, 生田目俊秀, 鳥海明

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

HfO₂上へのMOCVD法によるモノレイヤーSiO₂形成

右田真司, 藤井真治, 宮田典幸, XUAN Y, 山本克彦, 堀川剛, 鳥海明

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

HfAlO_x/SiO₂ゲートMOSFETにおけるキャリア分離法用いたリーク電流解析

水林亘, 安田直樹, 久松裕和, 太田裕之, 富永浩二, 岩本邦彦, 山本克彦, 堀川剛, 生田目俊秀

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

成膜温度上昇によるCVD HfO₂膜のフッ酸エッチング速度の急激な低下

藤井真治, 宮田典幸, 右田真司, 堀川剛, 鳥海明

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

TaNゲート電極の実効仕事関数制御とHfO₂膜上でのフェルミレベルピニングの定量化

秋山浩二, 右田真司, ZHANG L, 三瀬信行, 門島勝, 藤原英明, 大野守史, 堀川剛, 生田目俊秀

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

HfAlO_x/SiO₂ n‐MOSFETにおける低周波雑音解析

堀川剛, 安田直樹, 水林亘, 岩本邦彦, 富永浩二, 秋山浩二, 山本克彦, 久松裕和, 太田裕之

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年3月 

LL-D&A法を用いたHfAlO_X(N)ゲートスタック技術

大野守史, 堀川剛, 生田目俊秀, 鳥海明

応用物理学関係連合講演会講演予稿集  2004年 

Model for dielectric breakdown mechanism of HfAlOx/SiO2 stacked gate dielectrics dominated by the generated subordinate carrier injection

K Okada, W Mizubayashi, N Yasuda, H Satake, H Ota, M Kadoshima, K Tominaga, A Ogawa, K Iwamoto, T Horikawa, T Nabatame, A Toriumi

IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 2004, TECHNICAL DIGEST  2004年