2026/03/12 更新

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ヒラモト トシロウ
平本 俊郎
HIRAMOTO TOSHIRO
所属
総合研究院 集積Green-niX+研究ユニット 特定教授
職名
特定教授
外部リンク

学位

  • 工学博士 ( 東京大学 )

研究キーワード

  • Low power

  • Nanotechnology

  • Quantum dot

  • Single electron transistor

  • Single electron devices

  • シリコン

  • 半導体

  • Nanodevices

  • Nanoelectronics

  • ナノエレクトロニクス

  • SOI

  • ナノテクノロジー

  • ナノデバイス

  • Semiconductor

  • CMOS

  • MOSFET

  • VLSI

  • Silicon

  • MOSFET

  • 集積回路

  • VLSI

  • 量子効果

  • SOI

  • 低消費電力

  • CMOS

  • 量子ドット

  • 単電子トランジスタ

  • 単一電子デバイス

  • Quantum effect

研究分野

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器

学歴

  • 東京大学   工学系研究科   電子工学専攻

    1984年4月 - 1989年3月

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    国名: 日本国

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  • 東京大学   工学部   電子工学科

    1982年4月 - 1984年3月

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    国名: 日本国

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経歴

  • - 東京大学生産技術研究所教授

    2002年

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  • 東京大学

    1996年 - 2002年

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  • 東京大学

    1994年 - 1996年

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  • スタンフォード大学客員研究員

    1993年 - 1994年

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  • (株)日立製作所デバイス開発センタ勤務

    1989年 - 1994年

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所属学協会

委員歴

  • SSDM   組織委員長  

    2025年   

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  • VLSI Symposium on Technology   Executive Committee Chair  

    2024年6月 - 現在   

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  • 応用物理学会   会長  

    2022年3月 - 2024年3月   

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  • 応用物理学会   副会長  

    2020年3月 - 2022年3月   

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  • 電子通信情報学会ELEX   編集委員長  

    2018年4月 - 2020年3月   

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  • 応用物理学会   理事  

    2016年3月 - 2018年3月   

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  • SSDM   論文委員長  

    2016年   

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  • VLSI Symposium on Technology   General Chair  

    2015年   

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  • VLSI Symposium on Technology, Program Chair  

    2013年   

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  • IEC TC91国内委員会   委員長  

    2012年4月 - 現在   

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  • 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会   幹事長  

    2011年4月 - 2013年3月   

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    応用物理学会

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  • 日本学術振興会シリコン超集積システム第165委員会   委員長  

    2009年11月 - 2022年3月   

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  • IEDM   Executive Committee Member  

    2003年 - 2009年   

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  • IEEE Electron Device Society   Elected AdCom Member  

    2001年 - 2006年   

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    IEEE Electron Device Society

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  • 電子情報通信学会シリコンデバイス・材料研究会   委員  

    1999年 - 現在   

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    電子情報通信学会

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▼全件表示

論文

  • Design–technology co-optimization (DTCO) of inner-spacer length dependence in nanosheet logic transistors using hierarchical performance–power metrics

    Xiaoran Mei, Yaoping Xiao, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Japanese Journal of Applied Physics   2026年3月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ae3d78

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  • Anomalous variability of subthreshold characteristics in bulk and silicon on insulator MOSFETs at cryogenic temperatures

    Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Takumi Inaba, Hiroshi Oka, Hidehiro Asai, Takahiro Mori, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2026年2月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ae3c22

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  • Vertically stacked two-layer silicon quantum dots with selective bottom layer control via substrate bias for 3D integration

    Junoh Kim, Daiki Futagi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Hiroshi Oka, Takahiro Mori, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2026年1月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ae34bc

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  • A simulation study on the operating principle of field-limiting ring edge termination using a quasi-2D three-terminal model

    Kiyoshi Takeuchi, Munetoshi Fukui, Takuya Saraya, Kazuo Itou, Toshihiko Takakura, Shinichi Suzuki, Hiroyuki Takase, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2025年12月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ae248a

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  • A Gate-All-Around Oxide Semiconductor FETs With Selectively Crystallized InGaOₓ Channel for Performance and Reliability Improvement

    Ki-Woong Park, Anlan Chen, Kota Sakai, Sunbin Hwang, Xingyu Huang, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Takanori Takahashi, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka, Masaharu Kobayashi

    IEEE Transactions on Electron Devices   2025年12月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TED.2025.3605574

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  • Reliability improvement of InGaO x FETs by adding Zn in atomic layer deposition process

    Kota Sakai, Kaito Hikake, Sung-hun Kim, Yuki Itoya, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Japanese Journal of Applied Physics   2025年10月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ae0775

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  • Nanosheet oxide semiconductor FETs with ALD InZnO x compared to InGaO x

    Sung-Hun Kim, Kaito Hikake, Zhuo Li, Yuki Itoya, Kota Sakai, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Japanese Journal of Applied Physics   2025年3月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/adac1f

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  • Demonstration of superior UIS robustness of 3300 V scaled IGBT by non-proportional scaling methods

    Xiang Zhou, Wataru Saito, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2025年3月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/adb5e3

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  • Enhanced reliability of ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 capacitors by bottom electrode surface oxidation

    Yuki Itoya, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Japanese Journal of Applied Physics   2025年2月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ada163

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  • Indexing Current–Voltage Characteristics Using a Hash Function

    T. Tanamoto, S. Furukawa, R. Kitahara, T. Mizutani, K. Ono, T. Hiramoto

    IEEE Transactions on Electron Devices   2025年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TED.2025.3588498

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  • Gate Voltage Dependence of MOSFET Random Telegraph Noise Amplitude at Room and Cryogenic Temperatures

    Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Hiroshi Oka, Takahiro Mori, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    IEEE Journal of the Electron Devices Society   2025年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/JEDS.2025.3632306

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  • Cryogenic threshold voltage and on-current variability comparative analysis of same-fab 65 nm bulk and fully depleted silicon-on-insulator metal–oxide–semiconductor field-effect transistors

    Zihao Liu, Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Hiroshi Oka, Takahiro Mori, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2024年12月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ad9482

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  • High-Field Transport and Statistical Variability of Nanosheet Oxide Semiconductor FETs With Channel Length Scaling

    Xingyu Huang, Kaito Hikake, Sung-Hun Kim, Kota Sakai, Zhuo Li, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Takanori Takahashi, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka, Masaharu Kobayashi

    IEEE Transactions on Electron Devices   2024年12月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TED.2024.3473888

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  • Robust reverse bias safe operating area and improved electrical performance in 3300 V non-proportionally scaled insulated gate bipolar transistors

    Xiang Zhou, Munetoshi Fukui, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Wataru Saito, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2024年2月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ad189f

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  • Oxide-semiconductor channel ferroelectric field-effect transistors for high-density memory applications: 3D NAND operation and the potential impact of in-plane polarization

    Junxiang Hao, Xiaoran Mei, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Japanese Journal of Applied Physics   2024年1月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ad11b8

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  • A Nanosheet Oxide Semiconductor FET Using ALD InGaOx Channel for 3-D Integrated Devices

    Kaito Hikake, Zhuo Li, Junxiang Hao, Chitra Pandy, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Takanori Takahashi, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka, Masaharu Kobayashi

    IEEE Transactions on Electron Devices   1 - 7   2024年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)  

    DOI: 10.1109/ted.2024.3370534

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  • Energy-Efficient Annealing Process of Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 Capacitor Using Ultraviolet-LED for Green Manufacturing

    Hirotaka Yamada, Satoru Furue, Takehiko Yokomori, Yuki Itoya, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    IEEE Journal of the Electron Devices Society   2024年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/JEDS.2024.3365150

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  • Superior Turn-Off dV/dt Controllability From Suppression of Dynamic Avalanche in 3300V Scaled IGBTs

    Xiang Zhou, Munetoshi Fukui, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE Journal of the Electron Devices Society   2024年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/JEDS.2023.3342869

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  • A Nanosheet Oxide Semiconductor FET Using ALD InGaOx Channel and InSnOx Electrode with Normally-off Operation, High Mobility and Reliability for 3D Integrated Devices

    Kaito Hikake, Zhuo Li, Junxiang Hao, Chitra Pandy, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Takanori Takahashi, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka, Masaharu Kobayashi

    2023 IEEE Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits)   2023年6月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.23919/vlsitechnologyandcir57934.2023.10185234

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  • Device modeling of oxide–semiconductor channel antiferroelectric FETs using half-loop hysteresis for memory operation

    Xingyu Huang, Yuki Itoya, Zhuo Li, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Japanese Journal of Applied Physics   2023年4月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/acac3b

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  • MOSFET series resistance extraction at cryogenic temperatures

    Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Hiroshi Oka, Takahiro Mori, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2023年4月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/acac3c

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  • Pixel-Parallel Three-Layer Stacked CMOS Image Sensors Using Double-Sided Hybrid Bonding of SOI Wafers

    Masahide Goto, Yuki Honda, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    IEEE Transactions on Electron Devices   70 ( 9 )   4705 - 4711   2023年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TED.2023.3298308

    Scopus

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  • Mesoscopic-scale grain formation in HfO2-based ferroelectric thin films and its impact on electrical characteristics

    Masaharu Kobayashi, Jixuan Wu, Yoshiki Sawabe, Saraya Takuya, Toshiro Hiramoto

    Nano Convergence   9 ( 1 )   2022年11月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Springer Science and Business Media LLC  

    Abstract

    Ferroelectric memory devices are expected for low-power and high-speed memory applications. HfO2-based ferroelectric is attracting attention for its CMOS-compatibility and high scalability. Mesoscopic-scale grains, of which size is almost comparable to device size, are formed in HfO2-based ferroelectric poly-crystalline thin films, which largely influences electrical characteristics in memory devices. It is important to study the impact of mesoscopic-scale grain formation on the electrical characteristics. In this work, first, we have studied the thickness dependence of the polarization switching kinetics in HfO2-based ferroelectric. While static low-frequency polarization is comparable for different thickness, dynamic polarization switching speed is slower in thin Hf0.5Zr0.5O2 (HZO) capacitors. Based on the analysis using the NLS model and physical characterization, thinner HZO contains smaller grains with orientation non-uniformity and more grain boundaries than thicker HZO, which can impede macroscopic polarization switching. We have also theoretically and experimentally studied the polar-axis alignment of a HfO2-based ferroelectric thin film. While in-plane polar orientation is stable in as-grown HZO, out-of-plane polarization can be dominant by applying electric field, which indicates the transition from in-plane polar to out-of-plane polar orientation in the ferroelectric phase grains. This is confirmed by calculating kinetic pathway using ab-initio calculation.

    DOI: 10.1186/s40580-022-00342-6

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    その他リンク: https://link.springer.com/article/10.1186/s40580-022-00342-6/fulltext.html

  • On the thickness dependence of the polarization switching kinetics in HfO2-based ferroelectric

    Yoshiki Sawabe, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Chun-Jung Su, Vita Pi-Ho Hu, Masaharu Kobayashi

    Applied Physics Letters   2022年8月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/5.0098436

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  • A 3D Vertical-Channel Ferroelectric/Anti-Ferroelectric FET With Indium Oxide

    Zhuo Li, Jixuan Wu, Xiaoran Mei, Xingyu Huang, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Takanori Takahashi, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka, Masaharu Kobayashi

    IEEE Electron Device Letters   43 ( 8 )   1227 - 1230   2022年8月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)  

    DOI: 10.1109/led.2022.3184316

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  • A Vertical Channel Ferroelectric/Anti-Ferroelectric FET with ALD InOx and Field-Induced Polar-Axis Alignment for 3D High-Density Memory

    Zhuo Li, Jixuan Wu, Xiaoran Mei, Xingyu Huang, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Takanori Takahashi, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka, Masaharu Kobayashi

    2022 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW)   2022年6月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.1109/snw56633.2022.9889037

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  • Effect of percolation path on temperature dependence of threshold voltage variability in bulk MOSFETs

    Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Hiroshi Oka, Takahiro Mori, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2022年5月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:{IOP} Publishing  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac3a92

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  • Cause analysis of width-dependence of on-current variability in thin gate-all-around silicon nanowire MOSFET

    Zihao Liu, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2022年5月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:{IOP} Publishing  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac3a8c

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  • A simulation study on memory characteristics of InGaZnO-channel ferroelectric FETs with 2D planar and 3D structures

    Fei Mo, Xiaoran Mei, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Japanese Journal of Applied Physics   61 ( SC )   SC1013 - SC1013   2022年5月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IOP Publishing  

    <title>Abstract</title>
    We have investigated the memory characteristics of InGaZnO (IGZO)-channel ferroelectric FETs (FeFETs) with 2D planar and 3D structures by TCAD simulation to improve the memory window (MW) with a floating-body channel for high-density memory applications. From the study on 2D planar FeFETs with a single gate and a double gate, the MW depends on channel length (<italic>L</italic>) and is enhanced with shorter <italic>L</italic> due to stronger electrostatic coupling from the source and drain to the center region of the IGZO layer. From the study on 3D structure FeFETs with macaroni (MAC) and nanowire (NW) structures, a large MW can be obtained especially in NW FeFETs due to the electric field concentration by Gauss’s law in the 3D electrostatics. Furthermore, we have systematically studied and discussed the device design of MAC and NW structure FeFETs in terms of the diameter and thickness for high-density memory applications. As the IGZO thickness and the outer diameter of the IGZO layer decrease, the MW increases due to the voltage divider and the electric field concentration. The device parameters that can maximize the MW can be determined under the constraints of the layout and material based on this study.

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac3d0e

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    その他リンク: https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/ac3d0e/pdf

  • Estimation of minimum operating voltage in fully depleted SOI SRAM cells using gamma distribution

    Hongkuan Yu, Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2022年5月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac4447

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  • A robust single device MOSFET series resistance extraction method considering horizontal-field-dependent mobility

    Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2022年5月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac3eb7

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  • Corrigendum: “A robust single device MOSFET series resistance extraction method considering horizontal-field-dependent mobility” [Jpn. J. Appl. Phys. 61, SC1016 (2022)]

    Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   61 ( 4 )   049301 - 049301   2022年4月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:{IOP} Publishing  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac5dfb

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  • A Threshold Voltage Definition Based on a Standardized Charge Versus Voltage Relationship

    Kiyoshi Takeuchi, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    IEEE Transactions on Electron Devices   2022年3月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TED.2022.3144623

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  • Efficient Erase Operation by GIDL Current for 3D Structure FeFETs with Gate Stack Engineering and Compact Long-term Retention Model

    Fei Mo, Jiawen Xiang, Xiaoran Mei, Yoshiki Sawabe, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Chun-Jung Su, Vita Pi-Ho Hu, Masaharu Kobayashi

    IEEE Journal of the Electron Devices Society   1 - 1   2022年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)  

    DOI: 10.1109/jeds.2022.3142046

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  • 3-Layer Stacking Technology with Pixel-Wise Interconnections for Image Sensors Using Hybrid Bonding of Silicon-on-Insulator Wafers Mediated by Thin Si Layers

    Masahide Goto, Yuki Honda, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Eiji Higurashi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    Proceedings - Electronic Components and Technology Conference   2022-May   122 - 125   2022年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ECTC51906.2022.00029

    Scopus

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  • 3-Layer Stacked Pixel-Parallel CMOS Image Sensors Using Hybrid Bonding of SOI Wafers

    Masahide Goto, Yuki Honda, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    IS and T International Symposium on Electronic Imaging Science and Technology   34 ( 7 )   2022年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.2352/EI.2022.34.7.ISS-258

    Scopus

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  • Monolithic Integration of Oxide Semiconductor FET and Ferroelectric Capacitor Enabled by Sn-Doped InGaZnO for 3-D Embedded RAM Application

    Jixuan Wu, Fei Mo, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Mototaka Ochi, Hiroshi Goto, Masaharu Kobayashi

    IEEE Transactions on Electron Devices   68 ( 12 )   6617 - 6622   2021年12月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)  

    DOI: 10.1109/ted.2021.3111145

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  • Variability characteristics and corner effects of gate-all-around (GAA) p-type poly-Si junctionless nanowire/nanosheet transistors

    Min-Ju Ahn, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   60   2021年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IOP Publishing Ltd  

    DOI: 10.35848/1347-4065/abdb84

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  • TCAD validation of an intercept-at-zero-gate-length MOSFET series resistance extraction method

    Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    VLSI-TSA 2021 - 2021 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications, Proceedings   2021年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/VLSI-TSA51926.2021.9440119

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  • Subthreshold Swing in Silicon Gate-All-Around Nanowire MOSFET at Cryogenic Temperature

    Shohei Sekiguchi, Min-Ju Ahn, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2021 5th IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference, EDTM 2021   2021年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/EDTM50988.2021.9420934

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  • Accurate TCAD simulation of trench-gate IGBTs and its application to prediction of carrier lifetime requirements for future scaled devices

    M. Watanabe, N. Shigyo, T. Hoshii, K. Furukawa, K. Kakushima, K. Satoh, T. Matsudai, T. Saraya, T. Takakura, I. Muneta, H. Wakabayashi, A. Nakajima, S. Nishizawa, K. Tsutsui, T. Hiramoto, H. Ohashi, H. Iwai

    2021 5th IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference, EDTM 2021   2021年4月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/EDTM50988.2021.9420922

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  • Design space exploration of hysteretic negative capacitance ferroelectric FETs based on static solutions of Landau-Khalatnikov model for nonvolatile memory applications

    Kiyoshi Takeuchi, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   60 ( 3 )   2021年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IOP Publishing Ltd  

    DOI: 10.35848/1347-4065/abe8a5

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  • Study on the Roles of Charge Trapping and Fixed Charge on Subthreshold Characteristics of FeFETs

    C. Jin, C. J. Su, Y. J. Lee, P. J. Sung, T. Hiramoto, M. Kobayashi

    IEEE Transactions on Electron Devices   68 ( 3 )   1304 - 1312   2021年3月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)  

    DOI: 10.1109/ted.2020.3048916

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  • Ultrathin MoS2-Channel FeFET Memory with Enhanced Ferroelectricity in HfZrO2 and Body-Potential Control

    Jiawen Xiang, Wen Hsin Chang, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Toshifumi Irisawa, Masaharu Kobayashi

    IEEE Journal of the Electron Devices Society   10   1 - 1   2021年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)  

    DOI: 10.1109/jeds.2021.3133570

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  • Reconfigurable Multivalue Logic Functions of a Silicon Ellipsoidal Quantum-Dot Transistor Operating at Room Temperature

    Youngmin Lee, Jin Woo Lee, Sejoon Lee, Toshiro Hiramoto, Kang L. Wang

    ACS Nano   2021年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:American Chemical Society  

    DOI: 10.1021/acsnano.1c08208

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  • A first-principles study on ferroelectric phase formation of Si-doped HfO2 through nucleation and phase transition in thermal process

    Jixuan Wu, Fei Mo, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Applied Physics Letters   117 ( 25 )   252904 - 252904   2020年12月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:AIP Publishing  

    DOI: 10.1063/5.0035139

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  • 3.3 kV back-gate-controlled IGBT (BC-IGBT) using manufacturable double-side process technology

    T. Saraya, K. Itou, T. Takakura, M. Fukui, S. Suzuki, K. Takeuchi, M. Tsukuda, K. Satoh, T. Matsudai, K. Kakushima, T. Hoshii, K. Tsutsui, H. Iwai, A. Ogura, W. Saito, S. Nishizawa, I. Omura, H. Ohashi, T. Hiramoto

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM   2020-December   5.3.1 - 5.3.4   2020年12月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/IEDM13553.2020.9371909

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  • A Monolithic 3-D Integration of RRAM Array and Oxide Semiconductor FET for In-Memory Computing in 3-D Neural Network

    Jixuan Wu, Fei Mo, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    IEEE Transactions on Electron Devices   67 ( 12 )   5322 - 5328   2020年12月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)  

    DOI: 10.1109/ted.2020.3033831

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  • Origin of carrier lifetime degradation in floating-zone silicon during a high-temperature process for insulated gate bipolar transistor

    Ryo Yokogawa, Hiroto Kobayashi, Yohichiroh Numasawa, Atsushi Ogura, Shin-ichi Nishizawa, Takuya Saraya, Kazuo Ito, Toshihiko Takakura, Shinichi Suzuki, Munetoshi Fukui, Kiyoshi Takeuchi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   59 ( 11 )   115503 - 115503   2020年11月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IOP Publishing  

    DOI: 10.35848/1347-4065/abc1d0

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    その他リンク: https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/abc1d0

  • (Invited) 3D Neural Network: Monolithic Integration of Resistive-RAM Array with Oxide-Semiconductor FET

    Masaharu Kobayashi, Jixuan Wu, Fei Mo, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    ECS Transactions   98 ( 8 )   57 - 61   2020年9月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:The Electrochemical Society  

    DOI: 10.1149/09808.0057ecst

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    その他リンク: https://iopscience.iop.org/article/10.1149/09808.0057ecst/pdf

  • Modeling and simulation of Si IGBTs

    N. Shigyo, M. Watanabe, K. Kakushima, T. Hoshii, K. Furukawa, A. Nakajima, K. Satoh, T. Matsudai, T. Saraya, T. Takakura, K. Itou, M. Fukui, S. Suzuki, K. Takeuchi, I. Muneta, H. Wakabayashi, S. Nishizawa, K. Tsutsui, T. Hiramoto, H. Ohashi, H. Iwai

    International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD   2020-September   129 - 132   2020年9月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.23919/SISPAD49475.2020.9241627

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  • Superior subthreshold characteristics of gate-all-around p-type junctionless poly-Si nanowire transistor with ideal subthreshold slope

    Min-Ju Ahn, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Naomi Sawamoto, Atsushi Ogura, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   2020年7月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:{IOP} Publishing  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ab9e7d

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  • Reliability characteristics of metal/ferroelectric-HfO2/IGZO/metal capacitor for non-volatile memory application 査読

    Fei Mo, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Applied Physics Express   13 ( 7 )   074005 - 074005   2020年7月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IOP Publishing  

    DOI: 10.35848/1882-0786/ab9a92

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    その他リンク: https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1882-0786/ab9a92/pdf

  • A Monolithic 3D Integration of RRAM Array with Oxide Semiconductor FET for In-memory Computing in Quantized Neural Network AI Applications

    Jixuan Wu, Fei Mo, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   2020-   2020年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/VLSITechnology18217.2020.9265062

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  • Integrated Circuits Composed of Nanowire and Single-Electron Transistors Operating at Room Temperature

    Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2020 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2020   33 - 34   2020年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/SNW50361.2020.9131650

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  • Performance enhancement of BF2+implanted poly-Si junctionless transistors by boron segregation and fluorine effect

    Min-Ju Ahn, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2020 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2020   51 - 52   2020年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/SNW50361.2020.9131671

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  • Superior subthreshold slope of gate-all-around (GAA) p-type poly-Si junctionless nanowire transistors with highly suppressed grain boundary defects

    Min-Ju Ahn, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2020 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2020   55 - 56   2020年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/SNW50361.2020.9131416

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  • Bipolar Transistor Test Structures for Extracting Minority Carrier Lifetime in IGBTs 査読

    Kiyoshi Takeuchi, Munetoshi Fukui, Takuya Saraya, Kazuo Itou, Toshihiko Takakura, Shinichi Suzuki, Yohichiroh Numasawa, Naoyuki Shigyo, Kuniyuki Kakushima, Takuya Hoshii, Kazuyoshi Furukawa, Masahiro Watanabe, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai, Atsushi Ogura, Wataru Saito, Shin-Ichi Nishizawa, Masanori Tsukuda, Ichiro Omura, Hiromichi Ohashi, Toshiro Hiramoto

    IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing   33 ( 2 )   159 - 165   2020年5月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)  

    DOI: 10.1109/tsm.2020.2972369

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  • A simulation study on low voltage operability of hafnium oxide based ferroelectric FET memories 査読

    Kiyoshi Takeuchi, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   59 ( {SG} )   GB11   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:{IOP} Publishing  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ab6cb4

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  • Statistical analysis of temperature dependence of worst case static random access memory data retention voltage using extreme value theory

    Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   59   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Physics Publishing  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ab70a2

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  • Impact of structural parameter scaling on on-state voltage in 1200 V scaled IGBTs

    Takuya Saraya, Kazuo Itou, Toshihiko Takakura, Munetoshi Fukui, Shinichi Suzuki, Kiyoshi Takeuchi, Kuniyuki Kakushima, Takuya Hoshii, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai, Shin-ichi Nishizawa, Ichiro Omura, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ab7414

    Web of Science

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  • 強誘電体トンネル接合メモリの大規模集積化に向けた設計に関する検討

    吉村英将, 莫非, 平本俊郎, 小林正治

    第67回応用物理学会春季学術講演会,上智大学(COVID-19のため開催中止),2020年3月14日   14p-A303-13   2020年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2020/3/14

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  • Fabrication of Multi-stacked Integrated Circuit for High-Performance Image Sensors

    Nakatani Naoki, Toshiyoshi Hiroshi, Hiramoto Toshiro, Honda Yuki, Goto Masahide, Watabe Toshihisa, Nanba Masakazu, Iguchi Yoshinori, Saraya Takuya, Kobayashi Masaharu, Higurashi Eiji

    Transactions of The Japan Institute of Electronics Packaging   13   E20 - 004-1-E20-004-3   2020年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人エレクトロニクス実装学会  

    <p>We have been developing a three-dimensionally (3D) structured complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) image sensor (CIS), which has individual signal processing circuits in each pixel under the photoelectronic conversion area for high-performance and multi-functional operation. In this paper, we report on our experimental 3D integrated circuits developed using multi-stack technology, which enables us to fabricate 3D-CISs with small pixels. The results showed the fundamental operation of the prototype circuit, which indicates the feasibility of highly integrated 3D-CIS of More-than-Moore type applications.</p>

    DOI: 10.5104/jiepeng.13.E20-004-1

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  • Fabrication of 3-layer stacked pixel for pixel-parallel CMOS image sensors by Au/SiO<inf>2</inf> hybrid bonding of SOI wafers

    Masahide Goto, Naoki Nakatani, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    ECS Transactions   98 ( 4 )   167 - 171   2020年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/09804.0167ecst

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  • Low-Voltage Operating Ferroelectric FET with Ultrathin IGZO Channel for High-Density Memory Application 査読

    Fei Mo, Yusaku Tagawa, Chengji Jin, MinJu Ahn, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    IEEE Journal of the Electron Devices Society   8   717 - 723   2020年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)  

    DOI: 10.1109/jeds.2020.3008789

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  • Width dependence of drain current and carrier mobility in gate-all-around multi-channel polycrystalline silicon nanowire transistors with 10 nm width scale 査読

    Ki Hyun Jang, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Naomi Sawamoto, Atsushi Ogura, Toshiro Hiramoto

    Japanese Journal of Applied Physics   59 ( 2 )   2020年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ab6f2c

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  • Physical Mechanisms of Reverse DIBL and NDR in FeFETs with Steep Subthreshold Swing

    Chengji Jin, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    IEEE Journal of the Electron Devices Society   8   429 - 434   2020年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/JEDS.2020.2986345

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  • An Architectural Study for Inference Coprocessor Core at the Edge in IoT Sensing. 査読

    Daisuke Watanabe, Yuji Yano, Shintaro Izumi, Hiroshi Kawaguchi, Kiyoshi Takeuchi, Toshiro Hiramoto, Shoichi Iwai, Masami Murakata, Masahiko Yoshimoto

    2nd IEEE International Conference on Artificial Intelligence Circuits and Systems(AICAS)   305 - 309   2020年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.1109/AICAS48895.2020.9073992

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    その他リンク: https://dblp.uni-trier.de/db/conf/aicas/aicas2020.html#WatanabeYIKTHIM20

  • 強誘電体HfO2トンネル接合メモリのスケーラビリティに関する検討 招待

    小林正治, 莫非, 多川友作, 更屋拓哉, 平本俊郎

    シリコン材料・デバイス研究会(SDM研究会),機械振興会館,2019年11月7日   5 - 8   2019年11月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    11/7/2019

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  • Triple-Stacked Silicon-on-Insulator Integrated Circuits Using Au/SiO<inf>2</inf>Hybrid Bonding

    Yuki Honda, Masahide Goto, Toshihisa Watabe, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2019 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference, S3S 2019   2019年10月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/S3S46989.2019.9320733

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  • Comprehensive understanding of negative capacitance fet from the perspective of transient ferroelectric model

    Masaharu Kobayashi, Chengji Jin, Toshiro Hiramoto

    Proceedings of International Conference on ASIC   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE Computer Society  

    DOI: 10.1109/ASICON47005.2019.8983568

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  • Switching of 3300v scaled igbt by 5v gate drive

    T. Hiramoto, K. Satoh, T. Matsudai, W. Saito, K. Kakushima, T. Hoshii, K. Furukawa, M. Watanabe, N. Shigyo, H. Wakabayashi, K. Tsutsui, T. Sarava, H. Iwai, A. Ogura, S. Nishizawa, I. Omura, H. Ohash, K. Itou, T. Takakura, M. Fukui, S. Suzuki, K. Takeuchi, M. Tsukuda, Y. Numasawa

    Proceedings of International Conference on ASIC   2019年10月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ASICON47005.2019.8983633

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  • Mechanisms of Reverse-DIBL and NDR Observed in Ferroelectric FETs

    Chengji Jin, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    第80回応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学(北海道),18p-B11-1   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

    9/18

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  • 極薄IGZOチャネルを有する強誘電体トランジスタメモリの検討 招待

    小林正治, 莫非, 多川友作, 金成吉, 安珉柱, 更屋拓哉, 平本俊郎

    シリコン材料・デバイス(SDM)研究会,北海道大学,2019年8月9日   59 - 62   2019年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    8/9/2019

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  • Experimental Demonstration of Ferroelectric HfO2 FET with Ultrathin-body IGZO for High-Density and Low-Power Memory Application 査読

    Fei Mo, Yusaku Tagawa, Chengji Jin, MinJu Ahn, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    VLSI technology symposium 2019, June 11th, 2019, Kyoto   42 - 43   2019年6月

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    記述言語:英語  

    6/11

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  • Transient Negative Capacitance as Cause of Reverse Drain-induced Barrier Lowering and Negative Differential Resistance in Ferroelectric FETs 査読

    Chengji Jin, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    VLSI technology symposium 2019, June 13th, 2019, Kyoto   220 - 221   2019年6月

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    記述言語:英語  

    6/13

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  • 反強誘電体ZrO2を有するMIS構造のユニポーラスイッチング特性

    多川 友作, 更屋 拓哉, 平本 俊郎, 小林 正治

    第66回応用物理学会春季学術講演会、東京、10p-W631-9   2019年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2019/3/10

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  • Vertical bipolar transistor test structure for measuring minority carrier lifetime in IGBTs 査読 国際誌

    K. Takeuchi, M. Fukui, T. Saraya, K. Itou, T. Takakura, S. Suzuki, Y. Numasawa, K. Kakushima, T. Hoshii, K. Furukawa, M. Watanabe, N. Shigyo, H. Wakabayashi, M. Tsukuda, A. Ogura, K. Tsutsui, H. Iwai, Shinichi Nishizawa, I. Omura, H. Ohashi, T. Hiramoto

    32nd IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS 2019 2019 IEEE 32nd International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS 2019   98 - 101   2019年3月

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    記述言語:英語  

    Vertical PNP bipolar transistor test structures were fabricated, which can be integrated on the same wafer with functional IGBTs. Common-base current gain was measured by applying zero voltage to the leaky back side junction, from which minority carrier lifetime in the base region was extracted. The structure makes it possible to measure the lifetime after a real IGBT fabrication process flow, and to correlate it with the characteristics of IGBTs on the same wafer.

    DOI: 10.1109/ICMTS.2019.8730922

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  • Scalability Study on Ferroelectric-HfO2 Tunnel Junction Memory

    莫 非, 多川 友作, 更屋 拓哉, 平本 俊郎, 小林 正治

    第66回応用物理学会春季学術講演会、東京、10p-W934-5   2019年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2019/3/10

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  • Polarization Switching as the Cause of Steep Subthreshold Slope in Ferroelectric FETs

    Chengji Jin, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    第66回応用物理学会春季学術講演会、東京、10p-W631-11   2019年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2019/3/10

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  • A Feasibility Study on Ferroelectric Shadow SRAMs Using a New Variability Design Scheme 査読

    Kiyoshi Takeuchi, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    3rd Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Conference 2019, Marina Bay Sands, Singapore, March 14, 2019.   109 - 111   2019年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    3/14

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  • CMOS 互換プロセスによるスケーラブルな積層構造型シリコン量子ビットの提案

    伊藤優希, 小林正治, 平本俊郎

    第66回応用物理学会春季学術講演会,東京工業大学大岡山キャンパス,10a-S221-7,2019年3月10日.   2019年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    3/10

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  • Steep Subthreshold Slope below 60mV/dec in Junctionless SOI Transistors at Low Drain Voltage of 50mV 査読

    Min-Ju Ahn, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    3rd Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Conference 2019, Marina Bay Sands, Singapore, March 14, 2019   2019年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    3/14

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  • Scalability Study on Ferroelectric-HfO2 Tunnel Junction Memory

    MO FEI, yusaku Tagawa, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    JSAP Annual Meetings Extended Abstracts   2019.1   2639 - 2639   2019年2月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:The Japan Society of Applied Physics  

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_2639

    CiNii Research

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  • Demonstration of 1200V Scaled IGBTs Driven by 5V Gate Voltage with Superiorly Low Switching Loss

    T. Saraya, K. Itou, T. Takakura, M. Fukui, S. Suzuki, K. Takeuchi, M. Tsukuda, Y. Numasawa, K. Satoh, T. Matsudai, W. Saito, K. Kakushima, T. Hoshii, K. Furukawa, M. Watanabe, N. Shigyo, K. Tsutsui, H. Iwai, A. Ogura, S. Nishizawa, I. Omura, H. Ohashi, T. Hiramoto

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM   2018-December   2019年1月

  • Experimental Study on the Role of Polarization Switching in Subthreshold Characteristics of HfO 2 -based Ferroelectric and Anti-ferroelectric FET

    Chengji Jin, Kyungmin Jang, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM   2018-   31.5.1 - 31.5.4   2019年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/IEDM.2018.8614486

    Scopus

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  • Self-Turn-on-Free 5V Gate Driving for 1200V Scaled IGBT

    Masanori Tsukuda, Masaki Sudo, Kazunori Hasegawa, Seiya Abe, Takuya Saraya, Toshihiko Takakura, Munetoshi Fukui, Kazuo Itou, Shinichi Suzuki, Kiyoshi Takeuchi, Tamotsu Ninomiya, Toshiro Hiramoto, Ichiro Omura

    2019 31ST INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON POWER SEMICONDUCTOR DEVICES AND ICS (ISPSD)   339 - 342   2019年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Web of Science

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  • Triple-Layering Technology for Pixel-Parallel CMOS Image Sensors Developed by Hybrid Bonding of SOI Wafers. 査読

    Masahide Goto, Joeri De Vos, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Eiji Higurashi, Yuki Honda, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2019 International 3D Systems Integration Conference (3DIC)(3DIC)   1 - 4   2019年

     詳細を見る

    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.1109/3DIC48104.2019.9058785

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  • 画素単位の3次元集積化技術を用いたリニア広ダイナミックレンジ出力QVGAイメージセンサ (集積回路)

    後藤 正英, 本田 悠葵, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   118 ( 337 )   43 - 48   2018年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:電子情報通信学会  

    12/7

    CiNii Books

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  • Proposal of scalable silicon qubits with vertically stacked structures fabricated by CMOS technology 査読

    Yuki Ito, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Silicon Quantum Electronics Workshop (SQEW), Doltone House, Sydney, Australia, Poster No. 23, November 13, 2018.   2018年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    11/13

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  • 多量子ビット化実現に向けたスケーラブルな積層構造型シリコン量子ビットの提案

    伊藤優希, 小林正治, 平本俊郎

    電子情報通信学会量子情報技術研究会,東京大学先端科学技術研究センター,2018年11月26日   2018年11月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    11/26

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  • SOIウェハの直接接合を用いた2層積層320×240画素並列CMOSイメージセンサ (第10回 集積化MEMSシンポジウム) 査読

    本田 悠葵, 後藤 正英, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   35   4p   2018年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  • New Methodology for Evaluating Minority Carrier Lifetime for Process Assessment

    K. Kakushima, T. Hoshii, M. Watanabe, N. Shizyo, K. Furukawa, T. Saraya, T. Takakura, K. Itou, M. Fukui, S. Suzuki, K. Takeuchi, I. Muneta, H. Wakabayashi, Y. Numasawa, A. Ogura, S. Nishizawa, K. Tsutsui, T. Hiramoto, H. Ohashi, H. Iwai

    IEEE Symposium on VLSI Circuits, Digest of Technical Papers   2018-June   105 - 106   2018年10月

  • Pixel-Parallel Three-Dimensional Integrated CMOS Image Sensors by Using Direct Bonding of Silicon-on-Insulator Wafers for Next-Generation Television Systems 招待 査読

    Masahide Goto, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2018, Tsushima Campus, Okayama University, October 21, 2018   2018年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    10/21

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  • Verification of the injection enhancement effect in IGBTs by measuring the electron and hole currents separately 査読

    T. Hoshii, K. Furukawa, K. Kakushima, M. Watanabe, N. Shigvo, T. Saraya, T. Takakura, K. Ltou, M. Fukui, S. Suzuki, K. Takeuchi, I. Muneta, H. Wakabayashi, Shinichi Nishizawa, K. Tsutsui, T. Hiramoto, H. Ohashi, H. Lwai

    48th European Solid-State Device Research Conference, ESSDERC 2018 2018 48th European Solid-State Device Research Conference, ESSDERC 2018   26 - 29   2018年10月

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    記述言語:英語  

    The injection enhancement effect in IGBTs was experimentally verified by separately measuring emitter electron-and hole-currents for the first time. Finger contacts were employed as ladder-like periodic n+ and p+ emitters to allow the independent measurement of these currents. Both reducing the mesa width and increasing the cell pitch were found to increase electron injection from the emitter, demonstrating the injection enhancement effect. These experimental results agreed well with the simulation results.

    DOI: 10.1109/ESSDERC.2018.8486870

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  • Temperature Effect on DIBL Variability in Bulk and SOTB MOSFETs 査読

    S. Gao, T. Mizutani, K. Takeuchi, M. Kobayashi, T. Hiramoto

    International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) 2018, Tokyo, Japan   167 - 168   2018年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    2018/9/11

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  • 画素並列信号処理3層構造イメージセンサの設計 査読

    後藤正英, 本田悠葵, 渡部俊久, 萩原 啓, 難波正和, 井口義則, 更屋拓哉, 小林正治, 日暮栄治, 年吉 洋, 平本俊郎

    第79回応用物理学会秋季学術講演会,名古屋国際会議場,19p-432-7,2018年9月19日.   79th   2018年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    9/19

    J-GLOBAL

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  • Ferroelectric Neuron for Feedforward Neural Network Application 査読

    Fei Mo, Tagawa Yusaku, Saraya Takuya, Hiramoto Toshiro, Kobayashi Masaharu

    第79回応用物理学会秋季学術講演会、名古屋   20p-141-13   2018年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2018/9/20

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  • 高TER・多値メモリ性を有するHfO2強誘電トンネル接合メモリのためのデバイスおよびプロセス設計 査読

    多川 友作, 莫 非, 更屋 拓哉, 平本 俊郎, 小林 正治

    第79回応用物理学会秋季学術講演会、名古屋   19p-233-11   2018年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2018/9/19

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  • 複数回ストレスを利用した特性ばらつき自己修復手法のBulk SRAMセルへの応用 査読

    水谷 朋子, 竹内 潔, 更屋 拓哉, 小林 正治, 平本 俊郎

    第79回応用物理学会秋季学術講演会、名古屋   20a-CE-4   2018年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2018/9/20

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  • Reduced Drain-Induced-Barrier-Lowering (DIBL) Variability at High Temperature in Bulk and SOTB MOSFETs 査読

    Shuang Gao, Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    第79回応用物理学会秋季学術講演会、名古屋   20a-CE-3   2018年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2018/9/20

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  • On the Physical Origin of Steep Subthreshold Slope in Ferroelectric FET: Transient Negative Capacitance Effect Caused by Polarization Switching Delay 査読

    C. Jin, T. Hiramoto, M. Kobayashi

    International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) 2018, Tokyo, Japan   199 - 200   2018年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    2018/9/12

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  • SRAMの安定性自己修復手法における複数回ストレス印加の効果

    水谷朋子, 竹内 潔, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会(SDM)および集積回路研究会(ICD)合同研究会,8/7-8/9,北海道   2018年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2018/8/9

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  • Understanding Temperature Effect on Subthreshold Slope Variability in Bulk and SOTB MOSFETs 査読

    Shuang Gao, Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会 (SDM)、北海道   2018年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2018/8/8

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  • 強誘電体HfO2 FTJの高TER化と多値化のためのデバイスおよびプロセス設計 査読

    小林正治, 多川友作, バク ヒ, 平本俊郎

    電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会(SDM)および集積回路研究会(ICD)合同研究会,8/7-8/9,北海道   2018年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2018/8/9

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  • Scalability Study on Fcrroclcctric-HfO<inf>2</inf> Tunnel Junction Memory Based on Non-equilibrium Green Function Method with Self-consistent Potential

    Fei Mo, Yusaku Tagawa, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Masaharu Kobayashi

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM   2018-December   16.3.1 - 16.3.4   2018年7月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/IEDM.2018.8614702

    Scopus

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  • Device and Process Design for HfO 2 -Based Ferroelectric Tunnel Junction - 3 - Memory with Large Tunneling Electroresistance Effect and Multi-level Cell 査読

    M. Kobayashi, Y. Tagawa, M. Fei, T. Saraya, T. Hiramoto

    2018 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, Honolulu, HI, USA   29 - 30   2018年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    2018/6/17

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  • Improving Performance and Variability of Gate-All-Around Polycrystalline Silicon Nanowire Transistors by High Temperature Annealing with Passivation Oxide , 査読

    K. –H. Jang, T. Saraya, M. Kobayashi, N. Sawamoto, A. Ogura, T. Hiramoto

    2018 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop Hilton Hawaiian Village, Honolulu, HI USA   59 - 60   2018年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    2018/6/7

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  • Reduced Subthreshold Slope Variability at High Temperature in Bulk and SOTB MOSFETs 査読

    S. Gao, T. Mizutani, K. Takeuchi, M. Kobayashi, T. Hiramoto

    2018 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop June 17-18, 2018 Hilton Hawaiian Village, Honolulu, HI USA Satellite conference of 2018 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop Hilton Hawaiian Village, Honolulu, HI USA   9 - 10   2018年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    2018/6/17

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  • Drain-Induced Variability Due to Quantum Confinement Effect in Extremely Narrow Silicon Nanowire Transistors with Width down to 2nm 査読

    Toshiro Hiramoto, Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi

    International Conference on Nanoelectronics Strategy (INS), Qatar Science Hall, Tohoku University, May 14, 2018   2018年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    5/14

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  • Statistics of Random Telegraph Noise Amplitude in Extremely Narrow Silicon Nanowire Transistors with Width down to 2nm 査読

    Toshiro Hiramoto, Hao Qiu, Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi

    International Conference on Nanoelectronics Strategy (INS), Qatar Science Hall, Tohoku University, May 14, 2018   2018年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    5/14

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  • A Nonvolatile SRAM Based on Ferroelectric HfO2 capacitor for IoT Power Management 招待 査読

    Masaharu Kobayashi, Nozomu Ueyama, Toshiro Hiramoto

    ECS Transactions, Seattle, WA   85 ( 6 )   111 - 114   2018年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    2018/5/15

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  • Quarter Video Graphics Array Full-Digital Image Sensing with Wide Dynamic Range and Linear Output Using Pixel-Wise 3D Integration 査読

    Masahide Goto, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    Proceedings - IEEE International Symposium on Circuits and Systems   2018-May   2018年4月

     詳細を見る

    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ISCAS.2018.8351002

    Scopus

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  • MOS-Gated Thyristorの電圧ベース等価回路モデルを用いた急峻スロープPN-Body Tied SOI FETのパラメータ依存性の検討 査読

    植田大貴, 竹内 潔, 小林正治, 平本俊郎

    第65回応用物理学会春季学術講演会,早稲田大学西早稲田キャンパス(東京)   18a-G203-5   2018年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2018/3/18

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  • 複数回ストレスを利用した特性ばらつき自己修復手法によるSRAMデータ保持電圧の最小化 査読

    水谷朋子, 竹内 潔, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    第65回応用物理学会春季学術講演会,早稲田大学西早稲田キャンパス(東京)   18p-G203-1   2018年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    2018/3/18

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  • Pixel-parallel 3-D integrated CMOS image sensors for next-generation video systems 査読

    Masahide Goto, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    ECS Transactions   85 ( 8 )   163 - 166   2018年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/08508.0163ecst

    Scopus

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  • 3次元構造撮像デバイスの微細・高集積化に向けた直接接合による多層積層技術 査読

    本田悠葵, 後藤正英, 渡部俊久, 萩原 啓, 難波正和, 井口義則, 更屋拓哉, 小林正治, 日暮栄治, 年吉 洋, 平本俊郎

    応用物理学会第9回集積化MEMSシンポジウム,広島   34th   2017年11月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    J-GLOBAL

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  • Fabrication of Three-Dimensional Integrated CMOS Image Sensors with Quarter VGA Resolution by Pixel-Wise Direct Bonding Technology 査読

    Masahide Goto, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2017), Ramada Plaza JeJu Hotel, Jeju, Korea   2017年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Parallel Programmable Nonvolatile Memory Using SRAM Cells 招待 査読

    Toshiro Hiramoto, Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Masaharu Kobayashi

    12th International Conference on ASIC (ASICON 2017), Hotel Pullman Guiyang, Guiyang, China   434 - 437   2017年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • 3次元構造撮像デバイスの画素内A/D変換回路に適用可能なイベントドリブン型雑音除去回路の開発 査読

    後藤正英, 本田悠葵, 渡部俊久, 萩原 啓, 難波正和, 井口義則, 更屋拓哉, 小林正治, 日暮栄治, 年吉 洋, 平本俊郎

    応用物理学会第9回集積化MEMSシンポジウム,広島   34th   2017年10月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    J-GLOBAL

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  • Lowering Minimum Operation Voltage (Vmin) in SRAM Array by Post-Fabrication Self-Improvement of Cell Stability by Multiple Stress Application 査読

    Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), Sendai International Center, Miyagi   245 - 246   2017年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • 画素並列信号処理3次元構造イメージセンサのA/D変換回路に適したイベントドリブン型相関二重サンプリング回路の開発 (情報センシング) 査読

    後藤 正英, 本田 悠葵, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report   41 ( 32 )   1 - 4   2017年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:映像情報メディア学会  

    CiNii Books

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  • 急峻サブスレッショルドスロープPN-Body Tied SOI FETの最適化に向けたMOS-Gated Thyristorの電圧ベース等価回路モデル 査読

    植田大貴, 竹内 潔, 小林正治, 平本俊郎

    第78回応用物理学会秋季学術講演会,福岡国際会議場   8a-C18-6   2017年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • 低消費電力応用に向けた強誘電体HfO2薄膜不揮発性SRAMの動作実証 査読

    小林正治, 上山 望, 平本 俊郎

    第78回応用物理学会秋季学術講演会,福岡国際会議場   7p-A204-14   2017年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • 強誘電性マルチドメイン相互作用モデルを用いた強誘電体HfO2の動特性に関する考察 査読

    Jang Kyungmin, 上山 望, 小林正治, 平本俊郎

    第78回応用物理学会秋季学術講演会,福岡国際会議場   7p-A204-13   2017年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • ノーマリーオフ動作のための強誘電体HfO2を集積した不揮発性SRAM 招待 査読

    小林正治, 上山 望, 平本俊郎

    電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会(SDM)および集積回路研究会(ICD)合同研究会,北海道大学情報教育館   SDM2017-37   2017年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • 不揮発情報一括書き込み・読み出し可能な初期値確定SRAM 査読

    水谷朋子, 竹内 潔, 更屋拓哉, 篠原尋史, 小林正治, 平本俊郎

    電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会(SDM)および集積回路研究会(ICD)合同研究会,北海道大学情報教育館   SDM2017-38   2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • Statistical analyses of random telegraph noise amplitude in ultra-narrow (deep sub-10nm) silicon nanowire transistors 査読

    Hao Qiu, Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Jiezhi Chen, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   T50 - T51   2017年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.23919/VLSIT.2017.7998197

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  • A nonvolatile SRAM integrated with ferroelectric HfO2 capacitor for normally-off and ultralow power IoT application 査読

    Masaharu Kobayashi, Nozomu Ueyama, Toshiro Hiramoto

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   T156 - T157   2017年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.23919/VLSIT.2017.7998161

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  • Event-Driven Correlated Double Sampling for Pulse-Frequency-Modulation A/D Converters Integrated in Pixel-Parallel Image Sensors 査読

    Masahide Goto, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2017 International Image Sensor Workshop (IISW), Grand Prince Hotel Hiroshima, Hiroshima   2017年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • 強誘電体HfO2を用いたGate-All-Aroundナノワイヤ負性容量FETにおけるIon/Ioff比の向上とそのスケーラビリティ 査読

    Jang Kyungmin, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    第64回応用物理学会春季学術講演会,パシフィコ横浜(神奈川)   17p-304-15   2017年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • 強誘電体HfO2ダブルゲート負性容量FETの動特性に関する考察 査読

    Jang Kyungmin, 上山 望, 小林正治, 平本俊郎

    第64回応用物理学会春季学術講演会,パシフィコ横浜(神奈川)   17p-304-14   2017年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • 通常のSRAMセルを利用した一括書き込み可能な不揮発性メモリ 査読

    水谷朋子, 竹内 潔, 更屋拓哉, 篠原尋史, 小林正治, 平本俊郎

    第64回応用物理学会春季学術講演会,パシフィコ横浜(神奈川)   16a-412-5   2017年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • 負性容量トランジスタに向けた強誘電性HfZrO2膜における負性容量の直接観測 査読

    上山 望, 小林正治, 平本俊郎

    第64回応用物理学会春季学術講演会,パシフィコ横浜(神奈川)   17p-304-13   2017年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • SRAM の電源投入直後初期状態とトランジスタばらつきの関係 査読

    竹内 潔, 水谷朋子, 篠原尋史, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    第64回応用物理学会春季学術講演会,パシフィコ横浜(神奈川)   16a-412-6   2017年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • Experimental study on polarization-limited operation speed of negative capacitance FET with ferroelectric HfO2 査読

    Masaharu Kobayashi, Nozomu Ueyama, Kyungmin Jang, Toshiro Hiramoto

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM   12.3.1 - 12.3.4   2017年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/IEDM.2016.7838402

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  • 強誘電性HfO2を用いた負性容量トランジスタの動作速度に関する実験検討 招待 査読

    小林正治, 上山 望, 蒋 京珉, 平本俊郎

    電子情報通信学会回路・デバイス・境界領域技術研究会,国民宿舎みやじま杜の宿(広島)   2017年1月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • Three-layered stacking process by Au/SiO<inf>2</inf> hybrid bonding for 3D structured image sensors 査読

    Yuki Honda, Masahide Goto, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    ECS Transactions   80 ( 4 )   227 - 231   2017年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/08004.0227ecst

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  • 3D Scaling for Insulated Gate Bipolar Transistors (IGBTs) with Low V-ce(sat)

    K. Tsutsui, K. Kakushima, T. Hoshii, A. Nakajima, S. Nishizawa, H. Wakabayashi, I. Muneta, K. Sato, T. Matsudai, W. Saito, T. Saraya, K. Itou, M. Fukui, S. Suzuki, M. Kobayashi, T. Takakura, T. Hiramoto, A. Ogura, Y. Numasawa, I. Omura, H. Ohashi, H. Iwai

    2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ASIC (ASICON)   1137 - 1140   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • 3次元構造撮像デバイスの微細・高集積化に向けた接合電極の微細・狭ピッチ化 査読

    本田悠葵, 萩原啓, 後藤正英, 渡部俊久, 難波正和, 井口義則, 更屋拓哉, 小林正治, 年吉洋, 日暮栄治, 平本俊郎

    第8回集積化MEMSシンポジウム,平戸文化センター(長崎)   33rd   2016年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • A Study on the Correlation between SRAM Power-up State and Transistor Variation 査読

    Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Hirofumi Shinohara, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), Tsukuba International Congress Center, Ibaraki   55 - 56   2016年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • 線幅2nmの超微細シリコンナノワイヤトランジスタにおけるドレイン電圧に起因する特性ばらつき 査読

    水谷朋子, 竹内 潔, 鈴木龍太, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    第77回応用物理学会秋季学術講演会,朱鷺メッセ(新潟)   14a-B13-6   2016年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • SRAMセルアレーTEGを用いた電源投入直後データの測定 査読

    竹内 潔, 水谷朋子, 篠原尋史, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    第77回応用物理学会秋季学術講演会,朱鷺メッセ(新潟)   14a-B13-7   2016年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • サブ0.2Vの高エネルギー効率動作に向けた強誘電体HfO2ダブルゲート負性容量FETにおけるゲートスタックのスケーラビリティ 査読

    Jang Kyungmin, 更屋拓哉, 小林正治, 平本 俊郎

    第77回応用物理学会秋季学術講演会,朱鷺メッセ(新潟)   13p-B13-5   2016年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • 負性容量によるトンネルFETの性能向上負性容量によるトンネルFETの性能向上 査読

    小林正治, 蔣 京珉, 上山 望, 平本俊郎

    第77回応用物理学会秋季学術講演会,朱鷺メッセ(新潟)   13p-B13-4   2016年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • Parallel Programmable Non-volatile Memory Using Normal SRAM Cells 査読

    Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Hirofumi Shinohara, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), Tsukuba International Congress Center, Ibaraki   57 - 58   2016年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • 線幅2nmの超微細シリコンナノワイヤトランジスタにおけるDIBLばらつきおよびデバイス内ばらつき 査読

    水谷朋子, 竹内 潔, 鈴木龍太, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会(SDM),中央電気倶楽部(大阪)   116 ( 172 )   123 - 126   2016年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:電子情報通信学会  

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  • 負性容量によるトンネルFETの性能向上に関する検討 査読

    小林正治, チャン キュンミン, 上山 望, 平本俊郎

    電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会(SDM),中央電気倶楽部(大阪)   40 ( 24 )   127 - 130   2016年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:映像情報メディア学会  

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  • 128×96画素並列16bit出力3次元構造CMOSイメージセンサ (マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般) 査読

    後藤 正英, 萩原 啓, 本田 悠葵, 渡部 俊久, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    電気学会研究会資料. MSS   2016 ( 9 )   15 - 20   2016年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:電気学会  

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  • A New Variability Origin in Extremely Narrow Silicon Nanowire MOSFETs with Nanowire Width down to 2nm 査読

    T. Hiramoto, T. Mizutani, Y. Tanahashi, R. Suzuki, T. Saraya, M. Kobayashi

    CMOS Emerging Technologies, Hotel Bonaventure Montreal, Montreal, Canada   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • C-12-14 CMOSイメージセンサの画素に適したパルス周波数変調方式A/D変換回路の開発(C-12.集積回路,一般セッション) 査読

    後藤 正英, 萩原 啓, 本田 悠葵, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    電子情報通信学会総合大会講演論文集   2016 ( 2 )   87 - 87   2016年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

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  • ランダムテレグラフノイズに起因するSRAM誤動作のトランジスタレベル解析 査読

    水谷朋子, 更屋拓哉, 竹内 潔, 小林 正治, 平本 俊郎

    第63回応用物理学会春季学術講演会,東京工業大学大岡山キャンパス(東京)   20a-S422-3   2016年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • Ultra-Low Power and Ultra-Low Voltage Devices and Circuits for IoT Applications 招待 査読

    T. Hiramoto, K. Takeuchi, T. Mizutani, A. Ueda, T. Saraya, M. Kobayashi, Y. Yamamoto, H. Makiyama, T. Yamashita, H. Oda, S. Kamohara, N. Sugii, Y. Yamaguchi

    2016 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   146 - 147   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SNW.2016.7578025

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  • 画素並列信号処理を行うSOI積層型3次元構造撮像デバイスの試作と評価 査読

    後藤正英, 萩原 啓, 井口義則, 大竹 浩, 更屋拓哉, 小林正治, 日暮栄治, 年吉 洋, 平本俊郎

    第7回集積化MEMSシンポジウム,朱鷺メッセ(新潟コンベンションセンター)   32nd   30pm1-D-5   2015年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    J-GLOBAL

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  • 線幅2nmの超微細シリコンナノワイヤトランジスタにおける量子閉じ込め効果によるしきい値電圧および電流ばらつき 査読

    水谷朋子, 棚橋裕麻, 鈴木龍太, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    第76回応用物理学会秋季学術講演会,名古屋国際会議場(愛知)   15p-1C-7   2015年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • On the Device Design for Steep Slope Negative Capacitance FET (NCFET) Toward Sub-0.2V operation 査読

    Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    第76回応用物理学会秋季学術講演会,名古屋国際会議場(愛知)   16a-1C-7   2015年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • パルス周波数変調方式A/D変換回路の3次元集積化 査読

    後藤正英, 萩原 啓, 井口義則, 大竹 浩, 更屋拓哉, 小林正治, 日暮栄治, 年吉 洋, 平本俊郎

    第76回応用物理学会秋季学術講演会,名古屋国際会議場(愛知)   76th   14a-1C-2   2015年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    J-GLOBAL

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  • FD-SOTB nMOSFETにおけるRTN振幅統計分布の基板バイアス依存性 査読

    Jang Kyungmin, 水谷朋子, 竹内潔, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    第76回応用物理学会秋季学術講演会,名古屋国際会議場(愛知)   15p-1C-1   2015年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • 負性容量による急峻スロープトランジスタ(NCFET)の設計指針 査読

    小林正治, 平本俊郎

    電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会 集積回路研究会合同研究会,熊本市民会館崇城大学ホール   60   2015年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • high-k添加シングルp+Polyゲートを用いた超低リーク用途向け薄膜BOX-SOI CMOS 査読

    山本芳樹, 槇山秀樹, 山下朋弘, 尾田秀一, 蒲原史朗, 山口泰男, 杉井信之, 水谷朋子, 小林正治, 平本俊郎

    応用物理学会シリコンテクノロジー研究会 第184回研究集会「2015 VLSIシンポジウム」特集,甲南大学ネットワークキャンパス東京   67   2015年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • 線幅2nmの超微細シリコンナノワイヤトランジスタにおけるしきい値電圧および電流ばらつき 査読

    水谷朋子, 棚橋裕麻, 鈴木龍太, 更屋拓哉, 小林正治, 平本俊郎

    電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会 集積回路研究会合同研究会,熊本市民会館崇城大学ホール   68   2015年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • SOI基板の直接接合を用いた3次元集積回路と画素並列信号処理CMOSイメージセンサの開発 査読

    後藤 正英, 萩原 啓, 井口 義則, 大竹 浩, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology   79   43 - 46   2015年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:電気化学会電子材料委員会  

    CiNii Books

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  • 画像並列信号処理を行う3次元構造撮像デバイスの試作 査読

    後藤正英, 萩原 啓, 井口義則, 大竹 浩, 更屋拓哉, 小林正治, 日暮栄治, 年吉 洋, 平本俊郎

    応用物理学会第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ,NHK放送技術研究所(東京)   2015年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • A Three-Dimensional Integration Technology with Embedded Au Electrodes for stacked CMOS Image Sensors 査読

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2015 International Image Sensor Workshop (IISW), Vaals, The Netherlands   2015年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Threshold Voltage Self-Adjusting MOSFETs and SRAM Cells Operating at 0.1V 査読

    Toshiro Hiramoto, Akitsugu Ueda, Seung-Min Jung, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi

    11th International Nanotechnology Conference on Communication and Cooperation (INC11), Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka   94   2015年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Three-dimensional integrated CMOS image sensors with pixel-parallel A/D converters fabricated by direct bonding of SOI layers 査読

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM   2015-February ( February )   4.2.1 - 4.2.4   2015年2月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/IEDM.2014.7046980

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  • Re-Invention of FET 査読

    Toshiro Hiramoto

    Emerging Nanoelectronic Devices   277 - 297   2015年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:論文集(書籍)内論文   出版者・発行元:Wiley Blackwell  

    DOI: 10.1002/9781118958254.ch14

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  • Threshold Voltage and Current Variability of Extremely Narrow Silicon Nanowire MOSFETs with Width down to 2nm 査読

    T. Mizutani, Y. Tanahashi, R. Suzuki, T. Saraya, M. Kobayashi, T. Hiramoto

    2015 SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   21 - 22   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Novel Single p plus Poly-Si/Hf/SiON Gate Stack Technology on Silicon-on-Thin-Buried-Oxide (SOTB) for Ultra-Low Leakage Applications 査読

    Y. Yamamoto, H. Makiyama, T. Yamashita, H. Oda, S. Kamohara, N. Sugii, Y. Yamaguchi, T. Mizutani, M. Kobayashi, T. Hiramoto

    2015 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY (VLSI TECHNOLOGY)   170 - 171   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/VLSIT.2015.7223665

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  • Foreword 査読

    Klaus Schruefer, Toshiro Hiramoto

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   2014年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/VLSIT.2014.6894337

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  • Three-dimensional integration of fully depleted silicon-on-insulator transistor substrates for CMOS image sensors using Au/SiO2 hybrid bonding and XeF2 etching 査読

    Hagiwara, Kei, Goto, Masahide, Ohtake, Hiroshi, Iguchi, Yoshinori, Saraya, Takuya, Toshiyoshi, Hiroshi, Higurashi, Eiji, Hiramoto, Toshiro

    ECS Transactions   64 ( 5 )   391 - 396   2014年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1149/06405.0391ecst

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  • Development of novel three-dimensional structuring of integrated circuits by using low temperature direct bonding for CMOS image sensors 査読

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    ECS Transactions   61 ( 6 )   87 - 90   2014年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/06106.0087ecst

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  • Three-Dimensional Integrated Circuits with NFET and PFET on Separate Layers Fabricated by Low Temperature Au/SiO2 Hybrid Bonding 査読

    M. Goto, K. Hagiwara, Y. Iguchi, H. Ohtake, T. Saraya, E. Higurashi, H. Toshiyoshi, T. Hiramoto

    2013 IEEE SOI-3D-SUBTHRESHOLD MICROELECTRONICS TECHNOLOGY UNIFIED CONFERENCE (S3S)   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Ultralow-voltage operation of Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) 2Mbit SRAM down to 0.37 v utilizing adaptive back bias

    Y. Yamamoto, H. Makiyama, H. Shinohara, T. Iwamatsu, H. Oda, S. Kamohara, N. Sugii, Y. Yamaguchi, T. Mizutani, T. Hiramoto

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   T212 - T213   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Vmin=0.4 v LSIs are the real with silicon-on-thin-buried-oxide (SOTB)-How is the application with 'Perpetuum-Mobile' micro-controller with SOTB? 査読

    N. Sugii, T. Iwamatsu, Y. Yamamoto, H. Makiyama, H. Shinohara, H. Oda, S. Kamohara, Y. Yamaguchi, K. Ishibashi, T. Mizutani, T. Hiramoto

    2013 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference, S3S 2013   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE Computer Society  

    DOI: 10.1109/S3S.2013.6716576

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  • Suppression of die-to-die delay variability of silicon on thin buried oxide (SOTB) CMOS circuits by balanced P/N drivability control with back-bias for ultralow-voltage (0.4 V) operation 査読

    H. Makiyama, Y. Yamamoto, H. Shinohara, T. Iwamatsu, H. Oda, N. Sugii, K. Ishibashi, T. Mizutani, T. Hiramoto, Y. Yamaguchi

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM   33.2.4   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/IEDM.2013.6724742

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  • Silicon on Thin Buried Oxide (SOTB) Technology for Ultralow-Power Applications 査読

    N. Sugii, T. Iwamatsu, Y. Yamamoto, H. Makiyama, H. Shinohara, H. Aono, H. Oda, S. Kamohara, Y. Yamaguchi, T. Mizutani, Toshiro Hiramoto

    2013 INTERNATIONAL CONFERENCE ON SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY FOR ULTRA LARGE SCALE INTEGRATED CIRCUITS AND THIN FILM TRANSISTORS (ULSIC VS. TFT 4)   54 ( 1 )   189 - 196   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/05401.0189ecst

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  • Reduced drain current variability in fully depleted silicon-on-thin-BOX (SOTB) MOSFETs 査読

    T. Mizutani, Y. Yamamoto, H. Makiyama, T. Tsunomura, T. Iwamatsu, H. Oda, N. Sugii, T. Hiramoto

    2012 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2012   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SNW.2012.6243344

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  • Variability in Scaled MOSFETs: Measurements, Analysis, and Suppression 査読

    Toshiro Hiramoto, Anil Kumar, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya

    2012 IEEE 11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY (ICSICT-2012)   654 - 657   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Development of Novel MOSFET with Front and Back Side Electrodes for 3D-Structured Image Sensors 査読

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON FUNCTIONAL DIVERSIFICATION OF SEMICONDUCTOR ELECTRONICS   50 ( 14 )   49 - 54   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/05014.0049ecst

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  • Mechanisms of high hole mobility in (100) nanowire pMOSFETs with width of less than 10nm 査読

    Hirotoshi Nomura, Ryota Suzuki, Tomohiro Kutsuki, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2012 13th International Conference on Ultimate Integration on Silicon, ULIS 2012   41 - 44   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ULIS.2012.6193352

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  • Poly/high-k/SiON gate stack and novel profile engineering dedicated for ultralow-voltage silicon-on-thin-BOX (SOTB) CMOS operation 査読

    Y. Yamamoto, H. Makiyama, T. Tsunomura, T. Iwamatsu, H. Oda, N. Sugii, Y. Yamaguchi, T. Mizutani, T. Hiramoto

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   109 - 110   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/VLSIT.2012.6242485

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  • Characteristics control of single electron transistor with floating gate by charge pump circuit 査読

    Motoki Nozue, Ryota Suzuki, Hirotoshi Nomura, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2012 13th International Conference on Ultimate Integration on Silicon, ULIS 2012   161 - 164   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ULIS.2012.6193382

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  • Self-improvement of cell stability in SRAM by post fabrication technique 査読

    Anil Kumar, Takuya Saraya, Shinji Miyano, Toshiro Hiramoto

    2012 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2012   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SNW.2012.6243348

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  • Reinvestigation of dot formation mechanisms in silicon nanowire channel single-electron/hole transistors operating at room temperature 査読

    Ryota Suzuki, Motoki Nozue, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2012 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2012   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SNW.2012.6243337

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  • Silicon Single Electron Transistors Operating at Room Temperature and Their Applications 査読

    K. Miyaji, T. Hiramoto

    Comprehensive Semiconductor Science and Technology   1-6   340 - 382   2011年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:論文集(書籍)内論文   出版者・発行元:Elsevier Inc.  

    DOI: 10.1016/B978-0-44-453153-7.00032-8

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  • Suppression of VT variability degradation induced by NBTI with RDF control

    T. Tsunomura, J. Nishimura, A. Kumar, A. Nishida, S. Inaba, K. Takeuchi, T. Hiramoto, T. Mogami

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   150 - 151   2011年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Statistical comparison of random telegraph noise (RTN) in bulk and fully depleted SOI MOSFETs 査読

    Jun Nishimura, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2011 12th International Conference on Ultimate Integration on Silicon, ULIS 2011   191 - 194   2011年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ULIS.2011.5757959

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  • From bulk toward FDSOI and silicon nanowire transistors: Challenges and opportunities 査読

    Toshiro Hiramoto

    2011 12th International Conference on Ultimate Integration on Silicon, ULIS 2011   1 - 2   2011年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ULIS.2011.5757958

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  • Origin of "current-onset voltage" variability in scaled MOSFETs 査読

    A. Kumar, T. Mizutani, K. Shimizu, T. Tsunomura, A. Nishida, K. Takeuchi, S. Inaba, S. Kamohara, K. Terada, T. Hiramoto

    2010 Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2010   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SNW.2010.5562596

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  • Suppression of DIBL and Current-Onset Voltage Variability in Intrinsic Channel Fully Depleted SOI MOSFETs 査読

    T. Hiramoto, T. Mizutani, A. Kumar, A. Nishida, T. Tsunomura, S. Inaba, K. Takeuchi, S. Kamohara, T. Mogami

    2010 IEEE INTERNATIONAL SOI CONFERENCE   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Analysis and Prospect of Local Variability of Drain Current in Scaled MOSFETs by a New Decomposition Method 査読

    T. Tsunomura, A. Kumar, T. Mizutani, C. Lee, A. Nishida, K. Takeuchi, S. Inaba, S. Kamohara, K. Terada, T. Hiramoto, T. Mogami

    2010 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS   97 - +   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Impact of DIBL Variability on SRAM Static Noise Margin Analyzed by DMA SRAM TEG 査読

    X. Song, M. Suzuki, T. Saraya, A. Nishida, T. Tsunomura, S. Kamohara, K. Takeuchi, S. Inaba, T. Mogami, T. Hiramoto

    2010 INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING - TECHNICAL DIGEST   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Variation; key issue of the advanced CMOS &amp; LSI's 査読

    Shiro Kamohara, Akio Nishida, Toshiro Hiramoto, Toru Mogami

    Proceedings of 2010 International Symposium on VLSI Technology, System and Application, VLSI-TSA 2010   122 - 123   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/VTSA.2010.5488922

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  • Direct measurements, analysis, and post-fabrication improvement of noise margins in SRAM cells utilizing DMA SRAM TEG 査読

    M. Suzuki, T. Saraya, K. Shimizu, A. Nishida, S. Kamohara, K. Takeuchi, S. Miyano, T. Sakurai, T. Hiramoto

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   191 - 192   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/VLSIT.2010.5556223

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  • Statistic characteristics of "current-onset voltage" in scaled MOSFETs analyzed by 8k DMA TEG 査読

    T. Mizutani, A. Kumar, T. Tsunomura, A. Nishida, K. Takeuchi, S. Inaba, S. Kamohara, K. Terada, T. Hiramoto

    2010 Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2010   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SNW.2010.5562557

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  • Mobility enhancement in silicon nanowire transistors 査読

    Toshiro Hiramoto, Jiezhi Chen, Takuya Saraya

    ICSICT-2010 - 2010 10th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, Proceedings   9 - 12   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ICSICT.2010.5667872

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  • Silicon on thin BOX (SOTB) CMOS for ultralow standby power with forward-biasing performance booster 査読

    T. Ishigaki, R. Tsuchiya, Y. Morita, H. Yoshimoto, N. Sugii, T. Iwamatsu, H. Oda, Y. Inoue, T. Ohtou, T. Hiramoto, S. Kimura

    SOLID-STATE ELECTRONICS   53 ( 7 )   717 - 722   2009年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.sse.2009.02.008

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  • Transistor evolution for CMOS extension and future information processing technologies 査読

    Toshiro Hiramoto

    Extended Abstracts of the 9th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2009   3 - 6   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/IWJT.2009.5166205

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  • Superior &lt; 110 &gt;-Directed Mobility to &lt; 100 &gt;-Directed Mobility in Ultrathin Body (110) nMOSFETs 査読

    Ken Shimizu, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2009 IEEE INTERNATIONAL SOI CONFERENCE   143 - 144   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Analysis of Extra V-T Variability Sources in NMOS Using Takeuchi Plot 査読

    T. Tsunomura, A. Nishida, F. Yano, A. T. Putra, K. Takeuchi, S. Inaba, S. Kamohara, K. Terada, T. Mama, T. Hiramoto, T. Mogami

    2009 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS   110 - +   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Random Fluctuations in Scaled MOS Devices 査読

    Kiyoshi Takeuchi, Akio Nishida, Toshiro Hiramoto

    2009 INTERNATIONAL CONFERENCE ON SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES   79 - +   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Anomalous back-bias dependence of threshold voltage variability in NMOSFETs due to high concentration regions near source and drain 査読

    Ichiro Yamato, Tatsuya Mama, Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Toshiro Hiramoto

    2009 International Semiconductor Device Research Symposium, ISDRS '09   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ISDRS.2009.5378141

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  • Improvement of static noise margin in SRAM by post-fabrication self-convergence technique 査読

    Makoto Suzuki, Takuya Saraya, Ken Shimizu, Takayasu Sakurai, Toshiro Hiramoto

    2009 International Semiconductor Device Research Symposium, ISDRS '09   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ISDRS.2009.5378309

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  • Experimental study on uniaxially stressed gate-all-around silicon nanowires nMOSFETs on (110) silicon-on-insulator 査読

    Jiezhi Chen, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2009 International Semiconductor Device Research Symposium, ISDRS '09   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ISDRS.2009.5378148

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  • A new methodology for evaluating VT variability considering dopant depth profile

    A. T. Putra, T. Tsunomura, A. Nishida, S. Kamohara, K. Takeuchi, S. Inaba, K. Terada, T. Hiramoto

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   116 - 117   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Transport in silicon nanowire transistors 査読

    T. Hiramoto, J. Chen, Y. J. Jeong, T. Saraya

    ECS Transactions   18 ( 1 )   55 - 60   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/1.3096427

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  • Analyses of random threshold voltage fluctuations in MOS devices 査読

    K. Takeuchi, T. Tsunomura, A. T. Putra, T. Fukai, A. Nishida, S. Kamohara, T. Hiramoto

    Extended Abstracts of the 9th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2009   7 - 10   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/IWJT.2009.5166206

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  • Impact of fixed charge at MOSFETs' SiO2/Si interface on V th variation 査読

    A. T. Putra, T. Tsunomura, A. Nishida, S. Kamohara, K. Takeuchi, T. Hiramoto

    International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD   25 - 28   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SISPAD.2008.4648228

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  • Impact of Atomic Oxide Roughness and Local Gate Depletion on V-th Variation in MOSFETs 査読

    Arifin Tamsir Putra, Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Shiro Kamohara, Kiyoshi Takeuchi, Toshiro Hiramoto

    2008 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP   21 - +   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Silicon on Thin BOX (SOTB) CMOS for Ultralow Standby Power with Forward-biasing Performance Booster 査読

    T. Ishigaki, R. Tsuchiya, Y. Morita, H. Yoshimoto, N. Sugii, T. Iwamatsu, H. Oda, Y. Inoue, T. Ohtou, T. Hiramoto, S. Kimura

    ESSDERC 2008: PROCEEDINGS OF THE 38TH EUROPEAN SOLID-STATE DEVICE RESEARCH CONFERENCE   198 - +   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Experimental Study on Silicon Nanowire nMOSFET and Single-Electron Transistor at Room Temperature under Uniaxial Tensile Strain 査読

    YeonJoo Jeong, Kousuke Miyaji, Toshiro Hiramoto

    2008 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP   37 - 38   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Characteristic Modulation of Silicon MOSFETs and Single Electron Transistors with a Movable Gate Electrode 査読

    J. S. Park, T. Saraya, K. Miyaji, K. Shimizu, A. Higo, K. Takahashi, Y. H. Yi, H. Toshiyoshi, T. Hiramoto

    2008 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP   9 - 10   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Experimental study of mobility in [110]- and [100]-directed multiple silicon nanowire GAA MOSFETs on (100) SOI 査読

    Jiezhi Chen, Takuya Saraya, Kousuke Miyaji, Ken Shimizu, Toshiro Hiramoto

    Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   32 - 33   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/VLSIT.2008.4588552

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  • Hole Mobility Enhancement by [110] Uniaxial Compressive Strain in (110) Oriented Ultra-Thin Body pFETs with SOI Thickness of Less Than 4 nm 査読

    Ken Shimizu, Toshiro Hiramoto

    2008 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP   17 - +   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Analyses of 5 sigma V-th fluctuation in 65nm-MOSFETs using Takeuchi plot 査読

    T. Tsunomura, A. Nishida, F. Yano, A. T. Putra, K. Takeuchi, S. Inaba, S. Kamohara, K. Terada, T. Hiramoto, T. Mogami

    2008 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY   121 - +   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Novel Long-Range-Extension of Coulomb Blockade Region in Room-Temperature Operating Silicon Single-Hole Transistor 査読

    S. Lee, K. Miyaji, M. Kobayashi, T. Hiramoto

    Silicon Nanoelectronics Workshop, Kyoto   115 - 116   2007年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • 2007 IEEE International SOI Conference 査読

    Toshiro Hiramoto

    Proceedings - IEEE International SOI Conference   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SOI.2007.4357819

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  • Understanding random threshold voltage fluctuation by comparing multiple fabs and technologies 査読

    K. Takeuchi, T. Fukai, T. Tsunomura, A. T. Putra, A. Nishida, S. Kamohara, T. Hiramoto

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM   467 - 470   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/IEDM.2007.4418975

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  • Transport in ultrathin SOI MOSFETs and silicon nanowire transistors 査読

    T. Hiramoto

    ECS Transactions   11 ( 6 )   403 - 411   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/1.2778397

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  • Impact of local poly-Si gate depletion on Vth variation in nanoscale MOSFETs investigated by 3D device simulation 査読

    A. T. Putra, A. Nishida, S. Kamohara, T. Tsunomura, T. Hiramoto

    2007 International Semiconductor Device Research Symposium, ISDRS   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ISDRS.2007.4422270

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  • Silicon VLSI device technology and nanoelectronics 査読

    Toshiro Hiramoto

    MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS   6 - 7   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Transport in silicon nanowire and single-electron transistors 招待 査読

    Toshiro Hiramoto, Kousuke Miyaji, Masaharu Kobayashi

    SISPAD 2007: SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES 2007   209 - 215   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • FinFETs with both large body factor and high drive-current 査読

    Keisuke Takahashi, Arifin Tamsir Putra, Ken Shimizu, Toshiro Hiramoto

    2007 INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR DEVICE RESEARCH SYMPOSIUM, VOLS 1 AND 2   108 - 109   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Transport in ultra-thin-body SOI and silicon nanowire MOSFETs 査読

    Toshiro Hiramoto, Gen Tsutsui, Ken Shimizu, Masaharu Kobayashi

    2007 INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR DEVICE RESEARCH SYMPOSIUM, VOLS 1 AND 2   417 - 418   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Suppression of Electron Mobility Degradation in (100)-Oriented Double-Gate Ultra-Thin Body nMOSFETs with SOI Thickness of Less Than 2 nm 査読

    Ken Shimizu, Toshiro Hiramoto

    2007 IEEE INTERNATIONAL SOI CONFERENCE PROCEEDINGS   125 - 126   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Integration of silicon single-electron transistors operating at room temperature 査読

    Toshiro Hiramoto

    Nanoscaled Semiconductor-on-Insulator Structures and Devices   97 - 112   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Integration of silicon single-electron transistors operating at room temperature 査読

    Toshiro Hiramoto

    NATO Security through Science Series C: Environmental Security   97 - 112   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1007/978-1-4020-6380-0_7

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  • Experimental study on mobility universality in (100) ultra thin body nMOSFET with SOI thickness of 5nm 査読

    Ken Shimizu, Gen Tsutsui, Toshiro Hiramoto

    Proceedings - IEEE International SOI Conference   159 - 160   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SOI.2006.284486

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  • Charge Polarity Dependence of Negative Differential Conductance in Room-Temperature Operating Silicon Single-Charge Transistors 査読

    Masaharu Kobayashi, Kousuke Miyaji, Toshiro Hiramoto

    International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), Yokohama   2006   806 - 807   2006年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Emerging nanoscale silicon devices taking advantage of nanostructure physics 査読

    T. Hiramoto, M. Saitoh, G. Tsutsui

    IBM JOURNAL OF RESEARCH AND DEVELOPMENT   50 ( 4-5 )   411 - 418   2006年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Compact analytical model for room-temperature-operating silicon single-electron transistors with discrete quantum energy levels 査読

    K Miyaji, M Saitoh, T Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY   5 ( 3 )   167 - 173   2006年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TNANO.2006.869949

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  • Multi-gate MOSFETs with back-gate control 査読

    Toshiro Hiramoto, Toshiharu Nagumo

    2006 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON INTEGRATED CIRCUIT DESIGN AND TECHNOLOGY, PROCEEDINGS   80 - +   2006年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Mobility enhancement in (110)-oriented ultra-thin-body single-gate and double-gate SOI MOSFETs 査読

    Toshiro Hiramoto, Gen Tsutsui, Masurni Saitoh, Toshiharu Nagumo, Takuya Saraya

    2006 INTERNATIONAL WORKSHOP ON NANO CMOS, PROCEEDINGS   44 - 55   2006年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Large Temperature Dependence of Negative Differential Conductance in Room-Temperature Operating Silicon Single-Electron/Single-Hole Transistor 査読

    Masaharu Kobayashi, Kousuke Miyaji, Masumi Saitoh, Toshiro Hiramoto

    International Semiconductor Device Research Symposium 2005, Bethesda, MD, USA   TP3-03   2005年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Large Temperature Dependence of Coulomb Blockade Oscillations in Room-Temperature Operating Silicon Single-Hole Transistor 査読

    Masaharu Kobayashi, Masumi Saitoh, Toshiro Hiramoto

    International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) 2005, Kobe, Hyogo   2005   164 - 165   2005年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Reverse short-channel effect of body factor in low-fin field-effect transistors induced by corner effect 査読

    T Nagumo, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 1A )   50 - 54   2005年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.44.50

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  • Mobility enhancement due to volume inversion in (110)-oriented ultra-thin body double-gate nMOSFETs with body thickness less than 5 nm 査読

    G Tsutsui, M Saitoh, T Saraya, T Nagumo, T Hiramoto

    IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 2005, TECHNICAL DIGEST   747 - 750   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Emerging devices for post-classical CMOS - From memory, logic to architectures 査読

    Toshiro Hiramoto

    2005 IEEE VLSI-TSA - International Symposium on VLSI Technology - VLSI-TSA-TECH, Proceedings of Technical Papers   1 - 4   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/VTSA.2005.1497059

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  • Integration and performance improvements of silicon nanocrystal memories 査読

    T Hiramoto, Kim, I, M Saitoh, K Yanagidaira

    Materials and Processes for Nonvolatile Memories   830   37 - 44   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • V-th control of t(pd)-degradation-free FD SOT MOSFET with extremely thin BOX using variable body-factor scheme 査読

    T Ohtou, K Yokoyama, T Nagumo, T Hiramoto

    2005 IEEE International SOI Conference, Proceedings   101 - 103   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Design guideline of multi-gate MOSFETs considering body effect

    Toshiharu Nagumo, Toshiro Hiramoto

    2005 International Semiconductor Device Research Symposium   2005   205 - 206   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • On the accuracy of analytical model for room-temperature operating silicon single-electron transistors with discrete quantum energy levels

    Kousuke Miyaji, Masaharu Kobayashi, Tetsu Ohtou, Masumi Saitoh, Toshiro Hiramoto

    2005 International Semiconductor Device Research Symposium   2005   348 - 349   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Superior mobility characteristics in (110)-oriented ultra thin body pMOSFETs with SOI thikness less than 6 nm 査読

    G Tsutsui, M Saitoh, T Hiramoto

    2005 Symposium on VLSI Technology, Digest of Technical Papers   76 - 77   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Room-temperature demonstration of low-voltage and tunable static memory based on negative differential conductance in silicon single-electron transistors 査読

    M Saitoh, H Harata, T Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   85 ( 25 )   6233 - 6235   2004年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.1839643

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  • Analytical model of body factor in short channel bulk MOSFETs for low voltage applications 査読

    A Kumar, T Nagumo, G Tsutsui, T Hiramoto

    SOLID-STATE ELECTRONICS   48 ( 10-11 )   1763 - 1766   2004年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.sse.2004.05.011

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  • Variable body effect factor fully depleted silicon-on-insulator metal oxide semiconductor field effect transistor for ultra low-power variable-threshold-voltage complementary metal oxide semiconductor applications 査読

    T Ohtou, T Nagumo, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   43 ( 6A )   3311 - 3314   2004年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.43.3311

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  • Room-temperature demonstration of highly-functional single-hole transistor logic based on quantum mechanical effect 査読

    M Saitoh, T Hiramoto

    ELECTRONICS LETTERS   40 ( 13 )   836 - 837   2004年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1049/el:20040554

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  • Scaling of nanocrystal memory cell by direct tungsten bitline on self-aligned landing plug polysilicon contact 査読

    GI Kim, K Yanagidaira, T Hiramoto

    IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS   25 ( 5 )   265 - 267   2004年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/LED.2004.826542

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  • Extension of Coulomb blockade region by quantum confinement in the ultrasmall silicon dot in a single-hole transistor at room temperature 査読

    M Saitoh, T Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   84 ( 16 )   3172 - 3174   2004年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.1710709

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  • Room-temperature observation of negative differential conductance due to large quantum level spacing in silicon single-electron transistor 査読

    M Saitoh, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS   43 ( 2A )   L210 - L213   2004年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.43.L210

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  • Degradation of body factor (gamma) of single gate fully depleted SOI MOSFETs due to short channel effects 査読

    A Kumar, T Nagumo, G Tsutsui, T Hiramoto

    2004 IEEE INTERNATIONAL SOI CONFERENCE, PROCEEDINGS   58 - 59   2004年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Room-temperature demonstration of integrated silicon single-electron transistor circuits for current switching and analog pattern matching 査読

    M Saitoh, H Harata, T Hiramoto

    IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 2004, TECHNICAL DIGEST   187 - 190   2004年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Enhancement of adjustable threshold voltage range by substrate bias due to quantum confinement in ultrathin body SOI pMOSFETs 査読

    G Tsutsui, T Nagumo, T Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY   2 ( 4 )   314 - 318   2003年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TNANO.2003.820985

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  • IEEE Transactions on Nanotechnology: Foreword 査読

    Toshiro Hiramoto, Michiharu Tabe

    IEEE Transactions on Nanotechnology   2 ( 4 )   191 - 192   2003年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/TNANO.2003.820809

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  • Large Coulomb blockade oscillations at room temperature in ultranarrow wire channel MOSFETs formed by slight oxidation process 査読

    M Saitoh, T Murakami, T Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY   2 ( 4 )   241 - 245   2003年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TNANO.2003.820796

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  • VTCMOS Characteristics and Its Optimum Conditions Predicted by a Compact Analytical Model 査読

    Hyunsik Im, Takashi Inukai, Hiroyuki Gomyo, Toshiro Hiramoto, Takayasu Sakurai

    IEEE Transactions on Very Large Scale Integration (VLSI) Systems   11 ( 5 )   755 - 761   2003年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TVLSI.2003.814320

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  • Quantum effects and single-electron charging effects in nano-scale silicon MOSFETs at room temperature 査読

    T Hiramoto, H Majima, M Saitoh

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY   101 ( 1-3 )   24 - 27   2003年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/S0921-5107(02)00696-7

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  • Tunneling barrier structures in room-temperature operating silicon single-electron and single-hole transistors 査読

    M Saitoh, H Majima, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   42 ( 4B )   2426 - 2428   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Future electron devices and SOI technology - Semi-planar SOI MOSFETs with sufficient body effect 査読

    T Hiramoto, T Saito, T Nagumo

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   42 ( 4B )   1975 - 1978   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.42.1975

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  • Current drive improvement using enhanced body effect factor due to finite inversion layer thickness in variable-threshold-voltage complementary MOS (VTCMOS) 査読

    T Nagumo, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   42 ( 4B )   1988 - 1992   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.42.1988

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  • Optimum device consideration for standby power reduction scheme using drain-induced barrier lowering 査読

    QY Liu, T Sakurai, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   42 ( 4B )   2171 - 2175   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Large memory window and long charge-retention time in ultranarrow-channel silicon floating-dot memory 査読

    M Saitoh, E Nagata, T Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   82 ( 11 )   1787 - 1789   2003年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.1562343

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  • Low-Power device design of fully-depleted SOI MOSFETs 査読

    Toshiro Hiramoto, Toshiaki Nagumo, Tetsu Ohtou

    2003 International Semiconductor Device Research Symposium, ISDRS 2003 - Proceedings   388 - 389   2003年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/ISDRS.2003.1272148

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  • Scanning probe nanolithography using self-assembled monolayer for fabrication of single electron transistors 査読

    Y. Isono, K. Shimamoto, G. Hashiguchi, Y. Mihara, H. Mimura, T. Hiramoto, H. Fujita

    TRANSDUCERS 2003 - 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Digest of Technical Papers   1   242 - 245   2003年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/SENSOR.2003.1215298

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  • Integration of fluorinated nano-crystal memory cells with 4.6F(2) size by landing plug polysilicon contact and direct-tungsten bitline 査読

    IG Kim, K Yanagidaira, T Hiramoto

    2003 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, TECHNICAL DIGEST   605 - 608   2003年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Room-temperature operation of highly functional single-electron transistor logic based on quantum mechanical effect in ultra-small silicon dot 査読

    M Saitoh, T Hiramoto

    2003 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, TECHNICAL DIGEST   753 - 756   2003年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • 0.5V, 400MHz, VDD-hopping processor with zero VTH FD-SOI technology

    Hiroshi Kawaguchi, Kouichi Kanda, Koichi Nose, Sadaaki Hattori, Danardono Dwi Antono, Daisuke Yamada, Takayuki Miyazaki, Kenichi Inagaki, Toshiro Hiramoto, Takayasu Sakurai

    Digest of Technical Papers - IEEE International Solid-State Circuits Conference   101 - 481   2003年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Experimental study on the mobility universality in ultra thin body SOI pMOSFETs 査読

    G. Tsutsui, M. Saitoh, T. Nagumo, T. Hiramoto

    2003 International Semiconductor Device Research Symposium, ISDRS 2003 - Proceedings   361 - 362   2003年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/ISDRS.2003.1272136

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  • Analytical expression of body factor in short channel bulk MOSFETs 査読

    Anil Kumar, Toshiharu Nagumo, Gen Tsutsui, Toshiro Hiramoto

    2003 International Semiconductor Device Research Symposium, ISDRS 2003 - Proceedings   476 - 477   2003年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/ISDRS.2003.1272200

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  • Effects of oxidation process on the tunneling barrier structures in room-temperature operating silicon single-electron transistors 査読

    M Saitoh, T Murakami, T Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY   1 ( 4 )   214 - 218   2002年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TNANO.2002.807379

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  • Suppression of short channel effect in triangular parallel wire channel MOSFETs 査読

    T Saito, T Saraya, T Inukai, H Majima, T Nagumo, T Hiramoto

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E85C ( 5 )   1073 - 1078   2002年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Observation of current staircase due to large quantum level spacing in a silicon single-electron transistor with low parasitic series resistance 査読

    M Saitoh, T Hiramoto

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   91 ( 10 )   6725 - 6728   2002年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.1471928

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  • Origin of critical substrate bias in variable threshold voltage complementary MOS (VTCMOS) 査読

    T Inukai, H Im, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   41 ( 4B )   2312 - 2315   2002年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.41.2312

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  • Physical insight into fractional power dependence of saturation current on gate voltage in advanced short channel MOSFETS (Alpha-Power law model) 査読

    H Im, M Song, T Hiramoto, T Sakurai

    ISLPED'02: PROCEEDINGS OF THE 2002 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LOW POWER ELECTRONICS AND DESIGN   13 - 18   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Optimum design of device/circuit cooperative schemes for ultra-low power applications 査読

    T. Hiramoto

    ICCDCS 2002 - 4th IEEE International Caracas Conference on Devices, Circuits and Systems   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE Computer Society  

    DOI: 10.1109/ICCDCS.2002.1004066

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  • Effects of ultra-narrow channel on characteristics of MOSFET memory with silicon nanocrystal floating gates 査読

    M Saitoh, E Nagata, T Hiramoto

    INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES 2002 MEETING, TECHNICAL DIGEST   181 - 184   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Transport spectroscopy of the ultrasmall silicon quantum dot in a single-electron transistor 査読

    M Saitoh, T Saito, T Inukai, T Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   79 ( 13 )   2025 - 2027   2001年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Effects of discrete quantum levels on electron transport in silicon single-electron transistors with an ultra-small quantum dot 査読

    M Saitoh, T Hiramoto

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E84C ( 8 )   1071 - 1076   2001年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • High drive-current electrically induced body dynamic threshold SOI MOSFET (EIB-DTMOS) with large body effect and low threshold voltage 査読

    M Takamiya, T Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   48 ( 8 )   1633 - 1640   2001年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Optimum device parameters and scalability of variable threshold voltage complementary MOS (VTCMOS) 査読

    T Hiramoto, M Takamiya, H Koura, T Inukai, H Gomyo, H Kawaguchi, T Sakurai

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   40 ( 4B )   2854 - 2858   2001年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Web of Science

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  • Effects of dot size and its distribution on electron number control in metal-oxide-semiconductor-field-effect-transistor memories based on silicon nanocrystal floating dots 査読

    HN Wang, N Takahashi, H Majima, T Inukai, M Saitoh, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   40 ( 3B )   2038 - 2040   2001年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Large electron addition energy above 250 meV in a silicon quantum dot in a single-electron transistor 査読

    M Saitoh, N Takahashi, H Ishikuro, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   40 ( 3B )   2010 - 2012   2001年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • <研究速報>異方性エッチングにより作製したシリコン単電子トランジスタの室温動作 (マイクロマシン特集号)

    平本 俊郎, 高橋 信義, 石黒 仁揮, 齋藤 真澄

    生産研究   53 ( 2 )   116 - 118   2001年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京大学  

    DOI: 10.11188/seisankenkyu.53.116

    CiNii Books

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  • Suppression of series parasitic resistance and observation of quantum effects in a silicon single-electron transistor 査読

    M Saitoh, T Hiramoto

    PROCEEDINGS OF THE 2001 1ST IEEE CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY   243 - 247   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Dynamics of tunneling into charge-tunable Si quantum dots 査読

    Y Shi, XL Yuan, J Wu, HM Bu, HG Yang, P Han, YD Zheng, T Hiramoto

    SUPERLATTICES AND MICROSTRUCTURES   28 ( 5-6 )   387 - 392   2000年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Separation of effects of statistical impurity number fluctuations and position distribution on Vth fluctuations in scaled MOSFETs 査読

    Y Yasuda, M Takamiya, T Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   47 ( 10 )   1838 - 1842   2000年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Magnetic actuation of bending and torsional vibrations for 2D optical-scanner application 査読

    A. Garnier, T. Bourouina, H. Fujita, T. Hiramoto, E. Orsier, J. C. Peuzin

    Sensors and Actuators, A: Physical   84 ( 1 )   156 - 160   2000年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier Sequoia SA  

    DOI: 10.1016/S0924-4247(99)00301-5

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  • 電子1個で動くトランジスタ

    平本 俊郎

    電気学会誌 = The journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan   120 ( 8 )   518 - 521   2000年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI: 10.1541/ieejjournal.120.518

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    その他リンク: https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00067724611?from=CiNii

  • Experimental evidence for quantum mechanical narrow channel effect in ultra-narrow MOSFET's 査読

    H Majima, H Ishikuro, T Hiramoto

    IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS   21 ( 8 )   396 - 398   2000年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Random telegraph signals and low-frequency noise in n-metal-oxide-semiconductor field-effect transistors with ultranarrow channels 査読

    HM Bu, Y Shi, XL Yuan, J Wu, SL Gu, YD Zheng, H Majima, H Ishikuro, T Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   76 ( 22 )   3259 - 3261   2000年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Optimum conditions of body effect factor and substrate bias in variable threshold voltage MOSFETs 査読

    H Koura, M Takamiya, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   39 ( 4B )   2312 - 2317   2000年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Suppression of stand-by tunnel current in ultra-thin gate oxide MOSFETs by dual oxide thickness-multiple threshold voltage CMOS (DOT-MTCMOS) 査読

    T Inukai, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   39 ( 4B )   2287 - 2290   2000年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Low power and low voltage MOSFETs with variable threshold voltage controlled by back-bias 査読

    T Hiramoto, M Takamiya

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E83C ( 2 )   161 - 169   2000年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Control of Coulomb blockade oscillations in silicon single electron transistors using silicon nanocrystal floating gates 査読

    N Takahashi, H Ishikuro, T Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   76 ( 2 )   209 - 211   2000年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Effects of interface traps in silicon-quantum-dots-based memory structures 査読

    Yuan Xiaoli, Shi Yi, Gu Shulin, Zhu Jianmin, Zheng Youdou, Saito Kenichi, Ishikuro Hiroki, Hiramoto Toshiro

    Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures   8 ( 2 )   189 - 193   2000年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier Sci B.V.  

    DOI: 10.1016/S1386-9477(00)00138-7

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  • Characteristics of silicon nano-scale devices 査読

    T Hiramoto, H Majima

    2000 INTERNATIONAL CONFERENCE ON SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES   179 - 183   2000年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Boosted gate MOS (BGMOS): Device/circuit cooperation scheme to achieve leakage-free giga-scale integration 査読

    T Inukai, M Takamiya, K Nose, H Kawaguchi, T Hiramoto, T Sakurai

    PROCEEDINGS OF THE IEEE 2000 CUSTOM INTEGRATED CIRCUITS CONFERENCE   409 - 412   2000年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Threshold voltage fluctuations induced by statistical 'position' and 'number' impurity fluctuations in bulk MOSFETs 査読

    Yuri Yasuda, Makoto Takamiya, Toshiro Hiramoto

    Superlattices and Microstructures   28 ( 5-6 )   357 - 361   2000年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1006/spmi.2000.0934

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  • Characteristic distributions of narrow channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistor memories with silicon nanocrystal floating gates 査読

    E Nagata, N Takahashi, Y Yasuda, T Inukai, H Ishikuro, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   38 ( 12B )   7230 - 7232   1999年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Characteristics of narrow channel MOSFET memory based on silicon nanocrystals 査読

    Y Shi, K Saito, H Ishikuro, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   38 ( 4B )   2453 - 2456   1999年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • High-performance accumulated back-interface dynamic threshold SOI MOSFET (AB-DTMOS) with large body effect at low supply voltage 査読

    M Takamiya, T Saraya, TN Duyet, Y Yasuda, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   38 ( 4B )   2483 - 2486   1999年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Measurement of energetic and lateral distribution of interface state density in fully-depleted silicon on insulator metal-oxide-semiconductor field-effect transistors 査読

    TN Duyet, H Ishikuro, Y Shi, M Takamiya, T Saraya, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   38 ( 4B )   2496 - 2500   1999年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • On the origin of tunneling barriers in silicon single electron and single hole transistors 査読

    H Ishikuro, T Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   74 ( 8 )   1126 - 1128   1999年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Fabrication of nano-scale point contact metal-oxide-semiconductor field-effect-transistors using micrometer-scale design rule 査読

    H Ishikuro, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   38 ( 1B )   396 - 398   1999年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Effects of interface traps on charge retention characteristics in silicon-quantum-dot-based metal-oxide-semiconductor diodes 査読

    Y Shi, K Saito, H Ishikuro, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   38 ( 1B )   425 - 428   1999年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Characteristics distribution of narrow channel MOSFET memories with silicon nano-crystal floating gates 査読

    E. Nagata, N. Takahashi, H. Ishikuro, T. Hiramoto

    1999 International Microprocesses and Nanotechnology Conference   86 - 87   1999年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/IMNC.1999.797489

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  • Highly integrated single electron devices and giga-bit lithography 査読

    T. Hiramoto, H. Ishikuro, H. Majima

    Journal of Photopolymer Science and Technology   12 ( 3 )   417 - 422   1999年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Tokai University  

    DOI: 10.2494/photopolymer.12.417

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  • Coulomb blockade in VLSI-compatible multiple-dot and single-dot MOSFETs 査読

    Toshiro Hiramoto, Hiroki Ishikuro

    International Journal of Electronics   86 ( 5 )   591 - 603   1999年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1080/002072199133274

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  • Directional current switch using silicon single electron transistors controlled by charge injection into silicon nano-crystal floating dots

    Nobuyoshi Takahashi, Hiroki Ishikuro, Toshiro Hiramoto

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting   371 - 374   1999年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

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  • Quantum energy and charging energy in point contact MOSFETs acting as single electron transistors

    Toshiro Hiramoto, Hiroki Ishikuro

    Superlattices and Microstructures   25 ( 1-2 )   263 - 267   1999年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Academic Press  

    DOI: 10.1006/spmi.1998.0645

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  • Deep sub-0.1-mu m MOSFETs with very thin SOI layer for ultralow-power applications 査読

    M Takamiya, Y Yasuda, T Hiramoto

    ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN PART II-ELECTRONICS   81 ( 11 )   18 - 25   1998年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Effects of traps on charge storage characteristics in metal-oxide-semiconductor memory structures based on silicon nanocrystals 査読

    Y Shi, K Saito, H Ishikuro, T Hiramoto

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   84 ( 4 )   2358 - 2360   1998年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Suppression of Geometric Component of Charge Pumping Current in Thin Film Silicon on Insulator Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors

    Duyet Tran Ngoc, Ishikuro Hiroki, Takamiya Makoto, Saraya Takuya, Hiramoto Toshiro

    Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters   37 ( 7 )   L855 - L858   1998年7月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:社団法人応用物理学会  

    A new reverse pulse method is proposed for precise measurement of charge pumping current in silicon on insulator metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (SOI MOSFETs), where the reverse pulse voltage is applied to the body only at the gate voltage rise time. The majority carries of the high resistive body region can be completely removed by applying the reverse pulse to the body. Therefore, the undesirable, geometry-dependent component which causes imprecise measurement of the interface trap density on SOI MOSFETs is suppressed. This method also suppresses the reduction of effective channel length which takes place when using a DC reverse bias.It is demonstrated that the accurate measurements of the interface density on SOI MOSFETs are possible.

    DOI: 10.1143/JJAP.37.L855

    CiNii Books

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    その他リンク: https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00054588646?from=CiNii

  • Fabrication of gate-all-around MOSFET by silicon anisotropic etching technique 査読

    T Mukaiyama, K Saito, H Ishikuro, M Takamiya, T Saraya, T Hiramoto

    SOLID-STATE ELECTRONICS   42 ( 7-8 )   1623 - 1626   1998年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Hopping transport in multiple-dot silicon single electron MOSFET 査読

    H Ishikuro, T Hiramoto

    SOLID-STATE ELECTRONICS   42 ( 7-8 )   1425 - 1428   1998年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • New measurement technique for sub-bandgap impact ionization current by transient characteristics of partially depleted SOI MOSFETs 査読

    T Saraya, M Takamiya, TN Duyet, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   37 ( 3B )   1271 - 1273   1998年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Effects of body reverse pulse bias on geometric component of charge pumping current in FD SOI MOSFETs

    Tran Ngoc Duyet, Hiroki Ishikuro, Makoto Takamiya, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE International SOI Conference   79 - 80   1998年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

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  • Influence of quantum confinement effects on single electron and single hole transistors

    Hiroki Ishikuro, Toshiro Hiramoto

    Technical Digest - International Electron Devices Meeting   119 - 122   1998年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

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  • High performance electrically induced body dynamic threshold SOI MOSFET (EIB-DTMOS) with large body effect and low threshold voltage 査読

    M Takamiya, T Hiramoto

    INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 1998 - TECHNICAL DIGEST   423 - 426   1998年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Quantum mechanical effects in the silicon quantum dot in a single-electron transistor 査読

    H Ishikuro, T Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   71 ( 25 )   3691 - 3693   1997年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Room temperature Coulomb blockade and low temperature hopping transport in a multiple-dot-channel metal-oxide-semiconductor field-effect-transistor 査読

    T Hiramoto, H Ishikuro, T Fujii, G Hashiguchi, T Ikoma

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   36 ( 6B )   4139 - 4142   1997年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Contactless actuation of giant magnetostriction thin film alloy bimorphs for two-dimensional scanning application 査読

    E. Orsier, A. Gamier, T. Hiramoto, H. Fujita, J. Betz, K. Mackay, J. C. Peuzin, D. Givord

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering   3224   98 - 108   1997年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1117/12.284505

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  • Energy spectrum of the quantum-dot in a Si single-electron device

    Hiroki Ishikuro, Toshiro Hiramoto

    Annual Device Research Conference Digest   84 - 85   1997年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

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  • Fabrication of Si nanostructures for single electron device applications by anisotropic etching 査読

    T Hiramoto, H Ishikuro, K Saito, T Fujii, T Saraya, G Hashiguchi, T Ikoma

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   35 ( 12B )   6664 - 6667   1996年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Coulomb blockade oscillations at room temperature in a Si quantum wire metal-oxide-semiconductor field-effect transistor fabricated by anisotropic etching on a silicon-on-insulator substrate 査読

    H Ishikuro, T Fujii, T Saraya, G Hashiguchi, T Hiramoto, T Ikoma

    APPLIED PHYSICS LETTERS   68 ( 25 )   3585 - 3587   1996年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Extremely large amplitude random telegraph signals in a very narrow split-gate MOSFET at low temperatures 査読

    H Ishikuro, T Saraya, T Hiramoto, T Ikoma

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   35 ( 2B )   858 - 860   1996年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Characterization of precisely width-controlled Si quantum wires fabricated on SOI substrates 査読

    T. Hiramoto, H. Ishikuro, T. Fujii, T. Saraya, G. Hashiguchi, T. Ikoma

    Physica B: Condensed Matter   227 ( 1-4 )   95 - 97   1996年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier  

    DOI: 10.1016/0921-4526(96)00363-8

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  • A 1.5-NS CYCLE-TIME 18-KB PSEUDO-DUAL-PORT RAM WITH 9K LOGIC GATES 査読

    M IWABUCHI, M USAMI, M KASHIYAMA, T OOMORI, S MURATA, T HIRAMOTO, T HASHIMOTO, Y NAKAJIMA

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E77C ( 5 )   749 - 755   1994年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • A 1.5-ns Cycle-Time 18-kb Pseudo-Dual-Port RAM with 9K Logic Gates 査読

    Masato Iwabuchi, Masami Usami, Takashi Oomori, Shigeharu Murata, Toshiro Hiramoto, Masamori Kashiyama, Yasuhiro Nakajima

    IEEE Journal of Solid-State Circuits   29 ( 4 )   419 - 425   1994年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/4.280690

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  • A 1.5-ns 256-kb BiCMOS SRAM with 60-ps 11-K Logic Gates 査読

    Hiroaki Nambu, Tsuyoshi Fujiwara, Akio Anzai, Masayuki Ohayashi, Toshiro Hiramoto, Tadanori Kokubu, Sohei Ohmori, Tetsuya Muraya, Atsuyuki Kishimoto, Makoto Yoshida, Kunihiko Watanabe, Akihisa Uchida, Masanori Odaka, Kunihiko Yamaguchi, Takahide Ikeda

    IEEE Journal of Solid-State Circuits   29 ( 11 )   1344 - 1352   1994年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/4.328635

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  • 1.5ns cycle-time 18kb pseudo-dual-port RAM

    Masami Usami, Masato Iwabuchi, Masamori Kashiyama, Takashi Oomori, Shigeharu Murata, Toshiro Hiramoto, Takashi Hashimoto, Yasuhiro Nakajima

    1993 Symposium on VLSI Circuits Digest of Technical Papers   109 - 110   1993年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Publ by IEEE  

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  • A 1.5-ns Access Time, 78-μm&lt;sup&gt;2&lt;/sup&gt; Memory-Cell Size, 64-kb ECL-CMOS SRAM 査読

    Kunihiko Yamaguchi, Hiroaki Nambu, Kazuo Kanetani, Youji Idei, Noriyuki Homma, Toshiro Hiramoto, Nobuo Tamba, Kunihiko Watanabe, Masanori Odaka, Takahide Ikeda, Kenichi Ohhata, Yoshiaki Sakurai

    IEEE Journal of Solid-State Circuits   27 ( 2 )   167 - 174   1992年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/4.127339

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  • PHASE COHERENCE LENGTH OF ELECTRON WAVES IN NARROW ALGAAS GAAS QUANTUM WIRES FABRICATED BY FOCUSED ION-BEAM IMPLANTATION 査読

    T HIRAMOTO, K HIRAKAWA, Y IYE, T IKOMA

    APPLIED PHYSICS LETTERS   54 ( 21 )   2103 - 2105   1989年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Non-equilibrium effects on quasi-one-dimensional weak and strong localizations 査読

    Toshiaki Ikoma, Kazuhiko Hirakawa, Toshiro Hiramoto, Takahide Odagiri

    Solid State Electronics   32 ( 12 )   1793 - 1799   1989年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/0038-1101(89)90314-6

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  • ONE-DIMENSIONAL GAAS WIRES FABRICATED BY FOCUSED ION-BEAM IMPLANTATION 査読

    T HIRAMOTO, K HIRAKAWA, Y IYE, T IKOMA

    APPLIED PHYSICS LETTERS   51 ( 20 )   1620 - 1622   1987年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Evidence for creation of gallium antisite defect in surface region of heat-treated gaas 査読

    Toshiro Hiramoto, Yasunori Mochizuki, Toshiaki Ikoma

    Japanese Journal of Applied Physics   25 ( 10 A )   L830 - L832   1986年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.25.L830

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  • RAPID THERMAL ANNEALING OF SI+ IMPLANTED GAAS IN THE PRESENCE OF ARSENIC PRESSURE BY GAAS POWDER 査読

    T HIRAMOTO, T SAITO, T IKOMA

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS   24 ( 3 )   L193 - L195   1985年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • The role of gallium antisite defect in activation and type-conversion in si implanted GaAs 査読

    Toshiro Hiramoto, Yasunori Mochizuki, Toshio Saito, Toshiaki Ikoma

    Japanese Journal of Applied Physics   24 ( 12 )   L921 - L924   1985年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.24.L921

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MISC

  • SOIウェハのハイブリッド接合を用いた画素並列3層積層CMOSイメージセンサ—Pixel-Parallel 3-Layer Stacked CMOS Image Sensors Using Hybrid Bonding of SOI Wafers

    後藤 正英, 本田 悠葵, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   39   5p   2022年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  • SOIウェハのハイブリッド接合を用いた3層積層画素並列CMOSイメージセンサ—3-Layer Stacked Pixel-Parallel CMOS Image Sensors Using Hybrid Bonding of SOI Wafers—情報センシング

    後藤 正英, 本田 悠葵, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report   46 ( 14 )   5 - 8   2022年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:映像情報メディア学会  

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  • 両面リングラフィ技術を用いた3.3kV両面ゲートIGBT (BC-IGBT)—3.3kV Back-Gate-Controlled IGBT (BC-IGBT) Using Manufacturable Double-Side Process Technology—電子デバイス/半導体電力変換合同研究会・パワーデバイス・パワーエレクトロニクスとその実装技術

    更屋 拓哉, 伊藤 一夫, 高倉 俊彦, 福井 宗利, 鈴木 慎一, 竹内 潔, 附田 正則, 佐藤 克己, 末代 知子, 角嶋 邦之, 星井 拓也, 筒井 一生, 岩井 洋, 小椋 厚志, 齋藤 渉, 西澤 伸一, 大村 一郎, 大橋 弘通, 平本 俊郎

    電気学会研究会資料. SPC = The papers of technical meeting on semiconductor power converter, IEE Japan / 半導体電力変換研究会 [編]   2021 ( 144-148 )   7 - 12   2021年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京 : 電気学会  

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    その他リンク: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I031797807

  • Si IGBTの3次元デバイス・シミュレーション-物理モデルの検討と実測結果との比較-

    執行直之, 渡辺正裕, 角嶋邦之, 星井拓也, 古川和由, 中島昭, 佐藤克己, 末代知子, 更屋拓哉, 高倉俊彦, 伊藤一夫, 福井宗利, 鈴木慎一, 竹内潔, 宗田伊里也, 若林整, 西澤伸一, 筒井一生, 平本俊郎, 大橋弘通, 岩井洋

    電子情報通信学会技術研究報告(Web)   120 ( 239(SDM2020 22-34) )   2020年

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  • 常温ウェハ接合を用いた画素並列信号処理イメージセンサの多層化技術

    後藤正英, 中谷真規, 本田悠葵, 渡部俊久, 難波正和, 井口義則, 更屋拓哉, 小林正治, 日暮栄治, 年吉洋, 平本俊郎

    映像情報メディア学会冬季大会講演予稿集(CD-ROM)   2020   2020年

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  • 5Vゲート駆動による3300VスケーリングIGBTの動作実証—3300V Scaled IGBTs Driven by 5V Gate Voltage—電子デバイス 半導体電力変換合同研究会・パワーデバイス・パワーエレクトロニクスとその実装技術

    更屋 拓哉, 伊藤 一夫, 高倉 俊彦, 福井 宗利, 鈴木 慎一, 竹内 潔, 附田 正則, 沼沢 陽一郎, 佐藤 克己, 末代 知子, 齋藤 渉, 角嶋 邦之, 星井 拓也, 古川 和由, 渡辺 正裕, 執行 直之, 若林 整, 筒井 一生, 岩井 洋, 小椋 厚志, 西澤 伸一, 大村 一郎, 大橋 弘通, 平本 俊郎

    電気学会研究会資料. SPC = The papers of technical meeting on semiconductor power converter, IEE Japan / 半導体電力変換研究会 [編]   2019 ( 161-172 )   61 - 65   2019年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京 : 電気学会  

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    その他リンク: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030119332

  • SOIウェハの直接接合を用いた3層構造リングオシレータとイメージセンサの試作 (集積回路) -- (デザインガイア2019 : VLSI設計の新しい大地)

    後藤 正英, 本田 悠葵, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   119 ( 284 )   45 - 49   2019年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:電子情報通信学会  

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  • 招待講演 トレンチゲート型Si-IGBTの3次元精密TCADシミュレーション—Three-dimensional accurate TCAD simulation of trench-gate Si-IGBTs—シリコン材料・デバイス

    渡辺 正裕, 執行 直之, 星井 拓也, 古川 和由, 角嶋 邦之, 佐藤 克己, 末代 知子, 更屋 拓哉, 高倉 俊彦, 伊藤 一夫, 福井 宗利, 鈴木 慎一, 竹内 潔, 宗田 伊里也, 若林 整, 中島 昭, 西澤 伸一, 筒井 一生, 平本 俊郎, 大橋 弘通, 岩井 洋

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   119 ( 273 )   45 - 48   2019年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京 : 電子情報通信学会  

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    その他リンク: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030128987

  • 3次元構造撮像デバイスの多層積層化に向けたウェハ接合による多層積層技術 (第11回 集積化MEMSシンポジウム)—Triple-Stacked Wafer-to-Wafer Hybrid Bonding for 3D Structured Image Sensors

    本田 悠葵, 後藤 正英, 渡部 俊久, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 年吉 洋, 平本 俊郎, 日暮 栄治

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   36   4p   2019年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  • Triple-Stacked Au/SiO2 Hybrid Bonding With 6-mu m-Pitch Au Electrodes on Silicon-on-Insulator Substrates Using O-2 Plasma Surface Activation for 3-D Integration

    Yuki Honda, Masahide Goto, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS PACKAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY   9 ( 9 )   1904 - 1911   2019年9月

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  • 画素単位の3次元集積化技術を用いたリニア広ダイナミックレンジ出力デジタル画素イメージセンサ (情報センシング)

    後藤 正英, 本田 悠葵, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report   43 ( 31 )   17 - 20   2019年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:映像情報メディア学会  

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  • 依頼講演 5Vゲート駆動による3300VスケーリングIGBTのスイッチング動作—3300V Scaled IGBT Switched by 5V Gate Drive—情報センシング

    平本 俊郎, 更屋 拓哉, 伊藤 一夫, 高倉 俊彦, 福井 宗利, 鈴木 慎一, 竹内 潔, 附田 正則, 沼沢 陽一郎, 佐藤 克己, 末代 知子, 齋藤 渉, 角嶋 邦之, 星井 拓也, 古川 和由, 渡辺 正裕, 執行 直之, 若林 整, 筒井 一生, 岩井 洋, 小椋 厚志, 西澤 伸一, 大村 一郎, 大橋 弘通

    映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report   43 ( 25 )   31 - 34   2019年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京 : 映像情報メディア学会  

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    その他リンク: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029947160

  • 依頼講演 5Vゲート駆動による3300VスケーリングIGBTのスイッチング動作—3300V Scaled IGBT Switched by 5V Gate Drive—シリコン材料・デバイス

    平本 俊郎, 更屋 拓哉, 伊藤 一夫, 高倉 俊彦, 福井 宗利, 鈴木 慎一, 竹内 潔, 附田 正則, 沼沢 陽一郎, 佐藤 克己, 末代 知子, 齋藤 渉, 角嶋 邦之, 星井 拓也, 古川 和由, 渡辺 正裕, 執行 直之, 若林 整, 筒井 一生, 岩井 洋, 小椋 厚志, 西澤 伸一, 大村 一郎, 大橋 弘通

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   119 ( 161 )   31 - 34   2019年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京 : 電子情報通信学会  

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    その他リンク: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029947188

  • Evaluations of minority carrier lifetime in floating zone Si affected by Si insulated gate bipolar transistor processes

    Kobayashi, Hiroto, Yokogawa, Ryo, Kinoshita, Kosuke, Numasawa, Yohichiroh, Ogura, Atsushi, Nishizawa, Shin-ichi, Saraya, Takuya, Ito, Kazuo, Takakura, Toshihiko, Suzuki, Shin-ichi, Fukui, Munetoshi, Takeuchi, Kiyoshi, Hiramoto, Toshiro

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58   2019年4月

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  • Reduced variability of drain-induced barrier lowering and subthreshold slope at high temperature in bulk and silicon-on-thin-buried-oxide (SOTB) MOSFETs

    Gao, Shuang, Mizutani, Tomoko, Takeuchi, Kiyoshi, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58   2019年4月

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  • Quarter Video Graphics Array Digital Pixel Image Sensing With a Linear and Wide-Dynamic-Range Response by Using Pixel-Wise 3-D Integration

    Masahide Goto, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   66 ( 2 )   969 - 975   2019年2月

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  • 招待講演 5Vゲート駆動1200V級スケーリングIGBTの動作実証とスイッチング損失の低減—シリコン材料・デバイス

    更屋 拓哉, 伊藤 一夫, 高倉 俊彦, 福井 宗利, 鈴木 慎一, 竹内 潔, 附田 正則, 沼沢 陽一郎, 佐藤 克己, 末代 知子, 齋藤 渉, 角嶋 邦之, 星井 拓也, 古川 和由, 渡辺 正裕, 執行 直之, 筒井 一生, 岩井 洋, 小椋 厚志, 西澤 伸一, 大村 一郎, 大橋 弘通, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   118 ( 429 )   39 - 44   2019年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京 : 電子情報通信学会  

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    その他リンク: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029501951

  • Triple-Stacked Wafer-to-Wafer Hybrid Bonding for 3D Structured Image Sensors

    Yuki Honda, Masahide Goto, Toshihisa Watabe, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    PROCEEDINGS OF 2019 6TH INTERNATIONAL WORKSHOP ON LOW TEMPERATURE BONDING FOR 3D INTEGRATION (LTB-3D)   45 - 45   2019年

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    記述言語:英語  

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  • 撮像デバイスの高集積化に向けた裏面電極素子の試作

    中谷真規, 本田悠葵, 後藤正英, 渡部俊久, 難波正和, 井口義則, 更屋拓哉, 小林正治, 日暮栄治, 年吉洋, 平本俊郎

    映像情報メディア学会冬季大会講演予稿集(CD-ROM)   2019   2019年

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  • 3次元構造撮像素子の高集積化に向けた直接接合による多層積層技術

    本田悠葵, 後藤正英, 渡部俊久, 難波正和, 井口義則, 更屋拓哉, 小林正治, 日暮栄治, 年吉洋, 平本俊郎

    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集(CD-ROM)   2019   2019年

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  • A Feasibility Study on Ferroelectric Shadow SRAMs Based on Variability-Aware Design Optimization

    Takeuchi, Kiyoshi, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    IEEE JOURNAL OF THE ELECTRON DEVICES SOCIETY   7 ( 1 )   1284 - 1292   2019年

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  • Impact of three-dimensional current flow on accurate TCAD simulation for trench-gate IGBTs

    Watanabe, Masahiro, Shigyo, Naoyuki, Hoshii, Takuya, Furukawa, Kazuyoshi, Kakushima, Kuniyuki, Satoh, Katsumi, Matsudai, Tomoko, Saraya, Takuya, Takakura, Toshihiro, Itou, Kazuo, Fukui, Munetoshi, Suzuki, Shinichi, Takeuchi, Kiyoshi, Muneta, Iriya, Wakabayashi, Hitoshi, Nakajima, Akira, Nishizawa, Shin-ichi, Tsutsui, Kazuo, Hiramoto, Toshiro, Ohashi, Hiromichi, Iwai, Hiroshi

    2019 31ST INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON POWER SEMICONDUCTOR DEVICES AND ICS (ISPSD)   311 - 314   2019年

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    記述言語:英語  

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  • On the Physical Mechanism of Transient Negative Capacitance Effect in Deep Subthreshold Region

    Jin, Chengji, Saraya, Takuya, Hiramoto, Toshiro, Kobayashi, Masaharu

    IEEE JOURNAL OF THE ELECTRON DEVICES SOCIETY   7 ( 1 )   368 - 374   2019年

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  • Ferroelectric HfO2 Tunnel Junction Memory With High TER and Multi-Level Operation Featuring Metal Replacement Process

    Kobayashi, Masaharu, Tagawa, Yusaku, Mo, Fei, Saraya, Takuya, Hiramoto, Toshiro

    IEEE JOURNAL OF THE ELECTRON DEVICES SOCIETY   7 ( 1 )   134 - 139   2019年

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  • Application of Extreme Value Theory to Statistical Analyses of Worst Case SRAM Data Retention Voltage

    Mizutani, Tomoko, Takeuchi, Kiyoshi, Saraya, Takuya, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    2019 SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   25 - 26   2019年

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    記述言語:英語  

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  • 3300V Scaled IGBTs Driven by 5V Gate Voltage

    Saraya, Takuya, Itou, Kazuo, Takakura, Toshihiko, Fukui, Munetoshi, Suzuki, Shinichi, Takeuchi, Kiyoshi, Tsukuda, Masanori, Numasawa, Yohichiroh, Satoh, Katsumi, Matsudai, Tomoko, Saito, Wataru, Kakushima, Kuniyuki, Hoshii, Takuya, Furukawa, Kazuyoshi, Watanabe, Masahiro, Shigyo, Naoyuki, Wakabayashi, Hitoshi, Tsutsui, Kazuo, Iwai, Hiroshi, Ogura, Atsushi, Nishizawa, Shin-ichi, Omura, Ichiro, Ohashi, Hiromichi, Hiramoto, Toshiro

    2019 31ST INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON POWER SEMICONDUCTOR DEVICES AND ICS (ISPSD)   43 - 46   2019年

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    記述言語:英語  

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  • トレンチゲート型si-IGBTの3次元精密TCADシミュレーション

    渡辺正裕, 執行直之, 星井拓也, 古川和由, 角嶋邦之, 佐藤克己, 末代知子, 更屋拓哉, 高倉俊彦, 伊藤一夫, 福井宗利, 鈴木慎一, 竹内潔, 宗田伊里也, 若林整, 中島昭, 西澤伸一, 筒井一生, 平本俊郎, 大橋弘通, 岩井洋

    電子情報通信学会技術研究報告   119 ( 273(SDM2019 68-79) )   2019年

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  • Role of gate current and polarization switching in sub-60 mV/decade steep subthreshold slope in metal-ferroelectric HfZrO2-metal-insulator-Si FET

    Jang, Kyungmin, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 11 )   2018年11月

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  • Lowering data retention voltage in static random access memory array by post fabrication self-improvement of cell stability by multiple stress application

    Mizutani, Tomoko, Takeuchi, Kiyoshi, Saraya, Takuya, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 4 )   2018年4月

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  • Optimizing MOS-gated thyristor using voltage-based equivalent circuit model for designing steep-subthreshold-slope PN-body-tied silicon-on-insulator FET

    Ueda, Daiki, Takeuchi, Kiyoshi, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 4 )   2018年4月

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  • On gate stack scalability of double-gate negative-capacitance FET with ferroelectric HfO2 for energy efficient sub-0.2V operation

    Jang, Kyungmin, Saraya, Takuya, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 2 )   2018年2月

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  • 少数キャリアライフタイムによる半導体プロセスの評価手法の提案

    角嶋邦之, 星井拓也, 渡辺正裕, 執行直之, 古川和由, 更屋拓哉, 高倉俊彦, 伊藤一夫, 福井宗利, 鈴木慎一, 竹内潔, 宗田伊理也, 若林整, 沼沢陽一郎, 小椋厚志, 西澤伸一, 筒井一生, 平本俊郎, 大橋弘通, 岩井洋

    電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD-ROM)   2018   2018年

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  • Experimental Demonstration of a Nonvolatile SRAM With Ferroelectric HfO2 Capacitor for Normally Off Application

    Kobayashi, Masaharu, Ueyama, Nozomu, Jang, Kyungmin, Hiramoto, Toshiro

    IEEE JOURNAL OF THE ELECTRON DEVICES SOCIETY   6 ( 1 )   280 - 285   2018年

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  • Scalability Study on Ferroelectric-HfO2 Tunnel Junction Memory Based on Non-equilibrium Green Function Method with Self-consistent Potential

    Mo, Fei, Tagawa, Yusaku, Saraya, Takuya, Hiramoto, Toshiro, Kobayashi, Masaharu

    2018 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING (IEDM)   2018年

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    記述言語:英語  

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  • Measurement of IGBT trench MOS-gated region characteristics using short turn-around-time MOSFET test structures

    Takeuchi, Kiyoshi, Fukui, Munetoshi, Saraya, Takuya, Itou, Kazuo, Suzuki, Shinichi, Takakura, Toshihiko, Hiramoto, Toshiro

    PROCEEDINGS OF THE 2018 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONIC TEST STRUCTURES (ICMTS)   157 - 160   2018年

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    記述言語:英語  

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  • Quarter Video Graphics Array Full-Digital Image Sensing with Wide Dynamic Range and Linear Output Using Pixel-Wise 3D Integration

    Masahide Goto, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2018 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON CIRCUITS AND SYSTEMS (ISCAS)   2018年

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  • Improving Data Retention Voltage in SRAM by Post-Fabrication Multiple Stress Application

    Hiramoto, Toshiro, Mizutani, Tomoko, Takeuchi, Kiyoshi, Saraya, Takuya, Kobayashi, Masaharu

    2018 14TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY (ICSICT)   870 - 872   2018年

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    記述言語:英語  

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  • Experimental Observation and Simulation Model for Transient Characteristics of Negative-Capacitance in Ferroelectric HfZrO2 Capacitor

    Jang, Kyungmin, Ueyama, Nozomu, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    IEEE JOURNAL OF THE ELECTRON DEVICES SOCIETY   6 ( 1 )   346 - 353   2018年

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  • Experimental Study on the Role of Polarization Switching in Subthreshold Characteristics of HfO2-based Ferroelectric and Anti-ferroelectric FET

    Jin, Chengji, Jang, Kyungmin, Saraya, Takuya, Hiramoto, Toshiro, Kobayashi, Masaharu

    2018 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING (IEDM)   2018年

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    記述言語:英語  

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  • Pixel-Parallel 3D Integrated CMOS Image Sensors Developed by Direct Bonding of SOI Layers for Next-Generation Video Systems

    Masahide Goto, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2018 IEEE SOI-3D-SUBTHRESHOLD MICROELECTRONICS TECHNOLOGY UNIFIED CONFERENCE (S3S)   2018年

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    記述言語:英語  

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  • 三次元スケーリングによるIGBTのVCEsat低減の実験的検証

    筒井一生, 角嶋邦之, 星井拓也, 中島昭, 西澤伸一, 若林整, 宗田伊理也, 佐藤克己, 末代知子, 齋藤渉, 更屋拓哉, 伊藤一夫, 福井宗利, 鈴木慎一, 小林正治, 高倉俊彦, 平本俊郎, 小椋厚志, 沼沢陽一郎, 大村一郎, 大橋弘通, 岩井洋

    電気学会電子デバイス研究会資料   EDD-17 ( 74-86 )   1‐6   2017年11月

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    記述言語:日本語  

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  • I-on/I-off ratio enhancement and scalability of gate-all-around nanowire negative-capacitance FET with ferroelectric HfO2

    Kyungmin Jang, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    SOLID-STATE ELECTRONICS   136   60 - 67   2017年10月

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  • Measurement of Static Random Access Memory Power-Up State Using an Addressable Cell Array Test Structure

    Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Hirofumi Shinohara, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING   30 ( 3 )   209 - 215   2017年8月

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  • Correlation between static random access memory power-up state and transistor variation

    Takeuchi, Kiyoshi, Mizutani, Tomoko, Saraya, Takuya, Shinohara, Hirofumi, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 4 )   2017年4月

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  • Parallel programmable nonvolatile memory using ordinary static random access memory cells

    Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Takuya Saraya, Hirofumi Shinohara, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 4 )   2017年4月

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  • Negative Capacitance for Boosting Tunnel FET performance

    Masaharu Kobayashi, Kyungmin Jang, Nozomu Ueyama, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY   16 ( 2 )   253 - 258   2017年3月

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  • 招待講演 Experimental Study on Polarization-Limited Operation Speed of Negative Capacitance FET with Ferroelectric HfO₂ (シリコン材料・デバイス)

    小林 正治, 上山 望, 蔣 京珉, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   116 ( 448 )   9 - 12   2017年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:電子情報通信学会  

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  • 招待講演 強誘電体HfO₂を用いた負性容量トランジスタの動作速度に関する実験検討 (シリコン材料・デバイス)

    小林 正治, 上山 望, 蔣 京珉, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   116 ( 445 )   51 - 54   2017年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:電子情報通信学会  

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  • 3次元構造撮像デバイスの画素内A/D変換回路に適用可能なイベントドリブン型雑音除去回路の開発—Development of Event-Driven Noise Reduction Circuits for In-Pixel A/D Converters Integrated in 3-D Integrated CMOS Image Sensors—第9回 集積化MEMSシンポジウム

    後藤 正英, 本田 悠葵, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   34   4p   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  • Carrier-Separated Equivalent Circuit Modeling for Steep Subthreshold Slope PN-Body Tied SOI FET

    Ueda, Daiki, Takeuchi, Kiyoshi, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    2017 SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   13 - 14   2017年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Three-Layered Stacking Process By Au/SiO2 Hybrid Bonding for 3D Structured Image Sensors

    Yuki Honda, Masahide Goto, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    SEMICONDUCTOR PROCESS INTEGRATION 10   80 ( 4 )   227 - 231   2017年

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  • Characterictics Variability of Gate-All-Around Polycrystalline Silicon Nanowire Transistors with Width 10nm Scale

    Jang, Ki-Hyun, Saraya, Takuya, Kobayashi, Masaharu, Sawamoto, Naomi, Gura, Atsushi, Hiramoto, Toshiro

    2017 SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   33 - 34   2017年

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    記述言語:英語  

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  • Investigations on Dynamic Characteristics of Ferroelectric HfO2 Based on Multi-Domain Interaction Model

    Jang, Kyungmin, Ueyama, Nozomu, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    2017 SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   15 - 16   2017年

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    記述言語:英語  

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  • Investigations on Dynamic Characteristics of Ferroelectric HfO2 Based on Multi-Domain Interaction Model

    Jang, Kyungmin, Ueyama, Nozomu, Kobayashi, Masaharu, Hiramoto, Toshiro

    2017 SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   17 - 18   2017年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Parallel Nonvolatile Programming of Power-up States of SRAM Cells

    Hiramoto, Toshiro, Mizutani, Tomoko, Takeuchi, Kiyoshi, Kobayashi, Masaharu

    2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ASIC (ASICON)   418 - 421   2017年

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    記述言語:英語  

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  • 3-Layered Au/SiO2 Hybrid Bonding with 6-mu m-Pitch Au Electrodes for 3D Structured Image Sensors

    Yuki Honda, Masahide Goto, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2017 5TH INTERNATIONAL WORKSHOP ON LOW TEMPERATURE BONDING FOR 3D INTEGRATION (LTB-3D)   7 - 7   2017年

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    記述言語:英語  

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  • 3次元構造撮像デバイスの微細・高集積化に向けた直接接合による多層積層技術—Three-Layered Stacking Process by Au/SiO2 Hybrid Bonding for 3D Structured Image Sensors—第9回 集積化MEMSシンポジウム

    本田 悠葵, 後藤 正英, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   34   1 - 4   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  • 招待講演 SOI基板の直接接合を用いた画素並列信号処理3次元構造CMOSイメージセンサの開発 (電子部品・材料) -- (デザインガイア2016 : VLSI設計の新しい大地)

    後藤 正英, 本田 悠葵, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   116 ( 333 )   17 - 21   2016年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:電子情報通信学会  

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  • 招待講演 SOI基板の直接接合を用いた画素並列信号処理3次元構造CMOSイメージセンサの開発 (画像工学) -- (デザインガイア2016 : VLSI設計の新しい大地)

    後藤 正英, 本田 悠葵, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   116 ( 335 )   17 - 21   2016年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:電子情報通信学会  

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  • 招待講演 SOI基板の直接接合を用いた画素並列信号処理3次元構造CMOSイメージセンサの開発 (集積回路) -- (デザインガイア2016 : VLSI設計の新しい大地)

    後藤 正英, 本田 悠葵, 渡部 俊久, 萩原 啓, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   116 ( 334 )   17 - 21   2016年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:電子情報通信学会  

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  • Statistical Write Stability Characterization in SRAM Cells at Low Supply Voltage

    Hao Qiu, Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Yoshiki Yamamoto, Hideki Makiyama, Tomohiro Yamashita, Hidekazu Oda, Shiro Kamohara, Nobuyuki Sugii, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   63 ( 11 )   4302 - 4308   2016年11月

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  • 3次元構造撮像デバイスの微細・高集積化に向けた接合電極の微細・狭ピッチ化—Au/SiO₂ Hybrid Bonding with 6-μm-Pitch Au Electrodes for 3D Structured Image Sensors—第8回 集積化MEMSシンポジウム

    本田 悠葵, 萩原 啓, 後藤 正英, 渡部 俊久, 難波 正和, 井口 義則, 更屋 拓哉, 小林 正治, 年吉 洋, 日暮 栄治, 平本 俊郎

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   33   1 - 4   2016年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  • Transistor-level characterization of static random access memory bit failures induced by random telegraph noise

    Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Kiyoshi Takeuchi, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 4 )   2016年4月

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  • Special Issue: Planar Fully-Depleted SOI technology Foreword

    F. Allibert, T. Hiramoto, B. Y. Nguyen

    SOLID-STATE ELECTRONICS   117   1 - 1   2016年3月

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  • On device design for steep-slope negative-capacitance field-effect-transistor operating at sub-0.2V supply voltage with ferroelectric HfO2 thin film

    Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    AIP ADVANCES   6 ( 2 )   2016年2月

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  • In-Pixel A/D Converters with 120-dB Dynamic Range Using Event-Driven Correlated Double Sampling for Stacked SOI Image Sensors

    Masahide Goto, Yuki Honda, Toshihisa Watabe, Kei Hagiwara, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2016 IEEE SOI-3D-SUBTHRESHOLD MICROELECTRONICS TECHNOLOGY UNIFIED CONFERENCE (S3S)   2016年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Negative Capacitance as a Performance Booster for Tunnel FET

    Masaharu Kobayashi, Kyungmin Jang, Nozomu Ueyama, Toshiro Hiramoto

    2016 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   150 - 151   2016年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Experimental Study on Polarization-Limited Operation Speed of Negative Capacitance FET with Ferroelectric HfO2

    Masaharu Kobayashi, Nozomu Ueyama, Kyungmin Jang, Toshiro Hiramoto

    2016 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING (IEDM)   2016年

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  • Increased Drain-Induced Variability and Within-Device Variability in Extremely Narrow Silicon Nanowire MOSFETs with Width down to 2nm

    Tomoko Mizutani, Kiyoshi Takeuchi, Ryota Suzuki, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2016 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   138 - 139   2016年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Pixel-Parallel CMOS Image Sensors with 16-bit A/D Converters Developed by 3-D Integration of SOI Layers with Au/SiO2 Hybrid Bonding

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yuki Honda, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON FUNCTIONAL DIVERSIFICATION OF SEMICONDUCTOR ELECTRONICS 3 (MORE-THAN-MOORE 3)   72 ( 3 )   3 - 6   2016年

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  • Variability in Extremely Narrow (similar to 2nm) Silicon Nanowire FETs Induced by Quantum Confinement Variation Due to Line Width Roughness

    Hiramoto, Toshiro, Mizutani, Tomoko, Saraya, Takuya, Takeuchi, Kiyoshi, Kobayashi, Masaharu

    2016 13TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY (ICSICT)   272 - 274   2016年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Au/SiO2 Hybrid Bonding with 6-mu m- Pitch Au Electrodes for 3D Structured Image Sensors

    Yuki Honda, Kei Hagiwara, Masahide Goto, Toshihisa Watabe, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Hiroshi Toshiyoshi, Eiji Higurashi, Toshiro Hiramoto

    SEMICONDUCTOR WAFER BONDING: SCIENCE, TECHNOLOGY AND APPLICATIONS 14   75 ( 9 )   103 - 106   2016年

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  • Three-Dimensional Integration Technology of Separate SOI Layers for Photodetectors and Signal Processors of CMOS Image Sensors

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yuki Honda, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONICS PACKAGING (ICEP)   70 - 73   2016年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • On Gate Stack Scalability of Double-Gate Negative-Capacitance FET with Ferroelectric HfO2 for Energy-Efficient Sub-0.2V Operation

    Kyungmin Jang, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2016 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   176 - 177   2016年

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    記述言語:英語  

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  • Measurement of SRAM Power-Up State for PUF Applications using an Addressable SRAM Cell Array Test Structure

    Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto, Hirofumi Shinohara

    2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONIC TEST STRUCTURES (ICMTS)   130 - 134   2016年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • A New Write Stability Metric Using Extended Write Butterfly Curve for Yield Estimation in SRAM Cells at Low Supply Voltage

    Hao Qiu, Kiyoshi Takeuchi, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONIC TEST STRUCTURES (ICMTS)   126 - 129   2016年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Pixel-Parallel 3-D Integrated CMOS Image Sensors With Pulse Frequency Modulation A/D Converters Developed by Direct Bonding of SOI Layers

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   62 ( 11 )   3530 - 3535   2015年11月

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  • 画素並列信号処理を行うSOI積層型3次元構造撮像デバイスの試作と評価—Fabrication and Evaluation of Three-Dimensional Integrated CMOS Image Sensors with Pixel-Parallel Signal Processing using Stacked SOI Layers—第7回 集積化MEMSシンポジウム

    後藤 正英, 萩原 啓, 井口 義則, 大竹 浩, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   32   1 - 4   2015年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

    CiNii Research

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  • 招待講演 負性容量による急峻スロープトランジスタ(NCFET)の設計指針 (シリコン材料・デバイス)

    小林 正治, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   115 ( 190 )   15 - 18   2015年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:電子情報通信学会  

    CiNii Books

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  • Nanoelectronics Research Gaps and Recommendations A Report from the International Planning Working Group on Nanoelectronics (IPWGN)

    Kosmas Galatsis, Paolo Gargini, Toshiro Hiramoto, Dirk Beernaert, Roger DeKeersmaecker, Joachim Pelka, Lothar Pfitzner

    IEEE TECHNOLOGY AND SOCIETY MAGAZINE   34 ( 2 )   21 - 30   2015年6月

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  • Detailed analysis of minimum operation voltage of extraordinarily unstable cells in fully depleted silicon-on-buried-oxide six-transistor static random access memory

    Tomoko Mizutani, Yoshiki Yamamoto, Hideki Makiyama, Tomohiro Yamashita, Hidekazu Oda, Shiro Kamohara, Nobuyuki Sugii, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54 ( 4 )   2015年4月

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  • Comparison and statistical analysis of four write stability metrics in bulk CMOS static random access memory cells

    Hao Qiu, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54 ( 4 )   2015年4月

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  • CI-4-7 しきい値電圧制御による低電圧低消費電力デバイス(CI-4.低消費電力スティープスロープFET技術の現状と展望,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)

    平本 俊郎, 小林 正治

    電子情報通信学会総合大会講演論文集   2015 ( 2 )   "SS - 100"   2015年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

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  • Multiple logic functions from extended blockade region in a silicon quantum-dot transistor

    Youngmin Lee, Sejoon Lee, Hyunsik Im, Toshiro Hiramoto

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   117 ( 6 )   2015年2月

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  • 招待講演 SOI基板の直接接合を用いた画素並列A/D変換方式3次元構造CMOSイメージセンサ (シリコン材料・デバイス) -- (先端CMOSデバイス・プロセス技術(IEDM特集))

    後藤 正英, 萩原 啓, 井口 義則, 大竹 浩, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   114 ( 421 )   25 - 28   2015年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    超高精細と高フレームレートとを両立できる次世代のイメージセンサを目指して、面素並列信号処理を行う3次元構造CMOSイメージセンサの研究を進めている。今回、微細なAu電極を埋め込んだSOI基板の直接接合技術を用いて、フォトダイオード(PD)とインパータを3次元的に接続し、画素内で入射光に対応したパルスを発生してA/D変換を行うイメージセンサの試作に取り組んだ。その結果、3次元構造で画素並列信号処理を行う動画像センサとしての動作を初めて確認するとともに、入射光に対する80dB以上の広いダイナミックレンジにわたりパルス出力周波数が増加する設計通りの光電変換特性を得ることができ、将来の高性能なイメージセンサへの適用可能性を示した。

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  • Device Design Guideline for Steep Slope Ferroelectric FET Using Negative Capacitance in Sub-0.2V Operation: Operation Speed, Material Requirement and Energy Efficiency

    Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2015 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY (VLSI TECHNOLOGY)   2015年

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    記述言語:英語  

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  • V-th Self-Adjusting Tri-Gate Nanowire MOSFET for Stability Improvement of SRAM Cell Operating at 0.1 V

    Seung-Min Jung, Takuya Saraya, Kiyoshi Takeuchi, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2015 IEEE SOI-3D-SUBTHRESHOLD MICROELECTRONICS TECHNOLOGY UNIFIED CONFERENCE (S3S)   2015年

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    記述言語:英語  

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  • Impact of Random Telegraph Noise on Write Stability in Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAM Cells at Low Supply Voltage in Sub-0.4V Regime

    Hao Qiu, Tomoko Mizutani, Yoshiki Yamamoto, Hideki Makiyama, Tomohiro Yamashita, Hidekazu Oda, Shiro Kamohara, Nobuyuki Sugii, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2015 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY (VLSI TECHNOLOGY)   2015年

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    記述言語:英語  

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  • Development of a Three-Dimensional Integrated Image Sensor with Pixel-Parallel Signal Processing Architecture

    Kei Hagiwara, Masahide Goto, Yuki Honda, Masakazu Nanba, Hiroshi Ohtake, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Hiroshi Toshiyoshi, Eiji Higurashi, Toshiro Hiramoto

    2015 IEEE SENSORS   1905 - 1908   2015年

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    記述言語:英語  

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  • Au/SiO2ハイブリッド接合を用いた3次元集積回路の開発

    後藤正英, 萩原啓, 井口義則, 大竹浩, 更屋拓哉, 日暮栄治, 年吉洋, 平本俊郎

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   62nd   2015年

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  • 画素並列信号処理3次元構造CMOSイメージセンサ(固体撮像技術および一般)

    後藤 正英, 萩原 啓, 井口 義則, 大竹 浩, 更屋 拓哉, 小林 正治, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    映像情報メディア学会技術報告   39 ( 0 )   5 - 8   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    超高精細と高フレームレートとを両立する次世代のイメージセンサを目指して、画素並列信号処理を行う3次元構造CMOSイメージセンサの研究を進めている。今回、微細なAu電極を埋め込んだSOI基板の直接接合技術を用いて、フォトダイオード(PD)とインバータを3次元的に接続し、画素内で入射光に対応したパルスを発生してA/D変換を行うイメージセンサの試作に取り組んだ。その結果、3次元構造で画素並列信号処理を行う動画像センサとして動作を初めて確認するとともに、入射光に対して80dB以上の広いダイナミックレンジにわたりパルス出力周波数が増加する設計通りの光電変換特性を得ることができ、将来の高性能なイメージセンサへの適用可能性を示した。

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  • 128 x 96 Pixel-Parallel Three-Dimensional Integrated CMOS Image Sensors with 16-bit A/D Converters by Direct Bonding with Embedded Au Electrodes

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yuki Honda, Masakazu Nanba, Hiroshi Ohtake, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2015 IEEE SOI-3D-SUBTHRESHOLD MICROELECTRONICS TECHNOLOGY UNIFIED CONFERENCE (S3S)   2015年

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Three-Dimensional Integrated Circuits and Stacked CMOS Image Sensors using Direct Bonding of SOI Layers

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2015 INTERNATIONAL 3D SYSTEMS INTEGRATION CONFERENCE (3DIC 2015)   2015年

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    記述言語:英語  

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  • Effect of drain-induced barrier lowering on performance of ultralow-supply-voltage CMOS circuits operating in subthreshold region

    Seung-Min Jung, Tomoko Mizutani, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   53 ( 12 )   2014年12月

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  • 超低電圧0.4V動作SOTB-CMOS回路のダイ間遅延ばらつきを抑制する基板バイアス制御技術 (シリコン材料・デバイス)

    槇山 秀樹, 山本 芳樹, 尾田 秀一, 蒲原 史朗, 杉井 信之, 山口 泰男, 石橋 孝一郎, 水谷 朋子, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   114 ( 255 )   61 - 68   2014年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    薄膜BOX-SOI(SOTB)デバイスのように低ばらつきのトランジスタは動作電圧の低減に有効である。しかし、超低電圧領域で起こる伝播遅延時間(T_<pd>)ばらつきの急増が大きな課題である。本研究では、様々な論理回路のダイ問遅延ばらつきの抑制のために、P/N駆動カバランスを考慮した基板バイアス制御を提案し、実証した。

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  • 完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAMセルにおける最低動作電圧(Vmin)の統計的解析 (集積回路)

    水谷 朋子, 山本 芳樹, 槇山 秀樹, 山下 朋弘, 尾田 秀一, 蒲原 史朗, 杉井 信之, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   114 ( 175 )   55 - 58   2014年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    65nm技術で作製した完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX(SOTB) SRAMセルの最低動作電圧(V_<min>)を測定し,統計的解析を行った.V_<min>は正規分布ではなく,対数正規分布に従うことを実測で示した.さらに,ワーストセルのV_<min>の振る舞いは,平均的なセルのV_<min>やスタティックノイズマージン(SNM)とは異なることを示し,大容量SRAMセルの安定性は,ワーストセルのV_<min>で評価しなければならないことを明らかにした.

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  • 招待講演 しきい値電圧自己調整MOSトランジスタおよびSRAMセルの超低電圧(0.1V)動作 (集積回路)

    平本 俊郎, 上田 晃頌, 鄭 承旻, 水谷 朋子, 更屋 拓哉

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   114 ( 175 )   51 - 54   2014年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    0.1Vという超低電圧で動作するV_<th>自己調整MOSFETを提案した.このデバイスでは,オン時にV_<th>が低下し,オフ時にV_<th>が上昇するため,高いオン・オフ比と安定なSRAMセル動作が得られる.提案デバイスはフローティングゲートを持ち,このフローティングゲートに電荷が注入あるいはフローティングゲートから電荷が放出されることによりV_<th>が自己調整される.0.1VにおいてnFETおよびpFETのV_<th>自己調整機能を実験により確認した.さらにV_<th>自己整合nFETとpFETからなる6T SRAMセルにおいて,V_<th>自己調整機能による0.1Vでの安定動作を実証した.

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  • 完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAMセルにおける最低動作電圧(Vmin)の統計的解析 (シリコン材料・デバイス)

    水谷 朋子, 山本 芳樹, 槇山 秀樹, 山下 朋弘, 尾田 秀一, 蒲原 史朗, 杉井 信之, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   114 ( 174 )   55 - 58   2014年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    65nm技術で作製した完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX(SOTB) SRAMセルの最低動作電圧(V_<min>)を測定し,統計的解析を行った.V_<min>は正規分布ではなく,対数正規分布に従うことを実測で示した.さらに,ワーストセルのV_<min>の振る舞いは,平均的なセルのV_<min>やスタティックノイズマージン(SNM)とは異なることを示し,大容量SRAMセルの安定性は,ワーストセルのV_<min>で評価しなければならないことを明らかにした.

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  • 招待講演 しきい値電圧自己調整MOSトランジスタおよびSRAMセルの超低電圧(0.1V)動作 (シリコン材料・デバイス)

    平本 俊郎, 上田 晃頌, 鄭 承旻, 水谷 朋子, 更屋 拓哉

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   114 ( 174 )   51 - 54   2014年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    0.1Vという超低電圧で動作するV_<th>自己調整MOSFETを提案した.このデバイスでは,オン時にV_<th>が低下し,オフ時にV_<th>が上昇するため,高いオン・オフ比と安定なSRAMセル動作が得られる.提案デバイスはフローティングゲートを持ち,このフローティングゲートに電荷が注入あるいはフローティングゲートから電荷が放出されることによりV_<th>が自己調整される.0.1VにおいてnFETおよびpFETのV_<th>自己調整機能を実験により確認した.さらにV_<th>自己整合nFETとpFETからなる6T SRAMセルにおいて,V_<th>自己調整機能による0.1Vでの安定動作を実証した.

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  • 3-D Silicon-on-Insulator Integrated Circuits With NFET and PFET on Separate Layers Using Au/SiO2 Hybrid Bonding

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   61 ( 8 )   2886 - 2892   2014年8月

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  • Threshold voltage shifts and their variability behaviors in p-channel FETs by high voltage on-state and off-state stress

    Nurul Ezaila Alias, Anil Kumar, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   53 ( 8 )   32 - 36   2014年8月

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  • A novel MOSFET with vertical signal-transfer capability for 3D-structured CMOS image sensors

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING   9 ( 3 )   329 - 333   2014年5月

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  • Ultralow-power SOTB CMOS technology operating down to 0.4 V

    Nobuyuki Sugii, Yoshiki Yamamoto, Hideki Makiyama, Tomohiro Yamashita, Hidekazu Oda, Shiro Kamohara, Yasuo Yamaguchi, Koichiro Ishibashi, Tomoko Mizutani, Toshiro Hiramoto

    Journal of Low Power Electronics and Applications   4 ( 2 )   65 - 76   2014年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:書評論文,書評,文献紹介等   出版者・発行元:MDPI AG  

    DOI: 10.3390/jlpea4020065

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  • 依頼講演 Adaptive Body Bias技術を用いたSOTB 2Mbit SRAMの0.37V超低電圧動作 (集積回路)

    山本 芳樹, 槇山 秀樹, 山下 朋弘, 尾田 秀一, 蒲原 史朗, 杉井 信之, 山口 泰男, 水谷 朋子, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   114 ( 13 )   53 - 57   2014年4月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    薄膜BOX-SOI(SOTB: Silicon on Thin Buried oxide)を用いた6T-SRAMの超低電圧動作の実証について報告する。低バラツキとAdaptive Back Bias(ABB)技術の利用により、動作温度に寄らず0.4V以下の動作を実証した。また、ABB技術により、スタンバイ状態のV_<TH>を高く、アクティブ状態のV_<TH>を低く設定することにより、高速動作と低スタンバイーリークを実現した。

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  • Peak position control of Coulomb blockade oscillations in silicon single-electron transistors with floating gate operating at room temperature

    Yuma Tanahashi, Ryota Suzuki, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   53 ( 4 )   2014年4月

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  • Comparison and distribution of minimum operation voltage in fully depleted silicon-on-thin-buried-oxide and bulk static random access memory cells

    Tomoko Mizutani, Yoshiki Yamamoto, Hideki Makiyama, Hirofumi Shinohara, Toshiaki Iwamatsu, Hidekazu Oda, Nobuyuki Sugii, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   53 ( 4 )   2014年4月

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  • Transport behaviors and mechanisms in cuspidal blockade region for silicon single-hole transistor

    Youngmin Lee, Sejoon Lee, Toshiro Hiramoto

    CURRENT APPLIED PHYSICS   14 ( 3 )   428 - 432   2014年3月

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  • P/N駆動力バランスを考慮した基板バイアス制御による超低電圧0.4V動作SOTB-CMOS回路のダイ間遅延ばらつき抑制 (シリコン材料・デバイス 先端CMOSデバイス・プロセス技術(IEDM特集))

    槇山 秀樹, 山本 芳樹, 篠原 博文, 岩松 俊明, 尾田 秀一, 杉井 信之, 石橋 孝一郎, 水谷 朋子, 平本 俊郎, 山口 泰男

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   113 ( 420 )   35 - 38   2014年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    薄膜BOX-SOI(SOTB)デバイスのように低ばらつきのトランジスタは動作電圧低減に有効である。しかし,超低電圧領域で起こる伝播遅延時間(τ_<pd>)ばらつきの急増が大きな課題である。本研究では,様々な論理回路のダイ間遅延ばらつきの抑制のために,P/N駆動力バランスを考慮した基板バイアス制御を提案し,実証した。

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  • 招待講演 110億トランジスタの特性分布における±5.4σより外れたトランジスタの解析 (シリコン材料・デバイス 先端CMOSデバイス・プロセス技術(IEDM特集))

    水谷 朋子, Kumar Anil, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   113 ( 420 )   31 - 34   2014年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    110億個のトランジスタの特性分布のテール部分にあるトランジスタの特性を詳細に解析した.その結果,定電流法で定義されたV_<TH>(V_<THC>)は正規分布から外れるが,外挿法で定義されたV_<TH>(V_<THEX>)はほぼ正規分布に従い,さらに,オン電流(I_<ON>)が異常に低いトランジスタが存在することがわかった.3Dデバイスシミュレーションと詳細なトランジスタ特性の実測により,非正規分布の原因および製造歩留に対する影響について議論した.

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  • Observation of Single Electron Transport via Multiple Quantum States of a Silicon Quantum Dot at Room Temperature

    Sejoon Lee, Youngmin Lee, Emil B. Song, Toshiro Hiramoto

    NANO LETTERS   14 ( 1 )   71 - 77   2014年1月

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  • Au/SiO2ハイブリッド接合を用いた3次元集積回路の試作

    後藤正英, 萩原啓, 井口義則, 大竹浩, 更屋拓哉, 日暮栄治, 年吉洋, 平本俊郎

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   61st   2014年

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  • Statistical Analysis of Minimum Operation Voltage (V-min) in Fully Depleted Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAM Cells

    Tomoko Mizutani, Yoshiki Yamamoto, Hideki Makiyama, Tomohiro Yamashita, Hidekazu Oda, Shiro Kamohara, Nobuyuki Sugii, Toshiro Hiramoto

    2014 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   2014年

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    記述言語:英語  

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  • Analysis of Delay Time in Subthreshold CMOS Circuits Operating at Ultra-Low Supply Voltage

    Seung-Min Jung, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2014 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   2014年

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    記述言語:英語  

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  • Ultralow-Voltage Design and Technology of Silicon-on-Thin-Buried-Oxide (SOTB) CMOS for Highly Energy Efficient Electronics in IoT Era

    Shiro Kamohara, Nobuyuki Sugii, Yoshiki Yamamoto, Hideki Makiyama, Tomohiro Yamashita, Takumi Hasegawa, Shinobu Okanishi, Hiroshi Yanagita, Masaru Kadoshima, Keiichi Maekawa, Hitoshi Mitani, Yasushi Yamagata, Hidekazu Oda, Yasuo Yamaguchi, Koichiro Ishibashi, Hideharu Amano, Kimiyoshi Usami, Kazutoshi Kobayashi, Tomoko Mizutani, Toshiro Hiramoto

    2014 Symposium on VLSI Technology (VLSI-Technology): Digest of Technical Papers   2014年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Development of Novel Three-Dimensional Structuring of Integrated Circuits by using Low Temperature Direct Bonding for CMOS Image Sensors

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON FUNCTIONAL DIVERSIFICATION OF SEMICONDUCTOR ELECTRONICS 2 (MORE-THAN-MOORE 2)   61 ( 6 )   87 - 90   2014年

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  • Three-Dimensional Integrated CMOS Image Sensors with Pixel-Parallel A/D Converters Fabricated by Direct Bonding of SOI Layers

    Masahide Goto, Kei Hagiwara, Yoshinori Iguchi, Hiroshi Ohtake, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

    2014 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING (IEDM)   2014年

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    記述言語:英語  

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  • Mechanical Grinding of Au/SiO2 Hybrid-bonded Substrates for 3D Integrated Image Sensors

    Kei Hagiwara, Masahide Goto, Hiroshi Ohtake, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Hiroshi Toshiyoshi, Eiji Higurashi, Toshiro Hiramoto

    2014 4TH IEEE INTERNATIONAL WORKSHOP ON LOW TEMPERATURE BONDING FOR 3D INTEGRATION (LTB-3D)   11 - 11   2014年

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    記述言語:英語  

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  • TOWARD 0.1V OPERATION OF MOSFETS FOR ULTRA-LOW POWER APPLICATIONS

    Toshiro Hiramoto, Akitsugu Ueda, Seung-Min Jung, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya

    2014 12TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY (ICSICT)   2014年

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    記述言語:英語  

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  • 画素並列信号処理撮像デバイスに適用可能な直接接合を用いた立体構造回路の試作

    井口義則, 後藤正英, 萩原啓, 大竹浩, 更屋拓哉, 日暮栄治, 年吉洋, 平本俊郎

    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集(CD-ROM)   2014   2014年

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  • 3次元構造撮像デバイスの実現に向けた画素回路の試作

    後藤正英, 萩原啓, 井口義則, 大竹浩, 更屋拓哉, 日暮栄治, 年吉洋, 平本俊郎

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   75th   2014年

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  • 9-3 画素並列信号処理撮像デバイスに適用可能な直接接合を用いた立体構造回路の試作(第9部門 センシング1)

    井口 義則, 後藤 正英, 萩原 啓, 大竹 浩, 更屋 拓哉, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集   2014 ( 0 )   9 - 3-1_-_9-3-1_   2014年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    This paper describes a 3D-integrated oscillator circuit and a design of an in-pixel A/D converter for a pixel-parallel 3D-integrated image sensor which can achieve both ultrahigh definition and high frame frequency.

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  • Recovery and Parmanent Components of vertical bar V-th vertical bar Shifts in pFETs by High-Voltage ON-state Stress

    Nurul Ezaila Alias, Tomoko Mizutani, Anil Kumar, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2014 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   2014年

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    記述言語:英語  

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  • Comparison of Statistical Distributions of Random Telegraph Noise (RTN) in Subthreshold Region and Strong Inversion Region

    Hitoshi Ohno, Tomoko Mizutani, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2014 IEEE SILICON NANOELECTRONICS WORKSHOP (SNW)   2014年

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    記述言語:英語  

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  • Statistical Analysis of Four Write Stability Metrics in Fully Depleted Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) and Bulk SRAM Cells at Low Supply Voltage

    Hao Qiu, Tomoko Mizutani, Yoshiki Yamamoto, Hideki Makiyama, Tomohiro Yamashita, Hidekazu Oda, Shiro Kamohara, Nobuyuki Sugii, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2014 12TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY (ICSICT)   2014年

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    記述言語:英語  

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  • Ultra-Low Voltage (0.1V) Operation of V-th Self-Adjusting MOSFET and SRAM Cell

    Akitsugu Ueda, Seung-Min Jung, Tomoko Mizutani, Anil Kumar, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2014 Symposium on VLSI Technology (VLSI-Technology): Digest of Technical Papers   2014年

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    記述言語:英語  

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  • Two types of on-state observed in the operation of a redox-based three-terminal device

    Qi Wang, Yaomi Itoh, Tohru Tsuruoka, Tsuyoshi Hasegawa, Satoshi Watanabe, Shu Yamaguchi, Toshiro Hiramoto, Masakazu Aono

    ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV   596   111 - +   2014年

  • The characteristic of elongated Coulomb-blockade regions in a Si quantum-dot device coupled via asymmetric tunnel barriers

    Sejoon Lee, Youngmin Lee, Emil B. Song, Toshiro Hiramoto

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   114 ( 16 )   164513-164513-7   2013年10月

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  • Characteristics control of room-temperature operating single electron transistor with floating gate by charge pump circuit

    Motoki Nozue, Ryota Suzuki, Hirotoshi Nomura, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    SOLID-STATE ELECTRONICS   88   61 - 64   2013年10月

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  • Experimental Observation of Quantum Confinement Effect in &lt; 110 &gt; and &lt; 100 &gt; Silicon Nanowire Field-Effect Transistors and Single-Electron/Hole Transistors Operating at Room Temperature

    Ryota Suzuki, Motoki Nozue, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   52 ( 10 )   104001.1-104001.10   2013年10月

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  • Modulation of peak-to-valley current ratio of Coulomb blockade oscillations in Si single hole transistors

    Sejoon Lee, Youngmin Lee, Emil B. Song, Toshiro Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   103 ( 10 )   103502-103502-4   2013年9月

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  • 完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAMセルの電源電圧0.4Vにおけるセル電流ばらつき低減 (集積回路)

    水谷 朋子, 山本 芳樹, 槇山 秀樹, 篠原 博文, 岩松 俊明, 尾田 秀一, 杉井 信之, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   113 ( 173 )   47 - 52   2013年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    65nm技術で作製した完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAMセルのセル電流ばらつきを評価し,バルクSRAMセルと比較した. SOTB SRAMセルではバルクSRAMセルと比較してセル電流ばらつきを大幅に抑制できることを実測で示し,その主な原因がV_<TH>ばらつきの低減であり,他のパラメータの効果は小さいことを明らかにした.

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  • 完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAMセルの電源電圧0.4Vにおけるセル電流ばらつき低減 (シリコン材料・デバイス)

    水谷 朋子, 山本 芳樹, 槇山 秀樹, 篠原 博文, 岩松 俊明, 尾田 秀一, 杉井 信之, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   113 ( 172 )   47 - 52   2013年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    65nm技術で作製した完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAMセルのセル電流ばらつきを評価し,バルクSRAMセルと比較した. SOTB SRAMセルではバルクSRAMセルと比較してセル電流ばらつきを大幅に抑制できることを実測で示し,その主な原因がV_<TH>ばらつきの低減であり,他のパラメータの効果は小さいことを明らかにした.

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  • SRAMセル安定性指標パラメータの検討 : ノイズマージンかVminか? (シリコン材料・デバイス)

    Kumar Anil, 更屋 拓哉, 宮野 信治, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   113 ( 172 )   43 - 46   2013年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    SRAMセルの安定性の指標となるパラメータとして,ノイズマージン(NM)と最低動作電圧(Vmin)を比較検討した. NMとVminを測定し直接比較した結果,高い電源電圧(V_<DD>)においては両者の相関は低く, NMは必ずしもよい指標ではないことが明らかとなった.一方, V_<DD>が低くなるほど両者の相関は高くなることを新たに発見し, SRAMセルの安定性を評価するには,高いV_<DD>ではなく低いV_<DD>でNMを測定しなければならないことを初めて明らかにした.

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  • SRAMセル安定性指標パラメータの検討 : ノイズマージンかVminか? (集積回路)

    Kumar Anil, 更屋 拓哉, 宮野 信治, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   113 ( 173 )   43 - 46   2013年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    SRAMセルの安定性の指標となるパラメータとして,ノイズマージン(NM)と最低動作電圧(Vmin)を比較検討した. NMとVminを測定し直接比較した結果,高い電源電圧(V_<DD>)においては両者の相関は低く, NMは必ずしもよい指標ではないことが明らかとなった.一方, V_<DD>が低くなるほど両者の相関は高くなることを新たに発見し, SRAMセルの安定性を評価するには,高いV_<DD>ではなく低いV_<DD>でNMを測定しなければならないことを初めて明らかにした.

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  • Nonvolatile three-terminal operation based on oxygen vacancy drift in a Pt/Ta2O5-x/Pt, Pt structure

    Qi Wang, Yaomi Itoh, Tsuyoshi Hasegawa, Tohru Tsuruoka, Shu Yamaguchi, Satoshi Watanabe, Toshiro Hiramoto, Masakazu Aono

    Applied Physics Letters   102 ( 23 )   233508-233508-5   2013年6月

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  • Experimental Demonstration of Post-Fabrication Self-Improvement of SRAM Cell Stability by High-Voltage Stress

    Toshiro Hiramoto, Anil Kumar, Takuya Saraya, Shinji Miyano

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E96C ( 6 )   759 - 765   2013年6月

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  • NBTI Reliability of PFETs under Post-Fabrication Self-Improvement Scheme for SRAM

    Nurul Ezaila Alias, Anil Kumar, Takuya Saraya, Shinji Miyano, Toshiro Hiramoto

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E96C ( 5 )   620 - 623   2013年5月

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  • Statistical Analysis of Current Onset Voltage (CM) Distribution of Scaled MOSFETs

    Tomoko Mizutani, Anil Kumar, Toshiro Hiramoto

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E96C ( 5 )   630 - 633   2013年5月

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  • Integration of Complementary Metal-Oxide-Semiconductor 1-Bit Analog Selectors and Single-Electron Transistors Operating at Room Temperature

    Ryota Suzuki, Motoki Nozue, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   52 ( 4 )   04CJ05.1-04CJ05.6   2013年4月

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  • Direct Measurement of Carrier Mobility in Intrinsic Channel Tri-Gate Single Silicon Nanowire Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors

    Ke Mao, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   52 ( 4 )   04CC08.1-04CC08.6   2013年4月

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  • Statistical Analysis of Subthreshold Swing in Fully Depleted Silicon-on-Thin-Buried-Oxide and Bulk Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistors

    Tomoko Mizutani, Yoshiki Yamamoto, Hideki Makiyama, Toshiaki Iwamatsu, Hidekazu Oda, Nobuyuki Sugii, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   52 ( 4 )   04CC02.1-04CC02.5   2013年4月

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  • Effects of Side Surface Roughness on Carrier Mobility in Tri-Gate Single Silicon Nanowire Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors

    Ke Mao, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   52 ( 4 )   04CC11.1-04CC11.5   2013年4月

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  • 室温動作単電子トランジスタとCMOS 1-bitアナログセレクタの集積化 (電子デバイス)

    鈴木 龍太, 野末 喬城, 更屋 拓也, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報   112 ( 445 )   47 - 52   2013年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    本研究では、室温動作シリコン単電子トランジスタ(SET)の作製プロセスの改良により、同時に作製されるMOSFETの特性を改善し、SETとCMOSを集積化した上での回路動作を実証した。作製プロセスの改良により、MOSFETの寄生抵抗の抑制とノーマリオフ動作を実現し、作製プロセスの完全なCMOS互換性を達成した。6個のMOSFETから構成されたCMOSアナログセレクタ回路とSETを集積し、2つの入力電圧のうち1つをセレクタを介して選択的にSETのゲートに印加する動作を室温にて実証した。加えて、セレクタに接続された2つのSETのうちの1つの出力電流を選択的に読み出せることも示した。これらの成果により、SETとCMOSを集積化した高密度な情報処理回路の実現可能性が示された。

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  • Gate-tunable selective operation of single electron/hole transistor modes in a silicon single quantum dot at room temperature

    Sejoon Lee, Youngmin Lee, Emil B. Song, Kang L. Wang, Toshiro Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   102 ( 8 )   083504-083504-4   2013年2月

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  • 11-3 撮像デバイスの3 次元集積化に向けた要素技術の開発(第11部門 情報センシング,情報ディスプレイ)

    萩原 啓, 後藤 正英, 大竹 浩, 井口 義則, 更屋 拓哉, 日暮 栄治, 年吉 洋, 平本 俊郎

    映像情報メディア学会冬季大会講演予稿集   2013 ( 0 )   11 - 3   2013年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    We have studied a 3D-integrated image sensor that is intended to provide both an ultrahigh-definition and a high frame frequency. For such new sensors, we have developed a fundamental technology to directly bond substrates and to construct 3D-integrated logic circuits.

    DOI: 10.11485/itewac.2013.0_11_2

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  • Analysis of Transistor Characteristics in Distribution Tails beyond +/- 5.4 sigma of 11 Billion Transistors

    Tomoko Mizutani, Anil Kumar, Toshiro Hiramoto

    2013 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING (IEDM)   2013   826 - 829   2013年

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  • 撮像デバイスの3次元集積化に向けた要素技術の開発

    萩原啓, 後藤正英, 大竹浩, 井口義則, 更屋拓哉, 日暮栄治, 年吉洋, 平本俊郎

    映像情報メディア学会冬季大会講演予稿集(CD-ROM)   2013   2013年

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  • 撮像デバイスの3次元構造化に向けた画素内A/D変換回路の設計

    後藤正英, 萩原啓, 井口義則, 大竹浩, 更屋拓哉, 日暮栄治, 年吉洋, 平本俊郎

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)   30th   2013年

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  • 表面活性化処理を用いた金属/絶縁体混在基板の直接接合

    萩原啓, 後藤正英, 後藤正英, 大竹浩, 井口義則, 更屋拓哉, 年吉洋, 日暮栄治, 平本俊郎

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   60th   2013年

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  • 超低電力LSIを実現する薄膜BOX-SOI(SOTB)CMOS技術

    杉井 信之, 岩松 俊明, 山本 芳樹, 槇山 秀樹, 角村 貴昭, 篠原 博文, 青野 英樹, 尾田 秀一, 蒲原 史朗, 山口 泰男, 水谷 朋子, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路   112 ( 170 )   29 - 32   2012年7月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    CMOSの超低電力化への要求は相変わらず大きい.消費電力効率を出来るだけ高めた超低電圧動作CMOSデバイスが実現できれば,ユビキタスセンサネットワークなどへの広汎な応用が期待できる.現代の微細CMOSにおける超低電圧動作に対する主要課題は,トランジスタ特性のばらつきを抑え,かつ適応制御によって可能な限り低電圧で要求に見合う回路性能を引き出すことである.この課題を解決するために,我々は薄膜BOX-SOI(SOTB)というCMOSトランジスタを開発している.本報告では, SOTBの特長,超低電圧動作に向けたデバイス・プロセス技術,応用分野を拡大するためのデバイス・回路連携に関して述べる.

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  • 100億トランジスタのしきい値電圧ばらつき (シリコン材料・デバイス)

    水谷 朋子, Kumar Anil, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報   111 ( 422 )   9 - 12   2012年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    しきい値電圧(V_<TH>)ばらつき測定用の超大規模DMA-TEGを設計・試作し,65nm技術で作製した100億個のトランジスタにおけるV_<TH>ばらつきを評価した.その結果,nFETのV_<TH>ばらつきは±6.5σまでほぼ正規分布に従うことが分かった.一方,pFETのV_<TH>ばらつきは,分布の低V_<TH>領域でテール部分が見られることを明らかにした.3Dデバイスシミュレーションと詳細なトランジスタ特性の実測により,非正規分布の原因を解析した.

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  • Gate Length and Gate Width Dependence of Drain Induced Barrier Lowering and Current-Onset Voltage Variability in Bulk and Fully Depleted Silicon-on-Insulator Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors

    Anil Kumar, Tomoko Mizutani, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   51 ( 2 )   024106.1-024106.5   2012年2月

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  • Suppression of Within-Device Variability in Intrinsic Channel Tri-Gate Silicon Nanowire Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors

    Ke Mao, Tomoko Mizutani, Anil Kumar, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   51 ( 2 )   02BC06.1-02BC06.5   2012年2月

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  • 完全空乏型SOI MOSFETにおける特性ばらつきとランダムテレグラフノイズ

    平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   111 ( 249 )   1 - 4   2011年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    イントリンジックチャネル完全空乏型(FD)SOI MOSFETの統計的性質を実測し,従来のバルクMOSトランジスタと比較した.しきい値電圧(Vth)ばらつきは,SOI MOSFETで大幅に抑制されることを確認した.さらに,ランダムテレグラフノイズ(RTN)によるVthの時間的変動の最悪値も,FD SOI MOSFETの方が小さいことが明らかとなった.三次元デバイスシミュレーションにより,これらの統計的ばらつきの抑制は,チャネルに不純物が存在しないことに起因することを明らかにした.これらの結果は,チャネル不純物を有しないイントリンジックチャネルMOSトランジスタが将来有望なデバイス構造であることを示している.

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  • 微細MOSトランジスタにおけるDIBLおよび電流立上り電圧ばらつきの統計解析

    Kumar Anil, 水谷 朋子, 西田 彰男, 竹内 潔, 稲葉 聡, 蒲原 史朗, 寺田 和夫, 最上 徹, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   111 ( 187 )   69 - 73   2011年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    微細トランジスタにおける電流立上り電圧(Current-Onset Voltage,COV)とDIBLの統計解析を行った,COVは,我々が最近見いだした電流ばらつき要因の一つである.三次元デバイスシミュレーションの結果,しきい値電圧ばらつき(σVm)のゲート長・ゲート幅依存性はペリグロムプロットで一直線上にのるが,σCOVおよびσDIBLは,特にゲート長が短い領域において直線からはずれることがわかった.そのメカニズムについて検討した.

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  • 微細MOSトランジスタにおけるDIBLおよび電流立上り電圧ばらつきの統計解析

    Kumar Anil, 水谷 朋子, 西田 彰男, 竹内 潔, 稲葉 聡, 蒲原 史朗, 寺田 和夫, 最上 徹, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路   111 ( 188 )   69 - 73   2011年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    微細トランジスタにおける電流立上り電圧(Current-Onset Voltage,COV)とDIBLの統計解析を行った,COVは,我々が最近見いだした電流ばらつき要因の一つである.三次元デバイスシミュレーションの結果,しきい値電圧ばらつき(σVm)のゲート長・ゲート幅依存性はペリグロムプロットで一直線上にのるが,σCOVおよびσDIBLは,特にゲート長が短い領域において直線からはずれることがわかった.そのメカニズムについて検討した.

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  • Takeuchi プロットを用いた High-k/Metal-Gate MOSFET のばらつき評価

    水谷 朋子, Kumar Anil, 西田 彰男, 竹内 潔, 稲葉 聡, 蒲原 史朗, 寺田 和夫, 最上 徹, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路   111 ( 188 )   65 - 68   2011年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    High-k/Metal-Gate(HKMG)MOSFETのV_<TH>ばらつきをTakeuchiプロットを用いて評価し,従来のSiON絶縁膜/Poly Si Gate(SiON)MOSFETと比較した.Takeuchiプロットに必要なパラメータ等はC-V測定から求めた.その結果,HKMG MOSFETでは,離散不純物揺らぎ(RDF)によるばらつきは確かに抑制されているものの,他の要因に起因する特性ばらつきが大きいことが明らかとなった.TakeuchiプロットはSiON MOSFETのみでなく,HKMG MOSFETに対しても特性ばらつきの強力な評価手法である.

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  • Direct Measurement of Correlation Between SRAM Noise Margin and Individual Cell Transistor Variability by Using Device Matrix Array

    Toshiro Hiramoto, Makoto Suzuki, Xiaowei Song, Ken Shimizu, Takuya Saraya, Akio Nishida, Takaaki Tsunomura, Shiro Kamohara, Kiyoshi Takeuchi, Tohru Mogami

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   58 ( 8 )   2249 - 2256   2011年8月

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  • High-Temperature Properties of Drain Current Variability in Scaled Field-Effect Transistors Analyzed by Decomposition Method

    Takaaki Tsunomura, Anil Kumar, Tomoko Mizutani, Akio Nishida, Kiyoshi Takeuchi, Satoshi Inaba, Shiro Kamohara, Kazuo Terada, Toshiro Hiramoto, Tohru Mogami

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 4 )   04DC08.1-04DC08.5   2011年4月

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  • Effect of Channel Dopant Profile on Difference in Threshold Voltage Variability Between NFETs and PFETs

    Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   58 ( 2 )   364 - 369   2011年2月

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  • Proposal of a Model for Increased NFET Random Fluctuations

    TAKEUCHI Kiyoshi, NISHIDA Akio, KAMOHARA Shiro, HIRAMOTO Toshiro, MOGAMI Tohru

    Dig Tech Pap Symp VLSI Technol   2011   192 - 193   2011年

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    記述言語:英語  

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  • Ultra-low-voltage operation: Device perspective

    Toshiro Hiramoto

    Proceedings of the International Symposium on Low Power Electronics and Design   2011   59 - 60   2011年

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  • Effect of Back Bias on Variability in Intrinsic Channel SOD MOSFETs

    Toshiro Hiramoto, Takuya Saraya, Chiho Lee

    TECHNOLOGY EVOLUTION FOR SILICON NANO-ELECTRONICS   470   214 - 217   2011年

  • Statistical Advantages of Intrinsic Channel Fully Depleted SOI MOSFETs over Bulk MOSFETs

    Toshiro Hiramoto, Anil Kumar, Tomoko Mizutani, Jun Nishimura, Takuya Saraya

    2011 IEEE CUSTOM INTEGRATED CIRCUITS CONFERENCE (CICC)   2011   70 - 73   2011年

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  • Measuring Threshold Voltage Variability of 10G Transistors

    Tomoko Mizutani, Anil Kumar, Toshiro Hiramoto

    2011 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING (IEDM)   2011   563 - 566   2011年

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  • 科学技術・研究開発の国際比較 2011年版 電子情報通信分野

    桜井貴康, 木本恒暢, 嘉田守宏, 黒田忠広, 染谷隆夫, 竹内健, 平本俊郎, 原和裕, 藤田昌宏, 松澤昭, 最上徹, 安浦寛人, 伊東義曜, 中野義昭, 伊藤雅英, 井元信之, 小柴正則, 後藤顕也, 小山理, 進藤典男, 馬場俊彦, 桃井恒浩, 宮本裕, 石塚満, 相澤清晴, 上田和紀, 尾内理紀夫, 喜連川優, 坂井修一, 高木英明, 近山隆, 辻井潤一, 平木敬, 本位田真一, 古原和邦, 井沼学, 今福健太郎, 衛藤将史, 光来健一, 須崎有康

    科学技術・研究開発の国際比較 2011年版 電子情報通信分野   197P   2011年

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    記述言語:日本語  

    J-GLOBAL

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  • Regional, National, and International Nanoelectronics Research Programs: Topical Concentration and Gaps

    Michel Brillouet, George I. Bourianoff, Ralph Keary Cavin, Toshiro Hiramoto, James A. Hutchby, Adrian M. Ionescu, Ken Uchida

    PROCEEDINGS OF THE IEEE   98 ( 12 )   1993 - 2004   2010年12月

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  • Nanoelectronics Research for Beyond CMOS Information Processing

    George Bourianoff, Michel Brillouet, Ralph K. Cavin, Toshiro Hiramoto, James A. Hutchby, Adrian M. Ionescu, Ken Uchida

    PROCEEDINGS OF THE IEEE   98 ( 12 )   1986 - 1992   2010年12月

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  • Hole Mobility Characteristics in Si Nanowire pMOSFETs on (110) Silicon-on-Insulator

    Jiezhi Chen, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS   31 ( 11 )   1181 - 1183   2010年11月

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  • DMA TEGによるSRAMのスタティックノイズマージンの直接測定と解析

    平本 俊郎, 鈴木 誠, 更屋 拓哉, 清水 健, 西田 彰男, 蒲原 史朗, 竹内 潔, 最上 徹

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路   110 ( 183 )   111 - 114   2010年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    16kビットSRAMセルの大規模デバイスマトリクスアレーTEG(DMA-TEG)を設計・試作し,SRAMのスタティックノイズマージン(SNM)とセル内の個々のトランジスタ特性のばらつきを直接測定した.測定の結果,片側のSNMは±4σまで正規分布を示すことが明らかとなった.また,測定したV_<th>をそのまま用いてSNMのシミュレーションを行ったところ,シミュレーションによるSNMは実測したSNMより大きいことが明らかとなった.この結果から,実測のSNMばらつきはV_<th>ばらつきのみでは説明できず,電流ばらつきやDIBLばらつきも考慮すべきであることが明らかとなった.

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  • 「電流立上り電圧」ばらつきに起因する微細MOSトランジスタのランダム電流ばらつきの解析

    水谷 朋子, 角村 貴昭, Kumar Anil, 西田 彰男, 竹内 潔, 稲葉 聡, 蒲原 史朗, 寺田 和夫, 最上 徹, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路   110 ( 183 )   143 - 148   2010年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    大規模DMA-TEGにより65nm技術で作製したMOSトランジスタの電流ばらつきを測定し、電流ばらつきがしきい値電圧ばらつきおよびG_mばらつきのみではなく、「電流立上り電圧」ばらつきによってもばらつくことを明らかにした。また、シミュレーションと実測により、「電流立上り電圧」ばらつきが、不純物によるチャネルポテンシャルの揺らぎに起因することを明らかにした。

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  • DMA TEGによるSRAMのスタティックノイズマージンの直接測定と解析

    平本 俊郎, 鈴木 誠, 更屋 拓哉, 清水 健, 西田 彰男, 蒲原 史朗, 竹内 潔, 最上 徹

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   110 ( 182 )   111 - 114   2010年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    16kビットSRAMセルの大規模デバイスマトリクスアレーTEG(DMA-TEG)を設計・試作し,SRAMのスタティックノイズマージン(SNM)とセル内の個々のトランジスタ特性のばらつきを直接測定した.測定の結果,片側のSNMは±4σまで正規分布を示すことが明らかとなった.また,測定したV_<th>をそのまま用いてSNMのシミュレーションを行ったところ,シミュレーションによるSNMは実測したSNMより大きいことが明らかとなった.この結果から,実測のSNMばらつきはV_<th>ばらつきのみでは説明できず,電流ばらつきやDIBLばらつきも考慮すべきであることが明らかとなった.

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  • 「電流立上り電圧」ばらつきに起因する微細MOSトランジスタのランダム電流ばらつきの解析

    水谷 朋子, 角村 貴昭, Kumar Anil, 西田 彰男, 竹内 潔, 稲葉 聡, 蒲原 史朗, 寺田 和夫, 最上 徹, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   110 ( 182 )   143 - 148   2010年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    大規模DMA-TEGにより65nm技術で作製したMOSトランジスタの電流ばらつきを測定し、電流ばらつきがしきい値電圧ばらつきおよびG_mばらつきのみではなく、「電流立上り電圧」ばらつきによってもばらつくことを明らかにした。また、シミュレーションと実測により、「電流立上り電圧」ばらつきが、不純物によるチャネルポテンシャルの揺らぎに起因することを明らかにした。

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  • Superior &lt; 110 &gt;-Directed Electron Mobility to &lt; 100 &gt;-Directed Electron Mobility in Ultrathin Body (110) n-Type Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors

    Ken Shimizu, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 5 )   051303.1-051303.3   2010年5月

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  • Investigation of Threshold Voltage Variability at High Temperature Using Takeuchi Plot

    Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 5 )   054101.1-054101.6   2010年5月

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  • Suppression of Electron Mobility Degradation in (100)-Oriented Double-Gate Ultrathin Body nMOSFETs

    Ken Shimizu, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS   31 ( 4 )   284 - 286   2010年4月

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  • Origin of Larger Drain Current Variability in N-Type Field-Effect Transistors Analyzed by Variability Decomposition Method

    Takaaki Tsunomura, Anil Kumar, Tomoko Mizutani, Akio Nishida, Kiyoshi Takeuchi, Satoshi Inaba, Shiro Kamohara, Kazuo Terada, Toshiro Hiramoto, Tohru Mogami

    APPLIED PHYSICS EXPRESS   3 ( 11 )   114201.1-114201.3   2010年

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  • Mobility Degradation in (110)-Oriented Ultrathin-Body Double-Gate p-Type Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors with Silicon-on-Insulator Thickness of Less than 5 nm

    Ken Shimizu, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 4 )   041302.1-041302.3   2010年

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  • Threshold Voltage Dependence of Threshold Voltage Variability in Intrinsic Channel Silicon-on-Insulator Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors with Ultrathin Buried Oxide

    Chiho Lee, Arifin Tamsir Putra, Ken Shimizu, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 4 )   04DC01.1-04DC01.4   2010年

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  • Possible Origins of Extra Threshold Voltage Variability in N-Type Field-Effect Transistors by Intentionally Changing Process Conditions and Using Takeuchi Plot

    Takaaki Tsunomura, Fumiko Yano, Akio Nishida, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 7 )   074104.1-074104.4   2010年

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  • Mobility Enhancement over Universal Mobility in (100) Silicon Nanowire Gate-All-Around MOSFETs with Width and Height of Less Than 10nm Range

    Jiezhi Chen, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2010 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS   2010   175 - 176   2010年

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  • Verification of Threshold Voltage Variation of Scaled Transistors with Ultralarge-Scale Device Matrix Array Test Element Group

    Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   48 ( 12 )   124505.1-124505.4   2009年12月

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  • Experimental Investigations of Electron Mobility in Silicon Nanowire nMOSFETs on (110) Silicon-on-Insulator

    Jiezhi Chen, Takura Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS   30 ( 11 )   1203 - 1205   2009年11月

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  • C-11-1 微細MOSトランジスタの特性ばらつきの研究(C-11.シリコン材料・デバイス,一般セッション)

    平本 俊郎, 竹内 潔, 西田 彰男

    電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集   2009 ( 2 )   63 - 63   2009年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

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  • Analysis of NMOS and PMOS Difference in V-T Variation With Large-Scale DMA-TEG

    Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   56 ( 9 )   2073 - 2080   2009年9月

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  • Velocity Saturation Effects in a Short Channel Si-MOSFET and its Small Signal Characteristics

    Sanghoon Hwang, Hyunsik Im, Minkyu Song, Koichi Ishida, Toshiro Hiramoto, Takayasu Sakurai

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   55 ( 2 )   581 - 584   2009年8月

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  • (110)SOI基板上に作製したGAAシリコンナノワイヤの移動度評価

    陳 杰智, 更屋 拓哉, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路   109 ( 134 )   45 - 48   2009年7月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    (110)基板上のシリコンナノワイヤpFETにおける正孔移動度の実験結果について述べる.ナノワイヤFETはゲートオールアラウンド(GAA)構造を有しており,移動度測定用にマルチチャネルを有している.[110]方向のナノワイヤpFETでは,側面に(100)面が現れるが,高N_<inv>領域において(100)面に対して2.4倍もの移動度向上が得られることが明らかとなった.さらに,ひずみ効果も調べた結果,[110]方向が最適にナノワイヤpFETのチャネル方向であることを明らかにした.

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  • (110)SOI基板上に作製したGAAシリコンナノワイヤの移動度評価

    陳 杰智, 更屋 拓哉, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   109 ( 133 )   45 - 48   2009年7月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    (110)基板上のシリコンナノワイヤpFETにおける正孔移動度の実験結果について述べる.ナノワイヤFETはゲートオールアラウンド(GAA)構造を有しており,移動度測定用にマルチチャネルを有している.[110]方向のナノワイヤpFETでは,側面に(100)面が現れるが,高N_<inv>領域において(100)面に対して2.4倍もの移動度向上が得られることが明らかとなった.さらに,ひずみ効果も調べた結果,[110]方向が最適にナノワイヤpFETのチャネル方向であることを明らかにした.

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  • MOSトランジスタのスケーリングに伴う特性ばらつき

    平本 俊郎, 竹内 潔, 西田 彰男

    電子情報通信学会誌 = The journal of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers   92 ( 6 )   416 - 426   2009年6月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    MOSトランジスタはゲート長が100nm以下にまで微細化され,特性ばらつきの問題が顕在化してきた.設計上同じサイズのトランジスタであっても,製造されたトランジスタごとに特性が異なり,その結果,回路が正常に動作しないなどの現象が引き起こされている.特性ばらつきの原因は多岐にわたっており,定量的には未解明の部分が多い.本稿では,特性ばらつきの現状を紹介するとともに,その原因と対策について最新の動向を紹介する.

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  • Impact of Oxide Thickness Fluctuation and Local Gate Depletion on Threshold Voltage Variation in Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors

    Arifin Tamsir Putra, Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Shiro Kamohara, Kiyoshi Takeuchi, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   48 ( 6 )   064504.1-064504.5   2009年6月

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  • Silicon nanowire n-type metal-oxide-semiconductor field-effect transistors and single-electron transistors at room temperature under uniaxial tensile strain

    YeonJoo Jeong, Kousuke Miyaji, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   105 ( 8 )   084514   2009年4月

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  • Evaluation of Threshold-Voltage Variation in Silicon on Thin Buried Oxide Complementary Metal-Oxide-Semiconductor and Its Impact on Decreasing Standby Leakage Current

    Nobuyuki Sugii, Ryuta Tsuchiya, Takashi Ishigaki, Yusuke Morita, Hiroyuki Yoshimoto, Toshiaki Iwamatsu, Hidekazu Oda, Yasuo Inoue, Toshiro Hiramoto, Shin&apos;ichiro Kimura

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   48 ( 4 )   04C043.1-04C043.5   2009年4月

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  • Consideration of Random Dopant Fluctuation Models for Accurate Prediction of Threshold Voltage Variation of Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors in 45 nm Technology and Beyond

    Arifin Tamsir Putra, Akio Nishida, Shiro Kamohara, Takaaki Tsunomura, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   48 ( 4 )   044502.1-044502.5   2009年4月

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  • シリコンナノワイヤpMOSFET及び室温動作単正孔トランジスタにおける一軸歪みの効果

    鄭 然周, Chen Jiezhi, 更屋 拓哉, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   108 ( 437 )   59 - 62   2009年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    NW(nanowire)pFET及びSHT(single-hole transistor)における一軸歪みの効果を報告する。NW pFETにおいては、NW nFETより大きな電流変調効果が観測され、垂直歪みでは引っ張る方向が、水平歪みでは圧縮する方向が有効であった。また、ワイヤの幅が狭くなるほど歪み効果が小さくなるという幅依存性が初めて測定され、原因としては狭いワイヤでの小さい有効質量変調が考えられる。SHTにおいては、歪みによる有効質量変調のためトンネリング確率及びドット内のエネルギーレベル間隔が変化し、結果的にクーロン振動の様子が変化した。また、SHTのクーロン振動終了後には山越え電流成分のため、NW pFETと同様な歪み効果がSHTに現れた。

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  • Random Threshold Voltage Variability Induced by Gate-Edge Fluctuations in Nanoscale Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors

    Arifin Tamsir Putra, Akio Nishida, Shiro Kamohara, Toshiro Hiramoto

    APPLIED PHYSICS EXPRESS   2 ( 2 )   024501.1-024501.3   2009年2月

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  • Si(110)面正孔移動度における方向依存性の起源 : 極薄SOIを用いた実験的考察

    清水 健, 更屋 拓哉, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   108 ( 407 )   9 - 12   2009年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Si(110)面正孔移動度における、方向によって異なる移動度の反転層電荷密度依存性の起源を、共通チャネルを有するデバイス構造を用いて検討した。その結果、Si(110)面<110>方向における高い正孔移動度はこれまで考えられてきた広いサブバンド間のエネルギー差に起因するフォノン散乱の抑制のみではなく、伝導方向有効質量が軽くなるためであることが実験的に明らかとなった。

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  • Electron Mobility in Silicon Gate-All-Around [100]- and [110]-Directed Nanowire Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor on (100)-Oriented Silicon-on-Insulator Substrate Extracted by Improved Split Capacitance-Voltage Method

    Jiezhi Chen, Takura Saraya, Kousuke Miyaji, Ken Shimizu, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   48 ( 1 )   011205.1-011205.4   2009年1月

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  • Physical Understandings of Si (110) Hole Mobility in Ultra-Thin Body pFETs by &lt; 110 &gt; and &lt; 111 &gt; Uniaxial Compressive Strain

    Ken Shimizu, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2009 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING   2009   440 - 443   2009年

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  • Post-Fabrication Self-Convergence Scheme for Suppressing Variability in SRAM Cells and Logic Transistors

    Makoto Suzuki, Takuya Saraya, Ken Shimizu, Takayasu Sakurai, Toshiro Hiramoto

    2009 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS   2009   148 - 149   2009年

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  • MOSトランジスタのスケーリングに伴う特性ばらつき

    平本俊郎

    電子情報通信学会誌   92 ( 6 )   440 - 445   2009年

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  • 電子情報通信分野 科学技術・研究開発の国際比較 2009年版

    桜井貴康, 伊東義曜, 今井正治, 大橋弘通, 嘉田守宏, 黒田忠広, 財満鎭明, 角南英夫, 筒井哲夫, 平本俊郎, 松澤昭, 安浦寛人, 黒田和男, 伊藤雅英, 井元信之, 小柴正則, 後藤顕也, 小山理, 進藤典男, 田口常正, 馬場俊彦, 宮本裕, 石塚満, 相澤清晴, 上田和紀, 尾内理紀夫, 喜連川優, 坂井修一, 高木英明, 近山隆, 辻井潤一, 南谷崇, 平木敬, 本位田真一, 今井秀樹, 今福健太郎, 宇根正志, 大岩寛, 大塚玲, 古原和邦

    電子情報通信分野 科学技術・研究開発の国際比較 2009年版   265P   2009年

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    記述言語:日本語  

    J-GLOBAL

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  • High Hole Mobility in Multiple Silicon Nanowire Gate-All-Around pMOSFETs on (110) SOI

    Jiezhi Chen, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    2009 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS   2009   90 - 91   2009年

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  • 微細MOSFETの特性ばらつきに関する最近の動向について

    平本 俊郎, 竹内 潔, 角村 貴昭, ARIFIN Tamsir Putra, 西田 彰男, 蒲原 史朗

    半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集   72   77 - 80   2008年7月

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    記述言語:日本語  

    CiNii Books

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  • 微細トランジスタにおける特性ばらつきの現状と将来動向

    平本 俊郎, 竹内 潔, 角村 貴昭, PUTRA A. T., 西田 彰男, 蒲原 史朗

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   108 ( 139 )   41 - 45   2008年7月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    微細トランジスタの特性ばらつきは,半導体技術のおける最大の問題の一つである.最先端の65nm技術におけるトランジスタの特性ばらつきの現状とばらつき要因解析の詳細についてまとめた.主な成果は下記のとおりである.(1)100万トランジスタのアレーを作成しNMOS,PMOSともにトランジスタのしきい値電圧のばらつきは±5σの範囲で正規分布であることを明らかにした.(2)デバイスサイズのみでなくV_<TH>やT_<INV>に対して正規化する新しいしきい値電圧ばらつきの評価法(竹内プロット)を考案した.(3)この手法を用いて世代や工場のことなるトランジスタの特性ばらつきを比較し,PMOSのばらつきは離散不純物揺らぎでほぼ説明できるが,NMOSは原因不明のばらつき要因により特性ばらつきが大きくなっていることを初めて明らかにした.

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  • Strong dependence of tunneling transport properties on overdriving voltage for room-temperature-operating single electron/hole transistors formed with ultranarrow [100] silicon nanowire channel

    Sejoon Lee, Toshiro Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   93 ( 4 )   043508   2008年7月

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  • 極薄膜SOIトランジスタにおける量子効果による移動度向上

    平本 俊郎, 清水 健, 筒井 元

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   108 ( 80 )   29 - 34   2008年6月

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    記述言語:日本語  

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  • Wide-range threshold voltage controllable silicon on thin buried oxide integrated with bulk complementary metal oxide semiconductor featuring fully silicided NiSi gate electrode

    Takashi Ishigaki, Ryuta Tsuchiya, Yusuke Morita, Nobuyuki Sugii, Shinichiro Kimura, Toshiaki Iwamatsu, Takashi Ipposhi, Yasuo Inoue, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   47 ( 4 )   2585 - 2588   2008年4月

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  • 可動ゲートを有するナノワイヤMOSFETと室温動作単電子トランジスタにおける特性変調

    PARK Jongsin, 宮地幸祐, 更屋拓哉, 肥後昭雄, 高橋一浩, 清水健, YI Yuheon, 年吉洋, 平本俊郎

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集   55th ( 2 )   912   2008年3月

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    記述言語:日本語  

    J-GLOBAL

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  • Beyond CMOS とは?

    平本 俊郎

    應用物理   77 ( 3 )   253 - 253   2008年3月

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    記述言語:日本語  

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  • On the origin of negative differential conductance in ultranarrow-wire-channel silicon single-electron and single-hole transistors

    Masaharu Kobayashi, Kousuke Miyaji, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   47 ( 3 )   1813 - 1817   2008年3月

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  • Experimental study on quantum confinement effects in silicon nanowire metal-oxide-semiconductor field-effect transistors and single-electron transistors

    Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   103 ( 5 )   053709   2008年3月

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  • Extremely high flexibilities of Coulomb blockade and negative differential conductance oscillations in room-temperature-operating silicon single hole transistor

    Sejoon Lee, Kousuke Miyaji, Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   92 ( 7 )   073502   2008年2月

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  • 膜厚4nm以下の(110)面極薄SOIシングルゲート/ダブルゲートn/p MOSFETにおける一軸引っ張り歪みによる移動度向上

    清水 健, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   107 ( 455 )   5 - 8   2008年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    薄膜SOIにおける一軸引っ張り歪みが移動度に与える影響を初めて実験的に検討した。その結果、SOI膜厚が5nmを切るような極薄領域においてもnMOSFET、pMOSFETともに移動度の向上が観測された。一般にSOI膜厚が5nmを切るような極薄デバイスにおいては、歪みが印加されていない状態でも量子閉じ込めによりサブバンド間のエネルギー差が増大しており、移動度の上昇はサブバンド間エネルギーの増大のみでなく、歪みによる有効質量の変化も影響していることを示唆している。

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  • 新規格化法を用いたファブ/テクノロジ/水準間比較によるランダムしきい値ばらつき評価

    竹内 潔, 深井 利憲, 角村 貴昭, プトラ アリフィン・タムシル, 西田 彰男, 蒲原 史朗, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   107 ( 455 )   29 - 32   2008年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    複数の工場、テクノロジ、実験水準から得たしきい値ランダムばらつきのデータを新たに提案したばらつき規格化手法を用いて詳細に比較検討した。その結果P型FETのランダムばらつきはほぼ不純物ゆらぎで説明できるが、N型FETではそれ以外の何らかのメカニズムが大きく寄与していることが判った。

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  • Variable-body-factor SOI MOSFET with ultrathin buried oxide for adaptive threshold voltage and leakage control

    Tetsu Ohtou, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   55 ( 1 )   40 - 47   2008年1月

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  • Experimental study of mobility in [110]- and [100]-directed multiple silicon nanowire GAA MOSFETs on (100) SOI

    Jiezhi Chen, Takuya Saraya, Kousuke Miyaji, Ken Shimizu, Toshiro Hiramoto

    2008 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY   2008   25 - 26   2008年

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  • Electron Mobility in Multiple Silicon Nanowires GAA nMOSFETs on (110) and (100) SOI at Room and Low Temperature

    Jiezhi Chen, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 2008, TECHNICAL DIGEST   2008 Vol.2   757 - 760   2008年

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  • Experimental Investigation on the Origin of Direction Dependence of Si (110) Hole Mobility Utilizing Ultra-Thin Body pMOSFETs

    Ken Shimizu, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 2008, TECHNICAL DIGEST   2008 Vol.1   67 - 70   2008年

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  • Variability in scaled MOS transistors: Present status and measures

    Toshiro Hiramoto, Kiyoshi Takeuchi, Akio Nishida

    IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems   128 ( 6 )   820 - 824   2008年

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    記述言語:日本語   掲載種別:書評論文,書評,文献紹介等   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI: 10.1541/ieejeiss.128.820

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  • Uniaxial Strain Effects on Silicon Nanowire pMOSFET and Single-Hole Transistor at Room Temperature

    YeonJoo Jeong, Jiezhi Chen, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 2008, TECHNICAL DIGEST   2008 Vol.2   761 - 764   2008年

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  • Mobility Degradation in (110)-Oriented Ultra-thin Body Double-Gate pMOSFETs with SOI Thickness of less than 5nm

    SHIMIZU Ken, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2007   732 - 733   2007年9月

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    記述言語:英語  

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  • Experimental study on mobility in (110)-oriented ultrathin-body silicon-on-insulator n-type metal oxide semiconductor field-effect transistor with single- and double-gate operations

    Gen Tsutsui, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   46 ( 9A )   5686 - 5690   2007年9月

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  • CT-1-1 10nm世代に向けたMOSトランジスタの特性ばらつき克服に向けて(CT-1.10nm世代に向けた新LSI技術,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)

    平本 俊郎

    電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集   2007 ( 2 )   "SS - 18"-"SS-19"   2007年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

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  • SOI膜厚5nmの(100)面極薄nMOSFETにおける移動度ユニバーサリティ

    清水 健, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   107 ( 194 )   107 - 111   2007年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    (100)面極薄SOI MOSFETにおける移動度ユニバーサリティについて実験的に検討を行った。その結果、従来のバルクMOSFETや厚膜SOI MOSFETとは異なり、SOI膜厚が薄くなるにつれてηの値が上昇していくことが初めて実験的に明らかとなった。これらの実験結果は反転層のサブバンド構造を元に記述すると定性的にその傾向が一致する。また、これらの結果は移動度のモデリングで用いられる移動度ユニバーサリティについて、極薄SOI MOSFETにおける知見を与え、モデリングの一助となるものである。

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  • Impact of parameter variations and random dopant fluctuations on short-channel fully depleted SOI MOSFETs with extremely thin BOX

    Tetsi Ohtou, Nobuyuki Sugii, Toshiro Hirarnoto

    IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS   28 ( 8 )   740 - 742   2007年8月

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  • Control of full width at half maximum of Coulomb oscillation in silicon single-hole transistors at room temperature

    Kousuke Miyaji, Toshiro Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   91 ( 5 )   053509-053509-3   2007年7月

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  • ロバストトランジスタ技術 : 特性ばらつきの現状と対策

    平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   107 ( 110 )   5 - 8   2007年6月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    MOSトランジスタの微細化に伴い,トランジスタの特性ばらつきの影響が顕著になっている.個々のトランジスタは正常に動作しても,回路が正常に動作しなかったり,回路の動作マージンが著しく減少したりするなどの現象を引き起こしている.トランジスタのサイズがナノの領域に入りつつある現在,特性ばらつきを引き起こす原因は単純ではない.複数の要因が複雑に絡み合っており,すべてのばらつき要因はまだ定量的に明らかになっていない.本講演では,微細トランジスタの特性ばらつきの現状と特性ばらつき対策等について述べるとともに,平成18年度から始まった半導体MIRAIプロジェクトのロバストトランジスタプログラムにおける取り組みについて紹介する.

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  • Experimental study on mobility universality in (100) ultrathin body nMOSFETs with SOI thickness of 5 nm

    Ken Shimizu, Gen Tsutsui, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS   46 ( 20-24 )   L480 - L482   2007年6月

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  • Experimental study on breakdown of mobility universality in &lt; 100 &gt;-directed (110)-oriented pMOSFETs

    Ken Shimizu, Gen Tsutsui, Doni Januar, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY   6 ( 3 )   358 - 361   2007年5月

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  • Device design of nanoscale MOSFETs considering the suppression of short channel effects and characteristics variations

    Toshiro Hiramoto, Toshiharu Nagumo, Tetsu Ohtou, Kouki Yokoyama

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E90C ( 4 )   836 - 841   2007年4月

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  • Threshold-voltage control of AC performance degradation-free FD SOI MOSFET with extremely thin BOX using variable body-factor scheme

    Tetsu Ohtou, Kouki Yokoyama, Ken Shimizu, Toshiharu Nagumo, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   54 ( 2 )   301 - 307   2007年2月

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  • 基板バイアス係数可変完全空乏型SOI MOSFETの短チャネル特性評価

    大藤 徹, 更屋 拓哉, 下川 公明, 堂前 泰宏, 長友 良樹, 井田 次郎, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   106 ( 504 )   25 - 28   2007年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    本報告では,10nmのBOX膜厚のSOI基板上に作成した140nm世代の単体デバイスとリングオシレータの評価により,以前提案したγ可変完全空乏型SOI MOSFETが基板バイアススキームにおいて有利であることを実験的に示した.このデバイスの測定により,回路待機時のリーク電流抑制と回路動作時の高速動作を明らかにした.

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  • Large Coulomb-blockade oscillations and negative differential conductance in silicon single-electron transistors with [100]- and [110]-directed channels at room temperature

    Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   46 ( 1 )   24 - 27   2007年1月

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  • Mobility enhancement in uniaxially strained (110) oriented ultra-thin body single- and double-gate MOSFETs with SOI thickness of less than 4 nm

    Ken Shimizu, Toshiro Hiramoto

    2007 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, VOLS 1 AND 2   2007 Vol.2   715 - +   2007年

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  • Design guideline of multi-gate MOSFETs with substrate-bias control

    Toshiharu Nagumo, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   53 ( 12 )   3025 - 3031   2006年12月

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  • Mobility and threshold-voltage comparison between (110)- and (100)-oriented ultrathin-body silicon MOSFETs

    Gen Tsutsui, Toshiro Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   53 ( 10 )   2582 - 2588   2006年10月

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  • Room Temperature Demonstration of Variable Full Width at Half Maximum of Coulomb Oscillation in Silicon Single-Hole Transistor

    MIYAJI Kousuke, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2006   836 - 837   2006年9月

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    記述言語:英語  

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  • (110)面〈100〉方向pMOSFETにおける移動度ユニバーサリティ崩壊の実証

    清水 健, 更屋 拓哉, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   106 ( 206 )   105 - 109   2006年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    (110)面pMOSFETはその移動度の高さから将来のCMOSテクノロジにおいて有用な選択肢の一つであるが、移動度のユニバーサリティが成立しない原因についてはいまだに理解されていない。そこで、本研究では、(110)面pMOSFETにおいてSOI膜厚と温度を変化させて移動度のユニバーサリティを検証した。その結果、これまでの室温バルクの条件下においてはユニバーサリティが成立していた<100>方向においても、ユニバーサリティが崩壊することを初めて実験的に示した。その物理的な原因について方向依存性を持つ散乱の観点から検討した。

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  • SRAM : 低電圧化とばらつきへの挑戦

    平本 俊郎, 稲葉 聡, 野田 研二, 三本杉 安弘, 川澄 篤, 竹内 潔, 山岡 雅直

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   106 ( 206 )   167 - 169   2006年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    CMOS SRAMが超高速CPUのみならずSoC製品一般に必須な素子であることは言うまでもないが、この先の世代に向けた高性能化、低消費電力化と微細化が技術的に困難になりつつある。この問題に関して回路設計者とデバイス技術者がこのSDM/ICD合同研究会のような場に一堂に会して互いの認識を一つにするということは意味があると考える。そこで今回のパネルディスカッションは"SRAM:低電圧化とばらつきへの挑戦"と題して企画した。当日は各方面でご活躍されているパネリストの方々に集まっていただき、(1)SRAM(インテグレーション、回路設計)において現状で最も大きな課題は何か?(2)SRAM微細化限界を決める要因は何か?動作電圧の下限は何で決まるか?(3)現在の6T SRAMに代わる新しい工夫はあるか?(4)SRAMに関してデバイス屋から回路屋に対して、または回路屋からデバイス屋に対して一言 という観点から議論をお願いした。これらを通じてパネリスト間、もしくはパネリストと聴衆との間でSRAM微細化に関する議論を深めたい。

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  • 薄膜BOX完全空乏型SOI MOSFETにおけるばらつきの影響

    大藤 徹, 杉井 信之, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   106 ( 206 )   111 - 114   2006年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    非常に薄いBOXを有する完全空乏型(FD)SOI MOSFETでは,チャネル不純物だけでなく基板不純物によるしきい値電圧の調整が可能である.一方近年不純物統計ばらつきによるしきい値電圧のばらつきが深刻な問題となっている.以上を踏まえ,本報告では上述方式の薄膜BOX FD SOI MOSFETにおける各種ばらつきのしきい値電圧への影響を評価する.

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  • Large temperature dependence of Coulomb blockade oscillations in room-temperature-operating silicon single-hole transistor

    Masaharu Kobayashi, Masumi Saitoh, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   45 ( 8A )   6157 - 6161   2006年8月

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  • Modeling of body factor and subthreshold swing in bulk metal oxide semiconductor field effect transistors in short-channel regime

    Arifin Tamsir Putra, Masumi Saitoh, Gen Tsutsui, Toshiro Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   45 ( 8A )   6173 - 6176   2006年8月

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  • Voltage gain dependence of the negative differential conductance width in silicon single-hole transistors

    K Miyaji, M Saitoh, T Hiramoto

    APPLIED PHYSICS LETTERS   88 ( 14 )   143505-143505-3   2006年4月

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  • 新構造MOSトランジスタ技術

    平本 俊郎

    電子情報通信学会誌 = THE JOURNAL OF THE INSTITUTE OF ELECTRONICS, INFOMATION AND COMMUNICATION ENGINEERS   89 ( 2 )   123 - 129   2006年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    VLSIを構成するMOSトランジスタはゲート長が50nmを下回るまでに微細化され,単純なスケーリングでは性能が向上しない時代に突入した.今後もMOSトランジスタが持続的なスケーリングを続け性能を向上させるためには,移動度向上のためのひずみ導入,短チャネル効果抑制のための新構造導入等の新技術が欠かせない.新構造トランジスタの最新技術動向を紹介する.

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  • Impact of drain induced barrier lowering on read scheme in silicon nanocrystal memory with two-bit-per-cell operation

    S Park, H Im, Kim, I, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   45 ( 2A )   638 - 642   2006年2月

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  • 膜厚5nm以下の(110)面ダブルゲート極薄SOI nMOSFETにおけるボリュームインバージョンによる移動度向上

    筒井 元, 齋藤 真澄, 更屋 拓哉, 南雲 俊治, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   105 ( 541 )   5 - 8   2006年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    ボディ厚が5nm以下の面方位(110)極薄SOIダブルゲート(DG) nMOSFETにおいて, 反転電荷量が6×10^<12>cm^<-2>という比較的高電界領域において電子移動度が向上することを報告する.移動度向上の物理的起源はボリュームインバージョンによる電界緩和効果で表面ラフネス散乱が低減すること, ならびに従来の面方位(100)極薄SOI DG nMOSFETにおいて観測された量子閉じ込め効果によるSOI膜厚ゆらぎ散乱の増大効果が(110)では小さいことである.

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  • Fully-Depleted SOI CMOS circuits and technology: For ultralow-power applications

    Takayasu Sakurai, Akira Matsuzawa, Takakuni Douseki, Hideaki Matsuhashi, Toshiaki Tsuchiya, Yasuhisa Omura, Hiroshi Shimomura, Masashi Yonemaru, Koji Fujii, Atsushi Kameyama, Hiroshi Kawaguchi, Tsuneo Tsukahara, Minoru Kozaki, Masayoshi Kinoshita, Akihiro Sawada, Yasuyuki Matsuya, Jun Terada, Yoshitsugu Inagaki, Tsuneaki Fuse, Yusuke Ohtomo, Hiroshi Koizumi, Shunsuke Baba, Kazuyoshi Nishimura, Yoshifumi Yoshida, Norio Hama, Tohru Mogami, Toshiro Hiramoto, Ken Uchida, Shin-Ichi Takagi, Toshinori Numata

    Fully-Depleted SOI CMOS Circuits and Technology: For Ultralow-Power Applications   1 - 411   2006年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Springer US  

    DOI: 10.1007/978-0-387-29218-2

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  • Experimental demonstrations of superior characteristics of variable body-factor (gamma) fully-depleted SOI MOSFETs with extremely thin BOX of 10 nm

    Tetsu Ohtou, Takuya Saraya, Kiniiaki Shimokawa, Yasuhiro Doumae, Yoshiki Nagatomo, Jiro Ida, Toshiro Hiramoto

    2006 INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, VOLS 1 AND 2   2006 Vol.2   626 - +   2006年

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  • Experimental study on quantum structure of silicon nano wire and its impact on nano wire MOSFET and single-electron transistor

    Masaharu Kobayashi, Toshiro Hiramoto

    2006 INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, VOLS 1 AND 2   2006 Vol.2   855 - 857   2006年

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  • シリコンナノスケールデバイス

    平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   105 ( 492 )   47 - 52   2005年12月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    シリコンナノスケールデバイスの現状を概説する.シリコンナノデバイスでは, ナノ構造中に現れる新物理現象を積極的に利用する.新物理現象とは, MOSトランジスタの移動度を向上させる量子効果や, 従来のCMOSに新機能を付加する単電子帯電現象などである.これらの新物理現象は, 従来のCMOS回路のスケーリング限界および性能限界を打破するものと期待される.

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  • Experimental study on superior mobility in (110)-oriented UTB SOI pMOSFETs

    G Tsutsui, M Saitoh, T Hiramoto

    IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS   26 ( 11 )   836 - 838   2005年11月

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  • Mobility Increase in High-Ns Region in (110)-Oriented UTB pMOSFET Through Surface Roughness Improvement

    JANUAR Doni, TSUTSUI Gen, SAITOH Masumi, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2005   264 - 265   2005年9月

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    記述言語:英語  

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  • Very Sharp Room-Temperature Negative Differential Conductance in Silicon Single-Hole Transistor with High Voltage Gain

    MIYAJI Kousuke, SAITOH Masumi, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2005   166 - 167   2005年9月

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    記述言語:英語  

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  • Modeling of Body Factor and Subthreshold Swing in Short Channel Bulk MOSFETs

    TAMSIR Arifin, SAITOH Masumi, TSUTSUI Gen, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2005   284 - 285   2005年9月

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    記述言語:英語  

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  • VTCMOSに最適な基板バイアス係数可変完全空乏型SOI MOSFET

    大藤 徹, 南雲 俊治, 横山 弘毅, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   105 ( 232 )   37 - 42   2005年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    基板バイアスを利用するVTCMOSに最適なデバイスとして、基板バイアス係数可変完全空乏型SOI MOSFETを提案した。提案デバイスはきわめて薄い埋め込み酸化膜と低不純物濃度基板を有するSOI基板を使用し、埋め込み酸化膜直下の基板空乏層の伸縮により基板バイアス係数を変調する。提案デバイスの長/短チャネル特性評価をシミュレーションと実測により行い、高速動作と低消費電力を両立できVTCMOSに有効であることを示した。

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  • 面方位(110)極薄SOI pMOSFETにおける高移動度の実験的検証

    筒井 元, 齋藤 真澄, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   105 ( 232 )   31 - 36   2005年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    短チャネル効果抑制の観点から, 極薄SOI MOSFETは将来有望なデバイス構造として期待されている.極薄SOI MOSFETの移動度は量子閉じ込め効果によって変調される.面方位(100)の極薄SOI pMOSFETの移動度は実験的に検討されており, 移動度は単調に減少すること, 特にSOI膜厚が5nmを下回る領域において急激に劣化することが報告されている.本研究では, 極薄SOI pMOSFETの移動度向上を目指し, Si(110)極薄SOI pMOSFETの移動度を実験的に検討した.SOI厚3nm程度までSOI層を極薄化しても(110)UTB pMOSFETの正孔移動度は従来の(100)ユニバーサルカーブと比較して高い値が実現されることを示した.高い移動度が実現される物理的要因は, 光学フォノンを介したサブバンド間遷移の抑制ならびに, 基板垂直方向の有効質量が大きいことによる膜厚ゆらぎ散乱の抑制の2つにある.

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  • Enhancement of charge storage performance in double-gate silicon nanocrystal memories with ultrathin body structure

    K Yanagidaira, M Saitoh, T Hiramoto

    IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS   26 ( 7 )   473 - 475   2005年7月

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  • Short-channel characteristics of variable-body-factor fully-depleted silicon-on-insulator metal-oxide-semiconductor-field-effect-transistors

    T Ohtou, T Nagumo, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 6A )   3885 - 3888   2005年6月

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  • Body factor conscious modeling of single gate fully depleted SOI MOSFETs for low power applications

    A Kumar, T Nagumo, G Tsutsui, T Ohtou, T Hiramoto

    SOLID-STATE ELECTRONICS   49 ( 6 )   997 - 1001   2005年6月

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  • Experimental study on the universality of mobility behavior in ultra thin body metal oxide semiconductor field effect transistors

    G Tsutsui, M Saitoh, T Nagumo, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 6A )   3889 - 3892   2005年6月

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  • シリコンナノドットを用いた不揮発性メモリ (特集1 次世代不揮発メモリーの開発・高集積化とその市場)

    平本 俊郎

    マテリアルステージ   5 ( 3 )   14 - 17   2005年6月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:技術情報協会  

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  • Impact of SOI thickness fluctuation on threshold voltage variation in ultra-thin body SOI MOSFETs

    G Tsutsui, M Saitoh, T Nagumo, T Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY   4 ( 3 )   369 - 373   2005年5月

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  • Channel width and length dependence in Si nanocrystal memories with ultra-nanoscale channel

    J Brault, M Saitoh, T Hiramoto

    IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY   4 ( 3 )   349 - 354   2005年5月

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  • Re-examination of impact of intrinsic dopant fluctuations on static RAM (SRAM) static noise margin

    F Tachibana, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 4B )   2147 - 2151   2005年4月

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  • Temperature dependence of off-current in bulk and fully depleted SOI MOSFETs

    K Miyaji, MI Saitoh, T Nagumo, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 4B )   2371 - 2375   2005年4月

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  • Effects of channel thinning on threshold voltage shift in ultrathin-body silicon nanocrystal memories

    K Yanagidaira, M Saitoh, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 4B )   2608 - 2611   2005年4月

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  • 集積シリコン単電子トランジスタ回路を用いた電流スイッチング及びアナログパターンマッチングの室温実証

    齋藤 真澄, 原田 英浩, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   104 ( 577 )   17 - 20   2005年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    本論文では、集積単電子トランジスタ(SET)回路の初の室温動作実証について報告する。制御性の高いプロセスを用いてシリコン単正孔トランジスタ(SHT)を作製し、室温において電流山谷比が10^3を超える極めて大きなクーロンブロッケード振動を観測した。また、単一のゲートの下に集積した2つのSHTを用いた電流スイッチ動作を室温で実証した。さらに、SHTの全く新しい応用として、極めてコンパクトなアナログパターンマッチング回路を提案する。1チップ上に作製した3つのSHTを用い、ゲート酸化膜中に埋め込んだシリコン微結晶への正孔注入によりこれらのSHTのクーロンブロッケード振動のピーク位置と電流を適切に制御することで、パターンマッチング回路の基本動作を室温で実証した。

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  • Silicon single-hole transistor with large Coulomb blockade oscillations and high voltage gain at room temperature

    H Harata, M Saitoh, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS   44 ( 20-23 )   L640 - L642   2005年

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  • Room-temperature operation of current switching circuit using integrated silicon single-hole transistors

    M Saitoh, H Harata, T Hiramoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS   44 ( 8-11 )   L338 - L341   2005年

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  • Short Channel Characteristics of Variable Body Factor FD SOI MOSFETs

    OHTOU Tetsu, NAGUMO Toshiharu, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2004   502 - 503   2004年9月

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    記述言語:英語  

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  • Room-Temperature Demonstration of Low-Voltage Static Memory Based on Negative Differential Conductance in Silicon Single-Hole Transistors

    SAITOH Masumi, HARATA Hidehiro, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2004   124 - 125   2004年9月

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    記述言語:英語  

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  • Re-examination of Impact of Intrinsic Dopant Fluctuations on SRAM Static Noise Margin

    TACHIBANA Fumihiko, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2004   192 - 193   2004年9月

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    記述言語:英語  

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  • Temperature Dependence of Off-Current in Bulk and FD SOI MOSFETs

    MIYAJI Kousuke, SAITOH Masumi, NAGUMO Toshiharu, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2004   236 - 237   2004年9月

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    記述言語:英語  

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  • Impact of Drain Induced Barrier Lowering on Read Scheme in Silicon Nanocrystal Memory with Two-Bit-per-Cell Operation

    PARK Sangsu, IM Hyunsik, KIM Ilgweon, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2004   610 - 611   2004年9月

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    記述言語:英語  

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  • Large Threshold Voltage Shift and Narrow Threshold Voltage Distribution in Ultra Thin Body Silicon Nanocrystal Memories

    YANAGIDAIRA Kosuke, SAITOH Masumi, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2004   130 - 131   2004年9月

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    記述言語:英語  

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  • 短チャネル low-Fin FET の基板バイアス係数における角の効果

    南雲 俊治, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   104 ( 249 )   31 - 35   2004年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    low-Fin(tri-gate)FETにおいてFinの角の形状が基板バイアス係数γに及ぼす影響について、高濃度ドープチャネルとノンドープチャネルの両者に関して3次元デバイスシミュレーションを用いて調査した。しきい値電圧V_<th>とγの挙動は、V_<th>をオン特性とオフ特性のどちらから導出するかによって異なる。高濃度ドープlow-Finにおいて、オフ特性から求めたγ(γ_<IO>)は角の形状に強く依存し、また、角の尖ったデバイスにおいてはゲート長を短縮するにつれ角の効果によってγ_<IO>が上昇すること(γの逆短チャネル効果)が明らかになった。角の尖った高濃度ドープlow-Finではこのγの逆短チャネル効果のため、基板に負バイアスを印加することによりゲート長ばらつきに起因するオフ電流のばらつきを低減できる。一方、ノンドープのlow-Finでは角の形状に対する依存性は弱く、また短チャネル特性は高濃度ドープの場合と比べかなり劣化する。

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  • 極薄SOI MOSFETにおけるしきい値電圧のばらつきと移動度の振る舞い

    筒井 元, 齋藤 真澄, 南雲 俊治, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   104 ( 249 )   25 - 30   2004年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    本報告では,極薄ボディSOI MOSFETにおけるしきい値電圧のばらつきと移動度の振る舞いを実験的に検討した結果について述べる.SOI厚が10nm程度であれば量子閉じ込め効果によるしきい値電圧のばらつきは小さいが,3mm程度にまで極薄化されると,ばらつきが急激に増大することを明らかにした.また,基板バイアスによるしきい値電圧のばらつき抑制手法を提案し,ばらつきを20%程度削減できることを実験的に示した.一方,極薄SOI pMOSFETにおいて,閉じ込め効果のフォノン散乱への影響を考慮し,SOI厚8.1nmのpMOSFETはフォノン散乱の増大によってのみ移動度が劣化することを実験的に明らかにした.SOI厚4.5nmのpMOSFETの移動度劣化要因はフォノン散乱の増大のみならず,他の散乱要因が影響していることを示した.

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  • 極微細シリコンドットにおける量子力学的効果を用いた高機能単電子トランジスタ論理の室温実証

    齋藤 真澄, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   103 ( 631 )   29 - 36   2004年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    本論文では、極微細シリコンドット中の量子力学的効果に基づく新しい高機能単電子トランジスタ(SET)論理の室温実証について述べる。今回、極めて狭窄されたチャネルを有するMOSFET構造の単正孔トランジスタ(SHT)を作製し、電流山谷比10^2の巨大なクーロンブロッケード振動を室温で観測した。作製した単一ドットSHTにおいては、極微細ドット中の巨大な量子準位間隔に起因する電流山谷比11.8の明瞭な負性微分コンダクタンス(NDC)も室温で観測した。さらに、観測したNDCを用い、単一のSHTの電流を出力としたXOR演算を室温で行なうことにも成功した。

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  • ナノスケール狭チャネルMOSFETにおける量子効果

    平本 俊郎

    應用物理   72 ( 9 )   1167 - 1170   2003年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:応用物理学会  

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  • 極薄 SOI pMOSFET 中において発現する量子閉じ込め効果によるしきい電圧調整範囲の増大

    筒井 元, 南雲 俊治, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   103 ( 259 )   7 - 11   2003年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    本報告では、極薄ボディSOI MOSFET(Ultra Thin Body MOSFET:UTB MOSFET)における基板バイアスによるしきい電圧調整範囲について述べる。今回、UTB pMOSFET中において発現する量子閉じ込め効果によって、しきい電圧調整範囲が増大することをはじめて明らかにした。 SOI厚4.3nmのデバイスにおけるしきい電圧調整範囲はSOI厚11.7nmのデバイスと比較して約10%増加することを実験的に示した。この結果は、 UTB MOSFETは短チャネル効果の抑制のみならず、しきい電圧可変CMOS(VTCMOS)を利用したオフリーク電流の低減に貢献するデバイスであることを示唆するものである。

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  • 低消費電力動作向け Semi-Planar SOI MOSFET

    南雲 俊治, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   103 ( 259 )   19 - 24   2003年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    超低消費電力LSIに適したデバイスとしてsemi-planar silicon-on insulator (SOI) MOSFETを提案する。デバイススケールの微細化が進むと、しきい値電圧のばらつきが短チャネル効果と並ぶ最重要課題となる。基板バイアス効果を用いた適応的しきい値電圧制御はばらつきの抑制に非常に有効な手段である。semi-planar SOI MOSFETはゲートの三次元的な構造により短チャネル効果を抑えられるだけでなく、有限の基板バイアス係数を有するためばらつき抑制が可能である。本稿では三角細線チャネル構造およびlow-Fin構造についての短チャネル効果、S値および基板バイアス係数に関するシミュレーションおよび実測結果により、従来のSOI MOSFETに対するsemi- lanar SOI MOSFETの優位性を示す。

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  • 極狭細線チャネルを有するシリコン微結晶MOSFETメモリ

    齋藤 真澄, 永田 英次, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   102 ( 641 )   59 - 64   2003年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    本論文では、10nm 以下の幅の極狭細線チャネルを有するシリコンフローティングドットMOSFETメモリを提案かつ実証する。作製した極狭チャネルメモリにおいては、幅の広いチャネルのメモリに比べて、大きな閾値電圧シフト、及び長い保持時間が得られた。数値計算の結果より、これらの特性は極狭チャネルでの古典的なボトルネック効果及び量子閉じ込め効果に起因するものであることがわかった。最も細いチャネル(幅5nm)のデバイスでは、ドットからの単電子の放出に起因するドレイン電流の階段状増加を明瞭に観測した。

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  • DIBLを用いた低消費電力回路形式のための最適デバイス設計

    劉 慶艶, 桜井 貴康, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   102 ( 489 )   17 - 22   2002年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Drain Induced Barrier Lowering (DIBL)を利用してスタンバイパワーを減少させる回路形式について,最適なデバイス構成,特に最適なDIBLの値をシミュレーションにより検討した.この回路形式では,DIBL効果を緩和するためにスタンバイ時において電源電圧を下げる.これにより,閾値電圧が増大してリーク電流を減少させることができる.最適のDIBLの値は,臨界電圧Voと電源電圧の大小によって異なることが明らかとなった.即ち,スタンバイ時における電源電圧をVoより下げられる場合は,より大きなDIBL値を持つデバイスの方がスタンバイパワーを抑制することができる.また,この回路形式を用いることにより,しきい値電圧ばらつきによるスタンバイリーク電流のばらつきが抑制されることも明らかとなった.

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  • しきい値可変CMOS(VTCMOS)における反転層の有限厚さの影響

    南雲 俊治, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   102 ( 489 )   11 - 16   2002年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    反転層の有限厚さと、ゲート空乏化の影響で、MOSFETの電流駆動力は劣化してしまう。しかしその一方で、基板バイアス効果はこれら2つの効果の影響で逆に増大する。このことを積極的に利用し、ハイスピードモードしきい値可変CMOS(VTCMOS)を用いて、劣化した電流駆動力を回復するための手法を提案した。長チャネル完全空乏型SOI MOSFETの基板バイアス係数の測定結果を、解析式と比較することによって基板バイアス効果の増大を確認した。2次元デバイスシミュレーションによって、効果的な電流駆動力の回復が実現されていることを確認した。さらに、ゲート酸化膜厚のスケーリングや、短チャネル効果の影響についての検討を行い、適切な膜厚スケーリングを行うことによって本手法が将来的にその有効性を増していくことが明らかになった。

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  • シリコンナノドットを用いたメモリデバイス

    平本 俊郎

    電子情報通信学会誌   85 ( 11 )   794 - 799   2002年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    将来の不揮発性メモリとして注目されているシリコンナノ構造を記憶ノードに利用したメモリデバイスについて,その動作原理と特性を紹介する.現状のフラッシュメモリは書込み回数に制限があるなどの問題があるが,フローティングゲートをシリコンナノドットに置き換えたメモリ構造では,大幅な特性改善が期待できる.また,クーロンブロッケードの利用により,少数の電子数を制御してメモリ動作を行うことも可能となる.これらのメモリは,メモリセルのみにナノ構造を用い,周辺回路は従来のCMOS回路を想定している.ナノデバイスはこのようなハイブリッドの形で徐々にVLSIの中に入ってくるものと考えられる.

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  • しきい電圧可変完全空乏型SOI MOSFETのしきい電圧調整範囲

    南雲 俊治, 犬飼 貴士, 大澤 淳真, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路   102 ( 273 )   19 - 24   2002年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    完全空乏型SOIMOSFETにおいて、基板バイアスによって調整可能なしきい電圧V_<th>の範囲は、SOI-埋め込み酸化膜界面の反転・蓄積によって制限される。本研究は、新たなデバイスパラメータγ'を導入することによって、この調整可能範囲の膜厚依存性について解析的に明らかにした。さらに、この解析結果を実証するため、ノンドープの長チャネルデバイスの実測、およびシミュレーションを行った。実験の結果は解析結果とほぼ一致するものの、ややずれが生じる。このずれの原因について、電子分布を考慮した定性的な考察も行った。

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  • しきい電圧可変完全空乏型SOI MOSFETのしきい電圧調整範囲

    南雲 俊治, 犬飼 貴士, 大澤 淳真, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   102 ( 271 )   19 - 24   2002年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    完全空乏型SOI MOSFETにおいて、基板バイアスによって調整可能なしきい電圧V_<th>の範囲は、SOI-埋め込み酸化膜界面の反転・蓄積によって制限される。本研究は、新たなデバイスパラメータγ'を導入することによって、この調整可能範囲の膜厚依存性について解析的に明らかにした。さらに、この解析結果を実証するため、ノンドープの長チャネルデバイスの実測、およびシミュレーションを行った。実験の結果は解析結果とほぼ一致するものの、ややずれが生じる。このずれの原因について、電子分布を考慮した定性的な考察も行った。

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  • Special Issue on Advanced Sub-0.1μm CMOS Devices

    HIRAMOTO Toshiro

    IEICE transactions on electronics   85 ( 5 )   1051 - 1051   2002年5月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

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  • Suppression of Short Channel Effect in Triangular Parallel Wire Channel MOSFETs

    SAITO Toshiki, SARAYA Takuya, INUKAI Takashi, MAJIMA Hideaki, NAGUMO Toshiharu, HIRAMOTO Toshiro

    IEICE transactions on electronics   85 ( 5 )   1073 - 1078   2002年5月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    We have proposed the high-density triangular parallel wire channel MOSFET on an SOI substrate and demonstrated the suppressed short channel effects by simulation and experiment. In this device structure, the fabrication process is fully compatible with the planar MOSFET process and is much less complicated than other non-planer device structures including gate-all-around (GAA) and double-gate SOI MOSFETs. In addition, our fabrication process makes it possible to double the wire density resulting in the higher current drive. The three-dimensional simulation results show that the proposed triangular wire channel MOSFET has better short channel characteristics than single-gate and double-gate SOI MOSFETs. The fabricated triangular parallel wire channel MOSFETs show better subthreshold characteristics and less drain induced barrier lowering (DIBL) than the single-gate SOI MOSFETs.

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  • TA-2-3 デバイス技術からみたサブ100nm低消費電力回路技術

    平本 俊郎

    電子情報通信学会総合大会講演論文集   2002   508 - 509   2002年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

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  • シリコン極狭チャネルMOSFETにおける量子効果を利用したデバイス設計

    間島 秀明, 齊藤 裕太, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   101 ( 573 )   81 - 88   2002年1月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    量子効果が極狭チャネルMOSFETに及ぼす影響を評価し、それを利用した設計手法について議論した。n型およびp型の両方の動作が可能な極狭チャネルMOSFETを試作し、量子効果によって閾値電圧が上昇することを実験的に示した。この量子効果による閾値電圧上昇を利用して閾値電圧を制御する手法について計算による議論を行なった。さらに、極狭チャネルMOSFETの移動度の計算を行ない、従来用いられている<110>方向よりも、45度回転させた<100>方向で移動度が高いことを示した。

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  • Origin of Critical Substrate Bias in Variable Threshold Voltage CMOS

    INUKAI Takashi, IM Hyunsik, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   2001   106 - 107   2001年9月

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    記述言語:英語  

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  • デバイスサイドからみたしきい値電圧可変CMOS回路技術

    平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   101 ( 247 )   43 - 49   2001年7月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    しきい値電圧可変CMOS(Variable Threshold Voltage CMOS, VTCMOS)回路技術をデバイス面から検討し, デバイスパラメータの最適化とスケーラビリティについて議論した.最適の基板バイアス定数は, 印加できる基板バイアスの大きさに依存する.このVTCMOSによってスタンバイ電力を大幅に抑制しようとする回路形式は, 微細化が進み電源電圧が下がると破綻する.一方, 低電圧化でのVTCMOSの最大の利点は高速化であり, 他のスタンバイリーク抑制回路との組み合わせは将来の高速低消費電力回路形式として極めて有望である.

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  • サブ100nm時代のLSI低消費電力化技術 : これで優位化、これはできて当たり前

    榎本 忠儀, 矢野 和男, 平本 俊郎, 黒田 忠広, 内山 邦男, 松澤 昭, 道関 隆国, 大平 英雄

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   101 ( 247 )   83 - 86   2001年7月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:電子情報通信学会  

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  • シリコンナノ構造を利用したメモリデバイス

    平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路   101 ( 1 )   67 - 74   2001年4月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    将来の不揮発性メモリとして注目されているシリコンナノ構造を記憶ノードに利用したメモリデバイスについて,その動作原理と試作例を紹介する.現状のフラッシュメモリは書き込みスピードや書き込み回数に制限があり,高い書き込み電圧が必要であるが,浮遊ゲートをシリコンナノドットに置き換えたメモリ構造では,それらの大幅な改善が期待できる.また,クーロンブロッケードの利用により,少数の電子数を制御してメモリ動作を行うことが可能となる.ナノドットメモリの具体的な特性例をレビューする.

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  • 極狭チャネルMOSFETにおける量子力学的狭チャネル効果

    間島 秀明, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   100 ( 668 )   23 - 30   2001年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    極微細MOSFETにおいて、量子効果がしきい値電圧に及ぼす影響を実験および計算により調べた。極めて細い細線MOSFETにおいて、細線幅が10nm以下になるにつれて室温でしきい値電圧が大きく上昇し、強い紬線幅依存性を持つことが実測により初めて示された。また、細線における量子準位の計算から、このしきい値電圧上昇が、チャネル中における量子閉じ込めに起因した量子力学的狭チャネル効果によるものと確認した。

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  • 減圧CVDで形成したゲート酸化膜を有するシリコン単電子トランジスタの伝導特性

    齋藤 真澄, 高橋 信義, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   100 ( 642 )   15 - 20   2001年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    減圧CVDで形成したゲート酸化膜を有するシリコンポイントコンタクトチャネルMOSFETを作製し、室温でクーロンブロッケード振動を観測することに成功した。作製したデバイスの中には、室温でのクーロンブロッケード振動の電流山谷比が2と非常に大きく、一電子付加エネルギーが250meVを超えるデバイスや、低温でドット中の量子準位の離散性に起因する階段状特性を示すデバイスも存在した。ドットとトンネル障壁の形成機構は未解明であり、今後さらなる研究が必要である。

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  • シリコン微結晶を用いたメモリデバイスにおけるドットサイズとサイズのばらつきの影響評価とポテンシャル分布

    王 海寧, 間島 秀明, 犬飼 貴士, 後明 寛之, 齋藤 真澄, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   100 ( 641 )   109 - 113   2001年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    シリコン微結晶メモリデバイスにおける電子数の制御にドットのサイズとサイズのばらつきが与える影響を数値計算により調べた。クーロンブロケードにより生じる微結晶メモリの閾値シフトの階段状特性は、ドットのサイズあるいはサイズのばらつきが大きくなると見えにくくなる。計算の結果、明瞭な階段状特性を得るためにはドットサイズが8nmと3nmの時、サイズのばらつきはそれぞれ7%と12%以下でなければならないことがわかった。本研究はシリコン微結晶メモリの作製におけるパラメータ設計の指針を与えるものである。

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  • 超高集積Siデバイス (IT基盤研究開発 FED2001--2001年度新機能素子シンポジウム講演録)

    平本 俊郎

    FEDジャ-ナル   12 ( 4 )   97 - 108   2001年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:新機能素子研究開発協会  

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  • Boosted Gate MOS (BGMOS) : デバイスと回路の協調によるリークフリー回路の提案

    犬飼 貴士, 高宮 真, 野瀬 浩一, 川口 博, 桜井 貴康, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   100 ( 266 )   1 - 8   2000年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    将来のLSIが直面する問題の一つにスタンバイ消費電力の増大がある。本論文では、デバイスと回路の協調技術によってこの問題を解決する手法、Boosted Gate MOS(BGMOS)を提案する。本手法では、ゲート酸化膜が極めて薄く、闘値電圧が低いMOSFETによってCMOS回路部を構成することで、低電圧高速動作のトレンドを満たしつつ、ゲート酸化膜が厚く、闘値電圧が高いMOSFET(スイッチ)を直列に付加することで、スタンバイ時のリーク電流を極めて小さくする。ここで、アクティブ時にはスイッチを電源電圧より高いゲート電圧で駆動することによって、充分小さなエリアペナルティでCMOS回路部の高速動作を維持することを可能とする。本論文では、デバイスおよび回路シミュレーションによって本手法の有用性を検証するとともに、SRAMなどの他の要素回路への応用を検討する。

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  • VTCMOSにおける基板バイアス係数と基板電位の最適条件とそのスケーリング

    小宇羅 寛, 高宮 真, 犬飼 貴士, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   99 ( 681 )   21 - 28   2000年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Variable Threshold CMOS (VTCMOS)の特性に基板バイアス係数γ、基板電位V_〈bs〉が及ぼす影響をシミュレーションにより求め、スタンバイ電流が一定の時、最も駆動力が大きくなる条件について考察した。γ一定(デバイス固定)の時、駆動力を最大にするにはV_〈bs〉を耐圧限界まで変化させると良い。一方、耐圧等で|ΔV_〈bs〉|の上限が決まっている時は、駆動力を最大にするγの値は V_〈bs〉の値に依存する。またVTCMOSのscalabilityについてシミュレーション、実測双方から考察した。|V_〈bs〉|の値を大きくするとBTBT(Band-to-Band-Tunneling)電流が流れる為VTCMOSの基板電位の値にはスタンバイ時のオフ電流を最小にする最適値が存在する。VTCMOSの技術を最大限に生かすにはBTBT電流を抑えることが必要であることが明らかになった。

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  • シリコン単一電子デバイスの集積化による電流スイッチの試作

    高橋 信義, 石黒 仁揮, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   99 ( 617 )   65 - 70   2000年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    シリコン単一電子トランジスタ(SET)を集積して電流スイッチを試作することに成功した。クーロンブロッケード振動のピーク位置調整には、一般的な付加ゲート電極を用いず、Si微結晶フローティングゲートによるメモリ効果を用いたピーク位置制御を適用した。単一のゲートの下に2個のSETを集積し、非対称バイアス状態においてフローティングドットへの電子の注入、抜き出しを行うことにより、各SETのピーク位置を付加ゲート電極を用いずに独立制御し、電流スイッチを実現した。本手法はSETロジック回路の実現に向けて重要な技術である。

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  • Optimum Conditions of Body Effect Factor and Substrate Bias in Variable Threshold Voltage MOSFETs

    KOURA Hiroshi, TAKAMIYA Makoto, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   1999   446 - 447   1999年9月

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    記述言語:英語  

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  • Suppression of Stand-by Tunnel Current in Ultra-Thin Gate Oxide MOSFETs by Dual Oxide Thickness MTCMOS(DOT-MTCMOS)

    INUKAI Takashi, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   1999   264 - 265   1999年9月

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    記述言語:英語  

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  • 基板バイアス効果の大きい高性能EIB-DTMOSの提案と実証

    高宮 真, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   98 ( 652 )   1 - 8   1999年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    基板バイアス効果が大きく低Vthの超低消費電力高性能Electrically Induced Body (EIB)-DTMOSを提案し, デバイス試作により実証した. EIB-DTMOSはSOI中のバック界面に電気的に誘起した急峻なプロファイルの高濃度ボディ(EIB)と薄膜SOIにより, 基板バイアス効果を最大にすることが出来る. 複数のDTMOSをシミュレーションで比較した結果, アキュミュレーションモードEIB-DTMOSはVthシフトが最大かつ短チャネル効果を抑制するため, 一定オフ電流で1駆動力が最大であることを示した. 従ってアキュミュレーションモードEIB-DTMOSは0.5V以下での超低電源電圧において高駆動力と低リーク電流を両立する高性能MOSFETである.

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  • Measurement of Energetic and Lateral Distribution of Interface State Density in FD SOI MOSFETs

    DUYET Tran Ngoc, ISHIKURO Hiroki, SHI Yi, SARAYA Takuya, TAKAMIYA Makoto, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   1998   322 - 323   1998年9月

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    記述言語:英語  

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  • Characteristics of Narrow Channel MOSFET Memory Based on Silicon Nanocrystals

    SHI Yi, SAITO Kenichi, ISHIKURO Hiroki, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   1998   172 - 173   1998年9月

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    記述言語:英語  

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  • High Performance Accumulated Back-Interface Dynamic Threshold SOI MOS-FET's (AB-DTMOS) with Large Body Effect at Low Supply Voltage

    TAKAMIYA Makoto, SARAYA Takuya, DUYET Tran Ngoc, YASUDA Yuri, HIRAMOTO Toshiro

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   1998   312 - 313   1998年9月

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    記述言語:英語  

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  • Vth揺らぎを抑制するデルタドープ型MOSFETのスケーリング

    安田 有里, 高宮 真, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路   98 ( 195 )   13 - 18   1998年7月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    MOSFET微細化の限界要因の一つと考えられている不純物の統計的揺らぎの影響をデルタドープ型MOSFETについて解析した.不純物揺らぎによる閾値電圧ばらつきはデルタドープ型MOSFETにすることで低減される.閾値電圧ばらつきを各世代で一定に抑制するデルタドープ型MOSFETのスケーリング方法を定量的に示し, 各デバイスパラメータの関係について考察した.デルタドープ型MOSFETの閾値電圧ばらつきは単純にスケールすると世代ごとに増大するが, 高濃度層濃度N2〜K^<1.3>および低濃度層膜厚tl〜K^<-0.4>でスケールするとばらつきを一定に抑制することができる.このスケーリング方法はレトログレードチャネルMOSFETにも適用可能である.

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  • Vth揺らぎを抑制するデルタドープ型MOSFETのスケーリング

    安田 有里, 高宮 真, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   98 ( 193 )   13 - 18   1998年7月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    MOSFET微細化の限界要因の一つと考えられている不純物の統計的揺らぎの影響をデルタドープ型MOSFETについて解析した.不純物揺らぎによる閾値電圧ばらつきはデルタドープ型MOSFETにすることで低減される.閾値電圧ばらつきを各世代で一定に抑制するデルタドープ型MOSFETのスケーリング方法を定量的に示し, 各デバイスパラメータの関係について考察した.デルタドープ型MOSFETの閾値電圧ばらつきは単純にスケールすると世代ごとに増大するが, 高濃度層濃度N2-K^1.3および低濃度層膜厚t1-K^-0.4でスケールするとばらつきを一定に抑制することができる.このスケーリング方法はレトログレードチャネルMOSFETにも適用可能である.

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  • <MOSトランジスタの基礎> 微細MOSトランジスタの動作原理

    平本 俊郎

    應用物理   67 ( 5 )   571 - 575   1998年5月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:応用物理学会  

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  • シリコン単一電子素子における量子効果の評価

    石黒 仁揮, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   98 ( 28 )   21 - 25   1998年4月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    単一ドットを有する単一電子デバイスとして動作するポイントコンタクト型MOSFETを試作し, 室温においてクーロンブロッケード振動を観測した.また, 低温において量子効果および共鳴トンネルによる微細構造と負の微分コンダクタンスを観測した.これらの結果からドット中の電子状態を算出した.ドットの単一電子充電エネルギーだけでなく, 量子準位間隔も室温の熱エネルギーより大きいことが明らかとなった.この結果は, 将来の極微細MOSFETあるいは単一電子デバイスの設計にあたっては, ドット中の電子状態の正確な把握とモデリングが必須であることを示している.

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  • 極薄膜SOI層を有する超低消費電力用ディープサブ0.1μm MOSFET

    高宮 真, 安田 有里, 平本 俊郎

    電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス 2-電子素子・応用   81 ( 3 )   313 - 319   1998年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    ディープサブ0.1μm世代の超低消費電力用MOSFETの設計指針を検討し, 極薄膜SOI層と比較的厚い埋込み酸化膜を有する完全空乏型SOI MOSFETを提案した.検討にあたってはサブスレッショルド係数に加えて不純物数の統計的揺らぎ等も考慮した.ディープサブ0.1μm世代ではゲート酸化膜厚が直接トンネルのためこれ以上スケールされないとすると, 従来のバルクMOSFETではサブスレッショルド係数の劣化やしきい値電圧ばらつきを抑えたままデバイスをスケールすることが困難である.完全空乏型SOI MOSFETでは, ノンドーブ極薄膜SOIにより短チャネル効果としきい値電圧ばらつきを抑え, また厚い埋込み酸化膜により長チャネルでのサブスレッショルド係数の劣化を抑制できる.本設計指針に基づく0.05μmMOSFETの構造とパラメータを示した.

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  • 部分空乏型SOI MOSFETの過渡応答を用いたサブバンドギャップインパクトイオン化電流の高感度測定法

    更屋 拓哉, 高宮 真, デュエト トラン・ゴック, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   97 ( 557 )   35 - 39   1998年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    低消費電力化に向けた薄膜SOIデバイスの応用には、低電圧領域における基板浮遊効果、特にシリコンのサブバンドギャップ領域におけるインパクトイオン化の影響の解明が急務である。しかし、これまでの直接ボディ電流を測定する方法ではその電流感度に律則されるという問題があった。本研究では部分空乏型SOI MOSFETを用いて、その過渡応答からインパクトイオン化電流を高感度に測定する方法を開発した。その結果、従来の直接ボディ電流を測定する方法と非常に良い一致を示し、さらにサブバンドギャップ領域においてより高感度な測定が可能となり、50fA以下という非常に微小なインパクトイオン化電流のモニタに成功した。

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  • 低消費電力用完全空乏型SOI MOSFETのスケーリング指針と Bulk MOSFET との比較

    高宮 真, 安田 有里, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   97 ( 272 )   87 - 94   1997年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    低消費電力用完全空乏型SOI MOSFETのスケーリング法を開発し, ディープサブ0.1μmへのスケーリングシナリオを示した. これに基づく完全空乏型SOI MOSFETのデバイス構造を提案した. 更に2次元デバイスシミュレーションによりBulk MOSFETとの比較を行った. その結果, 完全空乏型SOI MOSFETはBulk MOSFETとは異なりゲート酸化膜を薄膜化しなくてもSOIのみを薄膜化することにより急峻なS係数の劣化やVthばらつきの増大なしにBulk MOSFETより更に微細化できることを明らかにした. 極微細完全空乏型SOI MOSFETは, 低寄生容量や急峻なS係数等の本来のメリットと微細化のメリットを合わせ持つためLSIの超低消費電力化を実現する.

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  • 異方性エッチングによる高精度シリコン極微細構造作製プロセス

    斉藤 健一, 石黒 仁揮, 向山 俊和, 平本 俊郎

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   97 ( 240 )   59 - 66   1997年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    単一電子デバイスに要求されるような極微細な構造を、EBを使わずに作製する技術が求められている。本研究では、SOI基板に異方性エッチングを用い、加工寸法がフォトリソグラフィーによらず、SOI膜厚のみで決定されるプロセスを開発した。さらに、異方性エッチングのマスクとしてSiO_2膜とSiN膜の多層膜をうまく用いることにより、数十nmレベルの平面構造を、非常に高精度に制御しつつ作製することが可能となった。

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  • 研究速報 : 0.15μm部分空乏型SOI MOSFETにおける1V以下での基板浮遊効果

    更屋 拓哉, 高宮 真, デュエト トラン ゴック, 平本 俊郎, 生駒 俊明

    生産研究   49 ( 4 )   231 - 234   1997年4月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京大学生産技術研究所  

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  • 0.15μm部分空乏型SOI MOSFETにおけるサブバンドギャップインパクトイオン化と基板浮遊効果

    更屋 拓哉, 高宮 真, デュエト トラン・ゴック, 平本 俊郎, 生駒 俊明

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   96 ( 570 )   15 - 20   1997年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    薄膜SOIデバイスは、低消費電力用途への応用が期待されているが、低電圧領域における基板浮遊効果はほとんど調べられていない。本研究では0.15μm Partially Depleted(PD) SOI MOSFETを試作し、1V以下の領域での基板浮遊効果について詳細に調べた。その結果シリコンのサブバンドギャップ領域である0.9Vまでインパクトイオン化電流を観測した。さらに0.7V付近までインパクトイオン化の影響かキンク特性および過渡特性に現れることを明らかにした。このことから今後の低消資電力SOIデバイスの実現に向けて低電圧駆動化が進むとしても、依然として基板浮遊効果対策が重要な課題であることを示した。

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  • サブ0.1μm SOI MOSFET : そのスケーリングと基板浮遊効果

    平本 俊郎, 更屋 拓哉, 高宮 真, 生駒 俊明

    電子情報通信学会総合大会講演論文集   1997 ( 2 )   338 - 339   1997年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    薄膜SOI MOSFETは将来のVLSIデバイスとして注目されている。完全空乏型SOI MOSFETは理想的なsubthreshold特性を有し低消費電力化が可能であるが, その微細化には従来のバルクMOSFETとは異なる手法が要求される。一方, 部分空乏型SOI MOSFETは基本的にバルクMOSFETと構造や動作原理が同じであるが, このデバイス特有の基板浮遊効果が大きな問題となっている。本稿では, サブ0.1μm完全空乏型SOI MOSFETのスケーリングの手法と, 0.15μm部分空乏型SOI MOSFETの基板浮遊効果について報告する。

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  • 研究解説 : 異方性エッチングによるSi極微細MOSFETの作製と室温におけるクーロンブロケード振動の観測

    石黒 仁揮, 藤井 呂如, 橋口 原, 生駒 俊明, 平本 俊郎

    生産研究   49 ( 3 )   174 - 177   1997年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京大学生産技術研究所  

    結晶面方位に依存した異方性エッチングを用いて, 線幅制御された均―なSi量子細線をSIMOX基板上に作製するプロセスを開発し, 本方法を用いて作製したSi細線MOSFETで室温において単一電子現象であるクーロンブロッケード振動を観測することに成功した. この方法では, 量子細線の線幅はリソグラフィに依存せず, SIMOX基板のSi膜厚のみで決定されるので極めて制御性が良い. 最小線幅は10nm以下と見積もられる. Si細線MOSFETのクーロンブロッケード振動は, 77Kではより顕著になり, さらに低温では複数の鋭いピークに分裂した. 実験結果をもとにチャネル中の構造を検討し, 複数の量子ドットが弱くカップリングしていることを明らかにした.

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  • <調査報告>VLSI用薄膜SOI CMOSデバイスに関する研究動向調査

    平本 俊郎

    生産研究   48 ( 11 )   568 - 569   1996年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京大学  

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  • <研究解説>0.1μm薄膜SOI MOSFETのデバイス・プロセス設計と特性評価

    高宮 真, 更屋 拓哉, デュエト トラン, 田中 剛, 石黒 仁揮, 平本 俊郎, 生駒 俊明

    生産研究   48 ( 10 )   502 - 506   1996年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京大学  

    0.1μm薄膜SOI MOSFETの設計・試作を行った. チャネルイオン注入(BF2)のエネルギーをSOIと埋め込み酸化膜の界面にピークがくるよう設計することによりパンチスルーストッパの形成とチャネルのドープを1回のイオン注入で実現した. この簡便なプロセスにより均一ドープの場合と比較し短チャネル効果が抑制できることをシミュレーションにより示し, ゲート長0.095μmのSOI MOSFETの動作を確認した.

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    その他リンク: http://hdl.handle.net/2261/52992

  • リソグラフィー限界を越えたSi量子細線MOSFETの作製と室温におけるクーロンブロケードの観測

    石黒 仁揮, 平本 俊郎, 藤井 呂如, 更屋 拓哉, 橋口 原, 生駒 俊明

    電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集   1996 ( 2 )   110 - 110   1996年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Si極微細構造中で現れる単一電子現象を制御できれば、超低消費電力デバイスの構成素子に応用すること、さらには既存のCMOS回路と組み合わせて、より高機能なLSIの実現が可能となる。その際には(i)単一電子素子の室温動作、(ii)既存のLSIプロセスと整合性のある微細構造形成プロセスの確立、(iii)ウェハレベルでの均一性と制御性の向上、が要求される。今回、上記3つの課題の解決を目指し、Si結晶の面方位に依存した異方性エッチングを用いて、Si量子細線構造を形成するプロセスを確立した。この方法を応用して細線MOSFETを作製したところ、室温においてクーロンプロケード振動を観測することに成功した。

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  • 低電圧動作0.1ミクロン薄膜SOI MOSFETの試作と特性評価

    高宮 真, 更屋 拓哉, トラン デュエト, 田中 剛, 石黒 仁揮, 平本 俊郎, 生駒 俊明

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   96 ( 108 )   81 - 86   1996年6月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    0.1μm薄膜SOI MOSFETの設計・試作を行つた.チャネルイオン注入(BF2)のエネルギーをSOIと埋め込み酸化膜の界面にピークがくるよう設計することによりパンチスルーストッパの形成とチャネルのドープを1回のイオン注入で実現した.この簡便なプロセスにより均一ドープの場合と比較し短チャネル効果が抑制できることをシミュレーションにより示し、ゲート長0.095μmのSOI MOSFETの動作を確認した.

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  • 異方性エッチングによるSi極微細MOSFETの作製と室温におけるクーロンブロケード振動の観測

    石黒 仁揮, 平本 俊郎, 藤井 呂如, 更屋 拓哉, 橋口 原, 生駒 俊明

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   96 ( 18 )   37 - 44   1996年4月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    異方性エッチングおよび選択酸化を用いて、均一なSi量子細線をSIMOX基板上に形成し、さらにそれをチャネルとするSi量子細線MOSFET (W〜10nm)を作製することに成功した。この方法では、形成されたSi量子細線の線幅はSOI層の膜厚のみで決定されるため、露光技術の制約を受けずに均一な細線を形成することができる。素子の電気伝導特性を測定したところ室温においてクーロンプロケード振動を観測し、77Kでより顕著になり、さらに低温に冷やすとそのピークが細かく分裂することを確認した。実験結果をもとにチャネル中の構造を検討し、複数の量子ドットが弱く結合していることを明らかにした。

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  • <研究速報>スプリットゲートによる極微細SOI-MOSにおけるコンダクタンス振動現象

    石黒 仁揮, 平本 俊郎, 生駒 俊明

    生産研究   47 ( 9 )   428 - 431   1995年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京大学  

    Si極微細構造における電気伝導を解明するため, Si極微細MOS構造を作製しその電気特性の測定を行っている. SOI(Silicon On Insulator)基板上に電子ビーム露光およびリフトオフによりスプリットゲートを作製し, 静電的に電子の伝導チャネルを細線領域に閉じ込めることで極微細MOS構造を実現した. 4.2K以下の測定でピンチオフ電圧付近のコングクタンスに振動が観測された. フーリエスペクトルからコンダクタンス振動は, 周期的成分および非周期的成分から形成されていることが分かった. また, ドレイン--ソース間の電流--電圧特性には非線形性が観測された. これらの現象は電気伝導がクーロンブロケードによる単一電子トンネル, およびホッピング伝導に支配されていることを示すものだと考えられる.

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    その他リンク: http://hdl.handle.net/2261/52558

  • Extremely Large Amplitude of Random Telegraph Signals in a Very Narrow Split-Gate MOSFET at Low Temperatures

    ISHIKURO Hiroki, SARAYA Takuya, HIRAMOTO Toshiro, IKOMA Toshiaki

    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials   1995   342 - 344   1995年8月

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    記述言語:英語  

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  • SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象

    石黒 仁揮, 平本 俊郎, 藤田 博之, 生駒 俊明

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   95 ( 10 )   77 - 81   1995年4月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Si極微細構造における電気伝導を解明するため、Si極微細MOS構造を作製しその電気特性の測定を行なっている。SOI(Silicon On Insulator)基板上に電子ビーム露光およびリフトオフによりスプリットゲートを作製し、静電的に電子の伝導チャネルを細線領域に閉じ込めることで、極微細MOS構造を実現した。4.2K以下の測定でピンチオフ電圧付近のコンダクタンスに振動が観測された。フーリエスペクトルからコンダクタンス振動は、周期的成分および非周期的成分から形成されていることが分かった。また、ドレイン-ソース間の電流一電圧特性には非線形性が観測された。これらの現象は電気伝導がクーロンブロケードによる単一電子トンネル、およびホッピング伝導に支配されていることを示すものだと考えられる。

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  • A Bipolar-Based 0.5μm BiCMOS Technology on Bonded SOI for High-Speed LSIs (Special Section on High Speed and High Density Multi Functional LSI Memories)

    Yoshida Makoto, Hiramoto Toshiro, Fujiwara Tsuyoshi, Hashimoto Takashi, Muraya Tetsuya, Murata Shigeharu, Watanabe Kunihiko, Tamba Nobuo, Ikeda Takahide

    IEICE transactions on electronics   77 ( 8 )   1395 - 1403   1994年8月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    A new BiCMOS process based on a high-speed bipolar process with 0.5μm emitter width has been developed using a bonded SOI substrate. Double polysilicon bipolar transistors with the trench isolation, shallow junctions and the pedestal collector implantation provide a high cut-off frequency of 27 GHz. Stress induced device degradation is carefully examined and a low stress trench isolation process is proposed.

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  • GAAS QUANTUM WIRE TRANSISTORS FABRICATED BY FOCUSED ION-BEAM IMPLANTATION

    T ODAGIRI, T HIRAMOTO, K HIRAKAWA, T IKOMA

    JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY   135 ( 8 )   C375 - C375   1988年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(国際会議)  

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産業財産権

  • 半導体装置及び記憶装置並びにその制御方法

    平本 俊郎

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    出願番号:特願2014-021398  出願日:2014年2月

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  • 電気化学素子および電気化学素子を用いた相補型回路

    平本 俊郎

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    出願番号:特願2011-158981  出願日:2011年7月

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  • ラッチ回路の電圧特性調整方法および半導体装置の電圧特性調整方法並びにラッチ回路の電圧特性調整器

    平本 俊郎

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    出願番号:特願2009-141510  出願日:2009年6月

    公開番号:特開2011-518580 

    特許番号/登録番号:特許5331204  発行日:2013年8月

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受賞

  • IEEE EDS Leo Esaki Award

    2023年12月   IEEE EDS   Efficient Erase Operation by GIDL Current for 3D Structure FeFETs With Gate Stack Engineering and Compact Long-Term Retention Model

    Fei Mo, Jiawen Xiang, Xiaoran Mei, Yoshiki Sawabe, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Chun-Jung Su, Vita Pi-Ho Hu, Masaharu Kobayashi

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  • IEEE EDS Paul Rappaport Award

    2022年12月   IEEE EDS   Monolithic Integration of Oxide Semiconductor FET and Ferroelectric Capacitor Enabled by Sn-Doped InGaZnO for 3-D Embedded RAM Application

    Jixuan Wu, Fei Mo, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Mototaka Ochi, Hiroshi Goto, Masaharu Kobayashi

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  • 産業標準化事業表彰(経済産業大臣表彰賞)

    2022年10月   経済産業省   電子実装技術

    平本俊郎

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  • Arnaud Darmont Award for Best Paper, Electronics Imaging 2022, Imaging Sensors and Systems Conference 2022

    2022年1月   Imaging Sensors and Systems Conference   3-Layer stacked pixel-parallel CMOS image sensors using hybrid bonding of SOI wafers

    Masahide Goto, Yuki Honda, Masakazu Nanba, Yoshinori Iguchi, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Eiji Higurashi, Hiroshi Toshiyoshi, Toshiro Hiramoto

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  • IEEE EDS Leo Esaki Award

    2020年12月   IEEE EDS   Ferroelectric HfO2 Tunnel Junction Memory with High TER and Multi-level Operation Featuring Metal Replacement Process

    Masaharu Kobayashi, Yusaku Tagawa, Fei Mo, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto

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  • 2017 IEEE Best Paper Award for the IEEE Transactions on Nanotechnology

    2018年7月   IEEE Nanotechnology Council   Negative Capacitance for Boosting Tunnel FET Performance

    平本 俊郎

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  • ICSICT 30-Year Anniversary Contribution Award

    2016年10月  

    平本 俊郎

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  • 論文賞

    2015年3月   応用物理学会シリコンテクノロジー分科会   3-D Silicon-on-Insulator Integrated Circuits With NFET and PFET on Separate Layers Using Au/SiO2 Hybrid Bonding

    平本 俊郎

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  • 藤尾フロンティア賞

    2014年6月   映像情報メディア学会   画素並列信号処理3次元構造撮像デバイスの研究

    平本 俊郎

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  • 応用物理学会フェロー

    2009年9月   応用物理学会  

    平本 俊郎

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  • 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ賞

    2009年9月   電子情報通信学会  

    平本 俊郎

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  • 丸文学術奨励賞

    2000年  

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    受賞国:日本国

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共同研究・競争的資金等の研究課題

  • スピン量子性に基づくデバイス指紋(量子指紋)の生成と抽出

    研究課題/領域番号:22K03497  2022年4月 - 2026年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

    棚本 哲史, 大野 圭司, 平本 俊郎

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    配分額:3250000円 ( 直接経費:2500000円 、 間接経費:750000円 )

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  • 三次元集積化に向けたスケーラブルな積層構造シリコン量子ビットに関する研究

    研究課題/領域番号:19H00754  2019年4月 - 2023年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(A)

    平本 俊郎

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    配分額:45110000円 ( 直接経費:34700000円 、 間接経費:10410000円 )

    本研究の目的は,シリコン量子ビットのスケーラブルな三次元集積化を目指して,積層構造の集積量子ビットを提案し,試作・実測を通してその概念を実証することである.本研究では,三次元に拡張可能な構造として上下に量子ビットを積む積層量子ビットを提案する.シリコン積層構造集積量子ビットの作製プロセスでキーとなるプロセスは,電子ビーム露光およびドライエッチングによる微細ナノワイヤチャネル・微細ゲート電極作製プロセス,およびSi/SiGe積層膜による上下にチャネルを複数作製するプロセスである.昨年度は,前者の微細ナノワイヤチャネル・微細ゲート構造作製プロセスをHSQという高解像度の電子ビーム露光レジストを用いて立ちあげた.ところが,このプロセスはレジスト現像後のプロセスマージンがやや不足していることがわかり,より高度な積層量子ビット作製プロセスに適用することは難しいと判断した.そこで本年度は,電子ビーム露光レジストをma-N2400と呼ばれるレジストに変更し,よりフレキシブルな微細ゲート構造作製プロセスの確立を目指した.その結果,HSQを用いた従来プロセスと比較して解像度は問題なく,またプロセスマージンを保ったままプロセス簡略化も実現できることがわかり,ピッチ100nm以下という極微細複数ゲート電極パターンを作製することに成功した.本年度開発した微細ゲート構造作製プロセスを積層量子ビット作製プロセスに適用することに決定した.

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  • マルチモーダルな超低消費電力エッジシステムに向けたAIコンピューティング技術の研究開発

    2018年7月 - 2019年7月

    NEDO  革新的AIエッジコンピューティグ技術の開発 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • 電源電圧0.1V動作に向けたトランジスタの特性ばらつきの自己収束機構に関する研究

    2017年4月 - 2019年3月

    JSPS  科研費挑戦的萌芽研究 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • 超低消費電力データ収集システムの研究開発

    2016年7月 - 2019年3月

    NEDO  IoT推進のための横断技術開発プロジェクト 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • 強誘電HfO2による急峻スロープFETの低消費電力回路と混載FeRAMの設計実証

    研究課題/領域番号:16K18085  2016年4月 - 2018年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  若手研究(B)

    小林 正治, 平本 俊郎

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    配分額:4160000円 ( 直接経費:3200000円 、 間接経費:960000円 )

    本研究ではIoT向けセンサノードデバイスにおける集積回路の飛躍的な超低消費電力化に向けたトランジスタおよびメモリ技術の研究開発を行った。トランジスタについては、0.2V以下で動作する負性容量トランジスタの設計指針を明確にし、また実際に試作・実証を行い急峻サブスレショルド特性を実現するとともに、動作原理に関する新しい物理メカニズムの提案を行った。メモリについては、待機時の消費電力を極限まで抑える不揮発性SRAMを設計・試作、動作実証に成功した。トランジスタ・メモリともに強誘電体HfO2薄膜を用いたところが特徴であり低コストな低消費電力デバイスの実現性・有用性を示した点で工学上重要な成果を上げた。

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  • 室温動作シリコン単電子トランジスタとナノワイヤCMOSによる新機能回路の低電圧化

    2015年4月 - 2019年3月

    JSPS  科研費基盤研究(A) 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • しきい値電圧自己調整機構を有する超低電圧動作シリコンナノワイヤトランジスタ

    2015年4月 - 2017年3月

    JSPS  科研費挑戦的萌芽研究 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • 新世代Si-IGBTと応用基本技術の研究開発

    2014年4月 - 2020年2月

    NEDO  低炭素社会を実現する次世代パワーエレクトロニクスプロジェクト 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • 単一不純物が微細トランジスタ特性の統計的性質に与える影響に関する基礎研究

    2014年4月 - 2015年3月

    JSPS  科研費挑戦的萌芽研究 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • SRAM セルへの一括高電圧ストレス印加による不揮発性メモリの研究

    2013年4月 - 2016年3月

    半導体理工学研究センター  フィージビリティ・スタディ 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • サブ100mV動作を目指した超低電圧MOSトランジスタの基礎研究

    2013年4月 - 2014年3月

    JSPS  科研費挑戦的萌芽研究 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • 室温動作集積単電子トランジスタと大規模CMOS回路との融合による新機能創出

    2011年4月 - 2015年3月

    JSPS  科研費基盤研究(A) 

    平本 俊郎

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

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  • シリコンナノエレクトロニクスの新展開に関する総括的研究

    研究課題/領域番号:18063013  2006年 - 2010年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  特定領域研究

    財満 鎭明, 堀 勝, 高木 信一, 益 一哉, 宮崎 誠一, 平本 俊郎, 田畑 仁, 高木 信一, 益 一哉, 宮崎 誠一, 平本 俊郎

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    配分額:50800000円 ( 直接経費:50800000円 )

    現代の情報・通信技術の中核をなすシリコンULSIにおいては、基本素子MOSFETの「スケーリング則」による性能向上技術に限界が見えはじめ、デバイスにおける材料物性的限界、種々な揺らぎによる精度・性能限界、集積度増加による発熱量・消費電力の限界等の顕在化により、デバイスのインテグレーションや高性能化が困難になりつつある。この問題に対して本特定領域研究ではMOSFETの「スケーリング則」による性能向上限界を打破するために、『ポストスケーリング技術』として新しい指導原理を導入することを目的として平成18年度に発足した。そこで、本研究課題(終了領域研究)ではこの4年間に得られた多くの成果を広く社会に還元することを目的として、下記の国際シンポジウムの主催と欧文雑誌での公表、また、研究成果の取りまとめを行った。
    ・シンポジウム名称:International Symposium on Technology Evolution for Silicon Nano-Electronics (ISTESNE)
    ・会場:東京工業大学・蔵前会館
    ・日程:2010年6月3日~5日
    ・招待講演者:海外4件、国内5件
    ・参加者数:132名

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  • ナノMOSFETの揺らぎとデバイスインテグリティ

    研究課題/領域番号:18063006  2006年 - 2009年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  特定領域研究

    平本 俊郎, 更屋 拓哉, 更屋 拓哉

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    配分額:51200000円 ( 直接経費:51200000円 )

    実測と三次元シミュレーションにより微細トランジスタの特性ばらつきについて検討を行った.特性ばらつきに強いデバイス構造として,極薄埋込酸化膜を有するSOIトランジスタを挙げ,従来のバルクトランジスタとは逆に,しきい値電圧を高くするほどばらつきが抑制されることを示した.また,製造後に特性ばらつきを自己抑制する新しい手法を考案し,その効果をシミュレーションにより実証した.

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  • 完全室温動作シリコン単電子・量子・CMOS融合集積回路ナノデバイスに関する研究

    研究課題/領域番号:16201029  2004年 - 2007年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(A)

    平本 俊郎, 桜井 貴康, 更屋 拓哉, 川口 博

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    配分額:49530000円 ( 直接経費:38100000円 、 間接経費:11430000円 )

    本研究では,ナノ構造中で新たに発現する単電子効果および量子効果を積極的に利用し室温で動作するシリコン新機能デバイスと既存のCMOSデバイスを融合させた新しい概念の集積回路を目指した研究を行った.まず,単電子トランジスタの作製プロセスの改良に着手し,世界最大の単電子トランジスタにおけるクーロンプロッケード振動の電流山谷比および負性微分コンダクタンス特性の山谷比を得ることに成功した.さらに,極めて小さなドットを有する単電子トランジスタにおいては,ドット中の量子間隔が極めて大きいことから,ドレイン電圧によってピーク位置を正確に制御できることを世界で初めて示した.次に室温で動作する単電子トランジスタの集積化に取り組んだ.単電子トランジスタはこれまで作製プロセスが未熟であったため,複数のデバイスを1チップ上に集積することは不可能であった.本研究ではプロセス技術を徹底的に洗い直して極めて微細はシリコンドットを精度よく作製するプロセスを開発し,初めて室温単電子トランジスタの集積化に成功した.さらに,クーロンプロッケード振動のピーク位置を制御することのできる室温動作単電子トランジスタ3個と電流値の制御するMOSトランジスタを1チップ上に集積し,アナログパターンマッチング回路を構成し,その動作を室温において実証することにも成功した.これらの成果は,完全室温動作シリコン単電子・量子・CMOS融合集積回路の実現の可能性を飛躍的に向上させる重要な成果である.

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  • 超低消費電力向け微細MOSトランジスタの研究

    研究課題/領域番号:02F02821  2002年 - 2004年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  特別研究員奨励費

    平本 俊郎, ANIL Kumar

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    配分額:600000円 ( 直接経費:600000円 )

    本研究では、ゲート長10nmスケールの超低消費電力MOSトランジスタを実現するために、ナノスケールMOSFETの正確な短チャネル効果の解析的モデリングを行った。本年度は、昨年度のバルクMOSFETに引き続いて,完全空乏型SOI MOSFETにおける短チャネル効果に着目し、しきい値電圧の劣化、サブスレッショルド係数の劣化、および基板バイアス係数の劣化について解析的な検討を行った。完全空乏型SOI MOSFETのしきい値電圧に関しては、従来からよく研究されているが、基板バイアス係数の解析および、サブスレッショルド係数と基板バイアス係数の関係の解析は、本研究が世界で初めての成果である。具体的には、短チャネルの完全空乏型SOI MOSFETにおける基板バイアス係数を解析的求め、これをシミュレーション結果と比較して解析の妥当性を確認した。次に、長チャネルのMOSFETで知られているサブスレッショルド係数と基板バイアス係数の関係を短チャネルに拡張し、両者の関係の一般的な数式を導いた。この関係もシミュレーションにより確認し、その有効性を実証した。これらの結果は、完全空乏型SOI MOSFETに基板バイアスを印加して超低消費電力デバイスを実現する上で、極めて重要なデバイス設計指針を与えるものである。

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  • 超低消費電力向け微細MOSトランジスタの研究

    研究課題/領域番号:02F00821  2002年 - 2004年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  特別研究員奨励費

    平本 俊郎, KUMAR Anil, ANIL Kumar

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    配分額:1300000円 ( 直接経費:1300000円 )

    本研究では、ゲート長10nmスケールの超低消費電力MOSトランジスタを実現するために、ナノスケールMOSFETの正確な短チャネル効果の解析的モデリングを行っている。本年度は、バルクMOSFETにおける短チャネル効果に着目し、しきい値電圧の劣化、サブスレッショルド係数の劣化、および基板バイアス係数の劣化について解析的な検討を行った。しきい値電圧に関しては、従来からよく研究されているが、基板バイアス係数の解析および、サブスレッショルド係数と基板バイアス係数の関係の解析は、本研究が世界で初めての成果である。具体的には、短チャネルのバルクMOSFETにおける基板バイアス係数を解析的求め、これをシミュレーション結果と比較して解析の妥当性を確認した。次に、長チャネルのMOSFETで知られているサブスレッショルド係数と基板バイアス係数の関係を短チャネルに拡張し、両者の関係の一般的な数式を導いた。この関係もシミュレーションにより確認し、その有効性を実証した。これらの結果は、バルクMOSFETに基板バイアスを印加して長低消費電力デバイスを実現する上で、極めて重要なデバイス設計指針を与えるものである。どうようの解析を完全空乏型SOI MOSFETについても進めている。

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  • シリコン量子ドット中のクーロンブロッケードを利用したメモリデバイス

    研究課題/領域番号:02F00810  2002年 - 2004年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  特別研究員奨励費

    平本 俊郎, BRAULT Julien

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    配分額:1300000円 ( 直接経費:1300000円 )

    次世代の不揮発性メモリとして期待されているシリコン微結晶(量子ドット)を用いたメモリの性能を飛躍的に向上させることを目的に、シリコン量子ドットの形成メカニズムを詳細に調べ、サイズが均一なナノスケールシリコンドットを制御性よく形成するために研究を進めている。本メモリデバイスでは、ゲート電極に電圧を印加するとシリコン量子ドットに電子が注入され、シリコンドットがメモリの記憶ノードとして働く。本年度は、減圧化学気相成長法により形成した直径約8nmのシリコン量子ドットを有するシリコン微結晶メモリを実際に作製し、その特性の評価を行った。極めてチャネル幅の細いナノスケールMOSFETに本メモリ構造を適用し、そのサイズ依存性を詳細に評価した結果、チャネル幅が細くゲート長が短いほどメモリの特性が向上することから、本メモリ構造は良好なスケーラビリティを有するという極めて重要な結論を得た。また、チャネル幅が5nm以下という極めて細いシリコン微結晶メモリでは、データの保持時間が極めて長くなることを実験的に示した。この結果は、チャネル中のキャリアの量子閉じ込め効果により説明できる。以上の結果から、ナノスケールのチャネルを有するシリコン微結晶メモリは、将来の不揮発性メモリとして有望なメモリ構造であることを明らかにした。

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  • シリコン量子ドット中のクローンブロッケードを利用したメモリデバイスの研究

    研究課題/領域番号:02F02810  2002年 - 2004年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  特別研究員奨励費

    平本 俊郎, JURIEN Brault

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    配分額:600000円 ( 直接経費:600000円 )

    本研究の目的は,次世代の不揮発性メモリとして期待されているシリコン微結晶(量子ドット)を用いたメモリの性能を向上させることである.そのために,メモリを構成するトランジスタのチャネル構造をナノスケールに微細化する方法を提案し,実験によりメモリ特性向上を実証する研究を行った.本メモリデバイスでは、通常のMOSトランジスタ構造のゲート絶縁膜中にシリコンドット(微結晶)が埋め込まれた構造を有する.ゲート電極に電圧を印加するとシリコン量子ドットに電子が注入され、シリコンドットがメモリの記憶ノードとして働く。極めてチャネル幅の細いナノスケールMOSFETに本メモリ構造を適用し、そのサイズ依存性を詳細に評価した結果、チャネル幅が細い場合だけでなく,ゲート長が短い場合もメモリの特性が向上することから、本メモリ構造は良好なスケーラビリティを有するという極めて重要な結論を得た。また、チャネル幅が5nm以下という極めて細いシリコン微結晶メモリでは、データの保持時間が極めて長くなることを実験的に示した。この結果は、チャネル中のキャリアの量子閉じ込め効果により説明できる。以上の結果から、ナノスケールのチャネルを有するシリコン微結晶メモリは、将来の不揮発性メモリとして有望なメモリ構造であることを明らかにした。

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  • 高・強誘電体膜を用いた極低電圧・超低消費電力FET,及び高性能新機能素子の開発

    研究課題/領域番号:13025213  2001年 - 2003年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  特定領域研究

    平本 俊郎, 石原 宏

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    配分額:84200000円 ( 直接経費:84200000円 )

    低電圧で動作する超低消費電力・高性能論理デバイスおよび高機能を有する強誘電体ゲートFETの検討を行った。論理デバイスでは、完全空乏型のSOI MOSFETに基板バイアス効果を適用することにより、超低消費電力と高速性を実現する方策について検討した。SOI MOSFETにおいてしきい値電圧を有効に変化させる方法として、基板バイアス係数可変MOSFETという全く新しいデバイスを提案した。埋込酸化膜直下の空乏層の伸縮を利用して、動作時には基板バイアス係数を小さくして高速動作を可能とし、待機時には基板バイアス係数を大きくして待機時電流を抑制する。デバイスシミュレーションの結果、このデバイスが予想通り動作することを確認した。また、実験により、基板バイアス係数が実際に変化していることを確認した。
    一方、強誘電体ゲートFETは、集積回路の機能を高め、その機能を不揮発性化することができる。本年度は特性改善に関して取り組み、強誘電体膜とシリコン基板との間に挿入するバッファ層にハフニウム酸化膜を用いることにより、データ保持期間を10日以上に長くすることができた。また、このデバイスを不揮発性ラッチ回路に用いる場合の最適回路構成について検討し、CMOSインバータの個々のFETに強誘電体キャパシタを配置するよりも、両FETの入力を一体化したインバータ回路としての入力端子に強誘電体キャパシタを接続する方が回路の安定性を高められることを明らかにした。さらに、この回路を実際に作製して動作の検証を行った。

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  • 揺らぎを排した量子スケールMOSFETにおける物理現象の探究と集積化応用の研究

    研究課題/領域番号:13450135  2001年 - 2003年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    平本 俊郎

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    配分額:14800000円 ( 直接経費:14800000円 )

    本研究の目的は、サイズ揺らぎを極力抑制したナノスケールMOSFETの物理現象の解明し、その物理現象の集積回路デバイスに積極的に応用することである。電子ビーム露光装置とエッチング技術により、10nm以下の極めて微細なナノデバイスを制御性良く作製する技術を確立した。この技術で作製したデバイスでは、室温のおいて明瞭に量子効果と単電子効果が現れる。量子効果は、電子の基底準位の上昇によるしきい値電圧の上昇という形で現れる。10nm以下にチャネルを狭窄化した狭チャネルMOSトランジスタでは,チャネル幅が狭いほどしきい値電圧が上昇する。この効果を利用して,ナノサイズのMOSトランジスタのしきい値電圧を制御する方法を提案した。また、計算の結果、チャネル幅10nm以下の狭チャネルMOSトランジスタにおいては、電子および正孔の移動度が上昇し、デバイス特性が向上することを明らかにした。一方、単電子効果はクーロンブロッケード振動として現れる。ソース・ドレイン間にシリコンドットが自然形成され、デバイスは単電子トランジスタとして振る舞う。単電子トランジスタでは、クーロンブロッケード振動により、ドレイン電流がゲート電圧の関数で振動する。振動の山谷比は室温において40以上、ドット系は約2nmである。この振動はシリコン系の単一ドット系単電子トランジスタとしては、世界最大である。また、シリコンドット中の量子効果により共鳴トンネルに起因する負性微分コンダクタンスも室温において観測された。これらの物理現象を利用して、単体の単電子トランジスタを用いて室温で2入力の論理動作を行うこと世界で初めて成功した。

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  • 量子ドット構造による電子の制御と次世代エレクトロニクスへの応用

    研究課題/領域番号:12CE2004  2000年 - 2004年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  特別推進研究(COE)

    榊 裕之, 荒川 泰彦, 安藤 恒也, 藤田 博之, 平川 一彦, 平本 俊郎

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    配分額:1706900000円 ( 直接経費:1463000000円 、 間接経費:243900000円 )

    (1)量子ドット関連構造の形成と電子状態の制御に関する研究成果
    (1-1)InAs系量子ドット:成長条件や被覆層の組成の最適化を進め、光通信に整合した1.5μmでの発光と、狭い蛍光線幅(〜16meV)を持つドットを実現した。また、GaAs層による埋込みをしない表面ドットが電子を蓄積し、電気的に活性であることを見出した。
    (1-2)GaSb系およびGaN系量子ドットとリング:成長プロセスを工夫すると、GaSbドットの代りに正孔のみを閉じ込める量子リング構造が自己形成できることを示した。また、GaSbドットをSi中に埋め込んだ系で、電子の状態に直接遷移的要素が交じり、強い蛍光の生じることを示した。さらに、GaNドットの形状を調整し、電子正孔の分離度の制御に成功した。
    (1-3)SiおよびGe系ドット:量子点接触素子内に自然にできるSiドットの形成法を検討し、2nm以下の極微ドットを実現した。Ge系ドットの寸法微細化と高密度化の道を開いた。
    (2)量子ドットと関連構造の伝導特性と素子応用に関する成果
    (2-1)Si単正孔トランジスタ(SHT)とInAs単電子トランジスタ(SET):SiMOS点接触構造内に自己形成するドットの微細化を進め、室温で40対1に及ぶクーロン振動と10対1を越す負性抵抗を示すSHTを実現、さらにGaAs表面の自己形成InAsドットを用いた新構造SETを実現、電子準位のシェル構造などを反映する特性を得た。
    (2-2)ドット埋め込みABリング素子:ABリング構造の一部に量子ドットを埋め込んだ素子を調べ、電子の位相シフトに伴うFano共鳴を反映した伝導とドット内の電子のスピン状態に依存する位相緩和過程を見出した。
    (2-3)量子ドット・量子細線アレー(列)の伝導特性:蜂の巣状のドット格子で、炭素ナノチューブと同様に電子散乱が抑制できること、量子細線列の伝導では、新規の磁気抵抗振動や電子の多体効果に由来する温度依存性を見出した。
    (2-4)量子ドットメモリー素子:極薄または極細伝導路の近傍にInAsやSiのドットを配したメモリー素子で、伝導電子と局在電子の相互作用や情報処理応用の特色を解明した。
    (3)量子ドットと関連構造の光物性と応用素子に関する成果
    (3-1)量子ドットレーザと単一光子発生素子:自己形成InAs量子ドットを用い、温度安定装置無しでも10Gb/sの直接変調可能なレーザを実現、1.3μm帯での単一光子素子を実現した。GaN系ドットで、より高温での単一光子の発生を実証した。
    (3-2)量子ドットと関連構造の光学特性の電界効果:GaN系ドットで、ピエゾ電界による電子・正孔の分離が強く効き、双励起子の発光が青方変位すること、自己形成GaSbドットやリングで電子・正孔間の引力とピエゾ電界が協業すること、InAsドットでの多体効果の電圧依存性に伴い電気光学効果が増すことを示した。また、量子構造での光による屈折率制御の特色も示した。
    (3-3)量子ドットおよび関連構造での中赤外・THz帯光応答:量子ドット内の正孔の数を中赤外光の照射で増減させた高感度の光検出器を実現、バイアス印加の超格子をフェムト秒レーザで励起し、テラヘルツ帯での利得の存在や特色を示した。
    (4)ナノ探針とマイクロマシンによる局所物性の評価と制御および新規ナノ物質の研究
    (4-1)マイクロマシンおよびマルチナノ探針:
    カンチレバーの変形により、埋込んだドットに加わる歪みやフォトニック結晶構造の等価屈折率を変化させ、発光や透過スペクトルの制御に成功した。Siのマイクロマシン技術で複数のナノ探針を作り、液中のDNAの捕捉を可能とした。静電制御カンチレバーと光起電力素子を一体化した素子を開発し、光信号による変形を可能とした。InAsドットとその周辺表面電位に関し、新知見を得た。
    (4-2)ナノ構造新規物質の物性と機能
    探索有機分子をチャネルとするFETの形成法に工夫を加え、高い正孔移動度を実現し、さらに感圧素子や感光素子との一体化により、折曲げ可能な光センサや人工触覚(皮膚)機能を達成した。また、銀表面上の水素分子の核スピンの状態の制御や高感度検出を可能とし、量子情報応用のための基礎的知見を得た。鉄シリサイドやマンガン酸化物材料のナノ構造も形成し、物性上の特色を明らかにした。

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  • ディープサブミクロン配線のタイミング特性の研究

    研究課題/領域番号:10555118  1998年 - 2000年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    櫻井 貴康, 平本 俊郎

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    配分額:12600000円 ( 直接経費:12600000円 )

    近年、LSI中のトランジスタの微細化に伴い配線も微細化され、配線の寄生抵抗・寄生容量による配線遅延の増大が問題となってきている。スケーリングによってゲート遅延は減少する一方、配線遅延が増加するため回路全体の高速化が難しくなり、配線遅延増加のための対策が必要となる。
    配線における重要な技術の一つにリピータ挿入という配線長とともに2乗で増加する配線遅延を緩和するが方法ある。長い配線にリピータを挿入することにより分割し、配線遅延の増加を線形程度の増加に抑えることができる。本研究ではリピータ挿入のための遅延時間計算モデルを構築したのち、遅延時間最適化のための分岐を持つ配線へのリピータ挿入の方法についての検討を行った。低消費電力設計に向けたリピータ挿入の問題について、単一配線の場合での研究も行った。消費電力・遅延時間積(PD積)最適化設計のためのリピータ数、リピータサイズの最適値を示し、消費電力と遅延時間の関係についての考察を行った。
    最適リピータ挿入法が明らかになるとリピータ挿入間隔はテクノロジーと配線長によって一義的に決まる。実際に利用される信号配線においてはこのリピータ挿入間隔分の長さを持ち、配線形状、間隔等はテクノロジーによって規定される。このことにより、テクノロジーごとに単一のケースの配線における挙動を調べればよいことがわかった。
    近年、配線におけるインダクタンス成分の影響が声高に叫ばれているが、実際にリピータ挿入により分割された配線におけるインダクタンスが設計に影響を与えるかどうかは未だ調べられていない。本研究では実チップにおけるインダクタンスの影響を実測することにより設計の指導原理を得るべく研究中である。被測定チップ内に波形検出回路を設けた配線の試作回路を作り波形を読み取ることによりインダクタンスの影響を抽出する。
    これらの要素をまとめ、スーパーコネクトの概念を提案した。スーパーコネクトとは従来のLSI技術とパッケージ技術の中間に位置する10um前後の製造・設計技術を指す。従来からのスケーリングの考えからでは増大しつつある配線の消費電力、遅延を抑えることができず、プロセス進化とともに巨大化する配線を提案している。この考え方により、配線の抵抗を軽減し、高速化、消費電力の影響を抑えることができ、配線層数を押さえることができるためチップコストの低減にもつながる。

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  • 量子効果を積極利用した薄膜SOI MOSFETの性能向上とばらつき低減の研究

    研究課題/領域番号:10555117  1998年 - 2000年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    平本 俊郎, 藤島 実, 桜井 貴康, 柴田 直, 池田 隆英

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    配分額:12600000円 ( 直接経費:12600000円 )

    概要
    本研究の目的は,MOSFETをスケーリングしたときに発生する諸問題を,量子効果を積極的に利用して回避し,さらに特性向上とばらつき低減を達成することである.極めて細いチャネルをもつMOSFETを実際に作製して,量子効果によるしきい値電圧の上昇を室温において評価するとともに,シミュレーションとの比較により,この現象を詳細に評価した.実験では,量子力学的効果を顕著にするため,膜厚方向だけでなく,横方向にも電子を閉じこめるため,極めてチャネル幅の狭いMOSFETを電子ビームリソグラフィとドライエッチング法を用いて作製した.チャネル幅は2nm程度から100nm程度まで変化させた.チャネル幅は極めて均一であり,そのばらつきは2nm以下である.チャネルの結晶方位を変えるとともに,NMOSのみならずPMOSデバイスも試作し,量子効果の面方位依存性とキャリア依存性を調べた.測定の結果,NMOS,PMOSとも,チャネル幅が10nm以下になると急激にしきい値電圧が上昇することがわかった.これらの実験事実を説明するため,有限要素法を用いて2次元シュレディンガー方程式を解き,チャネル中の電子および正孔の基底状態を計算したところ,しきい値電圧の上昇は量子閉じこめ効果による基底準位の上昇が原因であることが明らかとなった.以上により,線幅が10nm以下の極微細MOSFETでは,室温においても量子効果が特性に直接影響を及ぼすことが明らかとなった.この現象を,われわれは量子力学的狭チャネル効果と呼ぶことにした.また,この効果を積極的に利用することでしきい値電圧等の制御が行うことが可能である.その方法と可能性について検討を行った.

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  • リソグラフィ限界を超えた制御性の良いシリコンナノデバイスの作製に関する研究

    研究課題/領域番号:10450112  1998年 - 1999年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    平本 俊郎, 藤島 実, 鳳 紘一郎

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    配分額:13600000円 ( 直接経費:13600000円 )

    本研究の目的は,電子ビーム露光装置等の高精細リソグラフィ技術を用いずに,ナノスケールのシリコンデバイスを制御性良く作製する技術を確立し,そのデバイス特性における単電子効果や量子効果を評価することである.本研究開始前までに,10nm程度のチャネル幅を有するMOSFETの作製と,単電子効果によるクーロンブロッケード振動の観測に成功していた.本研究では,リソグラフィの限界を超えてナノデバイスを作製する方法として,SOI基板上の異方性エッチングとシリコン酸化膜/窒化膜の積層膜を用いる技術を提案した.2回の異方性エッチングと選択酸化により,SOI層の膜厚に相当するチャネル幅をもつ極めて微細なポイントコンタクト構造を作製する.この構造をチャネルとするMOSFETを多数試作すると,ドレイン電流のばらつきは10%以内であり,極めて均一なチャネルが形成されていることが明らかになった.また,低温でこれらのMOSFETの特性を測定すると,単電子トンネルによるクーロンブロッケード振動が観測された.本技術は均一性と再現性が極めてよいため,本研究の後半では単電子トンネルデバイスを集積する技術を開拓した.まず,シリコン微結晶ドットをフローティングゲートとする単電子トランジスタを作製し,メモリ効果を利用してトランジスタの特性を制御することを明らかにした.ゲート印加電圧により,クーロンブロッケード振動のピーク位置を希望の位置に調整することが可能となる.この方法を用いて2個の単電子デバイスを集積することに成功し,方向性電流スイッチの動作確認を行った.

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  • 量子ドットにおけるクローン閉塞現象を利用した双安定状態の発現に関する研究

    研究課題/領域番号:10875068  1998年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  萌芽的研究

    平本 俊郎

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    配分額:2200000円 ( 直接経費:2200000円 )

    本研究は,シリコンナノ結晶におけるクーロンブロッケード現象を利用したメモリデバイスを実現するための基礎研究を目的とする.実際にシリコンドットを多数有するMOSFETを作製し,ヒステリシス特性をもつメモリデバイス動作を室温で観測することに成功した.また,クーロンブロッケード現象とメモリ特性のばらつきとの関係についても検討を行った.作製したメモリデバイスは,極めて細いMOSFETチャネル上に薄いトンネル酸化膜,多数のシリコンナノ結晶(ドット),厚い酸化膜,およびゲート電極を有している.ゲートに正のパルス電圧を印加すると,チャネル中の電子がトンネル酸化膜を介してシリコンドットに注入されそこに止まるので,MOSFETのしきい値電圧が正の方向にシフトする.一方,ゲートに負の電圧を印加するとドット中の電子はチャネルに逃げ,しきい値電圧は元に戻る.これがメモリ動作(ヒステリシス)の原理である.室温においてメモリ動作を確認した.また,MOSFETのチャネル幅が細くなるほど,しきい値電圧のシフト量は大きくなるが,同時にシフトのばらつきも大きくなることがわかった.これは,シリコンドットの分布のランダムさが原因である.一方,クーロンブロッケードによるシリコンドット中の電子数をシミュレーションにより求め,ドットサイズのばらつきが大きい場合は,ドット中の電子数の制御が困難となることを明らかにした.従って,シリコンドットを有するMOSFETメモリにおいては,ドットの分布およびサイズの制御が極めて重要であることを示した.

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  • 磁気歪み効果もつ薄膜材料を利用したマイクロマシンシステムの基礎研究

    研究課題/領域番号:09875085  1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  萌芽的研究

    平本 俊郎

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    配分額:2400000円 ( 直接経費:2400000円 )

    本研究では,磁気歪み効果を有する薄膜材料を利用したコンタクトレスの新しいマイクロマシンシステムを構築するための基礎研究を行った.近年,マイクロマシンの研究の進展は目覚ましく,さまざまな方法で微細アクチュエータが試作されているが,コンタクトが不必要なアクチュエータの開発が強く求められている.磁気歪み効果とは,磁場によって材料が伸び縮みする性質のことである.磁場を一様に印加すれば,この効果はコンタクトレスのマイクロマシンに応用が可能であり,将来の重要なマイクロマシン技術となるポテンシャルを秘めている.本研究では,磁気歪み薄膜材料とシリコンVLSI技術を組み合わせた新しいマイクロマシンシステムの構築を目標とした.
    本実験では,磁気歪み効果を利用したアクチュエータとして,単結晶Siのカンチレバ-上に磁気歪み薄膜を堆積した構造を用いた.磁場を印加すると薄膜のみが磁気歪み効果で伸張するので,カンチレバ-は下方向に曲がる.従って磁場をカンチレバ-の共鳴振動数で印加すると,カンチレバ-は磁場の大きさに比例した振幅で振動する.磁気歪み効果をもつ材料としては,(Tb0.27Dy0.73)Fe合金を用いた.この組成のバルク材料をターゲットとして用い,スパッタリング法で薄膜を堆積させた.まずはシリコンの棒状のバルク結晶(長さ数ミリ)に薄膜を堆積し,磁場を印加してその曲がり具合を評価することにより,磁気歪み薄膜の歪み率を測定した.一方,Siプロセスとの互換性を得るため,スパッタ薄膜のドライエッチングプロセスを確立した.また,スパッタ後の熱処理等のプロセスによる磁気歪み率等への影響を詳細に評価し,Siプロセスとの整合性を検討した.
    以上の方法により,シリコンカンチレバ-が磁場により振動することを確認した.これらの基礎データを用いて,マイクロアクチュエータを集積したマイクロメカトロニクスシステムに応用していく予定である.

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  • MOS構造を有する単一電子デバイスの作成とそのCMOSチップへの集積化の研究

    研究課題/領域番号:09233211  1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  重点領域研究

    平本 俊郎

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    配分額:2700000円 ( 直接経費:2700000円 )

    本研究の目的は,Si単一電子デバイスを将来の超低消費電力デバイスととらえ,従来のVLSl M0Sデバイスと単一電子デバイスが将来同一チップ上に集積する技術を確立することてある.単一電子デバイスは,電子1個で動作する究極のデバイスであり,従来,金属や化合物半導体で研究が行われてきた.本研究では,既存のVLSIとの融合と共存を考慮して,シリコンで単一電子デバイスの試作評価を行った.本年度の成果は以下の通りである.
    (1)VLSIプロセスと互換性のあるプロセスを用いて,リソグラフィ限界を越えたポイントコンタクト構造を作製する技術を開発した.狭窄された部分の最小線幅は10nm以下,長さは約10nmである.
    (2)このプロセスを用いて極微細MOSFETを作製し,室温において単一電子トンネルによるクーロンブロッケード振動を観測すること成功した.
    (3)本デバイスを詳細に評価した結果,チャネルは1個のドットからなることを明らかにした.また,単一電子現象に加え,共鳴トンネル現象などの量子効果も起こっていることを明らかにし,ドット中の量子レベルと測定結果から求めることに成功した.
    (4)求めた充電エネルギーは約60meV,量子エネルギーは約30meV,ドットサイズは約6nmであった.
    (5) シリコン微結晶と用いた単一電子メモリの試作にも成功した.これらのデバイスとメモリは集積化に適していることを明らかにし,単一電子デバイスをVLSIチップに集積するための基礎検討を行った.

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  • 不純物揺らぎによる特性ばらつきを抑えたデルタドープ型MOSデバイスに関する研究

    研究課題/領域番号:09224205  1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  重点領域研究

    平本 俊郎

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    配分額:2100000円 ( 直接経費:2100000円 )

    VLSIデバイスは性能向上のため急速に微細化しているが、微細化が進むと各種ばらつきが特性に大きく影響を及ぼすようになる。特に、チャネル中の不純物数の統計的な揺らぎは本質的な問題である。これは、サイズが全く同じデバイスであっても、デバイス中に存在する不純物の数は一定ではなく、統計的にばらつくという問題である。この不純物数の揺らぎがそのままデバイスの特性ばらつきとなる。このようなばらつきはデバイスが微細化するほど顕著になることは自明であり、将来のVLSIデバイスの限界を決める要因になりうる。本研究では、不純物揺らぎによる特性ばらつきを抑制する方法として、デルタドープ型MOSデバイスを提案した。このデバイスは、チャネル部分が高不純物濃度の下層と低濃度の上層の2層で構成されており、最近のディープサブミクロンデバイスで主流となりつつあるレトログレードチャネル構造をモデル化した構造である。まず、解析的にデルタドープMOSFETのしきい値電圧を求め、通常の均一ドープMOSFETと比較してデルタドープMOSFETは不純物揺らぎによるしきい値電圧ばらつきが本質的に小さい構造であることを明らかにした。また、低濃度層膜厚と高濃度層不純物濃度を適当にバランスさせることにより、しきい値電圧ばらつきを一定に保ったままデルタドープMOSFETを微細化する新しいスケーリング法を開発した。以上の結果から、デルタドープMOSFETは、短チャネル効果を抑えつつしかも不純物揺らぎを抑えることができ、将来のサブ0.1μm世代の有望なVLSIデバイスデバイスであることを明らかにした。

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  • SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究

    研究課題/領域番号:08455161  1996年 - 1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    平本 俊郎, 斉藤 敏夫, 平川 一彦, 藤田 博之

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    配分額:7600000円 ( 直接経費:7600000円 )

    SOI構造のデバイスの大きな特徴の1つは,通常のバルク基板のMOSデバイスと完全にプロセス互換性があることである.ところが,SOI構造では,基板中に埋込酸化膜が存在し,Si/酸化膜界面が通常基板より1つ多いため,プロセスメカニズムは必ずしも通常基板を同じとは限らない.本研究の目的は,SOI基板の薄膜Siに酸化を施した場合についてSOI構造特有の酸化過程のメカニズムおよび界面準位の特性を明らかにすることである.研究では,SOI構造の埋込酸化膜とSi薄膜との界面準位を正確に評価し,かつ界面準位密度のエネルギー分布を求めることができる新しい方法を開発した.バルク基板の評価には容量測定法やチャージポンピング法などが用いられるが,ところが,SOI構造にチャージポンピング法を適用すると,ボディ部分の抵抗が高いため,チャージポンピング電流が低下し,正確な界面準位が評価できない.チャージポンピング法とは,ゲート端子にパルス電圧を加えることによる電流をモニターすることにより界面準位等の測定を行う手法である.そこで,ボディ端子付のSOI構造を試作し,ゲート端子ノミナラズボディ端子へもパルス電圧を印加することにより、電流の低下を抑制し,正確なチャージポンピング電流の測定に成功した.また,バイアス条件を最適化することにより,表面酸化膜界面と埋込酸化膜界面を分離して評価することにも成功した.さらに,SOI構造の酸化膜界面における界面準位のエネルギー分布を測定する新しいチャージポンピング法も開発した.これらの新しい評価法により,SOI基板特有の界面準位の特性評価を進め,SOI基板のフロント界面の界面準位は通常のパルク基板と比較しても特にデバイス特性上劣化していないことを明らかにした.

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  • 不純物揺らぎによる特性ばらつきを抑えたデルタドープ型MOSデバイスに関する研究

    研究課題/領域番号:08238204  1996年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  重点領域研究

    平本 俊郎

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    配分額:1800000円 ( 直接経費:1800000円 )

    VLSIデバイスは性能向上のため急速に微細化しているが,微細化が進むと各種ばらつきが特性に大きく影響を及ぼすようになる.特に,チャネル中の不純物数の統計的な揺らぎは本質的な問題である.これは,サイズが全く同じデバイスであっても,デバイス中に存在する不純物の数は一定ではなく,統計的にばらつくという問題である.この不純物数の揺らぎがそのままデバイスの特性ばらつきとなり,将来のVLSIデバイスの限界を決める要因になりうる.本研究では,不純物揺らぎによる特性ばらつきを抑制する方法として,デルタドープ型MOSデバイスを提案した.このデバイスは,チャネル部分が高不純物濃度の下層と低濃度の上層の2層で構成されている.まず,2次元デバイスシミュレーションを用いてデルタドープMOSデバイスと従来の均一チャネルドープMOSデバイスの設計を行い,しきい値電圧および短チャネル効果の比較を行った.その結果,デルタドープMOSデバイスの方が短チャネル効果に強く,またしきい値電圧を低く設定できることが明らかとなった.次に,両デバイスについて,統計的不純物揺らぎによるしきい値電圧ばらつきの大きさを定量的に求め,両者の比較を行った.その結果,デルタドープMOSデバイスの方が不純物揺らぎの効果を格段に抑制できることを明らかにした.即ち,デルタドープMOSデバイスは,短チャネル効果を抑えつつしかも不純物揺らぎを抑えることができ,将来のサブ0.1μm世代の有望なVLSIデバイスデバイスであることを明らかにした.

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  • MOS構造を有する単一電子デバイスの作製とそのCMOSチップへの集積化の研究

    研究課題/領域番号:08247207  1996年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  重点領域研究

    平本 俊郎

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    配分額:3000000円 ( 直接経費:3000000円 )

    本研究の目的は,Si単一電子デバイスを将来の超低消費電力デバイスととらえ,従来のVLSI MOSデバイスと単一電子デバイスが将来同一チップ上に集積する技術を確立することである.単一電子デバイスは,電子1個で動作する究極のデバイスであり,従来,金属や化合物半導体で研究が行われてきた.本研究では,既存のVLSIとの融合と共存を考慮して,Siで単一電子デバイスの試作評価を行った.本年度の成果は以下の通りである.
    (1)VLSIプロセスと互換性のあるプロセスを用いて,リソグラフィ限界を越えたSi極細量子細線を作製する技術を開発した.最小線幅は10nm以下である.
    (2)このプロセスを用いて極微細MOSFETを作製し,室温において単一電子トンネルによるクーロンブロッケード振動を観測すること成功した.
    (3)本デバイスを詳細に評価した結果,チャネルが複数のドットに分裂していることを明らかにした.ドット間の量子効果カップリングを考慮することにより,低温における電気伝導が,共鳴トンネル的伝導と熱励起型ホッピング伝導に区別できることを明らかにした.
    (4)上記のリソグラフィ限界を越えた細線作製プロセスを用い,T字構造や十字構造の作製に成功した.これらの構造をデバイスに応用すると,端子数が多いのでより多くの機能をもったデバイスが期待できる.また,これらの構造は集積化に適していることを明らかにし,単一電子デバイスをVLSIチップに集積するための基礎検討を行った.

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  • メソスコピック・エレクトロニクス

    研究課題/領域番号:07044120  1995年 - 1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  国際学術研究

    荒川 泰彦, 平川 一彦, 榊 裕之, 三浦 登, 浜口 智尋, 安藤 恒也, THORNTON T.J, JOYCE B.A., 平本 俊郎, ファーソル G, JOYCE B.A, GREEN M, STRADLING R., EAVES L, BARKER J.R, AHMED H

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    配分額:12900000円 ( 直接経費:12900000円 )

    本年度は以下の研究を行い成果を得た。
    (1)半導体超微細加工プロセス・評価技術に関しては,選択的結晶成長法や電子線描画装置を用いて,10nmサイズの極微細構造を作製するプロセスを確立した.また,減圧下での結晶成長法を用い,10nm以下の半導体量子ドット構造を自然形成させる技術の開発にも成功した.これらの半導体微細構造は,GaAsやInAsなどの化合物半導体のみならず,Siにおいても作製に成功している.
    (2)メソスコピック領域の電子物性の研究では,まず強磁場中の二次元電子系について検討し,素子境界付近に形成されるエツジ状態のコヒーレンス長が極めて長いことを初めて実験的に示した。また量子ホール効果が電流増加に従いブレークダウンする機構を明らかにした.量子ホール効果状態にある半導体ヘテロ構造中の2次元電子系の電気抵抗が遠赤外光の照射に伴い敏感に変化することを発見し,その機構を明らかにするとともにこの効果を超高感度遠赤外線検出器として利用できる可能性があることを示した.
    (3)新高機能デバイスの探索では,種々の新しい概念をもつデバイスの研究で成果をあげた.まず,InAs量子ドットをチャネル近傍に埋め込んだ新しいトランジスタ構造を作製し,量子ドットの帯電効果をメモリーとして用いることができることを示した.また,同様の構造をSiでも作製し,将来の集積回路応用が可能なメモリデバイスの動作を室温で確認した.一方,極微細量子ドットをチャネルとするシリコン・トランジスタを作製し,単一電子のトンネル現象を室温において観測することに成功した.また,ドット内の量子準位間隔を実験で求め,単一電子帯電効果だけでなく量子効果も大きな役割を果たしていることを明らかにした.

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  • サブ0.1ミクロン薄膜SOI CMOS LSIデバイスの揺らぎに関する研究

    研究課題/領域番号:07555109  1995年 - 1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(A)

    平本 俊郎, 池田 隆英, 斎藤 敏夫, 平川 一彦, 藤田 博之

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    配分額:10600000円 ( 直接経費:10600000円 )

    薄膜SOI CMOS LSIデバイスは,将来のLSIデバイスとして注目を集めているが,デバイスサイズがサブ0.1ミクロンの領域に入ると,さまざまな揺らぎの問題がクローズアップされてくる.本研究の目的は,サブ0.1ミクロン薄膜SOI CMOS LSIデバイスの揺らぎの問題に焦点をあて,揺らぎの定量化及び揺らぎを補償する機構を回路・デバイス面から検討することにより,サブ0.1ミクロン薄膜SOI CMOS LSIデバイスを実現することである.
    実際に試作したサブ0.1ミクロン薄膜SOIデバイスの特性を詳細に評価するとともに,その特性ばらつきについて実測データとシミュレーションにより検討を行った.まず,完全空乏型SOI MOSデバイスにおけるSOI基板のSi膜厚ばらつきとデバイスのしきい値電圧の関係を詳細に検討し,Si膜厚揺らぎの周期に対してデバイスのチャネル幅が小さくなるほど,Si膜厚の揺らぎによりしきい値が大きく変動することを明らかにした.従って,デバイスの微細化が進むと将来薄膜SOIデバイスをDRAM等に応用するときに特性ばらつきが問題となることが予想される.次に,プロセス起因によるしきい値電圧等の特性ばらつきに関して検討を行い,特にSOI膜厚が揺らいだ場合,完全空乏型SOI MOSFETデバイスのしきい値電圧が大きく変動することが明らかにした.また,不純物数の統計的揺らぎによるしきい値電圧ばらつきについて検討した.この揺らぎは本質的な問題となりうるが,完全空乏型SOI MOSFETでは,チャネル不純物濃度を低く抑えたまま短チャネル効果等を抑制できるので,不純物数の統計的揺らぎによる特性揺らぎが,通常のバルクMOSFETに比べて格段に小さいことを明らかにした.

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  • マイクロメカトロニクス・システムの製作プロセス統合に関する研究

    研究課題/領域番号:07044122  1995年 - 1996年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  国際学術研究

    増沢 隆久, 川勝 英樹, 平本 俊郎, 藤田 博之, 橋本 秀樹, PORTE Henri, 原島 文雄, DUCROQUET Fr, PLANA Robert, 藤野 正俊, 年吉 洋, CAMON Henri, MOLLIER Pasc, MINOTTI Part, GORECKI Chri, PIERALLI Chr, HAESE Nahtal, ROLLAND Paul, DECARPIGNY J, HOUDEN Danie, GAGNEPAIN Je, HAUDEN Danie, JEANーJAEQUES ガニュパン

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    配分額:11600000円 ( 直接経費:11600000円 )

    電子回路のマイクロ化の急速な進捗に対して、それに対応する機械機構部分の小型化が、焦眉の課題となっている。特に、それを実現するための製作技術を開発することが急務である。ここで、単に機構を小型化しただけでは、動作制御のための情報収集と処理が行えないので、センサや電子回路、機能素子も含めた集積化が要求される。しかし、異種の素子を作る技術は各々大きく異なっており、個別にしか適用できないという問題があった。このため、異種プロセスを統合的した製作法の確立が必須である。
    本研究では、立体的なマイクロ構造、マイクロアクチュエータ、電子回路、光素子、など全く異なった機能の素子から成るシステム(マイクロメカトロニクスシステム)を容易に実現できる統合的な製作法を目的とした。製作法を具体的に検討するための対象として、微小光システム、走査マイクロプローブ顕微鏡(SPM)、ミリ波アンテナのスキャナをとりあげ、その概念設計・製作プロセスの開発・実験的検討を行った。
    (1)微小光システムについては、半導体レーザからの光を出力用の光ファイバーへなるべく低損失で結合するために、光軸合わせを行うマイクロ移動ステージを設計した。その製作法を検討した結果、半導体プロセスを中心とすることが望ましいが、3次元的な構造も作る必要があることが判った。このため、多結晶シリコン薄膜を望みの立体的形状に変形できるプロセス(通電加熱塑性変形法)を新たに開発した。このプロセスの第1ステップとして、薄膜を基板から立体的に持ち上げる工程があるが、これを一体化したマイクロアクチュエータの力で行うことを可能にした。即ち、外部からの手動操作によらず、電気信号を与えるだけで3次元マイクロ構造を自己構築する事を可能にした。作製した構造を静電気力で微細に動かせることを示した。
    (2)走査マイクロプローブ顕微鏡(SPM)については、nmオーダの微小な振動プローブ(ナノカンチレバ-)と試料表面の間に働く力を測定する、極めて高感度の原子間力顕微鏡を設計した。この場合ナノカンチレバ-の製作法が最大の技術課題であるため、電解液の膜を用いて探針先端を電解研磨加工する方法を開発した。これを別途開発した高感度光検出系と組み合わせ、振動プローブを試料表面に徐々に近づけた時の相互作用を計測した。この結果、試料近くの空気膜のダンピングが支配的な領域、ファンデルワールス力による吸引力の支配的な領域、表面の吸着力と弾性的な反発力の同時に働く領域、固体の弾塑性反発力の支配的な領域、の4領域を明瞭に区別することができた。最後の領域では、試料表面をナノメータの寸法で加工する可能性も示した。
    (3)ミリ波アンテナのスキャナは、アンテナの乗る溶融石英基板と駆動電極を付加したシリコン基板とをバルクマイクロマシニングして、両者を組み立てて製作することとした。アナテナ自体は薄膜のマイクロマシニングで作り、さらにミリ波の発信器は化合物半導体プロセスで作ったものを溶融石英基板の表面に実装する必要がある。即ち、化合物半導体プロセス、薄膜のマイクロマシニング、バルクマイクロマシニング、機械的組み立ての統合的製作法を検討することができた。アンテナと発信器を基板貫通配線を用いるなどの工夫で結合することができた。また、アンテナを載せた石英の可動部をシリコン基板上の支持構造及び電極と位置合わせし、可動部を静電気力により駆動できることを確かめた。
    以上の成果から、様々のマイクロマシニング技術を用いて、実際的なシステムを製作し、それが望みの機能を果たすことを確かめることができた。これにより、マイクロアクチュエータ、電子回路、光素子、など全く異なった機能の素子から成るシステム(マイクロメカトロニクスシステム)を容易に実現できる結合的な製作法の検討と基礎的な実証という、本研究の目的を満足することができた。

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  • 二重ゲートを有するシリコン超微細構造デバイスの作製とその量子輸送現象に関する研究

    研究課題/領域番号:07837002  1995年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  一般研究(C)

    平本 俊郎, 平川 一彦

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    配分額:1500000円 ( 直接経費:1500000円 )

    半導体超LSIデバイスの微細化は,その高集積化にともない急ピッチで進んでおり,近い将来,量子効果や単一電子現象などの特異な現象がSiデバイスでも起こることが期待されている.本研究は,将来のLSIへの応用を目指してSiの超微細構造デバイスを作製しその量子輸送現象の基礎研究を行うことを目的としている.
    まず,Siの微細加工に関しては,リソグラフィに依らず制御性の良いSi量子細線作製プロセスの開発に成功した.本プロセスでは,Si結晶の面方位に依存する異方性エッチングと選択酸化をSOI基板に適用し,10nm以下の線幅を達成した.線幅は,SOI基板のSi膜厚のみに依存しリソグラフィに依存しない.また,結晶の面方位を出すことで,極めて均一に細線を形成できる.次に,上記プロセス等を用いて二重ゲートMOSFET及び量子細線MOSFETの作製を行った.チャネル幅は10nm以下,チャネル長は約100nmである.ドレイン電流のゲート電圧依存性を測定したところ,77Kで大きな振動が観測され,この振動は室温でも観測された.種々の測定から,この振動は単一電子現象に起因するクーロンブロッケード振動であるとの結論を得た.また,さらに低温では,振動が複数の鋭いピークに分裂することから,チャネルが複数の量子ドットに分裂していることを明らかにした.
    以上のように,本研究ではSiデバイスにおいて明瞭な単一電子現象の観測に成功し,将来の単一電子現象のLSIデバイスへの応用に関して重要な指針を得た.

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  • 半導体量子位相デバイス

    研究課題/領域番号:06238104  1994年 - 1996年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  重点領域研究

    古屋 一仁, 奥村 次徳, 蒲生 健次, 榊 裕之, 平本 俊郎, 生駒 俊明

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    配分額:165600000円 ( 直接経費:165600000円 )

    GalnAsOMVPEにより三重バリア電子波共振器を作製し共鳴エネルギー幅測定からバリスティック電子のコヒーレンス長推定方法を研究し、電子ビーム描画により回折観測用超微埋め込みスリットを作製し電子波回折観測を行い、走査ホットエレクトロン顕微鏡動作に初めて成功した(古屋)。VLSIプロセスと互換性をもつシリコン異方性エッチングにより、リソグラフィ限界を越える微細なT字、十字および単一ドット構造を作製し、シリコン量子デバイスとVLSIとの集積化の基礎を固めた(生駒)。同プロセスを用いて極微細MOSFETを作製し、室温および低温での単一電子現象を観測し、理論的考察から、チャネルが複数のドットに分裂し、熱励起型ホッピング伝導が支配的であることを明らかに、室温動作シリコン量子デバイス実現を一歩近づけた(平本)。へき開量子井戸構造端面(エッジ)上に量子井戸を成長させて交叉部にT字形量子細線を形成し、一次元励起子束縛エネルギーの増大、偏波依存性を見出し、自己形成InAs量子箱トラップを有するGaAs/AlGaAsヘテロFETを作製し単一電子正孔捕縛を観測した(榊)。真空一貫プロセス埋め込み量子構造作製をめざし結晶成長中断条件把握と低エネルギーFIBその場注入およびMBE再成長によりGaAs埋め込みデルタドープ層形成に成功し、ホールおよびCV測定により高移動度の電子系形成を確認した(蒲生)。電界液中でSTMを用いて、n-GaAs表面に対して、局所的なエッチングおよび金属折出を行い、表面酸化状態、不純物濃度および基板電位依存性を明らかにし、エッチングメカニズムが探針からのホール注入によることを明らかにした(奥村)。

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  • New concept device utilizing silicon nano-structure

    1994年

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    資金種別:競争的資金

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  • 10nm scale low power MOSFET

    1994年

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    資金種別:競争的資金

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