2026/03/05 更新

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ヨシダ　カズヒロ
吉田　和弘
YOSHIDA KAZUHIRO
所属
総合研究院 未来産業技術研究所 教授
職名
教授
ホームページ
http://yoshida-www.pi.titech.ac.jp/
外部リンク

学位

  • 工学博士 （ 東京工業大学 ）

研究キーワード

  • マイクロロボット

  • 機能性流体

  • アクチュエータ

  • マイクロアクチュエータ

  • ソフトアクチュエータ

研究分野

  • 情報通信 / 機械力学、メカトロニクス

  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 機械要素、トライボロジー

  • 情報通信 / ロボティクス、知能機械システム

  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 設計工学

学歴

  • 東京工業大学   大学院 理工学研究科   制御工学専攻（博士後期課程）

    1986年4月 - 1989年3月

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  • 東京工業大学   大学院 理工学研究科   制御工学専攻（修士課程）

    1984年4月 - 1986年3月

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    国名： 日本国

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  • 横浜国立大学   工学部   電気工学科

    1980年4月 - 1984年3月

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    国名： 日本国

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経歴

  • 東京科学大学   総合研究院   教授

    2024年10月 - 現在

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  • 東京工業大学   科学技術創成研究院   教授

    2016年4月 - 2024年9月

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  • マサチューセッツ工科大学   客員研究員

    2015年7月 - 2015年9月

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  • 東京工業大学   精密工学研究所   教授

    2015年4月 - 2016年3月

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  • カリフォルニア大学サンタバーバラ校   客員研究員

    2008年10月 - 2009年3月

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  • 東京工業大学   精密工学研究所   助教授（准教授）

    1996年11月 - 2015年3月

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  • 東京工業大学   精密工学研究所   助手

    1989年4月 - 1996年11月

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所属学協会

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論文

  • Study on a Pumping Mechanism by Compressing the Flexible Membranes in Sequence with the Pressure of Electro Conjugate Fluid (ECF) Flow 査読 国際共著

    Kenji YAMAMOTO, Tatsuya MATSUBARA, Kazuhiro YOSHIDA, Joon-wan KIM

    Proc. of the 12th JFPS Int. Symp. on Fluid Power HIROSHIMA 2024   2D1-02   2025年2月

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    記述言語：英語  

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  • A Study on an Alternating Pressure System Using Electro-Rheological Clutches 査読

    Yuki MORI, Kazuhiro YOSHIDA, Joon-wan KIM

    Proc. of the 12th JFPS Int. Symp. on Fluid Power HIROSHIMA 2024   2D2-01   2025年2月

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    担当区分：責任著者   記述言語：英語  

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  • Fabrication of Biomimetic Cell Culture Membranes Using Robust and Reusable Nickel Micropillar Molds 査読 国際共著

    Taiki Otomo, Hyunsoo Noh, Tatsuya Matsubara, Deok-Ho Kim, Masashi Ikeuchi, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    BioChip Journal   2024年12月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Springer Science and Business Media LLC  

    Abstract

    In the practical application of organ-on-a-chip, mass production technology for flexible porous membranes is an essential element for mimicking the basement membrane of the body. Porous PDMS membrane is a promising material due to its high optical transparency, flexibility, and biocompatibility. However, the fabrication process is complex and costly. Even with soft lithography, a relatively straightforward method, there is a risk that the negative resist pillars used as molds peeling off from the substrate in mass production. In this study, we propose a novel mass production method for fabricating porous PDMS membranes using high-strength nickel (Ni) micropillars as molds by combining photolithography and electroforming technologies. The unibody structure of Ni micropillars ensures high reliability and provides a semi-permanent mold without degradation or detachment. We successfully fabricated two types of Ni micropillars and subsequently formed their corresponding porous PDMS membranes (D (diameter) = 8 μm, P (pitch) = 30 μm, and D = 10 μm, P = 20 μm). The porous PDMS membrane showed non-inferiority to the control group in terms of viability when cultured with human vascular endothelial cells. Furthermore, we showed that the porous PDMS membrane can be used to evaluate the vascular permeability of nanoparticles.

    DOI： 10.1007/s13206-024-00179-7

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    その他リンク： https://link.springer.com/article/10.1007/s13206-024-00179-7/fulltext.html

  • Development of a soft microfinger having rigidity anisotropy 査読

    Kazuhiro Yoshihara, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    2024 27th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT)   Paper No. 5   2024年11月

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    担当区分：責任著者   記述言語：英語  

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  • Three-dimensional AC electroosmotic micropump with high power density 査読

    Maho Watanabe, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim, Sang In Eom, Shinichi Yokota

    Journal of Micromechanics and Microengineering   33   105008   2023年8月

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    担当区分：責任著者   記述言語：英語  

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  • Study on oil-in-oil droplet generation based on flow-focusing geometry using EHD micropumps 査読

    Taiki Otomo, Akihiro Yasuda, Siqi Peng, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Proc. of Int. Conf. on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM2023)   PP5-052   2023年7月

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  • A microfluidic device integrated with a stretchable microporous membrane controlled by electro-conjugate fluid 査読

    Taiki Otomo, Tatsuya Matsubara, Kazuhiro Yoshida, Deok-Ho Kim, Masashi Ikeuchi, Joon-wan Kim

    Sensors and Actuators A: Physical   356   114332 - 114332   2023年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Elsevier {BV}  

    DOI： 10.1016/j.sna.2023.114332

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  • Soft actuator with switchable stiffness using a micropump-activated jamming system 査読

    Huy Hoang Huynh, Dong Han, Kazuhiro Yoshida, Michael De Volder, Joon-wan Kim

    Sensors and Actuators A   338   113449   2022年2月

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  • Study on a Low Pressure and Flowrate Driving of Micro Leg Joints for Soft Robots 査読

    Koji MICHISHITA, Kazuhiro YOSHIDA, Joon-wan KIM

    Proc. of 11th JFPS Int. Symp. on Fluid Power, Hakodate 2020 (Web. Proc.)   OS2-06   2021年10月

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  • A Study on a Mathematical Model for AC Electroosmosis Micropump 査読

    Yo MAKITA, Kazuhiro YOSHIDA, Sang In EOM, Joon-wan KIM

    Proc. of 11th JFPS Int. Symp. on Fluid Power, Hakodate 2020 (Web. Proc.)   OS2-01   2021年10月

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  • A multi-DOF soft microactuator integrated with flexible electro-rheological microvalves using an alternating pressure source 査読

    Thapanun Sudhawiyangkul, Kazuhiro Yoshida, Sang In Eom, Joon Wan Kim

    Smart Materials and Structures   30 ( 8 )   2021年8月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1088/1361-665X/ac0857

    Scopus

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  • A STUDY ON A MEMS ELECTRO-RHEOLOGICAL VALVE FOR HIGHER PRESSURE 査読

    Daichi Sugauchi, Kazuhiro Yoshida, Sang In Eom, Joon-wan Kim

    10th Int. Conf. on Fluid Power Transmission and Control (ICFP 2021) Conf. Proc. (Web Proc.)   2021年4月

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  • Recent Developments of Micro Hydraulic System Technologies 招待 査読

    Kazuhiro Yoshida

    10th Int. Conf. on Fluid Power Transmission and Control (ICFP 2021) Final Program   29 - 30   2021年4月

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  • Active microvalve driven by electro-conjugate fluid jet flow with a hydraulic power source on a chip 査読

    Tatsuya Matsubara, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Journal of Micromechanics and Microengineering   30 ( 10 )   105013 - 105013   2020年10月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：IOP Publishing  

    DOI： 10.1088/1361-6439/aba227

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    その他リンク： https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6439/aba227/pdf

  • Effective and efficient removing method of micromolds in UV-LIGA using CO2 laser ablation followed by O2/CF4 plasma finishing for high-aspect-ratio metallic microstructures 査読

    Dong Han, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    The International Journal of Advanced Manufacturing Technology   110 ( 11-12 )   3391 - 3405   2020年10月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Springer Science and Business Media LLC  

    DOI： 10.1007/s00170-020-06065-4

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    その他リンク： http://link.springer.com/article/10.1007/s00170-020-06065-4/fulltext.html

  • Fabrication, Experiment, and Simulation of a Flexible Microvalve-Integrated Microarm for Microgrippers Using Electrorheological Fluid 査読

    Joon-Wan Kim, Kazuhiro Yoshida, Toru Ide, Shinichi Yokota

    J. of Robotics and Mechatronics   32 ( 2 )   333 - 343   2020年4月

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  • Active sorting of droplets by using an ECF (Electro-conjugate Fluid) micropump 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Sensors and Actuators A: Physical   303   111702 - 111702   2020年3月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2019.111702

    Web of Science

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  • Performance of ECF Micropumps-integrated O/O (oil-in-oil) Droplet Generators 査読

    Joon-wan KIM, Zebing MAO, Kazuhiro YOSHIDA

    Proc. of 16th Int. Conf. on Flow Dynamics (ICFD2019)   386 - 387   2019年11月

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  • MEMS fabrication of a gap-controllable stencil mask for electrospray deposition 査読

    Nhat Dang NGUYEN, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan KIM

    Proc. of 4th Int. Symp. on Biomedical Engineering   284 - 285   2019年11月

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  • On-demand water-in-oil droplet generation using ECF (electro-conjugate fluid) micropump 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Nanotechnology Materials and Devices Conference Technical Program   68   2019年10月

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  • Droplet Sorter Using a Cantilever Actuated by Electro-conjugate Fluid Micropumps 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    23rd Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2019) Book of Abstracts   27   2019年10月

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  • Proposal of a MEMS-based Cooling System Using an ECF Micropump 査読

    Huy Hoang Huynh, Kazuhiro Yoshida, Joon-Wan Kim

    Int. Symp. on PRecision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM2019) Program & Proceedings   OP103   2019年7月

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  • Controlling electrospray-deposited pattern by changing electrical field on a stencil mask 査読

    Nhat Dang, Khoa NGUYEN, Kazuhiro YOSHIDA, Joon-wan KIM

    Proc. of 8th Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2019)   TH-D-1-4   2019年4月

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    記述言語：英語  

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  • A Study on an In-Pipe Mobile Micromachine Having a Fluid Inertia Micropump 査読

    Yuki Tamanoi, Ryota Horai, Kazuhiro Yoshida, Sang In Eom, d Joon-wan Kim

    Proc. of 8th Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2019)   TH-D-1-3   2019年4月

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    記述言語：英語  

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  • A study on a hybrid structure flexible electro-rheological microvalve for soft microactuators 査読

    Thapanun Sudhawiyangkul, Kazuhiro Yoshida, Sang In Eom, Joon-wan Kim

    Microsystem Technologies   2019年

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    記述言語：英語  

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  • A Micro Vertically-allocated SU-8 Check Valve and its Characteristics 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Microsystem Technologies   25 ( 1 )   245 - 255   2019年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1007/s00542-018-3958-3

    Web of Science

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  • A droplet-generator-on-a-chip actuated by ECF (electro-conjugate fluid) micropumps 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Microfluidics and Nanofluidics   23 ( 12 )   130   2019年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1007/s10404-019-2298-7

    Web of Science

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  • A novel bending microactuator with integrated flexible electrorheological microvalves using an alternating pressure source for multi-actuator systems 査読

    Thapanun Sudhawiyangkul, Kazuhiro Yoshida, Sang In Eom, Joon-wan Kim

    Microsystem Technologies   2019年

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    記述言語：英語  

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  • Developing O/O (oil-in-oil) droplet generators on a chip by using ECF (electro-conjugate fluid) micropumps 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Sensors and Actuators B   296 ( 1 )   126669   2019年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.snb.2019.126669

    Web of Science

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  • Development of MEMS-fabricated Bidirectional ECF (Electro-Conjugate Fluid) micropumps 査読

    Tatsuya Matsubara, Huy Hoang Huynh, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Sensors and Actuators A   295   317 - 323   2019年

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    記述言語：英語  

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  • Releasing large-area SU-8 structures without using any sacrificial layers 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Microelectronic Engineering   212   53 - 60   2019年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.mee.2019.04.006

    Web of Science

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  • Fast packaging by a partially-crosslinked SU-8 adhesive tape formicrofluidic sensors and actuators 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Sensors and Actuators A   289   77 - 86   2019年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2019.02.020

    Web of Science

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  • Alleviation of the adhesive protrusion problem at the bonding interface of free-standing microstructures 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    J. of Mechanical Science and Technology   33 ( 2 )   749 - 757   2019年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1007/s12206-019-0129-0

    Web of Science

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  • A Novel AC Electroosmotic Micropump Using T-Shaped Electrode Array 招待 査読

    Kazuhiro Yoshida, Kenta Asai, Sang In Eom, Joon-wan Kim

    Proc. of 15th Int. Conf. on Flow Dynamics (ICFD2018)   546 - 547   2018年11月

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    記述言語：英語  

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  • Proposal on manipulating droplets by a cantilever check valve operated by an ECF micropump 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    22nd Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2018) Conf. Program   Paper ID58   2018年10月

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    記述言語：英語  

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  • Development of Au-ITO composite wiring for the back UV-LIGA 査読

    M. Ogawa, K. Yoshida, J.-w. Kim

    22nd Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2018) Conf. Program   Paper ID62   2018年10月

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    記述言語：英語  

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  • Proposal on an effective removing method of micromolds in UV-LIGA by combining CO2 laser engraving with O2/CF4 plasma etching 査読

    Dong HAN, Kazuhiro Yoshida, d Joon-wan Kim

    22nd Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2018) Conf. Program   Paper ID60   2018年10月

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    記述言語：英語  

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  • Development of a UV-curable PEDOT:PSS based flexible electro-rheological microvalve (FERV) 査読

    Thapanun Sudhawiyangkul, Kazuhiro Yoshida, Sang In Eom, Joon-wan Kim

    22nd Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2018) Conf. Program   Paper ID07   2018年10月

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    記述言語：英語  

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  • Development of MEMS-fabricated Bidirectional ECF micropump 査読

    Tatsuya Matsubara, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Proc. of Int. Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2018)   81   2018年9月

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    記述言語：英語  

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  • Fast bonding technology by using partially-crosslinked SU-8 for MEMS-fabricated actuators and sensors 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Proc. of Int. Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2018)   54   2018年9月

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    記述言語：英語  

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  • Formation of Micropillars for Higher Performance of ECF Planar Micropumps 査読

    Huy Hoang Huynh, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Int. Symp. on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM2018) Program & Proceedings   Op064   2018年7月

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    記述言語：英語  

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  • Research on the Protrusion Problem in the Bonding Process of Free-standing SU-8 Microstructure 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Int. Symp. on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM2018) Program & Proceedings   Op010   2018年7月

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    記述言語：英語  

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  • A Novel Hybrid Removal Technology for High-Aspect-Ratio SU-8 Micromolds in ECF (Electro-Congugate Fluid) Micropumps Fabrication by UV-LIGA 査読

    Dong Han, Kazuhiro Yoshida, Joon-Wan Kim

    IEEE/ASME J. of Microelectromechanical Systems   27 ( 5 )   818 - 826   2018年

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  • Study on the fabrication of a SU-8 cantilever vertically-allocated in a closed fluidic microchannel 査読

    Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim

    Microsystem Technologies   24 ( 5 )   2473 - 2483   2018年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1007/s00542-017-3611-6

    Web of Science

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  • Elastic Inflatable Actuators for Soft Robotic Applications 査読

    Benjamin Gorissen, Dominiek Reynaerts, Satoshi Konishi, Kazuhiro Yoshida, Joon-Wan Kim, Michael De Volder

    ADVANCED MATERIALS   29 ( 43 )   1604977   2017年11月

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  • A study on an AC electroosmotic micropump using a square pole - Slit electrode array 査読

    Kazuhiro Yoshida, Tomoyuki Sato, Sang In Eom, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   265   152 - 160   2017年10月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2017.08.026

    Web of Science

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  • Proposal of a peristaltic micropump using dielectric elastomer actuators fabricated by MEMS technology 査読

    S. I. Eom, K. Miyata, K. Asai, J-W. Kim, K. Yoshida

    ELECTROACTIVE POLYMER ACTUATORS AND DEVICES (EAPAD) 2017   10163   101631L-1 - 1016311-6   2017年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1117/12.2258575

    Web of Science

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  • DEVELOPMENRT OF A MEMS-BASED TWO-DOF ER BENDING ACTUATOR SYSTEM USING AN ALTERNATING PRESSURE SOURCE 査読

    Tomoya Miyoshi, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim, Sang In Eom

    Proc. of 10th JFPS Int. Symp. on Fluid Power, Fukuoka 2017   1B16 (3pp)   2017年

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  • Development of a High Power Piezoelectric Micropump Using Fluid Inertia 査読

    K. Yoshida, R. Horai, S. I. Eom, T. Nagata, K. Asai

    Proc. 7th Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2017)   16   2017年

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  • Novel AC Electroosmotic Micropump Using Slit Electrode , Multiple Electrodes 査読

    K. Asai, K. Yoshida, S. I. Eom, J.-w. Kim

    The 21st Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2017)   111 - 114   2017年

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  • Thumbnail-sized Powerful Piezoelectric Micropumps as a Fluid Power Source 査読

    Jung-Ho Park, Young-Bog Ham, So-Nam Yun, Kazuhiro Yoshida, Shinichi Yokota

    Conf. Proc. of BIT's 3rd Annual World Congress of Smart Materials (WCSM-2017)   160   2017年

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  • An ECF-jet driven mini hydraulic piston actuator 査読

    Sang In Eom, Hiroki Masuda, Shinichi Yokota, Kazuhiro Yoshida, Kazuya Edamura

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   247   164 - 171   2016年8月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2016.05.030

    Web of Science

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  • An MEMS-based multiple electro-rheological bending actuator system with an alternating pressure source 査読

    Tomoya Miyoshi, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim, Sang In Eom, Shinichi Yokota

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   245   68 - 75   2016年7月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2016.04.041

    Web of Science

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  • A Study on a High Pressure Piezoelectric Micropump Using Fluid Inertia for Fluid Power Sources 査読

    K. Yoshida, R. Horai, S. I. Eom, T. Nagata, K. Asai

    Proc. of 20th Int. Conf. on Mechatronics Technology   82 - 83   2016年

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  • A MEMS-based two-DOF PDMS bending actuator for mupltiple ER microactuator systems 査読

    T. Miyoshi, K. Yoshida, J.-w. Kim, S. I. Eom

    Proc. of 20th Int. Conf. on Mechatronics Technology   86 - 87   2016年

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  • A Study on a Micropump Using Stacked Diaphragm-Type Dieelctric Elastomer Actuators - Development of Novel Fabrication Method 査読

    S. I. Eom, K. Asai, K. Yoshida

    Proc. of 20th Int. Conf. on Mechatronics Technology   118 - 119   2016年

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  • Ingestible, Controllable, and Degradable Origami Robot for Patching Stomach Wounds 査読

    Shuhei Miyashita, Steven Guitron, Kazuhiro Yoshida, Shuguang Li, Dana D. Damian, Daniela Rus

    2016 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ROBOTICS AND AUTOMATION (ICRA)   909 - 916   2016年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/ICRA.2016.7487222

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  • Study on Fabrication of High Aspect Ratio TPSE by using DRIE 査読

    M. Shimizu, K. Nishioka, A. Matsutani, K. Yoshida, J. W. Kim

    Proc. of 20th Int. Conf. on Mechatronics Technology   32 - 33   2016年

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  • MEMS技術を応用した交流圧カシステムのための2自由度ソフトアクチュエータ

    2016.16   C1 - 1   2016年

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1299/jsmemdt.2016.16.c1-1

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  • MEMS技術を応用したマイクロ交流圧力源搭載形2自由度ERアクチュエータシステムに関する研究

    2016   J1110106 - J1110106   2016年

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1299/jsmemecj.2016.j1110106

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  • A study on a soft microgripper using MEMS-based divided electrode type flexible electro-rheological valves 査読

    Kazuhiro Yoshida, Noboru Tsukamoto, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota

    MECHATRONICS   29   103 - 109   2015年8月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.mechatronics.2014.07.007

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  • Proposal of a multiple ER microactuator system using an alternating pressure source 査読

    Tomoya Miyoshi, Kazuhiro Yoshida, Sang In Eom, Shinichi Yokota

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   222   167 - 175   2015年2月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2014.12.002

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  • DEVELOPMENT OF A MEMS-BASED ELECTRO-RHEOLOGICAL MICROFINGER SYSTEM WITH AN ALTERNATING PRESSURE SOURCE 査読

    T. Miyoshi, K. Yoshida, J. -W. Kim, S. I. Eom, S. Yokota

    2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)   823 - 826   2015年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181050

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  • Development of a Soft Microgripper Using Divided-Electrode Type Flexible ER Valves 査読

    K. Yoshida, S. Hara, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 6th Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2015)   464 - 465   2015年

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  • A Multiple-Microactuator System Using a High-Frequency Pressure Source 査読

    Kazuhiro Yoshida, Satoshi Yamamoto, Sang In Eom, Shinichi Yokota

    SENSORS AND MATERIALS   27 ( 4 )   317 - 328   2015年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.18494/SAM.2015.1070

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  • A novel soft microgripper using divided-electrode type flexible ER valves 査読

    Kazuhiro YOSHIDA, Souta HARA, Sang In EOM, Shinichi YOKOTA

    Bulletin of the JSME, Mechanical Engineering J.   2 ( 6 )   Paper No. 15-00340   2015年

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    記述言語：英語   出版者・発行元：The Japan Society of Mechanical Engineers  

    For maintenance microrobots for small diameter pipes in power plants and so on, a novel microgripper using divided-electrode type flexible electro-rheological valves (DE-FERVs) was proposed and developed. Each bendable finger consisted of the DE-FERV and a hydraulic rubber actuator and was several millimeters long. The DE-FERV had an axially divided parallel plate electrode pairs in a flexible tube. Each parallel plate electrode pair controlled the electro-rheological fluid (ERF) flow by changing the viscosity with the electric field. The DE-FERV had both high flexibility and sufficient pressure control range. The hydraulic rubber actuator had plural integrated walls inside to restrict its radial expansion and axially extended by the inner pressure controlled by the DE-FERV. A finger large model was fabricated and experimentally characterized. Then, a gripper having two fingers was constructed and the object handling was demonstrated.

    DOI： 10.1299/mej.15-00340

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  • Characterization of an AC Electroosmotic Micropump Using Plate-Cylinder Electrode Array 査読

    K. Yoshida, M. Watanabe, J.-W. Kim, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of the 19th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2015)   C10   2015年

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  • A Study on a Micropump Using Stacked Diaphragm -Type Dielectric Elastomer Actuators - Concept , Basic Investigations - 査読

    S. I. Eom, R. Hourai, K. Yoshida, S. Yokota

    Proc. of the 19th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2015)   C13   2015年

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  • Fabrication of a MEMS-Based Electro-Rheological Microfinger System with an Alternating Pressure Source 査読

    T. Miyoshi, K. Yoshida, J.-W. Kim, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 6th Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2015)   476 - 477   2015年

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  • Development of a MEMS-Based ER Microgripper Using Alternating-Pressure Source 査読

    T. Miyoshi, K. Yoshida, J.-W. Kim, S. I. Eom, S. Yokota

    Conf. Proc. of 14th Int. Conf. on New Actuators & 8th Int. Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems (ACTUATOR14)   394 - 397   2014年

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  • Characteristics of MEMS-Based Divided Electrode Type Flexible Electro-Rheological Valve 招待 査読

    K. Yoshida, N. Tsukamoto, J.-W. Kim, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 9th JFPS Int. Symp. on Fluid Power, Matsue 2014   435 - 437   2014年

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  • Fabrication of a MEMS-Based ER Microgripper with Alternating-Pressure Source 査読

    T. Miyoshi, K. Yoshida, J.-W. Kim, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 9th JFPS Int. Symp. on Fluid Power, Matsue 2014   438 - 441   2014年

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  • Development of a Novel AC Electroosmosis Micropump Using Plate-Cylinder Electrode Pair 査読

    K. Yoshida, M. Watanabe, J.-W. Kim, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 18th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2014)   Paper ID: 45   2014年

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  • Proposal of a Multiple Microactuators System Using High Frequency Alternating-Pressure Source 査読

    K. Yoshida, S. Yamamoto, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 18th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2014)   Paper ID: 69   2014年

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  • A silicone rubber bimorph actuator driven by bidirectional ECF jet generator 査読

    S. I. Eom, S. Yokota, J. W. Kim, K. Yoshida, K. Edamura

    Proc. of 17th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2013)   149 - 151   2013年

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  • A Study on Multi-DOF Electro-Rheological Actuator with Shape Adaptation Capability 査読

    K. Yoshida, S. Hakoda, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 8th Int. Conf. on Fluid Power Transmission and Control (ICFP2013)   542 - 545   2013年

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  • Development of a multi-DOF ER microactuator system with alternating-pressure source 査読

    K. Yoshida, T. Miyoshi, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 5th Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2013)   78   2013年

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  • A Microgripper Using MEMS-Based Divided Electrode Type Flexible Electro-Rheological Valves 査読

    K. Yoshida, N. Tsukamoto, J. W. Kim, S. Yokota

    Proc. of 17th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2013)   107 - 109   2013年

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  • Development of Multi-DOF Electro-Rheological Actuator with Shape Adaptation Capability - Fundamental Experiments of Basic Unit Large Model - 査読

    K. Yoshida, S. Hakoda, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 5th Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2013)   85   2013年

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  • An AC Electroosmotic Micropump Using Square Pole-Slit Electrodes 査読

    K. Yoshida, T. Sato, S. I. Eom, J. W. Kim, S. Yokota

    Proc. of 5th Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2013)   141   2013年

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  • A Divided Electrode Type Flexible Electro-Rheological Valve Fabricated by MEMS Technologies 査読

    K. Yoshida, N. Tsukamoto, J. W. Kim, S. Yokota

    Proc. of 12th Int. Conf. on Fluid Control, Measurements and Visualization (FLUCOME2013)   OS5-01-1(6pp)   2013年

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  • Development of an AC Electroosmotic Micropump Using Square Pole - Slit Electrodes 査読

    K. Yoshida, T. Sato, S. I. Eom, J. W. Kim, S. Yokota

    Proc. of 17th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2013)   146 - 148   2013年

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  • An intelligent microactuator robust against disturbance using electro-rheological fluid 査読

    Kazuhiro Yoshida, Kazuhito Kamiyama, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   175   101 - 107   2012年3月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2011.12.049

    Web of Science

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  • A Novel Microgripper Using Flexible Electro-Rheological Valves 査読

    K. Yoshida, S. Hara, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 13th Mechatronics Forum Int. Conf. (Mechatronics 2012)   3   834 - 839   2012年

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  • A Multi-DOF ER Microactuator System Using Alternating-Pressure Source 査読

    K. Yoshida, T. Miyoshi, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 16th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2012)   1 - 5   2012年

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  • An ER microactuator with built-in pump and valve 査読

    Kazuhiro Yoshida, Tomohisa Muto, Joon-Wan Kim, Shinichi Yokota

    International Journal of Automation Technology   6 ( 4 )   468 - 475   2012年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Fuji Technology Press  

    DOI： 10.20965/ijat.2012.p0468

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  • Study about Micro Cylinder for Bidirectional Rolling Diaphragm Actuator Using ECF Jet 査読

    S. I. Eom, H. Masuda, S. Yokota, K. Yoshida, K. Edamura

    Proc. of 15th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT 2011)   461 - 464   2011年

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  • A Micro Mobile Hydraulic System Using Electro-Rheological Fluid 査読

    K. Yoshida, T. Anzai, J. W. Kim, S. Yokota

    Proc. of 8th JFPS Int. Symp. on Fluid Power   471 - 476   2011年

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  • An ER Microvalve Having Two-DOF Flexibility 査読

    K. Yoshida, S. Hakoda, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 15th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT 2011)   46 - 49   2011年

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  • A Study on Micro Flow Generator Using AC Electroosmosis 査読

    K. Yoshida, K. Muramatsu, J. W. Kim, S. I. Eom, S. Yokota

    Proc. of 4th Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT 2011)   67 - 68   2011年

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  • A Micro Rolling Diaphragm Actuator Equipped with an ER Valve 査読

    K. Yoshida, T. Anzai, J. W. Kim, S. Yokota

    Proc. of 14th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT 2010)   147 - 151   2010年

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  • A Microgripper Using Flexible Electro-Rheological Valves 査読

    K. Yoshida, T. Ide, J. W. Kim, S. Yokota

    WAC2010 CD-ROM Proc.   2010年

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  • High-Power Piezoelectric Micropumps Using Resonance Drive and/or Fluid Inertia Effect 査読

    J.-H. Park, Y.-B. Ham, S.-N. Yun, M.-Y. Seo, K. Yoshida, S. Yokota

    Proc. 7th Int. Workshop on Microfactories   464 - 469   2010年

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  • An ER Microactuator with Built-in Pump and Valve 査読

    K. Yoshida, T. Muto, J. W. Kim, S. Yokota

    ACTUATOR 10, CONFERENCE PROCEEDINGS   556 - 559   2010年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • New microactuators using functional fluids

    Shinichi Yokota, Kazuhiro Yoshida, Kenjiro Takemura, Joon-Wan Kim

    Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs   91 - 103   2010年

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    記述言語：英語   掲載種別：論文集(書籍)内論文   出版者・発行元：Springer London  

    DOI： 10.1007/978-1-84882-991-6_9

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  • Magneto-rheological valve-integrated cylinder and its application 査読

    K. Yoshida, T. Soga, M. Kawachi, K. Edamura, S. Yokota

    PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART I-JOURNAL OF SYSTEMS AND CONTROL ENGINEERING   224 ( I1 )   31 - 40   2010年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1243/09596518JSCE740

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  • A flexible electro-rheological microvalve (FERV) based on SU-8 cantilever structures and its application to microactuators 査読

    Joon-Wan Kim, Kazuhiro Yoshida, Kumiko Kouda, Shinichi Yokota

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   156 ( 2 )   366 - 372   2009年12月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2009.10.013

    Web of Science

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  • A Microgripper Using Electro-Rheological Fluid 査読

    K. Yoshida, T. Ide, J. W. Kim, S. Yokota

    ICROS-SICE Int. Joint Conf. 2009 (ICCAS-SICE 2009)   2009年

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  • Forced Liquid Cooling System Using Thin Planar ECF Pump for High Power Electronic Chips 査読

    S. Yokota, K. Yoshida, W. -S. Seo, K. Koizumi, J. W. Kim, K. Edamura

    ACTUATOR 08, CONFERENCE PROCEEDINGS   226 - +   2008年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • 3204 MEMS技術によるECFジェットアクチュエータ(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

    金 俊完, 尾川 宜嗣, 横田 眞一, 吉田 和弘, 枝村 一弥

    年次大会講演論文集   2008   153 - 154   2008年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    We are studying microactuators using an electrode-conjugate fluid (ECF). ECF is a functional fluid that produces a powerful flow (ECF jet) between an electrode pair which is subjected to high DC voltage. In our past experiments, we realized that pressure generated by this ECF jet increases with downsizing of the electrode pair. Therefore it is considered that the pressure due to ECF jet is useful as a driving source of the microactuator. We confirmed that high pressure was obtained by a needle-ring electrode pair composed of a needle-shaped electrode and a ring-shaped electrode, but there were the problems in the reproducibility and downsizing of the electrode pair in a current method. In order to solve those problems, we propose a MEMS fabrication method for a unified needle-ring electrode pair and prove the feasibility of the method.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2008.7.0_153

    CiNii Books

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  • Proposition of an ER Microactuator with Inherent Position Feedback Mechanism 査読

    K. Yoshida, K. Kamiyama, J. W. Kim, S. Yokota

    The Seventh JFPS International Symposium on Fluid Power "JFPS Toyama 2008"   2008 ( 7 )   551 - 554   2008年

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    記述言語：英語   出版者・発行元：The Japan Fluid Power System Society  

    The paper proposes and develops a novel smart ER microactuator with inherent position feedback mechanism. The microactuator consists of a pair of movable and fixed parallel plate electrodes with variable gap length and an upstream restrictor, and ERF (electro-rheological fluid) is supplied as a working fluid. By applying voltage to the electrodes, with the increased pressure drop due to ERF viscosity increase, the electrode gap length i.e. the output displacement increases. Also the microactuator can suppress the displacement due to external force by the inherent position feedback mechanism. The mechanism utilizes increase of the flow resistance between the electrodes for decrease of the electrode gap length. In this paper, the structure and working principle are revealed and the mathematical model is derived. Then, a microactuator is fabricated and the characteristics are experimentally clarified. Furthermore, a mechanism to magnify the output displacement is proposed and the validity is confirmed through experiments.

    DOI： 10.5739/isfp.2008.551

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  • ECF Microactuator with Needle-Ring Electrodes by MEMS Technology 査読

    J. W. Kim, Y. Ogawa, S. Yokota, K. Yoshida, K. Edamura

    12th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT 2008)   2008年

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  • 3205 出力変位を拡大した位置フィードバック形ERマイクロアクチュエータ(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

    吉田 和弘, 神山 和仁, 金 俊完, 横田 眞一

    年次大会講演論文集   2008   155 - 156   2008年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    The paper presents a novel position feedback type ER microactuator with displacement magnification unit. We have proposed and developed a position feedback type ER microactuator that can not only control the output displacement by the applied voltage but also suppress the displacement due to external force using the inherent position feedback mechanism. However, the output displacement range has been required to enlarge to extend the application fields. In this paper, a displacement magnification unit utilizing the control pressure in the actuator is proposed and developed. The structure and working principle of the displacement magnification unit is clarified; then a micoactuator using the unit is fabricated and experimentally characterized.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2008.7.0_155

    CiNii Books

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  • A high performance planar pump using electro-conjugate fluid with improved electrode patterns 査読

    Woo-Suk Seo, Kazuhiro Yoshida, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   134 ( 2 )   606 - 614   2007年3月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2006.05.021

    Web of Science

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  • New Microactuators Using Functional Fluids

    S. Yokota, K. Yoshida, K. Takemura, J-W Kim

    Proc. the 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs   41 - 44   2007年

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  • Flexible Electro-rheological Microvalve (FERV) Based on SU-8 Cantilever Structures and its Application to Microactuators 査読

    J. W. Kim, K. Yoshida, K. Kouda, S. Yokota

    LDIA2007   2007年

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータ 査読

    吉田和弘, 小木曽太郎, 横田眞一

    日本機械学会論文集（C編）   73 ( 733 )   2508 - 2513   2007年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    The paper proposed and developed a flexible ER microactuator called FERMA for in-pipe working micromachines, medical micro robots, and so on. An ER microvalve has a narrow flow channel with electrodes and controls flow of homogeneous electro-rheological (ER) fluid using the apparent viscosity change in an electric field. A conventional ER microactuator that consists of the ER microvalve and a fluid microactuator features simple structure, however, it is difficult to realize a flexible actuator due to the rigidity of the ER microvalve having sufficient channel length for pressure drop. To overcome the problem, we proposed an FERMA having a flexible ER valve called FERV inside a flexible tube. In the proposed FERV, an insulating thin flexible spacer with a slit was sandwiched by a pair of thin electrode sheets and they were wrapped by rubber. The slit in the spacer and two electrode sheets formed a flow channel for an ER valve. In this paper, we fabricated a two-port FERV with 4×3×9mm^3 in size and confirmed the low flexural rigidity and the static characteristics experimentally. Then, we fabricated a three-port FERV and clarified the static and dynamic characteristics experimentally. Finally, we fabricated an FERMA with the three-port FERV and a bellows type flexible tube with 8mm outside diameter and 8mm length and investigated experimentally the static and dynamic characteristics in linear and bending motions. The feasibility of the proposed FERMA was demonstrated.

    DOI： 10.1299/kikaic.73.2508

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  • A Micro Fluid Power Source Using Fluid Inertia Effect in a Pipe for High Viscosity Fluids 査読

    K. Yoshida, Y. Osanai, T. Seto, K. Takagi, S. Yokota

    2nd JSME-KSME Joint International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT 2007)   2007年

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  • ECF Micromotor Using MEMS Technology 査読

    J. W. Kim, Y. Nishida, S. Yokota, K. Yoshida, K. Edamura

    11th Int. Conf. on Mechatronoics Technology (ICMT2007)   2007年

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  • Forced Liquid Cooling System Using Planar ECF Pump for VLSI Chips 査読

    W.-S. Seo, K. Yoshida, S. Yokota, K. Edamura, Y.-B. Ham

    11th Int. Conf. on Mechatronoics Technology (ICMT2007)   2007年

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  • Proposition of a 3-DOF ER Microactuator with Built-in Pump and Valve 査読

    K. Yoshida, Y. Osanai, S. Yokota

    2nd Int. Forum on Systems and Mechatronics (ISFM 2007)   2007年

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  • The use of liquid crystals as electrorheological fluids in microsystems: model and measurements 査読

    M De Volder, K Yoshida, S Yokota, D Reynaerts

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING   16 ( 3 )   612 - 619   2006年3月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1088/0960-1317/16/3/017

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  • 5620 MEMS技術を用いたECFマイクロモータの開発(J20-2 メカニカルシステムとその知能化(2),J20 メカニカルシステムとその知能化)

    金 俊完, 西田 吉人, 横田 眞一, 吉田 和弘, 枝村 一弥

    年次大会講演論文集   2006   337 - 338   2006年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    We propose the new advanced micromotor integrated with Electro-conjugated Fluid (ECF) jet and MEMS fabrication technology. To realize three-dimensional complex structures of ECF micromotor, we present the fabrication method of multilayer combined with two different kinds of thick photoresists: one is for microstructure, while the other is used sacrificially. Electrodes for ECF jet and the first layer were successfully fabricated. As a result of ECF jet observed in the stator whose inner diameter was 500μm, we showed that improvement of surface flatness for the following layer could realize MEMS-based ECF micromotor.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2006.7.0_337

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  • A Full-Wave Rectifying Piezoelectric Micro Fluid Power Source Using Fluid Inertia Effect In Pipes 査読

    K. Yoshida, K. Sugiura, S. Yokota

    10th Int. Conf. in Mechatronics Technology (ICMT2006)   2006年

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  • Flexible Electro-rheological (ER) Microvalve Based on Flexible SU-8 Cantilever Structures 査読

    J. W. Kim, K. Yoshida, K. Kohda, S. Yokota

    10th International Conference on Mechatronics Technology   2006年

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  • Fabrication of Flexible Electro-Rheological (ER) Microvalve Based on Flexible SU-8 Cantilever Structures 査読

    K. Yoshida, J. W. Kim, K. Kohda, S. Yokota

    10th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR 2006)   2006年

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Electrorheological Liquid Crystals: A New Rheologic Fluid for Microsystmes 査読

    M. De Volder, K. Yoshida, S. Yokota, D. Reynaerts

    10th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR 2006)   2006年

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • New microactuators using functional fluids

    S. Yokota, K. Yoshida, K. Takemura, J. W. Kim

    The 1st International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs   35 - 38   2006年

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  • Electrorheologic liquid crystals in microsystems: model and measurements

    Michaël De Volder, Kazuhiro Yoshida, Shinichi Yokota, Dominiek Reynaerts

    Proceedings of 1st IEEE International Conference on Nano Micro Engineered and Molecular Systems, 1st IEEE-NEMS   236 - 241   2006年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/NEMS.2006.334694

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  • フェライト粒子を用いたMR流体を作動流体とした制御弁 査読

    吉田和弘, 高橋寛如, 朴 重濠, 横田眞一, 河内 仁, 枝村一弥

    日本機械学会論文集（C編）   72 ( 714 )   457 - 463   2006年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    A simple control valve using a magneto-rheological (MR) fluid was proposed and called the MR valve. The MR valve utilizes the apparent viscosity controllability of the MR fluid in magnetic field and controls high-level fluid power without moving parts. However, conventional MR fluids have high base viscosities to disperse heavy soft iron particles and lose fluid power in pipes. In this study, low base viscosity MR fluid using lightweight ferrite particles was proposed, developed and applied to an MR valve. First, four MR fluids were fabricated with different compositions and the MR fluid to minimize the MR valve was experimentally selected. Second, a small-sized three-port MR valve using a permanent magnet was proposed and the design procedure was theoretically derived. Third, a three-port MR valve was fabricated and the characteristics were experimentally clarified. Also, as an application of the MR valve, a bellows-driven one-link manipulator was fabricated and tested.

    DOI： 10.1299/kikaic.72.457

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  • 4105 管路内の流体慣性を応用した全波整流形圧電マイクロポンプの開発(S67-2 アクチュエータシステム(2),S67 アクチュエータシステム)

    吉田 和弘, 杉浦 啓太, 瀬戸 毅, 高城 邦彦, 横田 眞一

    年次大会講演論文集   2006   117 - 118   2006年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    A full-wave rectifying piezoelectric micropump using fluid inertia effect in pipes was proposed and developed for millimeter-sized micromachines using high density fluid power. The proposed pump has pump chambers upper and lower sides of a piston driven by a piezoelectric element, each of which has an inlet check valve and an outlet pipe in place of a check valve and produces outflow alternately not only in pumping period but also in suction one by using fluid inertia effect in the outlet pipe and liquid column separation. The fabricated pump showed higher no-load flow rate and realized a linear aquadrive system.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2006.4.0_117

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  • A Thin-Planar Pump for Liquid Cooling System Using ECF-Jet 査読

    W.-S. Seo, S. Yokota, K. Yoshida, K. Edamura

    Proc. 1st Int. Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2005)   1 - 4   2005年

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  • 2308 ECFを応用した高発熱電子チップのための強制液冷システム(J23-2 メカニカルシステムとその知能化(2),J23 メカニカルシステムとその知能化,2005年度年次大会)

    徐 佑昔, 吉田 和弘, 横田 眞一, 枝村 一弥

    年次大会講演論文集   2005   103 - 104   2005年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    This paper presents a liquid cooling concept for heat rejection of high power electronic chips existing in notebook computers etc. The design, fabrication, and performance of the thin-planar ECF pump and forced-liquid cooling system are summarized. The thin-planar ECF pump consists of a pump housing and electrode substrate with overall dimension of 280mm×190mm×1mm, and achieves maximum flow rate and output pressure of 5.5cm^3/s and 7.1 kPa, respectively, at an applied voltage of 2.0 kV. The forced-liquid cooling system constructed with the thin-planar ECF pump, liquid-cooled heat sink, and thermal test chip removes input power up to 80 W keeping the chip surface temperature below 70℃. The experimental results demonstrate that the feasibility of forced-liquid cooling system using ECF is confirmed as an advanced cooling solution on next-generation notebook computers.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2005.7.0_103

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  • 2902 フレキシブルERマイクロアクチュエータの基本特性(S63 アクチュエーターシステム)

    吉田 和弘, 小木曽 太郎, 横田 眞一

    年次大会講演論文集   2005   265 - 266   2005年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    The paper describes a FERMA (Flexible ER Micro Actuator) for in-pipe working micromachines, medical microrobots, and so on. The FERMA consists of a FERV (Flexible ER Valve) and a flexible tube. The FERV is a rubber-molded two electrode sheets with an insulating flexible slit spacer. By the applied voltage, the FERV controls the pressure and flow rate of the homogeneous ER fluid utilizing the viscosity change. In this paper, a two-port FERV was fabricated with 4mm×3mm×9mm in size and the flexural rigidity and the static characteristics were experimentally clarified. Then, an FERMA was fabricated with a three-port FERV and a bellows type flexible tube. Through experimental investigations, basic effectiveness of the FERMA was confirmed.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2005.4.0_265

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  • A Piezoelectric Micropump Using Fluid Inertia in Pipe and Its Application 査読

    K. Yoshida, Y.-O. Juneg, T. Seto, K. Takagi, J.-H. Park, S. Yokota

    6th JFPS Int. Symp. on Fluid Power, Tsukuba 2005   2005 ( 6 )   688 - 693   2005年

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    記述言語：英語   出版者・発行元：The Japan Fluid Power System Society  

    For millimeter-sized fluid-driven micromachines performing power-needed tasks, we proposed a novel micropump using fluid inertia in an outlet pipe. The paper describes the pump structure for higher output power and an application of the micropump to a micro fluid power system. First, a simple nonlinear mathematical model with lumped parameters was proposed and the validity was confirmed comparing the simulation and experimental results. Second, based on the simulations varying the sizes of the outlet pipe and the diaphragm, the pump structure for higher output power was obtained and the validity was verified through experiments. Finally, as an application of the micropump, a position control microsystem was fabricated using the micropump, a microvalve using magneto-rheological fluid valve-body, and a bellows microactuator. The characteristics were experimentally clarified and the validity was confirmed.

    DOI： 10.5739/isfp.2005.688

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  • Flexible ER Microactuator Using Electro-Rheological Fluid 査読

    K. Yoshida, T. Ogiso, S. Yokota

    9th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2005)   2005年

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  • Study of valve-integrated microactuator using homogeneous electro-rheological fluid 査読

    K Yoshida, JH Park, H Yano, S Yokota, S Yun

    SENSORS AND MATERIALS   17 ( 3 )   97 - 112   2005年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    Web of Science

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  • A Magneto-Rheological Valve-Integrated Cylinder and Its Application 査読

    K. Yoshida, T. Soga, S. Yokota, M. Kawachi, K. Edamura

    Power Transmission and Motion Control (PTMC2005)   2005年

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  • Micro actuators using functional fluids and the systems 査読

    S. Yokota, K. Yoshida, K. Edamura

    Proceedings of the Sixth International Conference on Fluid Power Transmission and Control   A71 - A76   2005年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    Web of Science

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  • A high output-power piezoelectric micropump using inertia of pipe 査読

    K Yoshida, YO Jung, T Seto, K Takagi, JH Park, S Yokota

    Proceedings of the Sixth International Conference on Fluid Power Transmission and Control   394 - 397   2005年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    Web of Science

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  • A high performance planar ECF pump for liquid cooling of high power electronic chips 査読

    S Yokota, WS Seo, K Yoshida, K Edamura

    Proceedings of the Sixth International Conference on Fluid Power Transmission and Control   234 - 237   2005年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • A Micro Fluid Power System Using Magneto-Rheological Fluid Valve-Body 査読

    K. Yoshida, Y.-O. Jung, S. Yokota

    Proc. 1st Int. Conf. on Manufacuring, Machine Design and Tribology (ICMDT2005)   1 - 4   2005年

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  • MR流体を作動流体としたマイクロバルブ 査読

    吉田和弘, 高松環, 米田裕一, 横田眞一

    日本機械学会論文集（C編）   71 ( 704 )   1355 - 1360   2005年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    For millimeter-sized working micromachines using fluid power with high density, a novel microvalve with simple structure using magneto-rheological (MR) fluid is proposed and called the micro MR valve. The micro MR valve utilizes the apparent viscosity controllability of the MR fluid in the magnetic field. To control sufficiently high magnetic flux density in the microvalve, a magnetic circuit using a permanent magnet, a thermosensitive ferrite, and Peltier elements called the thermo-control magnetic circuit is introduced. First, the micro MR valve is proposed and the basic characteristics are theoretically investigated. Second, the thermo-control magnetic circuit is fabricated and the static and dynamic characteristics are experimentally investigated and improved. Finally, a 3-port micro MR valve is fabricated and the characteristics are experimentally clarified and improved.

    DOI： 10.1299/kikaic.71.1355

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  • 電界共役流体（ECF）を応用した電子チップ液冷用平面薄形ポンプ 査読

    横田眞一, 徐 佑昔, 吉田和弘, 枝村一弥

    日本機械学会論文集（C編）   71 ( 709 )   2798 - 2804   2005年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    This paper presents a novel liquid cooling concept for heat rejection of high power electronic chips existing in notebook computers etc. In order to realize a liquid cooling system for the electronic chips, such as advanced notebook CPUs, a simple thin-planar pump using electro-conjugate fluid (ECF) is proposed, fabricated, and experimentally investigated. The ECF is a kind of dielectric and functional fluids,which generates jet flows (ECF-jets) by applying static electric field through a pair of rod-like electrodes. The ECF-jet directly acts on the working fluid, so the proposed planar ECF pump needs no moving part, produces no vibration and noise. The experiments of the fabricated thin-planar ECF pump with A 4 size were performed with four different flow channel heights and seven different electrode patterns. The no-load flow rate of 5.5 cm^3/s, maximum output pressure of 7.1 kPa, and maximum output power of 11.6 mW are obtained at an applied voltage of 2.0 kV. Through the experimental results, the fesibility of the thin-planar ECF pump is confirmed as a power source of the liquid cooling system on advanced notebook computers.

    DOI： 10.1299/kikaic.71.2798

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  • 電界共役流体(ECF)を応用した電子チップ液冷用平面形ポンプ(J22-3 センサ・アクチュエータシステムとその知能化(3),J22 センサ・アクチュエータシステムとその知能化-実環境で活躍するメカトロニクスを目指して)

    横田 眞一, 徐 佑昔, 吉田 和弘, 枝村 一弥

    年次大会講演論文集   2004   365 - 366   2004年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    This paper presents a liquid cooling concept for heat rejection of high power electronic chips existing in notebook computers etc. In order to realize, a liquid cooling system for the electronic chips such as notebook CPUs, a planar pump using the electro-conjugate fluid (ECF) is proposed and developed as a power source of the liquid cooling system. The ECF is a kind of dielectric and functional fluids, which generates jet flows (ECF-jets) by applying static electric field through a pair of rod-like electrodes. The ECF-jet directly interacts on the working fluid, so the proposed planar ECF pump needs no moving part, produces no vibration and noise. The ECF-jet intensity depends on the applied electric field, and electric field strength is related to the electrode dimensions. In the present investigation, we compared the pumping performance of various electrode dimensions and flow channel heights in order to establish the electrode design rules for improving the pumping performance of the planar ECF pump.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2004.7.0_365

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  • Resonantly-Driven Piezoelectric Micropumps Using Active Check Valves 査読

    J.-H. Park, K. Yoshida, S. Yokota, T. Seto, K. Takagi, Y.-B. Ham, S. N. Yun

    Proc. 9th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR 2004)   557 - 560   2004年

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  • A Study on High-Output Resonace-Driven Piezoelectric Micropumps Using Active Check Valves 査読

    J.-H. Park, K. Yoshida, C. Ishikawa, S. Yokota, T. Seto, K. Takagi

    J. of Robotics and Mechatronics   16 ( 2 )   171 - 177   2004年

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  • A Valve-Integrated MR Cylinder Using Magneto-Rheological Fluid 査読

    K. Yoshida, T. Soga, S. Yokota, M. Kawachi, K. Edamura

    Proc. 9th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR 2004)   609 - 612   2004年

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  • A Planar Pump Using Electro-Conjugate Fluid (ECF) for Liquid Cooling of Electronic Chips 査読

    S. Yokota, W.-S. Seo, K. Yoshida, K. Edamura

    Proc. 8th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT 2004)   127 - 131   2004年

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  • 管路慣性を応用したマイクロポンプの最適構造 査読

    吉田和弘, 鄭淵午, 瀬戸毅, 高城邦彦, 朴重濠, 横田眞一

    日本機械学会論文集（C編）   70 ( 697 )   2668 - 2673   2004年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    For fluid microactuators and micro factory, the authors have proposed a novel high output micropump using inertia effect of pipeline element which has a pipeline element in place of an outlet check valve and verified the effectiveness with a fabricated micropump. To increase the output power and to miniaturize the size, this paper establishes a simple nonlinear mathematical model with lumped parameters and verifies the effectiveness comparing the simulation results with the experimental results. Then, the optimal structure of the micropump is investigated through the simulation with different sizes of the pipeline element and so on. Lastly, a micropump is fabricated and the load characteristics are experimentally investigated.

    DOI： 10.1299/kikaic.70.2668

    CiNii Books

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  • MRシリンダ駆動マニピュレータ(S50-1 アクチュエータシステム(1),S50 アクチュエータシステム)

    吉田 和弘, 曽我 力, 横田 眞一, 河内 仁, 枝村 一弥, 長峯 靖之

    年次大会講演論文集   2004   253 - 254   2004年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    A manipulator using novel hydraulic actuators named the MR (Magneto-Rheological) cylinders is developed. The MR cylinder is composed of a piston with electromagnets and a cylinder. MR fluid that is a functional fluid whose apparent viscosity can be controlled through the applied magentic field flows in the gap between the piston and cylinder and the differential pressure is controlled by the current applied for the electromagnets. The MR cylinder features compactness and large stroke. In this paper, a 2-link manipulaor using the MR cylinders is fabricated and the static and dynamic characteristics are experimentally investigated.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2004.4.0_253

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  • An MR Cylinder-Driven Manipulator Using Magneto-Rheological Fluid 査読

    K. Yoshida, T. Soga, S. Yokota, M. Kawachi, K. Edamura

    Proc. 8th Int.Conf. on Mechatronics Technology (ICMT 2004)   189 - 194   2004年

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  • 機能性流体を応用したアクチュエータ

    横田 眞一, 吉田 和弘

    日本ロボット学会誌   21 ( 7 )   717 - 721   2003年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Robotics Society of Japan  

    DOI： 10.7210/jrsj.21.717

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    その他リンク： https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00233635796?from=CiNii

  • 2317 流体の慣性効果を用いたマイクロポンプのシミュレーション

    吉田 和弘, 鄭 淵午, 瀬戸 毅, 高城 邦彦, 朴 重濠, 横田 眞一

    年次大会講演論文集   2003   229 - 230   2003年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    For fluid microactuators and microfactory, the authors have proposed a novel high output micropump using inertia effect of fluid which has a pipeline element in place of an outlet check valve and verified the effectiveness with a fabricated micropump. To increase the output power and to miniaturize the size, the paper establishes a simple mathematical model with lumped parameters and verifies the effectiveness comparing the simulation and experimental results. Also, the optimal pump structure is investigated through simulations.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2003.7.0_229

    CiNii Books

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  • A Valve-Integrated Microactuator Using Homogeneous ER Fluid 査読

    K. Yoshida, H. Yano, J.-H. Park, S. Yokota

    J. of Robotics and Mechatronics   15 ( 2 )   244 - 250   2003年

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  • Development of High-Power Micropump Using Inertia Effect of Fluid for Small-Sized Fluid Actuators 査読

    T. Seto, K. Takagi, K. Yoshida, J.-H. Park, S. Yokota

    J. of Robotics and Mechatronics   15 ( 2 )   128 - 135   2003年

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  • Development of Micromachines Using Improved Resonantly-Driven Piezoelectric Micropumps 査読

    J.-H. Park, K. Yoshida, S. Yokota, T. Seto, K. Takagi

    Proc. 4th Int. Symp. on Fluid Power Transmission and Control (ISFP2003)   536 - 541   2003年

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  • MR流体を弁体としたマイクロバルブ 査読

    吉田和弘, 鄭淵午, 横田眞一

    日本機械学会論文集（C編）   69 ( 682 )   1633 - 1639   2003年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    To realize a practical micromachine using fluid power with high power density, a novel microvalve (MLV (Magnetizable Liquid Valve-body) valve) using MR (magneto-rheological) fluid as a valve-body is proposed and investigated. Column of MR fluid is supported as a valve-body by a permanent magnet and is deformed by an electromagnet to control the opening. The proposed MLV valve solves leakage problem caused by the large machining errors compared with its small size. A MLV valve is fabricated with 10×10×7 mm^3 in size and the magnetic control and the flow control characteristics are experimentally investigated. Next, to expand the pressure control range, the magnetic poles are fabricated with different shapes and the suitable shape is selected based on the deformation of the MR fluid valve-body due to the applied current. Also, the effect of dither is investigated to decrease the hystereses. Then, the static and dynamic characteristics of the flow control of the improved MLV valve are experimentally investigated. As a result, flow rate control range of 30 mm^3/s is realized with supply pressure of 35 kPa.

    DOI： 10.1299/kikaic.69.1633

    CiNii Books

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  • A Bellows-Driven Manipulator Using a New Magneto-Rheological Fluid 査読

    K. Yoshida, J.-H. Park, S. Yokota, M. Kawachi, K. Edamura

    Proc. 4th Int. Symp. on Fluid Power Transmission and Control (ISFP2003)   542 - 547   2003年

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  • A piezoelectric micropump using resonance drive with high power density 査読

    JH Park, S Yokota, K Yoshida

    JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES C-MECHANICAL SYSTEMS MACHINE ELEMENTS AND MANUFACTURING   45 ( 2 )   502 - 509   2002年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    Web of Science

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  • Fabrication of micro electro-rheological valves (ER valves) by micromachining and experiments 査読

    K Yoshida, M Kikuchi, JH Park, S Yokota

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   95 ( 2-3 )   227 - 233   2002年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/S0924-4247(01)00730-0

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  • A Bellows-Driven Motion Control System Using a Magneto-Rheological FLuid 査読

    K. Yoshida, H. Takahashi, S. Yokota, M. Kawachi, K. Edamura

    Proc. 5th JFPS Int. Symp. on Fluid Power, Nara 2002   2 ( 5 )   403 - 408   2002年

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    記述言語：英語   出版者・発行元：The Japan Fluid Power System Society  

    A simple control valve using a magneto-rheological (MR) fluid has been proposed and called the MR valve. The MR valve utilizes the apparent viscosity controllability of the MR fluid in the magnetic field and controls high-level fluid power without moving parts. However, conventional MR fluids have high base viscosities to disperse heavy soft iron particles and lose fluid power in pipes. In this study, low base viscosity MR fluids aredeveloped using lightweight ferrite particles and applied to a bellows-driven motion control system. First, four MR fluids are fabricated with different compositions and the basic characteristics are experimentally investigated. Second, a small-sized three-port MR valve using a permanent magnet is proposed and the most suitable MR fluid is selected through theoretical evaluation to minimize the valve size. Third, the three-port MR valve is fabricated and applied to a bellows-driven motion control system.

    DOI： 10.5739/isfp.2002.403

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  • A Microvalve Using MR Fluid Valve-Body 査読

    K. Yoshida, Y.-O. Jung, S. Yokota

    Proc. 6th Int. Conf. Mechatronics Technology (ICMT 2002)   423 - 428   2002年

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  • 3244 MRF 液滴を弁体としたマイクロバルブ : 圧力制御範囲の拡大

    吉田 和弘, 鄭 淵午, 横田 眞一

    年次大会講演論文集   2002   251 - 252   2002年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    To realize a practical micromachine using fluid power with high power density, a novel microvalve using an MRF (magneto-rheological fluid) drop has been proposed and investigated. MRF is supported as a valve-body by a permanent magnet and is deformed by an electromagnet to control the opening. The proposed microvalve solves leakage problem caused by the large machining errors compared with its small size. To expand the pressure control range, in this paper, the magnetic poles are fabricated with different shapes and the optimal shape is selected based on the displacement of MRF valve-body due to the applied current. Then, the flow control characteristics are experimentally investigated with tap water as a working fluid.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2002.7.0_251

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  • 3245 アクティブバルブを用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ

    朴 重濠, 吉田 和弘, 五十嵐 康一, 横田 眞一, 瀬戸 毅, 高城 邦彦

    年次大会講演論文集   2002   253 - 254   2002年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    In this paper, to obtain further performance of the resonantly-driven piezoelectric micropump developed as a micro fluid power source applicable to microfactory or micromachines using fluid power, a novel check valve that actively controls valve open/close motion using piezoelectric actuator is proposed and static characteristics between flow rates across the developed check valve and applied pressures are investigated. Employing the active-type check valve instead of conventional passive-type is expected to realize some advantages such as an increased valve-opening area and response, a low damping ratio and a bi-directional flow using an adequate timing control for closing motion. A prototype micropump using two active-type check valves for inlet and outlet is fabricated with the effective size of 17×18×11(mm)^3. Through experiments on frequency characteristics of flow rate without load pressure, the validity of the proposed active-type check valves is verified.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2002.7.0_253

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  • Development of Resonantly-Driven Piezoelectric Micropump and Its Application to Micro Press 査読

    J.-H. Park, K. Yoshida, Y. Nakasu, S. Yokota, T. Seto, K. Takagi

    Proc. 8th Int. Conf. New Actuators (ACTUATOR 2002)   240 - 243   2002年

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  • A Resonantly-Driven Piezoelectric Micropump for Microfactory 査読

    J.-H. Park, K. Yoshida, Y. Nakasu, S. Yokota, T. Seto, K. Takagi

    Proc. 6th Int. Conf. Mechatronics Technology (ICMT 2002)   417 - 422   2002年

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  • A Valve-Integrated Microactuator Using Homogeneous Electro-Rheological Fluid 査読

    K. Yoshida, H. Yano, J.-H. Park, S. Yokota

    Proc. 8th Mechatronics Forum Int. Conf. (Mechatronics 2002)   725 - 734   2002年

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  • Development of an In-Pipe Mobile Micromachine Using Homogeneous ER Fluid 査読

    K. Yoshida, J.-H, Park T, Shimizu, S. Yokota

    Proc. 1st Taiwan-Japan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering   3   2001年

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  • A micro ER valve fabricated by micromachining 査読

    K Yoshida, M Kikuchi, JH Park, S Yokota

    14TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST   467 - 470   2001年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • 輝度こう配に基づく実時間運動ステレオビジョン 査読

    吉田和弘, 渡部功, 横田眞一

    日本機械学会論文集（C編）   67 ( 653 )   178 - 184   2001年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1299/kikaic.67.178

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  • F-1329 輝度勾配に基づく実時間運動ステレオビジョン : マニピュレータ制御への応用(J29-1 ロボットビジョン)(J29 センサ・アクチュエータシステムとその知能化 : 実環境で活躍するメカトロニクスをめざして)

    吉田 和弘, 冨田 隆広, 横田 眞一

    年次大会講演論文集   1   281 - 282   2001年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    To realize autonomous manipulators which work outdoors, 3-D vision sensors are required to measure objects and environments under severe conditions. The authors have proposed a real-time motion stereo vision which measures 3-D coordinates of objects with simple calculations based on brightness gradient of images captured by a motion camera. In this paper, to improve the measuring accuracy, optimal parameters are derived experimentally and, based on the results, a downsized motion camera mechanism is fabricated. Then, the vision sensor is applied to 6-DOF electro-hydraulic manipulator control to grasp a column.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.VI.01.1.0_281

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  • A Micropump-Mounted In-Pipe Mobile Micromachine Using Homogeneous Electro-Rheological Fluid 査読

    K. Yoshida, J.-H. Park T, Shimizu, S. Yokota

    Proc. 3rd IFToMM Int. Micromechanism Symposium   2   2 - 7   2001年

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  • An in-pipe mobile micromachine using fluid power (A mechanism adaptable to pipe diameters) 査読

    K Yoshida, K Takahashi, S Yokota

    JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES B-FLUIDS AND THERMAL ENGINEERING   43 ( 1 )   29 - 35   2000年2月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1299/jsmeb.43.29

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  • 均一系ER流体を用いたマイクロ流体制御システム 査読

    朴重濠, 吉田和弘, 横田眞一

    日本機械学会論文集Ｃ編   66 ( 648 )   2700 - 2706   2000年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1299/kikaic.66.2700

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  • ECFジェット冷却を用いたSMA駆動マイクロポンプ 査読

    横田眞一, 吉田和弘, 岡安毅, 川上知英, 大坪泰文, 枝村一弥

    日本機械学会論文集Ｃ編   66 ( 650 )   3516 - 3522   2000年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1299/kikaic.66.3516

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  • 均一系ER流体を作動流体としたマイクロバルブ 査読

    吉田和弘, 朴重濠, 高取宏樹, 横田眞一

    日本機械学会論文集Ｃ編   66 ( 649 )   3093 - 3099   2000年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1299/kikaic.66.3093

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  • Micro ER valve using homogeneous ER fluids and its application to micro fluid control system 査読

    JH Park, K Yoshida, S Yokota

    IECON 2000: 26TH ANNUAL CONFERENCE OF THE IEEE INDUSTRIAL ELECTRONICS SOCIETY, VOLS 1-4   1809 - 1814   2000年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/IECON.2000.972550

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  • Micro Fluid Control System for Micromachines 査読

    Jung-Ho PARK, Kazuhiro YOSHIDA, Shinichi YOKOTA

    Sixth Triennial International Symposium on Fluid Control, Meausrement and Visualization (FLUCOME-2000) (FLUCOME-2000)   CD-ROM   2000年

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  • 1010 MR 流体を作動流体としたマイクロバルブの基本特性

    吉田 和弘, 高松 環, 横田 眞一

    年次大会講演論文集   2000   223 - 224   2000年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    By using MR fluid whose apparent viscosity is controlled by the applied magnetic field intensity, a simple microvalve called micro MR valve has been proposed by the authors for micromachines using high density fluid power. To increase the controllable magnetic field intensity, the micro MR valve utilizes a thermally-controlled magnetic circuit composed of a permanent magnet, a thermosensitive ferrite, and Peltier elements. In this paper, a micro MR valve with 8.8×7×5(mm)^3 in size is fabricated and the basic characteristics are experimentally investigated. The static and dynamic characteristics of the thermally-controlled magnetic circuit are clarified and the valve control performance is verified.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2000.1.0_223

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  • 1011 半導体プロセスを用いたマイクロ ER バルブ : 3 ポートマイクロ ER バルブの試作と特性実験

    吉田 和弘, 菊地 正晃, 朴 重濠, 横田 眞一

    年次大会講演論文集   2000   225 - 226   2000年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    As an advanced control component for realization of high power micromachines using fluid power in millimeter size, the authors have proposed a simple micro ER valve using homogeneous ER fluids and fabricated several micro ER valves by conventional machining. Besides, to control micro grippers mounted on micromachines, further miniaturized 2-port micro ER valves have been fabricated by micromachining using anisotropic etching, sputter and anodic bonding. In this study, a 3-port micro ER valve composed of two 2-port micro ER valves is fabricated. Each 2-port micro ER valve has electrode dimensions of 1.2mm in width, 5mm in length and 0.08mm in gap length. Firstly, the static and dynamic characteristics are experimentally investigated with the blocked control port. From the results, it is ascertained that the controllable pressure change rate is about 60% of supply pressure and the rise time is about 0.2s. Next, an application to position control of a bellows microactuator is performed. With supply pressure of 0.17MPa and electric field strength change of 4.0kV/mm, the output displacement of 0.09mm and the generation force of 0.47N are realized.

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2000.1.0_225

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  • In-pipe Mobile Micromachine Using Fluid Power Adaptable to Pipe Diameters 査読

    Kazuhiro YOSHIDA, Ken TAKAHASHI, Shinichi, YOKOTA

    Journal of Robotics and Mechatronics   11 ( 5 )   417   2000年

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  • Resonantly driven piezoelectric micropump - Fabrication of a micropump having high power density 査読

    JH Park, K Yoshida, S Yokota

    MECHATRONICS   9 ( 7 )   687 - 702   1999年10月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/S0957-4158(99)00028-8

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  • 共振駆動を用いた高パワー密度の圧電マイクロポンプ 査読

    朴重濠, 横田眞一, 吉田和弘

    日本機械学会論文集（C編）   65 ( 631 )   1071 - 1077   1999年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    As a power source for practical micromachines such as in-pipe mobile micromachines using fluid power, micropumps having high power density are required. In this paper, a piezoelectric micropump using resonance drive is proposed and developed. It basically consists of a bellows as a flexible pump chamber with an additional mass, a piezoelectric actuator for oscillating the bellows and cantilever type of two check valves. Firs fly, an effectiveness of the proposed micropump is confirmed through a fabrication of the large model and basic experiments. Secondly, a micropump with the size of φ9x10 mm for practical application is fabricated. Next, frequency characteristics and load characteristics of pressure-dependent flow rate are experimentally investigated with various structural parameters for optimal design. Through those experiments, the optimal amounts of additional mass and valve thickness are experimentally obtained for stable and high performance of the micropump. The maximum flow rate of 80 mm^3/s, maximum pumping pressure of 0.32 MPa and maximum power of 8.7 mW are obtained at the driving frequency of 2.0 kHz. Also the feasibility of the piezoelectric micropump using resonance drive is confirmed through a comparison with conventional micropumps on maximum power density.

    DOI： 10.1299/kikaic.65.1071

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  • A 1cm-cubic-size SMA-driven micropump using ECF jet cooling 査読

    K Yoshida, S Yokota, T Okayasu, Y Otsubo, K Edamura

    PROCEEDINGS OF THE 3RD INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON FLUID POWER TRANSMISSION AND CONTROL   154 - 159   1999年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • A Pressure Control Valve Using MR Fluid 査読

    S. Yokota, K. Yoshida, Y. Kondoh

    Proc. 4th JHPS Int. Symp. Fluid Power   377 - 380   1999年

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  • Micro Fluid Control System Using Homogeneous ER Fluids (Proposition of Micro ER Valve and Basic Experiments) 査読

    J. H. Park, K. Yoshida, S. Yokota

    Proc. IEEE/RSJ Int. Conf. on Intelligent Robots and Systems (IROS’99)   2   1063 - 1068   1999年

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  • A Real-Time Motion Stereo Vision Based on Brightness Difference 査読

    K. Yoshida, S. Yokota, I. Watabe

    Proc. IEEE/RSJ Int. Conf. on Intelligent Robots and Systems (IROS’99)   1   77   1999年

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  • 流体パワーを用いた管内走行マイクロマシン（管径に適応できるメカニズム） 査読

    吉田和弘, 高橋健, 横田眞一

    日本機械学会論文集（B編）   65 ( 629 )   217 - 222   1999年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    To realize micro maintenance robots for small diameter pipes of nuclear reactors and so on, high power in-pipe mobile micromachines have been required. The authors have proposed the bellows microactuator using fluid power and have tried to apply the actuators to in-pipe mobile micromachines. In the previous papers, some inchworm mobile machine prototypes with 25 mm in diameter are fabricated and the traveling performances are experimentally investigated. In this paper, to miniaturize the in pipe mobile machine and to make it adaptable to pipe diameters, firstly, a simple rubber tube actuator constrained with a coil-spring is proposed and the static characteristics are investigated. Secondly, a supporting mechanism which utilizes a toggle mechanism and is adaptable to pipe diameters is proposed and the supporting forces are investigated. Finally, an in pipe mobile micromachine for pipes with 4-5 mm in diameter is fabricated and the maximum traveling velocity of 7 mm/s in both ahead and astern movements is experimentally verified.

    DOI： 10.1299/kikaib.65.217

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  • ダンピング絞りを有する比例制御弁の動特性 査読

    増田健二, 田辺実, 吉田和弘, 横田眞一

    日本油空圧学会論文集   30 ( 6 )   152 - 157   1999年

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  • Resonantly driven piezoelectric micropump 査読

    JH Park, K Yoshida, S Yokota

    MECHATRONICS '98   441 - 446   1998年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • An In-Pipe Mobile Micromachine Using Fluid Power Adaptable to Pipe Diameters 査読

    K. Yoshida, K. Takahashi, S. Yokota

    Proc. 3rd Int. Conf. Advanced Mechatronics (ICAM’98)   1   306   1998年

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  • An SMA-driven micropump using electro-conjugate fluid jet cooling 査読

    S Yokota, K Yoshida, T Kawaue, Y Otsubo, K Edamura

    MECHATRONICS '98   453 - 458   1998年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • A Control Valve by Making Use of an Electro-rheological Fluid (Fundamental Characteristics and Application to a Pressure Control Valve) 査読

    Y. Kondoh, S. Yokota, K. Yoshida

    Proc. 4th Int. Conf. on Fluid Power Transmission and Control ('97 ICFP)   71   1997年

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  • Piezoelectric Micropump Using Resonance Drive 査読

    J. H. Park, S. Yokota, K. Yoshida

    Proc. 5th Triennial Int. Symp. on Fluid Control, Measurement and Visualization (FLUCOME'97)   319   1997年

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  • A Piezoelectric Micropump Using Resonance Drive: Proposal of Resonance Drive and Basic Experiments on Pump Characteristics 査読

    J. H. Park, K. Yoshida, S. Yokota

    Fluid Power Systems and Technology: Corrected Paper ASME 1997   FPST-Vol.4; DSC-Vol.   77 - 82   1997年

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  • A Mini Valve in Application of Electro-Rheological Fluids 査読

    Y. Kondoh, S. Yokota, K. Yoshida

    Preprints of 13th World Congress of IFAC   A   493   1996年

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  • 形状記憶合金アレイアクチュエータを用いた小型比例弁 査読

    横田眞一, 吉田和弘, 板東賢一, 須原正明

    日本機械学会論文集(B編)   62 ( 593 )   224 - 229   1996年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    To realize a small-size proportional valve, a small-size and sufficiently high-stiffness actuator is required to drive the spool. However, with conventional actuators, such as solenoid actuators, it was difficult to realize such performance. In this study, an actuator using shape-memory-alloy (SMA) fine wires in arrayed arrangement is proposed and experimentally examined; it is expected to realize both suffciently high stiffness and response. First, the basic characteristics are examined, and the high stiffiness of a differential actuator using a pair of nine SMA wires and effectiveness of forced oil-cooling are shown. Secondly, to further improve the response, both of a simple method to increase the cooling oil flow and PI control are attempted. The former method is proved to be effective, although it has limitations. The latter method is proved to improve the response sufficiently and also to eliminate the hysteresis. Finally, based on these results, a proportional valve is constructed. The experimental results show that the spool is able to respond practically up to 40 Hz, with amplitude of 25μm.

    DOI： 10.1299/kikaib.62.224

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  • An In-Pipe Mobile Micromachine Using Fluid Power Traversable Branched Pipes 査読

    K. Yoshida, H. Mawatari, S. Yokota

    Proc. the Third JHPS Int. Symp. on Fluid Power Yokohama '96   229   1996年

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  • 流体パワーを用いた管内走行マイクロマシン(分岐管走行可能な小形走行メカニズムの試作) 査読

    吉田和弘, 馬渡秀樹, 横田眞一

    日本機械学会論文集(B編)   62 ( 601 )   3341 - 3346   1996年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Japan Society of Mechanical Engineers  

    In-pipe mobile micromachines have many applications including micro-maintenance robots for nuclear reactors and are expected to be realized in the near future. To realize practical in-pipe mobile micromachines, microactuators with sufficiently high output power are necessary and we have proposed the bellows microactuator which utilizes fluid power. In this study, an inchworm in-pipe mobile micromachine which can traverse branched pipes is fabricated using the bellows microactuators and its performance is examined. First, the performance of displacement magnification mechanisms useful in micromachines is theoretically investigated and the effectiveness of a pulley mechanism is proved. Secondly, the structure of the in-pipe mobile micromechanism is investigated. A bending and propelling mechanism using pulley mechanisms with 1 bending DOF is proposed and the structures of the front and rear supporting mechanisms are devised. Also the traveling sequence in branched pipes is theoretically investigated. Finally, an in-pipe mobile mechanism 25mm in diameter is fabricated and traveling experiments in straight and Y-shaped pipes are conducted. It is clarified that the traveling velocity in a straight pipe is increased from the output velocity of an actuator and the fabricated mechanism is able to traverse a Y-shaped pipe.

    DOI： 10.1299/kikaib.62.3341

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  • Response of Proportional Valve Using Shape-Memory-Alloy Array Actuators 査読

    S. Yokota, K, Yoshida K, Bandoh, M. Suhara

    Preprints of 13th World Congress of IFAC   A   505   1996年

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  • A micromotor using a kind of dielectric fluids 査読

    S Yokota, K Yoshida, Y Otsubo, K Edamura

    IAS '96 - CONFERENCE RECORD OF THE 1996 IEEE INDUSTRY APPLICATIONS CONFERENCE, THIRTY-FIRST IAS ANNUAL MEETING, VOLS 1-4   3   1749 - 1754   1996年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • A Pressure Control Valve in Application of an Electro-rheological Fluid (Application to Drive a One-link Manipulator) 査読

    S. Yokota, Y. Kondoh, K. Yoshida

    Proc. 9th Bath Int. Fluid Power Workshop   1   1996年

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  • A Fluid Control Valve Making Use Of Electro-Rheological Fluid 査読

    Y. Kondoh, S. Yokota, K. Yoshida, K. Edamura

    Proc.the 4th Scandinavian Int. Conf.on Fluid Power   2   830   1995年

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  • Development of a Small-Size Proportional Valve Using a Shape-Memory-Alloy Array Actuator 査読

    K. Yoshida, S. Yokota, K. Bandoh, M. Suhara

    Proc.of the 2th Int.Symp.on Fluid Power Transmission and Control(ISFP'95)   77   1995年

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  • A Study on a Micro-Actuator Using Fluid Power (An Application to an In-Pipe Mobile Machine) 査読

    K. Yoshida, J. Shinohara, S. Yokota

    Proc. IFAC International Workshop on Trends in Hydraulic and Pneumatic Components and Systems   2   1994年

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  • 流体パワーを用いたマイクロアクチュエータに関する研究(第1報 微小化に適したアクチュエータ方式の検討と管内走行機械への応用) 査読

    吉田和弘, 横田眞一

    油圧と空気圧   25 ( 2 )   281 - 288   1994年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Japan Fluid Power System Society  

    For realizing practical actuators for micro-mechanisms, actuators using fluid power (called the "fluid actuators", hereafter) are investigated. First, the miniaturization characteristics of three kinds of fluid actuators are analyzed and the results are compared with those of five typical actuators such as an electro-static actuator and so on. The calculated maximum output power densities show the utility of the positive-displacement type fluid actuator at a size of 10 [μm] -10 [mm]. Next, to realize an actuator small in size, an actuator using bellows called the "bellows actuator" is proposed and an actuator with a diameter of 8.3 [mm] and length of 13 [mm] is constructed. The measured output power and density are 1 [W] and 1 [W/cm3], respectively. Then, by using the bellows actuators, an in-pipe mobile machine moving like an inchworm is constructed. The machine has a diameter of 23 [mm], length of 70 [mm] and simple structure suitable for miniaturization. The results of the mobile experiments show that the machine can lift a weight of 1 [kg] at a speed of 1 [mm/s].

    DOI： 10.5739/jfps1970.25.281

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  • 流体パワーを用いたマイクロアクチュエータに関する研究(第2報 単一の圧力供給チューブを用いた小形管内走行機械の試作) 査読

    吉田和弘, 篠原潤, 横田眞一

    油圧と空気圧   25 ( 7 )   857 - 863   1994年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Japan Fluid Power System Society  

    For more efficient use of micro-machines, micro-actuators using fluid power were investigated. An in-pipe mobile machine is one of practical micro-mechanisms and a simple machine using the bellows actuators was constructed previously. The machine is able to move like an inchworm due to the three actuators, however, it has to pull three power supply tubes using a large load force.<BR>To overcome this problem, this report attempted to reduce the number of tubes. After examining the performances of the bellows actuators, based on the analysis of the inchworm motion, the required characteristics were derived and a new supporting mechanism and small-size sequence valves were constructed. The newly constructed in-pipe mobile machine with a diameter of 25mm uses phosphor bronze bellows with a diameter of 8.3mm and length of 13mm. The mobile experiments show that the machine is able to lift a load of 5.9N at a speed of 1.5mm/s with an output power of 9.0mW. Also, a theoretical analysis of the mobile performance shows that the machine is able to produce a maximum output power of 120mW due to the improved conditions.

    DOI： 10.5739/jfps1970.25.857

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  • Study on High Power Micro-Actuator Using Fluid Power 査読

    K. Yoshida, S. Yokota

    Preprints of The 6th Int. Conf. on Flow Measurement(FLOMEKO'93)   1   122 - 130   1993年

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  • High-Absorptive Electrolytic Polymer-Gel Actuator 査読

    T. Hayashi, K. Yoshida, Y. Terashima, Y. Ono

    Proc. 1st IFTOMM Int. Micromechanism Symp.   70   1993年

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  • TRAVELING MICROMECHANISM ON CEILING 査読

    S SHIBAGAKI, T HAYASHI, K YOSHIDA

    INTERNATIONAL JOURNAL OF THE JAPAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING   26 ( 2 )   158 - 159   1992年6月

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    記述言語：英語  

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  • 癌触診を目的とした柔軟体の硬度分布測定センサの研究（バルーン式センサの提案と実験的検討） 査読

    吉田和弘

    精密工学会誌   58 ( 11 )   1893 - 1898   1992年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：公益社団法人精密工学会  

    The early detection of minute cancer is very important, but that is difficult when using X-ray, ultrasonic, or an endoscope because of the small size and the disturbance by mucus. However that is said to be easy with direct palpation if possible. Then the paper proposes a new hardness sensor for cancer palpation, which is inserted into a human body with an endoscope, presses the object surface uniformly by a balloon through elastic beams, and detects the hard part based on the deflection of the beams. The sensor features : 1)no-damaging property with its flexibility, 2)independence from the existence of mucus and the object shape, and 3)simple structure, etc. The paper also introduces the conductive rubber for plural strain gauges. The results of measuring experiments with the constructed sensor showed the availability in a straight and an uneven pipes and the possibility of 2-dimensional measurement.

    DOI： 10.2493/jjspe.58.1893

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    その他リンク： https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00079107709?from=CiNii

  • REAL-TIME STEREO VISION WITH MULTIPLE ARRAYED CAMERA 査読

    K YOSHIDA, S HIROSE

    1992 IEEE INTERNATIONAL CONF ON ROBOTICS AND AUTOMATION : PROCEEDINGS, VOLS 1-3   2   1765 - 1770   1992年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • 柔軟表面への吸着機構の研究-吸着特性の優れた心電計電極の開発- 査読

    外処徳昭, 林輝, 吉田和弘

    精密工学会誌   58 ( 9 )   1527 - 1532   1992年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：公益社団法人精密工学会  

    The adhesive mechanism to flexible surface is more and more important for a medical electrode, the future minute medical machine which moves and inspects in stomach, and so on. In order to investigate the superior adhesive mechanism, the authors take up the suction electrode for electrocardiograph which is now desired to improve and also can be the base of mechanism with its simple structure. The chest suction electrode is constructed with a steel cup and a rubber sphere and can adhere to skin with the suction pressure. But there are many different types of skin, so the suction time varies. If the electrode is fallen off while electrocardiogram running, the inspection becomes impossible. Moreover it is a problem that the skin is engorged and damaged by the suction pressure. To overcome such problems, the paper makes experimental investigations on the influence of the shape and rubber elasticity of the electrode and the elastic characteristics of skin. Based on the results, the authors propose the "flexible over-hemisphere electrode", and confirm the validity with experiments. The newly proposed electrode could adhere to skin for far longer time than present ones with less suction pressure. Also, the paper tries to analyze the performance with a simple model.

    DOI： 10.2493/jjspe.58.1527

    CiNii Books

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    その他リンク： https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00078950665?from=CiNii

  • オーバサンプリングFFTと波形解析への応用 査読

    林巖, 吉田和弘, 北川誠一

    日本機械学会論文集(C編)   57 ( 541 )   2839 - 2845   1991年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    The fast Fourier transform is very often used when time or spatial signals must be decomposed into their components. Zoom-FFT can be used if the resolving power of frequency should be increased to precisely determine the time or spatial frequencies and the phase angles of the components. However, the zoom-FFT requires many periods of the signals for that purpose. Nevertheless, there are many cases in which the resolving power of frequency must be increased even when only one period of the signals is on hand or can be obtained from the property of the measurement. This paper describes the equation and the calculation procedure of oversampling fast Fourier transform, which is useful in these cases, and confirms that the derived oversampling FFT is effective through applying it as an example to precisely determine the spatial frequencies and the phase angles of interference fringes in a speckle detected in an experiment on in-plane vibration measurement.

    DOI： 10.1299/kikaic.57.2839

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  • 実時間計測可能な多眼ステレオビジョンの開発 査読

    吉田和弘, 広瀬茂男

    計測自動制御学会論文集   27 ( 4 )   436 - 443   1991年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：計測自動制御学会  

    DOI： 10.9746/sicetr1965.27.436

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  • レンジ情報による移動ロボットの位置同定 査読

    広瀬茂男, 長谷川忠明, 吉田和弘

    日本ロボット学会誌   9 ( 6 )   685 - 691   1991年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Robotics Society of Japan  

    A new position identification method for mobile robot is proposed. The method is to find out own position and orientation of the robot in wide unknown environment by means of horizontal cross section information measured by the range finder and compare it with pre-registered map information. The map information is expressed by five geometrical characteristics of the pair of segments which simplifies the contour of the local environments and the map is registered in the form of binary tree. On-line searching of the position and orientation is then executed on the binary tree. Position identification experiment is performed in a corridor of 50m in length resulted with 57% and 79% correct answer rates both in the condition of single point measurement and double points measurement, respectively. The required times are proved to be 10 second for range measurement by the range finder and 3 second for position identification calculation.

    DOI： 10.7210/jrsj.9.685

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  • The study of a map realization system: Consideration of real-time map generation 査読

    Shigeo Hirose, Kazuhiro Yoshida, Yasumasa Toratani

    Advanced Robotics   4 ( 3 )   223 - 242   1990年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1163/156855390X00279

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  • 地図生成視覚システムMARSの研究(実時間地図構成法の検討) 査読

    広瀬茂男, 吉田和弘, 虎谷泰昌

    日本ロボット学会誌   6 ( 1 )   14 - 25   1988年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Robotics Society of Japan  

    知能移動ロボットにおいて視覚センサの果たす役割は大きい. 特に歩行機械においてその本質的な長所である対地適応性を発揮するためには, 移動環境の地図を生成する視覚システムの導入が不可欠である. 筆者らはこのような地図生成型の視覚システムをMARS (Map Realization System) と呼び, すでにそのうちの重要なセンサ系の1つであるレンジファインダについて基本的な検討を行った. 本論文は, レンジファインダからの3次元情報を歩行機械に適した地形地図に構成するための基本的な手法について考察するものである. まず地形地図の表現形式について検討し, 円環メモリ表現と呼ぶ, 移動ロボットに適したメモリ空間内表記法を導入する. 次に地形地図を可視域と死角域とに分け, 可視域については逐次形の平均および平均偏差データの蓄積法の提案を行う. 死角域推定法については, 筆者らはすでに人の視覚系に関する考察から, 過去に得られた環境情報を効率的に利用する連想的推定補間法 (A補間法) を提案している. 本論文ではこれについてより実用的なレベルで再検討し, 処理の高速化を計った実時間性のある手法を提案する. 最後に提案した手法について2つの検証実験を行う. 4足歩行機械に搭載したMARSレンジファインダによる第1の計測実験では, 可視域の地形地図が実時間的に生成できることを示す. 計算機による第2のシミュレーション実験では, 提案する新しいA補間法についてその基本的有効性を示す.

    DOI： 10.7210/jrsj.6.14

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  • Laser Triangulation Range Finder Available under Direct Sunlight 査読

    K. Yoshida, S. Hirose

    Proc. IEEE International Conference on Robotics and Automation   3 ( 5 )   1702 - 451   1988年

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    出版者・発行元：The Society of Instrument and Control Engineers  

    The authors have developed a new type laser range finder, which enables a mobile robot to measure the distance to a natural object located one to five meters ahead with an error less than two percents. The system uses laser as weak as 1[mW], a safe level for human eyes, and is workable under bright daytime sunlight of about 100, 000[lx]. This laser range finder can quickly process data while compensating the motional error induced by the robot on which it is mounted and makes real time measurements of objects located ahead.<br>This laser range finder is featured by plural redundant range measuring systems and a newly introduced real time signal processing technique of the redundant signals. The laser range finder shows strong noise reduction characteristic by acting together with two conventional methods, namely, conventional optical filtering which preliminarily eliminates noise and the DDD signal processing proposed by the authors for separating reflected pulseform signals from ambient light on video signals.<br>The effectiveness of the proposed laser range finder system was demonstrated under direct sunlight by an experimental model mounted with two CCD cameras and a semiconductor laser projector of 1[mW] output power with 830[nm] wave length.

    DOI： 10.9746/sicetr1965.24.445

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  • The study of a map realization system (cancellation of ambient light and swaying motion of a robot) 査読

    Shigeo Hirose, Kazuhiro Yoshida, Kan Taguchi

    Advanced Robotics   2 ( 3 )   259 - 276   1987年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1163/156855387X00219

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  • 地図生成視覚システムMARSの研究(背景光と揺動外乱のキャンセリング) 査読

    広瀬茂男, 吉田和弘, 田口幹

    日本ロボット学会誌   4 ( 3 )   241 - 252   1986年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Robotics Society of Japan  

    歩行ロボットには, その対地適応性を向上するためにも視覚センサの導入が不可欠である.本研究は, 歩行ロボット搭載を前提とする視覚システムを特に地図生成視覚システムMARS (MAp Realization System) と呼び, その主要構成要素である近距離地表の3次元形状を計測するレーザ光投射型レンジファインダについて, 性能向上のための方策を探るものである.具体的には, 特に重要な特性である自然の背景光の中から投射光による測定対象上の投影パターンを高度に分離検出する機能を得るため, 新たに, CCD等の走査型カメラで得られる映像信号の差分処理とその差分信号の正負パルス対の検出を行なうDDD法と呼ぶ信号処理法を導入する.DDD法のうち入力ビデオ信号の最大正パルスのみを検出する手法をMaxDDD法と呼ぶ.光学干渉フィルタ, MaxDDD法, 走査線間のスリット光の連続性に基づくソフトウェア的雑音除去の3段階の雑音対策を行なったシステムを実際に構成し, 高いSN比が得られることを実験的に示す.さらに, 揺動外乱を計測中にリアルタイムで補正し地図を生成するための, 構造上, 演算処理上の検討を行ない, 姿勢補正を含む計測から位置算出までの時間を1点当たり240 [μsec] まで短縮し, 実用上十分なリアルタイム性を実現できることも示す.開発したMARSレンジファインダシステムは十分軽量 (1.8 [kg] ) でコンパクトに構成される.以上のことにより, 歩行ロボット搭載用の有効なレンジファインダの実現可能性を明確化する.

    DOI： 10.7210/jrsj.4.241

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書籍等出版物

  • ロボット工学ハンドブック（第3版）

    吉田和弘（ 担当： 分担執筆 範囲: Ⅱ編8.3）

    2023年2月 

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  • Distinguished Figures in Mechanism and Machine Science (Legacy and Contribution of the IFToMM Community, Part 5)

    N. Iwatsuki, K. Yoshida（ 担当： 分担執筆 範囲: Teru Hayashi）

    Springer  2022年12月 

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  • 機能性流体入門－基礎と応用－

    （ 担当： 共著）

    日本工業出版㈱  2021年7月 

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  • アクチュエータの新材料，駆動制御，最新応用技術

    （ 担当： 共著）

    (株)技術情報協会  2017年3月 

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  • アクチュエータ 研究開発の最前線

    （ 担当： 共著）

    (株)エヌ・ティー・エス  2011年8月 

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  • Next-Generation Actuators Leading Breakthrough

    （ 担当： 共著）

    Springer  2010年  （ ISBN:9781848829909 ）

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  • 実用精密位置決め技術事典

    （ 担当： 共著）

    (株)産業技術サービスセンター  2008年12月 

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  • 最新機械機器要素技術

    （ 担当： 共著）

    NGTコーポレーション  2008年6月 

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  • アクチュエータ工学

    （ 担当： 共著）

    (株)養賢堂  2004年12月 

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  • 2004年版フルードパワー工業総覧

    （ 担当： 共著）

    (株)重化学工業通信社  2003年10月 

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  • マイクロマシンの工学的実現 マイクロ知能化運動システム

    （ 担当： 共著）

    (株)日刊工業新聞社  1991年8月 

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MISC

  • JFPS2024広島における機能性流体分野の研究動向

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   56 ( 2 )   62 - 63   2025年3月

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    担当区分：筆頭著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：会議報告等  

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  • 第23回機素潤滑設計部門講演会（MDT2024）報告

    吉田和弘

    MACHINE DESIGN & TRIBOLOGY（機素潤滑設計部門ニュースレター）   43   12   2024年7月

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    担当区分：筆頭著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：会議報告等  

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  • 機能性流体の現状と将来像（その3）ECF及びEHD

    吉田和弘

    フルードパワー   37 ( 4 )   8 - 11   2023年10月

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：日本語   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア）  

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  • 機能性流体の現状と将来像（その2）MRF, 磁性流体及びMCF

    吉田和弘

    フルードパワー   37 ( 3 )   8 - 12   2023年7月

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：日本語   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア）  

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  • 機能性流体の現状と将来像（その1）機能性流体の概要とERFの応用

    吉田和弘

    フルードパワー   37 ( 2 )   7 - 11   2023年4月

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：日本語   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア）  

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  • 山梨講演会2022におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   54 ( 2 )   83 - 84   2023年3月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • フレキシブルERマイクロバルブとその応用

    T. Sudhawiyangkul, 吉田和弘, 嚴祥仁, 金俊完

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体フルードパワーシステムに関する研究委委員会研究成果報告書   17 - 20   2022年9月

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  • 交流電気浸透とその応用

    吉田和弘, 浅井健太, 牧田耀, 嚴祥仁, 金俊完

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体フルードパワーシステムに関する研究委委員会研究成果報告書   98 - 101   2022年9月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • Preface to the Special Issue: Selected Papers from the 11th JFPS International Symposium on Fluid Power Hakodate 2020 (HAKODATE 2020)

    K. Yoshida

    JFPS International Journal of Fluid Power System   1   1   2022年6月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 交流圧力源を用いた複数ERマイクロアクチュエータシステム

    三好智也, 吉田和弘, 嚴祥仁, 金俊完

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体テクノロジーの次世代FPSへの展開に関する研究委員会研究成果報告書   40 - 44   2022年5月

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  • 山梨講演会2021におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   53 ( 3 )   129 - 130   2022年5月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • UV-LIGAによる電界共役流体マイクロ液圧源の開発とその応用

    韓冬, 吉田和弘, 金俊完

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体テクノロジーの次世代FPSへの展開に関する研究委員会研究成果報告書   11 - 14   2022年5月

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  • 交流電気浸透を応用したマイクロポンプ

    吉田和弘, 金俊完, 嚴祥仁, 横田眞一

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体との融合化によるフルードパワーシステムの新展開に関する研究委員会研究成果報告書   83 - 86   2022年4月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • ERFを用いたマイクロアクチュエータシステム

    吉田和弘, 金俊完, 嚴祥仁, 横田眞一

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体との融合化によるフルードパワーシステムの新展開に関する研究委員会研究成果報告書   11 - 14   2022年4月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • JFPS2020函館における講演論文の管理について

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   53 ( 2 )   64 - 66   2022年3月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 機能性流体アクチュエータとその応用

    吉田和弘

    機械設計   66 ( 3 )   32 - 36   2022年3月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • The 10th International Conference on Fluid Power Transmission and Control (ICFP 2021)におけるフルードパワー技術の研究動向

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   52 ( 5 )   211 - 212   2021年9月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 山梨講演会2020におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   52 ( 3 )   117 - 118   2021年5月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 日本機械学会2020年度年次大会におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   52 ( 2 )   29 - 30   2021年3月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 2019年度の機能性流体分野の研究活動の動向

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   51 ( E1 )   E16 - E18   2020年9月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 日本機械学会2019年度年次大会におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   51 ( 1 )   35 - 36   2020年1月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 第31回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウムにおけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   50 ( 6 )   276 - 277   2019年11月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • ICMT2018におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   50 ( 3 )   21 - 23   2019年5月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 山梨講演会2018におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   50 ( 2 )   86 - 87   2019年3月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 機能性流体を用いたマイクロアクチュエータ

    吉田和弘

    油空圧技術   58 ( 2 )   1 - 6   2019年2月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • マイクロ流体制御バルブ

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   49 ( 6 )   287 - 289   2018年11月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 東京工業大学 横田・吉田・金研究室のフルードパワー研究

    吉田和弘, 金俊完

    油空圧技術2018年10月増刊号   104 - 109   2018年10月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 山梨講演会2017におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   49 ( 3 )   139 - 140   2018年5月

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    担当区分：筆頭著者  

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  • 山梨講演会2016におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   48 ( 3 )   153 - 154   2017年

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  • 平成28年度の機能性流体分野の研究活動の動向

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   48 ( E1 )   E14 - E16   2017年

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  • IFPEX2017〜カレッジコーナーに見る最新技術〜 東京工業大学 吉田研究室 機能性材料を応用した先進メカノマイクロデバイス／システムの実現に向けて

    吉田和弘

    油空圧技術   56 ( 12 )   26 - 30   2017年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本工業出版  

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  • 小特集「日本フルードパワーシステム学会賞受賞者および研究委員会の紹介」

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   47 ( E1 )   E24 - E25   2016年8月

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  • 米国ボストン滞在記

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   47 ( 1 )   36 - 38   2016年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本フルードパワーシステム学会  

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  • 東京工業大学 精密工学研究所 吉田研究室

    吉田和弘

    油空圧技術   55 ( 2 )   59 - 63   2016年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本工業出版  

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  • 平成27年度学会誌のレビュー

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   47 ( E1 )   E6 - E7   2016年

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  • 積層ダイアフラム形DEアクチュエータを用いたマイクロポンプに関する基礎的研究

    嚴 祥仁, 宝来 亮汰, 吉田 和弘, 横田 眞一

    フルードパワーシステム講演会講演論文集   33 - 35   2016年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本フルードパワーシステム学会  

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  • 354 流体共振回路を用いた複数アクチュエータシステムのマイクロ化に関する研究

    吉田 和弘, 笹山 裕貴, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集   2015   86 - 87   2015年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 小特集「日本フルードパワーシステム学会賞受賞者および研究委員会の紹介」

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   46 ( E1 )   E22 - E23   2015年8月

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  • 最優秀論文賞および最優秀学生論文賞の贈賞

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   46 ( 3 )   127 - 129   2015年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本フルードパワーシステム学会  

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  • 平成26年度学会誌のレビュー

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   46 ( E1 )   E2 - E3   2015年

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  • 155 平板-円筒電極対を用いた交流電気浸透マイクロポンプの特性評価

    吉田 和弘, 渡邊 真帆, 金 俊完, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集   2014   21 - 22   2014年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • J1130103 平板-円筒電極を用いた交流電気浸透マイクロポンプの提案([J113]次世代アクチュエータシステム)

    吉田 和弘, 渡邊 真帆, 金 俊完, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan   2014   "J1130103 - 1"-"J1130103-4"   2014年9月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    Alternative Current Electroosmosis(ACEO) is suitable for micro actuation systems, because the ACEO flow can be stably generated without electrolysis with simple structure having no moving parts and is caused by electrostatic force which is effective in micro area. For that reasons, ACEO is widely used in analytical devices for fluid and particle manipulation. However, existing ACEO micropumps can only realize low pressure and low flow rate, which becomes obstacles for further application such as microhydraulics. This paper presents new design of ACEO micropump using Plate-Cylinder electrodes called PC-ACEO-MP(Plate-Cylinder electrodes ACEO micropump) to enhance its performance. Using FEM simulation, we indicate its possibility of realizing high pressure(>10kPa) and high flow rate(>1mm^3/s) with less than 1cm^3 effective pump volume by using electrode plate having many hundreds of thousands of holes(smaller than 1cm^3 in diameter). We also propose a novel MEMS fabrication process for the PC-ACEO-MP electrode and realize it as a large model with 36100 holes of 10μm in diameter).

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  • 1108 交流圧力源を用いたMEMS-ERマイクログリッパに関する研究(センサ・アクチュエータ(1))

    三好 智也, 吉田 和弘, 金 俊完, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2014 ( 14 )   35 - 36   2014年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    We propose and develop a multi-DOF MEMS-based ER microgripper system using an alternating-pressure source,which is high power density and space-saving for in-pipe working micromachines,medical microrobots,and so on. Proposed system utilizes an ERF flow induced by synchronizing ER microvalves and the pressure source. The ER microvalve controls the electro-rheological fluid (ERF) flow through its apparent viscosity change due to the applied electric field. Each ER microfinger has only one pipe for supply and return with small diameter by transmitting pressure with low viscosity water. An ER microfinger having l mm long PDMS finger part with high-aspect ratio is fabricated by newly developed MEMS process,then the ER microgripper is experimentally characterized.

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  • 2203 高周波交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステムの開発(センサ・アクチュエータ(2))

    吉田 和弘, 山本 悟史, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2014 ( 14 )   135 - 136   2014年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    This paper presents a multi-DOF (degrees of freedom) microactuator system using a high frequency alternating-pressure source. The alternating flow from the pressure source is rectified by the synchronized active valves to drive plural hydraulic microactuators. To increase the position resolution and downsize the pressure source, the driving frequency was increased using high response piezoelectric elements. Thin piezoelectric valves and an alternating-pressure source were proposed and developed using piezoelectric bimorph disks. In addition, a 10 mm long bending rubber actuator with two chambers was fabricated and a system was constructed. The bending motion of the actuator was experimentally clarified.

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  • 機能性流体の応用事例：次世代フルードパワーシステムを目指して

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   45 ( 4 )   168 - 172   2014年

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  • ACTUATOR14におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   45 ( 6 )   278 - 279   2014年

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  • 編集委員会の活動報告

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   45 ( E1 )   E22 - E23   2014年

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  • IFPEX2014〜カレッジコーナーに見る最新技術～ 東京工業大学 横田・吉田・金研究室

    吉田和弘, 金俊完, 横田眞一

    油空圧技術   53 ( 12 )   19 - 23   2014年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本工業出版  

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  • 小特集「日本フルードパワーシステム学会活動の紹介」

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   45 ( E1 )   E20 - E21   2014年

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  • 157 交流圧力源を用いたMEMSベースERマイクロフィンガ(流体パワーによる駆動と制御II,オーガナイズドセッション,学術講演)

    吉田 和弘, 三好 智也, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集   2013   24 - 25   2013年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 156 MEMS技術を用いた電極分割形フレキシブルERバルブ(流体パワーによる駆動と制御II,オーガナイズドセッション,学術講演)

    吉田 和弘, 塚本 昇, 金 俊完, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集   2013   22 - 23   2013年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 159 高周波交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステム(流体パワーによる駆動と制御II,オーガナイズドセッション,学術講演)

    吉田 和弘, 山本 悟史, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集   2013   28 - 29   2013年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • J114025 周波数可変交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステム([J114-02]次世代アクチュエータシステム(2))

    吉田 和弘, 渡邊 真帆, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan   2013   "J114025 - 1"-"J114025-5"   2013年9月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    This paper presents a multi degrees-of-freedom (DOF) microactuator system using variable frequency alternating-pressure fluid power source, which is space-saving and easy to control for in-pipe working micromachines, medical microrobots, and so on. Previous researches proved that fluid power actuator system is suitable for using in micro area. However, a conventional fluid actuator needs two pipes for supply and drain, which increases the system size for multi actuators, and also needs considerable signal wires for valves which makes the system complex. The proposed system is composed of an alternating-pressure source, fluid resonance circuits composed of narrow channels and diaphragm springs, orifices, check valves and actuators. In this system, we employs fluid resonance to control multi actuators. This system needs only one small pipe to supply and drain, which is suitable for small multi-DOF system. Moreover, this system does not need signal wires for each valve, so the system is simple. In this paper, for verification of the proposed system, we fabricated two large models for 10mm size actuators to confirm their motion. Through experiments, we confirmed the maximum displacement of490iim at pressure amplitude of 50kPa, and controlled motion of the actuators by changing the driving frequency. Then we composed two-DOF system using fabricated elements and confirmed the independent and multi-DOF motion.

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  • 2A1-D08 電極分割形フレキシブルER バルブを用いたマイクログリッパ(アクチュエータの機構と制御(1))

    吉田 和弘, 塚本 昇, 金 俊完, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2013   "2A1 - D08(1)"-"2A1-D08(2)"   2013年5月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    For maintenance microrobots for small diameter pipes in chemical plants and so on, we present a 3mm long microgripper using divided electrode type flexible electro-rheological valves (DE-FERVs) fabricated by MEMS technologies. Each arm of the microgripper consists of a DE-FERV and a rubber chamber. A flow channel of the DE-FERV sandwiched between a pair of parallel plate electrodes can control the electro-rheological fluid (ERF) flow by its apparent viscosity change due to the applied electric field. The DE-FERV is composed of a rubber tube and divided electrode pairs and is a series connection of plural short length ER valve units. It can control high pressure accumulating the pressure of the ER valve units and bend at the intervals between the ER valve units. In this paper, the FEM analysis is performed to design a 3mm long arm of the microgripper and MEMS fabrication process is proposed and investigated.

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  • 東京工業大学横田・吉田研究室

    横田眞一, 吉田和弘

    フルードパワーシステム   44 ( 1 )   54 - 56   2013年

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  • 小特集「日本フルードパワーシステム学会賞受賞者および研究委員会の紹介」

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   44 ( E1 )   E19 - E20   2013年

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  • 〜滑らかな関節の動きを実現するマテリアル〜「ER流体，MR流体，電界共役流体」

    吉田和弘, 横田眞一

    Material Stage   13 ( 7 )   36 - 39   2013年

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  • 平成24年度学会誌のレビュー

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   44 ( E1 )   E2 - E3   2013年

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  • 電界共役流体（ECF，電気粘性流体（ERF）の応用

    横田眞一, 吉田和弘

    日本ロボット学会誌   31 ( 5 )   461 - 464   2013年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Robotics Society of Japan  

    DOI： 10.7210/jrsj.31.461

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    その他リンク： https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/10021338600?from=CiNii

  • 2013年度精密工学会春季大会学術講演会におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   44 ( 4 )   231 - 232   2013年

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  • Mechatronics2012におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   44 ( 2 )   94 - 95   2013年

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  • 特集「ものづくり教育（企業編）」発行にあたって

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   44 ( 3 )   142   2013年

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  • 特集「ものづくり教育（大学編）」発行にあたって

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   44 ( 1 )   7   2013年

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  • 154 スリットー直方体電極対を用いた交流電気浸透マイクロポンプの特性評価(流体パワーによる駆動と制御I,オーガナイズドセッション,学術講演)

    吉田 和弘, 佐藤 智之, 嚴 祥仁, 金 俊完, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集   2012   18 - 19   2012年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 155 形状適応機能を有する多自由度ERアクチュエータに関する研究 : 可動電極形ERバルブの開発(流体パワーによる駆動と制御I,オーガナイズドセッション,学術講演)

    吉田 和弘, 箱田 智史, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集   2012   20 - 21   2012年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 2P1-E10 ECFジェット駆動マイクロ液圧用シリンダ(アクチュエータの機構と制御(3))

    嚴 祥仁, 増田 弘樹, 横田 眞一, 吉田 和弘, 枝村 一弥

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2012   "2P1 - E10(1)"-"2P1-E10(2)"   2012年5月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    In this study a micro hydraulic cylinder driven by ECF jet is developed and its performance characteristics are evaluated. ECF (Electro-conjugate fluid) is a kind of functional fluid which generates a powerful jet flow when a high DC voltage is applied, and the generated jet is called ECF jet. Developed micro hydraulic cylinder is composed of piston parts and ECF jet generators, etc. The inside of micro hydraulic cylinder is filled with ECF and enclosed by the rolling diaphragms and the ECF jet generators include electrodes to apply the high DC voltage. When a high DC voltage is applied to the ECF, the generated ECF jet drives the micro hydraulic cylinder. In this report, a prototype of micro hydraulic cylinder was fabricated and its driving test was successfully demonstrated.

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  • 2211 交流圧力源を用いた多自由度ERマイクロアクチュエータシステムの提案(マイクロデバイス,一般講演)

    吉田 和弘, 三好 智也, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2012 ( 12 )   157 - 158   2012年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    As a multi-DOF (degrees of freedom) microactuator system for maintenance microrobots for small diameter pipes in power plants and so on, we proposed a novel multi-DOF ER microactuator system using an alternating-pressure source. In the system, the alternating-pressure of low viscosity fluid is transmitted to ERF (electro-rheological fluid); the induced flow is rectified through ER microvalves and applied to each fluid power microactuator. The pipe connecting the pressure source and each actuator is only one for both outflow and inflow and is applicable small diameter due to the low viscosity fluid, which can solve the piping problem of multi-DOF ER microactuator systems. In this paper, the system was proposed and the basic characteristics were analyzed.

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  • 2210 バルブ分割形FERVを用いたマイクログリッパ(マイクロデバイス,一般講演)

    吉田 和弘, 原 創太, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2012 ( 12 )   155 - 156   2012年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    For maintenance microrobots for small diameter pipes in power plants and so on, we proposed and developed a novel microgripper using valve division type flexible electro-rheological valves (FERVs). Each bendable arm consists of the FERV and a rubber chamber with several millimeters long. The FERV has plural short length ER valves in a rubber channel. Each ER valve controls the electro-rheological fluid (ERF) flow by changing the viscosity with the electric field. The FERV has high flexibility with sufficient pressure control range. The rubber chamber has plural walls inside to restrict the radial expansion and axially extends by the inner pressure controlled with the FERV. Arm large models and a gripper were fabricated and characterized.

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  • 第29回日本ロボット学会学術講演会におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   43 ( 1 )   38 - 39   2012年

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  • 第12回日本機械学会機素潤滑設計部門講演会におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   43 ( 5 )   300 - 301   2012年

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  • 機能性流体を応用したマイクロデバイス

    吉田和弘, 横田眞一

    油空圧技術   51 ( 11 )   99 - 103   2012年

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  • 機能性流体ERFを用いた位置制御マイクロシステム

    吉田和弘, 横田眞一

    油空圧技術   51 ( 2 )   11 - 16   2012年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本工業出版  

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  • 特別招待講演の概要

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   43 ( 2 )   82 - 86   2012年

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  • 260 ECFジェット圧力駆動マイクロシリンダの試作および特性解明(流体パワーによる駆動と制御III)

    増田 弘樹, 嚴 祥仁, 横田 眞一, 吉田 和弘, 枝村 一弥

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2011   54 - 55   2011年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 259 フレキシブルERバルブを用いたマイクログリッパ(流体パワーによる駆動と制御III)

    吉田 和弘, 原 創太, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2011   52 - 53   2011年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • J112021 偏流板を用いた交流電気浸透マイクロポンプ([J11202]次世代アクチュエータシステム(2))

    吉田 和弘, 村松 恵治, 金 俊完, 嚴 祥仁, 横田 眞一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan   2011   "J112021 - 1"-"J112021-3"   2011年9月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    An AC Electroosmosis Micropump Using Flow Deflectors

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  • ICMT2010におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   42 ( 2 )   145 - 147   2011年

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  • IFPEX2011 〜フルードパワーの可能性〜 東京工業大学 横田・吉田研究室

    横田眞一, 吉田和弘

    油空圧技術   50 ( 6 )   24 - 26   2011年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本工業出版  

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  • 液晶系ERFを用いたマイクロシステム

    吉田和弘, 横田眞一

    フルードパワーシステム   42 ( 1 )   16 - 19   2011年

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  • ICMDT2011におけるフルードパワー技術研究

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   42 ( 5 )   292 - 293   2011年

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  • 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータ

    吉田和弘, 金俊完, 横田眞一

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体を活用した次世代型フルードパワーシステムに関する研究委員会研究成果報告書   22 - 25   2010年

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  • 1P1-B04 ベロフラムアクチュエータのマイクロ化とERマイクロアクチュエータへの応用

    吉田 和弘, 金 俊完, 安齋 隆史, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2010   "1P1 - B04(1)"-"1P1-B04(2)"   2010年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    For in-pipe working micromachines using fluid power, we propose and develop a micro bellofram actuator (MBA) equipped with an ER valve. The MBA features larger displacement than metal bellows actuators and higher output force than rubber bellows actuators. Based on the consideration of various parameters of the micro bellofram, MBA was successfully fabricated. The fabricated MBA showed larger ratio (52%) of the displacement to the free length. ER valve-integrated MBA with 10mm in diameter was fabricated and the static characteristics were experimentally clarified.

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  • FPIC会議報告：日本機械学会第10回機素潤滑設計部門講演会におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   41 ( 5 )   315 - 317   2010年

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  • ACTUATOR 2010におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   41 ( 6 )   405 - 407   2010年

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  • フルードパワー研究 機能性流体10年間の動向

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   41 ( 2 )   118 - 122   2010年

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  • カリフォルニア滞在記

    吉田 和弘

    フルードパワーシステム   40 ( E1 )   E56-E61   2009年

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  • 高出力圧電マイクロポンプ

    吉田 和弘, 横田 眞一

    設計工学   44 ( 9 )   6 - 10   2009年

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  • 平成20年度の機能性流体分野の研究動向

    吉田 和弘

    フルードパワーシステム   40 ( E1 )   E17-E20   2009年

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  • 759 ERマイクログリッパに関する研究(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション)

    吉田 和弘, 井出 亨, 金 俊完, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2008   233 - 234   2008年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 1304 位置フィードバック機構を内蔵したERマイクロアクチュエータの開発(マイクロアクチュエータ,一般講演)

    吉田 和弘, 神山 和仁, 金 俊完, 横田 眞一

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2008 ( 8 )   119 - 120   2008年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    The paper proposes and develops a novel smart ER microactuator having an inherent position feedback mechanism. The proposed actuator consists of a pair of movable and fixed parallel plate electrodes with variable gap length and an upstream restrictor. The applied voltage increases the electrode gap length or the output displacement with pressure increase due to viscosity increase of the ERF (electro-rheological fluid). In addition, the actuator has position feedback function to suppress the displacement due to an external force with pressure change due to change of the flow resistance between the electrodes. In this paper, the mathematical model is derived and the feasibility is confirmed through simulations. Then, an actuator with 10 mm diameter is designed, fabricated and characterized.

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  • マイクロERバルブ

    横田眞一, 吉田和弘

    バルブ技報   23 ( 1 )   59 - 64   2008年

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  • 電界共役流体(ECF)と応用した強制液冷用薄型平面ポンプ

    横田眞一, 吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会誌   39 ( 5 )   277 - 280   2008年

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  • 754 管路内の流体慣性を応用したマイクロ流体パワー源の高出力化(流体パワーによる駆動と制御I)

    吉田 和弘, 北爪 徹也, 瀬戸 毅, 高城 邦彦, 金 俊完, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2007   197 - 198   2007年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 1A2-A03 MEMS技術を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータ(アクチュエータの機構と制御)

    金 俊完, 吉田 和弘, 国府田 くみ子, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2007   "1A2 - A03(1)"-"1A2-A03(4)"   2007年5月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    On purpose to realize flexible electro-rheological microactuators (FERMA), this paper presents a MEMS-based flexible ER microvalve (FERV) by integrating thin SU-8 cantilever structures and the SU-8-sandwiched micro fluidic channels for homogeneous ER fluid. The structure of the FERV is the fluidic channel-embedded cantilever and the combination of an upper structure and a lower one fabricated separately and respectively. The FERV is composed of thin flexible polymer (SU-8) cantilever-shaped structures and much thinner metal patterns for electrodes. The FERV is successfully fabricated and the bending of the FERV shows enough flexibility. The static and dynamic characteristics of the FERV are experimentally investigated and prove that the controllable pressure change rate of the FERV is about 70 % of the supply pressure and the response time at the step-up and the step-down is about 0.1 second. There is not such a difference of the static and dynamic performance between a straight FERV and a bent FERV, showing that bending does not affect the characteristics of the FERV. A bellows-type FERMA has the output displacement of 5 mm with supply pressure of 40 kPa and electric field strength of 2.5 kV/mm. The experimental results prove the feasibility of FERMA.

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  • 機能性流体を用いたマイクロアクチュエータ

    横田眞一, 吉田和弘

    電気学会誌   127 ( 5 )   282 - 284   2007年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Institute of Electrical Engineers of Japan  

    本記事に「抄録」はありません。

    DOI： 10.1541/ieejjournal.127.282

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    その他リンク： https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00293407500?from=CiNii

  • 第18回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウムにおけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   15 ( 1 )   11 - 13   2007年

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  • フレキシブル電極を用いた多自由度ERマイクロアクチュエータの開発

    吉田和弘

    財団法人三豊科学技術振興協会平成16年度助成対象研究成果報告書   67 - 73   2007年

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  • 創立110周年記念 機械工学年鑑 14・3 アクチュエータ

    吉田和弘

    日本機械学会誌   110 ( 1065 )   620 - 621   2007年

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  • 10th International Conference on New Actuators (ACTUATOR 2006)におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   15 ( 3 )   6 - 8   2007年

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  • 総論：ニューアクチュエータ ＝最近の研究開発動向と機能性流体の応用事例＝

    吉田和弘, 横田眞一

    油空圧技術   46 ( 10 )   1 - 6   2007年

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  • 11.5 アクチュエータ・センサの展開

    吉田和弘

    日本機械学会 創立110周年記念 機械工学 最近10年のあゆみ   114 - 115   2007年

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  • 日本機械学会2007年度年次大会におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   15 ( 3 )   18 - 20   2007年

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  • 760 カンチレバー形フレキシブルERマイクロバルブ(流体パワーによる駆動と制御II)

    金 俊完, 國府田 くみ子, 吉田 和弘, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2006   201 - 202   2006年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 2314 高出力極薄平面形ECFポンプの開発および特性評価(OS8-3 アクチュエータシステム(3))

    徐 佑昔, 吉田 和弘, 横田 眞一, 枝村 一弥

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2006 ( 6 )   291 - 294   2006年5月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    A high performance ultra thin-planar pump using electro-conjugate fluid (ECF) was developed and tested. The pump consists of a pump base, a top cover, and an electrode substrate. The overall dimensions of the fabricated ultra thin-planar ECF pump are 120mm×38mm×13mm and the flow channel height is 500μm. The ECF is a kind of dielectric and functional fluids, which generates a powerful jet flow (ECF-jet) by an applied static electric field through a pair of electrodes. The ECF-jet directly acts on the working fluids, thus, the ultra thin-planar ECF pump needs no moving parts and produces no vibration and noise. Various arrays of the electrodes, such as rectangular, saw-tooth, and arc-shape electrodes, were investigated for realization of a high performance ultra thin-planar ECF pump. The pumping experiments of the fabricated pump were performed with five different electrode patterns using FF-1_<EHA2> as the working fluid. Through experimental results, the no-load flow rate of 940mm^3/s, maximum output pressure of 11.6kPa, and maximum output power of 3.1mW were achieved at an applied voltage of 3.0kV.

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  • 均一系ER流体を用いたバルブ集積形マイクロアクチュエータ

    吉田和弘, 横田眞一

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体を用いたスマートフルードパワーシステムに関する研究委員会研究成果報告書（Ⅰ）   49 - 54   2006年

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  • 9th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT2005)におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   13 ( 4 )   9 - 11   2006年

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  • 巻頭言 JFPSフルードパワー国際シンポジウムについて

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   13 ( 4 )   1   2006年

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  • 電界共役流体ECFを応用したマイクロアクチュエータ

    横田眞一, 吉田和弘, 竹村研治郎, 枝村一弥

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体を用いたスマートフルードパワーシステムに関する研究委員会研究成果報告書（Ⅰ）   121 - 126   2006年

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  • The 1st International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2005)におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   13 ( 4 )   12 - 14   2006年

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  • 日本機械学会第6回機素潤滑設計部門講演会におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   14 ( 3 )   12 - 14   2006年

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  • 特集「フルードパワーシステムの省エネルギー化技術」発行にあたって

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   37 ( 3 )   143 - 196   2006年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本フルードパワーシステム学会  

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  • 1A1-C19 極薄平面ECFポンプの電極構造による高出力化

    徐 佑昔, 吉田 和弘, 横田 眞一, 枝村 一弥

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2006   "1A1 - C19(1)"-"1A1-C19(4)"   2006年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    This paper presents the effect of electrode geometry for high performance of an ultra thin-planar pump using the electro-conjugate fluid (ECF). The ECF is a kind of dielectric and functional fluids, which generates a powerful jet flow (ECF-jet) by an applied static electric field through a pair of electrodes. The ECF-jet directly acts on the working fluids, therefore, the ultra thin-planar ECF pump needs no moving parts and produces no vibration and noise. The proposed pump consists of three parts: a pump base, a top cover, and an electrode substrate. The overall dimensions of the ultra thin-planar ECF pump are 120 mm×38 mm×13 mm and the flow channel height is 500 μm. Various arrays of the electrodes, such as rectangular, saw-tooth, and arc-shape electrodes, were investigated for high performance of the proposed ultra thin-planar ECF pump. The pumping experiments of the fabricated pump were performed with five different electrode patterns using FF-1_<EHA2> as the working fluid. Through experimental results, the no-load flow rate of 940 mm^3/s, maximum output pressure of 11.6 kPa, and maximum output power of 3.1 mW were achieved at an applied voltage of 3.0 kV.

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  • 東京工業大学 精密工学研究所 横田・吉田研究室 =機能性流体を応用したニューマイクロアクチュエータの実現と応用=

    横田眞一, 吉田和弘

    油空圧技術   45 ( 12 )   71 - 73   2006年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本工業出版  

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  • 762 MEMS技術を用いたECFマイクロモータアレイの提案(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)

    金 俊完, 西田 吉人, 横田 眞一, 吉田 和弘, 枝村 一弥

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2005   229 - 230   2005年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 705 管路内の流体慣性を応用した全波整流形圧電マイクロポンプ(流体パワーによる駆動と制御I,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)

    吉田 和弘, 杉浦 啓太, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2005   197 - 198   2005年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 1P1-S-082 電子チップの液冷システムのための平面形ECFポンプの特性評価(アクチュエータの機構と制御2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

    横田 眞一, 徐 佑昔, 吉田 和弘, 枝村 一弥

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2005   93 - 93   2005年6月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 1P1-S-080 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータの開発(アクチュエータの機構と制御2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

    吉田 和弘, 小木曽 太郎, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2005   93 - 93   2005年6月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 高発熱電子チップのためのECF強制液冷システムの開発

    徐佑昔, 吉田 和弘, 横田 眞一, 枝村 一弥

    日本機械学会山梨講演会講演論文集, 2005   219 - 220   2005年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • The 6th International Conference on Fluid Power Transmission and Control (ICFP'2005)におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   13 ( 3 )   15 - 18   2005年

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  • 806 共振駆動スプール弁を用いた圧電マイクロポンプ(流体パワーによる駆動と制御)

    吉田 和弘, 渡温 幸太郎, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2004   237 - 238   2004年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 807 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータの提案(流体パワーによる駆動と制御)

    吉田 和弘, 小木曽 太郎, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2004   239 - 240   2004年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 860 電子チップ液冷用平面形ECFポンプ(流体パワーによる駆動と制御)

    横田 眞一, 徐 佑昔, 吉田 和弘, 技村 一弥

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2004   261 - 262   2004年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 808 MR流体を用いたマイクロ流体制御システム(流体パワーによる駆動と制御)

    吉田 和弘, 鄭 淵午, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2004   241 - 242   2004年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 管路慣性を応用したマイクロポンプ : 最適構造の検討(OS11 機能性流体アクチュエータ)

    吉田 和弘, 鄭 淵午, 瀬戸 毅, 高城 邦彦, 朴 重濠, 横田 眞一

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2004 ( 4 )   141 - 144   2004年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    For fluid microactuators and microfactory, the authors have proposed a novel high output micropump using inertia effect of fluid which has a pipeline element in place of an outlet check valve and verified the effectiveness with a fabricated micropump. To increase the output power and to miniaturize the size, this paper investigates the optimal structure through simulations based on the proposed simple mathematical model with lumped parameters and experiments using fabricated micropumps with different sizes of the pipeline element. Also, the optimal diameter of the diapharm is investigated through simulations.

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  • バルブ内蔵形MRシリンダとその応用(OS11 機能性流体アクチュエータ)

    吉田 和弘, 曽我 力, 横田 眞一, 河内 仁, 枝村 一弥

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2004 ( 4 )   153 - 154   2004年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    A novel hydraulic actuator named the "MR cylinder"' is proposed and developed. The actuator is composed of a piston with electromagnets and a cylinder. MR (Magneto-Rheological) fluid that is a functional fluid whose apparent viscosity can be controlled through the applied magentic field flows in the gap between the piston and cylinder and the differential pressure is controlled by the current applied for the electromagnets. The proposed actuator features compactness and large stroke. In this paper, the MR cylinder is proposed, fabricated and applied for a 2-link manipulator. The static and dynamic characteristics of the MR cylinder-driven manipulator is investigated experimentally.

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  • 特集「レスキューロボティクスにおけるフルードパワー技術」発行にあたって

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   35 ( 4 )   220   2004年

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  • 日本機械学会第4回機素潤滑設計部門講演会におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   12 ( 3 )   18 - 21   2004年

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  • 第9回ニューアクチュエータ国際会議（ACTUATOR2004）におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   12 ( 3 )   8 - 12   2004年

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  • The 8th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT2004)におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   12 ( 4 )   20 - 23   2004年

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  • 平成16年秋季フルードパワーシステム講演会における機能性流体技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   12 ( 4 )   16 - 19   2004年

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  • 機能性流体を応用したマイクロアクチュエータ（その2）

    吉田和弘

    フルードパワー   18 ( 3 )   56 - 60   2004年

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  • 高出力圧電マイクロポンプ

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   35 ( 6 )   375 - 379   2004年

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  • 流体マイクロアクチュエータ －高出力マイクロマシンの実現を目指して－

    吉田和弘

    検査技術   9 ( 6 )   1 - 7   2004年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本工業出版  

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  • 機能性流体を応用したマイクロアクチュエータ

    吉田和弘

    フルードパワー   18 ( 2 )   58 - 62   2004年

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  • 平成15年度の機能性流体分野の研究動向

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   35 ( E1 )   E24-E27   2004年

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  • 854 管路慣性を応用したマイクロポンプの最適構造

    吉田 和弘, 鄭 淵午, 瀬戸 毅, 高城 邦彦, 朴 重濠, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2003   205 - 206   2003年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 856 バルブ内蔵形 MR シリンダ

    吉田 和弘, 横田 眞一, 曽我 力, 河内 仁, 枝村 一弥

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2003   209 - 210   2003年10月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 203 MR 流体を作動流体としたマイクロバルブの高応答化

    吉田 和弘, 米田 裕一, 横田 眞一

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2003 ( 3 )   81 - 84   2003年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    MR (Magneto-Rheological) fluid is a functional fluid whose apparent viscosity is controlled by the applied magnetic field intensity. A valve using MR fluid called the MR valve features simple structure without moving parts. This paper improves the response of the micro MR vale that applies magnetic field to the MR fluid through a thermo-control magnetic circuit composed of a permanent magnet, a thermosensitive ferrite and a Peltier element. First, a thermo-control magnetic circuit that concentrates the thermal input to the thermosensitive ferrite is proposed. The characteristics of the magnetic circuit between magnetic field intensity and temperature of the thermosensitive ferrite are experimentally investigated and the improvement of the response is confirmed. Second, a 3-port micro MR valve is designed and fubricated. The characteristics of the 3-port micro MR valve among load pressure, flow rate and temperature are experimentally clarified.

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  • 202 アクティブバルブを用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ : 負荷特性と小形化の検討

    朴 重濠, 吉田 和弘, 石川 主税, 横田 眞一, 瀬戸 毅, 高城 邦彦

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2003 ( 3 )   77 - 80   2003年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    We have been developing a resonantly-driven piezoelectric micropump using active-type check valves in place of conventional passive-type. It actively controls open/close motion of check valves using piezoelectric actuator installed into inlet and outlet. In the previous paper, frequency characteristics of the flow rate without load pressure were investigated using a prototype micropump fabricated with the effective size of 17×8×11(mm)^3. In this paper, load characteristics and bi-directional flow characteristics are experimentally investigated using an adequate timing control for valve closing motion. Maximum flow rate of 65(mm)^3/s and maximum pressure of 0.2MPa are obtained at the driving frequency of 2.8kHz. Besides, it is ascertained that optimal values of phase shift against voltage for driving pump chamber are 15° for inlet check valve and 195° for outlet. Based on the obtained results, a sheet-type active shuttle valve that has a unified valve-body for inlet and outlet check valves is proposed and a novel micropump with the effective size of 10×10×10(mm)^3 using the shuttle valve is fabricated and tested.

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  • 高出力液圧マイクロポンプ ＝マイクロマシンおよびマイクロファクトリへの応用を目指して＝

    吉田和弘

    油空圧技術   42 ( 6 )   6 - 11   2003年

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  • 機能性流体およびその他の分野のフルードパワーシーズ

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   34 ( E1 )   E51-E54   2003年

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  • 平成14年度の機能性流体分野の動向

    吉田和弘

    フルードパワーシステム   34 ( E1 )   E24-E29   2003年

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  • 機能性流体を応用したアクチュエータ

    吉田和弘

    次世代アクチュエータ技術の予測調査研究（研究課題番号14605004）平成14年度科学研究費補助金（基盤研究(C)(1)）研究成果報告書   8   45 - 63   2003年

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  • 流体マイクロアクチュエータ

    吉田和弘

    計測と制御   42 ( 12 )   992 - 997   2003年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Society of Instrument and Control Engineers  

    DOI： 10.11499/sicejl1962.42.992

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    その他リンク： https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00234635115?from=CiNii

  • 2A1-2F-E4 流体の慣性効果を用いたマイクロポンプの高出力化

    高城 邦彦, 瀬戸 毅, 吉田 和弘, 朴 重濠, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2003   77 - 77   2003年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    流体の慣性効果を用いる積層形圧電素子駆動のマイクロポンプに関して, ポンプ出力を増加させるために行ったダイヤフラムを弁に関する改良について述べ, 更に, これら改良前後のポンプ出力特性について述べる。

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  • 1A1-1F-E8 シート形アクティブシャトル弁を用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ

    朴 重濠, 吉田 和弘, 石川 主税, 横田 眞一, 瀬戸 毅, 高城 邦彦

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2003   10 - 10   2003年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    本報では, 吸入側および吐出側チェック弁の開閉タイミングを一つの圧電素子を用いて能動的に制御することにより高出力化を図った1cm立方サイズの共振駆動形圧電マイクロポンプを提案, 試作し, ポンプ出力特性に対する実験的検討をおこなう。

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  • 2P1-1F-C6 画像積算を用いた実時間運動ステレオビジョン

    吉田 和弘, 松浪 智広, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2003   92 - 92   2003年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    等速運動するCCDカメラで撮像した複数の濃淡画像を積算し, 簡単かつ高速な演算処理で3次元座標を求める新しい実時間運動ステレオビジョンを提案し, 自然環境等の計測実験によりその有効性を検討する。

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  • フルードパワーを用いたマイクロアクチュエータとマイクロマシン ＝高出力マイクロマシンの実現を目指して＝

    吉田和弘

    油空圧技術   42 ( 6 )   1 - 5   2003年

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  • 日本機械学会第3回機素潤滑設計部門講演会におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   11 ( 2 )   21 - 23   2003年

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  • 754 輝度勾配に基づく実時間運動ステレオビジョン : 計測速度の向上

    吉田 和弘, 松浪 智広, 横田 眞一

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2002   253 - 254   2002年9月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 762 MR 流体を作動流体としたマイクロバルブ : 高応答化の検討

    吉田 和弘, 米田 裕一, 横田 眞一, 杉原 輝哉

    山梨講演会講演論文集 : Yamanashi district conference   2002   269 - 270   2002年9月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 212 ER バルブ集積形マイクロアクチュエータ

    吉田 和弘, 矢野 宏, 朴 重濠, 横田 眞一

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2002 ( 2 )   151 - 154   2002年4月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    As an advanced control component for practical micromachines using fluid power in millimeter size, the authors have proposed and developed a microvalve using homogeneous electro-rheological (ER) fluid called micro ER valve. By using the homogeneous ER fluid whose viscosity is controlled by the applied electric field strength, a simple-structural control valve composed of fixed electrodes can be realized. In this paper, to mount on in-pipe working micromachines, a compact ER valve-integrated microactuator is proposed and fabricated. First, miniaturization characteristics of the micro ER valve fabricated by micromachining are examined experimentally. Second, a polyimide-diaphragm fluid microactuator is proposed, fabricated and tested. Finally, an ER valve-integrated microactuator is constructed by using above devices with 8mm width, 10mm length and 1.4mm height and the static characteristics are investigated experimentally. Also, as an application, a micro gripper driven by the actuator is demonstrated.

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  • 「機械工学年鑑」機能要素（分担）

    吉田和弘

    日本機械学会誌   105 ( 1005 )   547   2002年

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  • 最新のマイクロアクチュエータ技術 マイクロ流体モータとマイクロポンプ

    横田眞一, 吉田和弘

    精密工学会誌   68 ( 5 )   653 - 656   2002年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：公益社団法人精密工学会  

    DOI： 10.2493/jjspe.68.653

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    その他リンク： https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00156790862?from=CiNii

  • 日本機械学会第2回機素潤滑設計部門講演会におけるフルードパワー技術研究動向

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会FPICクオータリ   10 ( 4 )   16 - 19   2002年

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  • 流体駆動形マイクロマシン

    吉田和弘, 横田眞一

    材料の科学と工学   39 ( 4 )   150 - 153   2002年

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  • マイクロファクトリのための高出力流体パワー源

    朴, 吉田 和弘, 中須 祥浩, 横田 眞一, 瀬戸 毅, 高城 邦彦

    機学第2回機素潤滑設計部門講論集, 2002   155 - 158   2002年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    In this paper, to realize micro fluid power sources applicable to microfactory or micromachines using fluid power, a resonantly-driven piezoelectric micropump with newly devised check valve unit is developed and the pumping characteristics are experimentally investigated. Furthermore, a practical application to micro press is attempted. First, micro sheet valve having the floating valve-body to increase valve-opening and to decrease pressure loss is proposed and fabricated by micromachining such as etching and micro-EDM (electrical discharge machining). The validity is verified through experiments on static characteristics between flow rates across the check valve and applied pressures. Second, frequency characteristics of the micropump that employs two micro sheet valves for inlet/outlet are experimentally investigated. Finally, a micro press equipped with the developed micropump is fabricated with he effective size of 20×20×28(mm)^3. Blanking of a hole with 0.3mm diameter to aluminum sheet with 0.01mm thickness is realized.

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  • 2P1-H07 小形流体アクチュエータ用高出力マイクロポンプの開発

    瀬戸 毅, 高城 邦彦, 吉田 和弘, 朴 重濠, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2002   94 - 94   2002年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    個別に流体パワー源を持つ小形液体アクチュエータ用として, 高出力マイクロポンプの研究を行っている。本報では, ピエゾ駆動ポンプの吐出弁に替えて, 流体慣性力を保存する管路要素を設けた新構造を提案する。新構造マイクロポンプは, ポンプ室直径3mmで流体出力約50mWを達成し, ポンプの体積効率は100%を超えることがわかった。また開発したマイクロポンプを用い, 指形フレキシブルアクチュエータの屈曲動作が可能である事を実証した。

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  • 2P2-H01 均一系 ER 流体を用いたバルブ集積形マイクロアクチュエータの提案

    吉田 和弘, 矢野 宏, 朴 重濠, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2002   116 - 116   2002年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    流体駆動マイクロマシンの制御のため, 著者らは, 印加電界で粘度制御できる均一系ER流体を作動流体としたマイクロERバルブの開発を進めてい。本報では, マイクロマシンへの実装を目的に, 流体アクチュエータに上記バルブを集積化したバルブ集積形マイクロアクチュエータを提案, 試作する。まず, マイクロERバルブの高性能化, 小形化について実験すに検討する。次に, 柔軟で大変位が得られるボリイミド薄膜形流体アクチュエータを提案, 試作し, 特性実験を行う。最後に, 上記要素を集積化し, 特性実験を行うとともに, 応用について検討する。

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  • マイクロ流体アクチュエータ

    横田眞一, 吉田和弘

    フルードパワーシステム   33 ( 3 )   149 - 154   2002年

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  • 共振駆動を用いた圧電マイクロポンプ : マイクロシートバルブの提案と実験的検討

    朴 重濠, 吉田 和弘, 中須 祥浩, 横田 眞一, 瀬戸 毅, 高城 邦彦

    油空圧講演論文集   13 ( 2 )   109 - 111   2001年11月

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    記述言語：日本語  

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  • 1A1-D8 均一系ER流体を作動流体としたマイクロバルブ : 管内走行マイクロマシンへの応用(45. 機能性流体およびその応用)

    吉田 和弘, 朴 重濠, 清水 孝之, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2001   9 - 9   2001年6月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 127 均一系ER流体を作動流体としたポンプ搭載形管内走行マイクロマシン

    吉田 和弘, 朴 重濠, 清水 孝之, 横田 眞一

    機素潤滑設計部門講演会講演論文集   2001 ( 1 )   117 - 120   2001年3月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    As an advanced control component and a fluid power source for practical and powerful micromachines using fluid power, the authors have proposed and developed a micro ER valve using homogeneous ER fluids and a resonantly-driven piezoelectric micropump, respectively. In this paper, the above elements-mounted in-pipe mobile micromachine is developed. Firstly, to select the most suitable homogeneous ER fluids for micromachines, basic characteristics of some kinds of liquid crystals are experimentally investigated with 2-port micro ER valves fabricated by micromachining. Secondly, output characteristics of the resonantly-driven piezoelectric micropump are investigated with some improvements for pumping the selected homogeneous ER fluids. Finally, through investigations on supporting and propelling mechanisms, an in-pipe mobile micromachine mounted with the above microvalve and micropump is fabricated with 9mm in diameter and 75mm in length and experiment for an inchworm type travelling is attempted.

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  • マイクロロボット用アクチュエータの開発－流体マイクロアクチュエータを例として－

    吉田和弘, 横田眞一

    電気学会論文誌Eセンサ・マイクロマシン準部門誌   121 ( 7 )   357 - 361   2001年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：The Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.121.357

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    その他リンク： https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00351461499?from=CiNii

  • 視覚センサ

    吉田和弘

    日本機械学会誌   104 ( 991 )   374 - 375   2001年

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  • 若き油空圧研究者たち② 東京工業大学精密工学研究所 吉田研究室

    吉田和弘

    油空圧技術   40 ( 7 )   40 - 41   2001年

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  • MR流体を作動流体としたベローズ駆動マニピュレータ

    吉田, 佐々木 敦, 朴 重濠, 横田 眞一, 河内 仁, 枝村

    機械学会関東支部山梨講論, 2001   183 - 184   2001年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 均一系ER流体を作動流体としたバルブ集積形マイクロアクチュエータ

    吉田, 矢野 宏, 朴 重濠, 横田 眞一

    日本機械学会関東支部山梨講演会講演論文集, 2001   177 - 178   2001年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 日本機械学会第1回機素潤滑設計部門講演会における油空圧技術研究動向

    吉田和弘

    日本油空圧学会HPICクオータリ   9 ( 2 )   2 - 5   2001年

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  • MR流体を作動流体とした圧力制御弁(MR流体の特性改善と3ポートバルブの試作)

    吉田 和弘, 高橋 寛如, 横田 眞一, 河内 仁, 枝村 一弥

    油空圧講演論文集   12 ( 2 )   114 - 116   2000年10月

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    記述言語：日本語  

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  • 319 均一系ER流体を用いたポンプ搭載形管内逆行マイクロマシン : バルブおよびポンプの実験的検討(流体工学III・流体機械)(オーガナイズドセッション(b)実地における流体諸問題)

    吉田 和弘, 朴 重濠, 清水 孝之, 横田 眞一

    北海道支部講演会講演概要集   2000 ( 40 )   132 - 133   2000年9月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    To realize practical high power micromachines, the authors have proposed a simple microvalve using homogeneous ER fluids and are developing a micropump-mounted in-pipe mobile micromachine with 9mm in diameter. In this paper, firstly, 2-port micro ER valves are fabricated by micro machining and some kinds of homogeneous ER fluids' characteristics are experimentally investigated. Secondly, for higher output of the resonantly-driven piezoelectric micropump, the check valves are improved and the pump characteristics are experimentally investigated. Finally, the structure of an in-pipe mobile micromachine using above-mentioned elements is discussed.

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  • 318 MRF液滴を弁体としたマイクロバルブ : 提案と基礎実験(流体工学III・流体機械)(オーガナイズドセッション(b)実地における流体諸問題)

    吉田 和弘, 鄭 淵午, 横田 眞一

    北海道支部講演会講演概要集   2000 ( 40 )   130 - 131   2000年9月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    For micromachines using fluid power with high power density, a novel microvalve using Magneto-Rheological Fluids (MRF) drop is proposed. The MRF drop is supported as a valve by a permanent magnet and is moved by electromagnets to control the opening. The proposed microvalve solves leakage problem caused by the large machining errors compared with its micro size. A microvalve is fabricated with 10 × 10 × 10mm^3 in size and the magnetic control and the flow control characteristics are experimentally investigated.

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  • 202 輝度勾配に基づく実時間運動ステレオビジョン : 計測精度とカメラ移動速度の向上(計測)(オーガナイズドセッション(a)材料力学・材料強度に関する新展開)

    吉田 和弘, 冨田 隆広, 横田 眞一

    北海道支部講演会講演概要集   2000 ( 40 )   54 - 55   2000年9月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    To realize autonomous manipulators which work outdoors, 3D vision sensors are required to measure objects and environments under severe conditions. The authors have proposed a real-time motion stereo vision which measures 3D coordinates of objects with simple calculations based on brightness gradient of images captured by a motion camera. In this paper, firstly, factors of the measuring errors are investigated in detail and improved. Secondly, the camera velocity is improved to reduce the effect of object movements. Finally, in consideration of installation in manipulators, a downsized motion stereo vision is fabricated and tested under measuring experiments.

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  • 機能性流体に関わる研究事例:流体マイクロマシン

    吉田 和弘, 横田 眞一

    フルイドパワーシステム : 日本油空圧学会誌 : journal of the Japan Hydraulics & Pneumatics Society   31 ( 4 )   283 - 288   2000年7月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本油空圧学会  

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  • MR 流体を作動流体とした液圧制御システム

    吉田 和弘, 雪下 和大, 横田 眞一, 近藤 豊, 長峯 靖之

    油空圧講演論文集   12 ( 1 )   115 - 117   2000年5月

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    記述言語：日本語  

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  • オーバライド圧力補償直動形アンロード弁

    増田 健二, 田辺 実, 吉田 和弘, 横田 眞一

    油空圧講演論文集   12 ( 1 )   61 - 63   2000年5月

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    記述言語：日本語  

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  • 606 MR流体を作動流体としたマイクロバルブ : 試作マイクロMRバルブの基本特性(マイクロ)(機素潤滑設計部門企画セッション)

    吉田 和弘, 高松 環, 横田 眞一

    東海支部総会講演会講演論文集   2000 ( 49 )   343 - 344   2000年3月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

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  • 1A1-49-060 半導体プロセスによる試作マイクロ ER バルブの基本特性

    吉田 和弘, 菊地 正晃, 朴 重濠, 横田 眞一

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2000   37 - 38   2000年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    流体パワーを用いたマイクロマシンに搭載するマイクログリッパの制御のため, 著者らは印加電界で容易に圧力制御可能な均一系ER流体を作動流体としたマイクロERバルブを提案し, 機械加工による2ポートバルブの試作を通してその有効性を示している。本報では, マイクロERバルブのさらなるマイクロ化を図るため, 異方性エッチングおよび陽極接合技術を用いた2ポートバルブを試作し, 電極構造パラメータに対する静特性実験を通して, ER効果の詳細な検討をおこなう。

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  • フルイドパワーを構成する機器と制御技術：流体マイクロマシン

    吉田和弘, 横田眞一

    フルイドパワーシステム   31 ( 4 )   283   2000年

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  • フルイドパワーシステム2010年の夢

    吉田和弘

    フルイドパワーシステム   31 ( 1 )   61   2000年

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  • 巻頭言 油空圧情報センター（HPIC）への期待

    吉田和弘

    日本油空圧学会HPICクオータリ   8 ( 2 )   1   2000年

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  • 日本機械学会東海支部第49期総会講演会における油空圧技術研究動向

    吉田和弘

    日本油空圧学会HPICクオータリ   8 ( 2 )   2   2000年

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  • 共振駆動形圧電マイクロポンプ

    横田 眞一, 朴 重濠, 吉田 和弘

    フルイドパワーシステム : 日本油空圧学会誌 : journal of the Japan Hydraulics & Pneumatics Society   30 ( 7 )   502 - 507   1999年11月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本油空圧学会  

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  • 均一系ER流体を作動流体としたマイクロパルプの提案

    吉田 和弘, 高取 宏樹, 朴 重濠, 横田 眞一

    精密工学会大会学術講演会講演論文集   1999 ( 1 )   302 - 302   1999年3月

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    記述言語：日本語  

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  • MR流体を作動流体とした液圧制御弁の提案

    横田 眞一, 吉田 和弘, 近藤 豊

    油空圧講演論文集   10 ( 2 )   166 - 168   1998年11月

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    記述言語：日本語  

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  • 新流体アクチュエ-タ(5)ベロ-ズによる管内走行マシン

    吉田 和弘, 横田 真一

    油空圧技術   37 ( 12 )   31 - 36   1998年11月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本工業出版  

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  • 磁性流体シールを用いたマイクロポンプの基本特性

    吉田 和弘, 斉藤 光喜, 横田 眞一

    シンポジウム電磁力関連のダイナミックス講演論文集   10   409 - 412   1998年10月

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    記述言語：日本語  

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  • 形状記憶合金駆動サ-ボ弁--シンプルな小形サ-ボ弁の実現

    吉田 和弘, 横田 真一

    油空圧技術   37 ( 7 )   1 - 6   1998年7月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本工業出版  

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  • 管内走行用流体マイクロマシン

    吉田 和弘, 横田 眞一

    フルイドパワーシステム : 日本油空圧学会誌 : journal of the Japan Hydraulics & Pneumatics Society   29 ( 2 )   179 - 184   1998年3月

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：日本油空圧学会  

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  • ダンピング絞りを有する比例制御弁の動特性

    増田 健二, 田辺 実, 吉田 和弘, 横田 眞一

    精密工学会大会学術講演会講演論文集   1998 ( 1 )   148 - 148   1998年3月

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    記述言語：日本語  

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  • ダンピング絞りを有する比例制御弁の動特性 (キャビテーションが生じる場合)

    増田 健二, 田辺 実, 吉田 和弘, 横田 眞一

    油空圧講演論文集   9 ( 1 )   25 - 28   1997年5月

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    記述言語：日本語  

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  • 磁性流体を用いたマイクロ切換弁の試作

    吉田 和弘, 山中 良剛, 横田 眞一

    シンポジウム電磁力関連のダイナミックス講演論文集   8   393 - 396   1996年5月

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    記述言語：日本語  

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  • ECFを応用したマイクロモータの提案

    横田 眞一, 吉田 和弘, 大坪 泰文, 枝村 一弥

    シンポジウム電磁力関連のダイナミックス講演論文集   8   439 - 442   1996年5月

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    記述言語：日本語  

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  • 電気粘性流体を応用した液圧制御弁 (圧力制御ERバルブを用いた1軸マニピュレータの試作)

    横田 眞一, 近藤 豊, 枝村 一弥, 吉田 和弘

    油空圧講演論文集   7 ( 2 )   13 - 16   1995年11月

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    記述言語：日本語  

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  • 電気粘性流体を応用した液圧制御弁に関する研究

    近藤 豊, 横田 眞一, 枝村 一弥, 吉田 和弘

    シンポジウム電磁力関連のダイナミックス講演論文集   7   167 - 172   1995年5月

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    記述言語：日本語  

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講演・口頭発表等

  • 静電閉鎖チェック弁を用いた交流圧力源システム

    吉田和弘

    日本機械学会2025年度年次大会  2025年9月 

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    開催年月日： 2025年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 機能流体ERFを応用したパワーマイクロロボット技術 国際会議

    吉田和弘

    第27回フルードパワー国際見本市カレッジ研究発表展示コーナー  2024年9月 

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    開催年月日： 2024年9月

    記述言語：日本語   会議種別：ポスター発表  

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  • MEMS技術を用いたECFマイクロモータアレイの提案

    日本機械学会山梨講演会  2005年 

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  • 高発熱電子チップのためのECF強制液冷システムの開発

    日本機械学会山梨講演会  2005年 

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  • 管路慣性を応用したマイクロポンプ（最適構造の検討）

    吉田和弘

    日本機械学会第4回機素潤滑設計部門講演会講演論文集  2004年 

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  • 機能性流体を応用したニューアクチュエータの研究

    文部科学省科学研究費補助金特定領域研究｢ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究｣第2回公開シンポジウム  2005年 

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    会議種別：ポスター発表  

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  • 機能性流体を応用したアクチュエータ技術とその応用

    吉田和弘

    ㈱日本テクノセンターセミナー「最新のアクチュエータ技術とその応用・例」資料  2004年 

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  • バルブ内蔵形MRシリンダとその応用

    吉田和弘

    日本機械学会第4回機素潤滑設計部門講演会講演論文集  2004年 

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  • 管路慣性を応用したマイクロポンプの最適設計

    吉田和弘

    日本機械学会2004年度年次大会講演論文集  2004年 

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  • 電界共役流体（ECF）を応用した平面形ポンプ（電子チップ液冷のためのECFポンプの提案）

    吉田和弘

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'04講演論文集  2004年 

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  • 薄膜金属ガラスを応用した集積形ERマイクロアクチュエータの開発

    平成18年秋季フルードパワーシステム講演会  2006年 

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  • カンチレバー形フレキシブルERマイクロバルブ

    日本機械学会関東支部山梨講演会2006講演論文集  2006年 

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  • 電子チップの液冷システムのための平面形ECFポンプの特性評価

    吉田和弘

    日本機械学会ロボティクス･メカトロニクス講演会'05講演論文集  2005年 

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  • 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータの開発

    吉田和弘

    日本機械学会ロボティクス･メカトロニクス講演会'05講演論文集  2005年 

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  • Development of a Piezoelectric Micropump Using Resonantly-Driven Active Check Valve

    SICE Annual Conf. 2005 in Okayama  2005年 

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  • Development of a Piezoelectric Micropump Using Resonantly-Driven Active Check Valve

    SICE Annual Conf. 2005 in Okayama  2005年 

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  • 機能性流体を応用したニューアクチュエータの研究

    文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出し次世代アクチュエータ研究」第1回公開シンポジウム資料  2005年 

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  • フレキシブルERマイクロアクチュエータの基本特性

    日本機械学会2005年度年次大会  2005年 

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  • 管路慣性を応用した高出力圧電マイクロポンプ

    IFPEX2005  2005年 

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    会議種別：ポスター発表  

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  • 液晶を作動流体としたマイクロERバルブの数学モデル

    第23回日本ロボット学会学術講演会  2005年 

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  • ECFを応用した高発熱電子チップのための強制液冷システム

    日本機械学会2005年度年次大会  2005年 

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  • 電極形状による極薄平面ECFポンプの高出力化

    第18回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム  2006年 

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    会議種別：ポスター発表  

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  • 管路内の流体慣性を応用した全波整流形高出力圧電マイクロポンプ

    第18回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム  2006年 

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    会議種別：ポスター発表  

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  • 薄膜金属ガラスを用いた集積形ERマイクロアクチュエータ

    日本機械学会第6回機素潤滑設計部門講演会  2006年 

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  • 極薄平面ECFポンプの電極構造による高出力化

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'06（ROBOMEC2006）  2006年 

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  • 高出力極薄平面形ECFポンプの開発および特性評価

    日本機械学会第6回機素潤滑設計部門講演会  2006年 

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  • MEMS技術を用いたECFマイクロモータアレイ

    電磁力関連のダイナミクスシンポジウム  2006年 

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    会議種別：ポスター発表  

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  • MEMS技術を用いたECFマイクロモータアレイ

    第18回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム  2006年 

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    会議種別：ポスター発表  

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  • MEMS技術を用いたECFマイクロモータの開発

    日本機械学会2006年度年次大会  2006年 

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  • 管路内の流体慣性を応用した全波整流形圧電マイクロポンプの開発

    日本機械学会2006年度年次大会  2006年 

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  • 管路内の流体慣性を応用したマイクロ流体パワー源による高粘度流体のポンピング

    日本機械学会山梨講演会  2006年 

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  • カンチレバー形フレキシブルERマイクロバルブ

    日本機械学会山梨講演会  2006年 

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  • ポンプ・バルブ一体形ERマイクロアクチュエータ

    日本機械学会2007年度年次大会  2007年 

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  • 機能性流体を応用したマイクロアクチュエータ

    日本機械学会2007年度年次大会  2007年 

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  • 管路内の流体慣性を応用した全波整流形圧電マイクロポンプの高出力密度化

    第16回MAGDAコンファレンス in 京都 電磁現象および電磁力に関するコンファレンス 講演論文集  2007年 

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  • 管路内の流体慣性を応用したマイクロ流体パワー源の高出力化

    山梨講演会  2007年 

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  • 平面ECFポンプによる冷却システムに関する研究

    2007年 

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    会議種別：ポスター発表  

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  • MEMS技術による針－リング形高出力ECFアクチュエータ

    2007年 

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    会議種別：ポスター発表  

    researchmap

  • 位置フィードバック機構を内蔵したERマイクロアクチュエータ

    2007年 

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    会議種別：ポスター発表  

    researchmap

  • Microactuators Using Functional Fluids

    韓国蔚山大学校海外専門家招請セミナー  2006年 

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  • MEMS技術を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータの開発

    第50回自動制御連合講演会講演論文集  2007年 

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  • Microactuators Using Functional Fluids

    韓国蔚山大学校海外専門家招請セミナー  2006年 

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  • 機能性流体応用アクチュエータの開発とその応用

    2006年 

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  • 薄膜金属ガラスを用いた多自由度流体マイクロアクチュエータの提案

    日本機械学会山梨講演会  2005年 

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  • オーバライド圧力補償直動形アンロード弁

    増田健二, 田辺実, 吉田和弘, 横田眞一

    平成１２年春季フルイドパワーシステム講演会講演論文集  2000年 

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  • 半導体プロセスによる試作マイクロERバルブの基本特性

    吉田和弘, 菊地正晃, 朴重濠, 横田眞一

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会（ROBOMEC'00）講演論文集  2000年 

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  • MR流体を作動流体としたマイクロバルブの基本特性

    吉田和弘, 高松環, 横田眞一

    日本機械学会2000年度年次大会講演会講演論文集  2000年 

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  • MR流体を作動流体とした液圧制御システム

    吉田和弘, 雪下和大, 横田眞一, 近藤豊, 長峰靖之

    平成１２年春季フルイドパワーシステム講演会講演論文集  2000年 

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  • MRF液滴を弁体としたマイクロバルブ（提案と基礎実験）

    吉田和弘, 鄭淵午, 横田眞一

    日本機械学会北海道支部第４０回講演会講演概要集  2000年 

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  • 輝度勾配に基づく実時間運動ステレオビジョン（計測精度とカメラ移動速度の向上）

    吉田和弘, 冨田隆広, 横田眞一

    日本機械学会北海道支部第４０回講演会講演概要集  2000年 

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  • 輝度勾配に基づく実時間運動ステレオビジョン（マニピュレータ制御への応用）

    吉田 冨田

    日本機械学会2001年度年次大会講演論文集  2001年 

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  • 均一系ER流体を作動流体としたマイクロバルブ（管内走行マイクロマシンへの応用）

    吉田 朴, 清水, 横

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会’01講演論文集  2001年 

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  • マイクロファクトリのための高出力流体パワー源

    吉田和弘

    日本機械学会第2回機素潤滑設計部門講演会講演論文集  2002年 

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  • ERバルブ集積形マイクロアクチュエータ

    吉田 矢野, 朴

    日本機械学会第2回機素潤滑設計部門講演会講演論文集  2002年 

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  • 均一系ER流体を用いたバルブ集積形マイクロアクチュエータの提案

    吉田 矢野, 朴

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'02講演論文集  2002年 

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  • 小形流体アクチュエータ用高出力マイクロポンプの開発

    瀬戸, 高城, 吉田, 朴 横田

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'02講演論文集  2002年 

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  • MRF液滴を弁体としたマイクロバルブ（圧力制御範囲の拡大）

    吉田 鄭 横田

    日本機械学会2002年度年次大会講演論文集  2002年 

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  • 共振駆動を用いた圧電マイクロポンプ

    吉田 朴 横田

    フルードパワーシステムワークショップ講演論文集  2002年 

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  • MRF液滴を弁体としたマイクロバルブ（流量制御特性の改善）

    吉田 鄭 横田

    日本機械学会第1回機素潤滑設計部門講演会講演論文集  2001年 

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  • 均一系ER流体を作動流体としたポンプ搭載形管内走行マイクロマシン

    吉田 朴, 清水, 横

    日本機械学会第1回機素潤滑設計部門講演会講演論文集  2001年 

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  • 均一系ER流体を作動流体としたバルブ集積形マイクロアクチュエータ

    吉田 矢野, 朴

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2001年 

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  • バルブ分割形FERVを用いたマイクログリッパ

    日本機械学会第12回機素潤滑設計部門講演会  2012年4月 

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  • 交流圧力源を用いた多自由度ERマイクロアクチュエータシステムの提案

    日本機械学会第12回機素潤滑設計部門講演会  2012年4月 

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  • ECFジェット圧力駆動マイクロシリンダの試作および特性解明

    日本機械学会山梨講演会  2011年10月 

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  • Micro Fluid Power Actuators Using MEMS Technologies 招待

    K. Yoshida

    16th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2012)  2012年 

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  • ECFジェットを用いた両方向ローリングダイフラムマイクロアクチュエータに関する研究

    日本機械学会2011年度年次大会  2011年9月 

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  • フレキシブルERバルブを用いたマイクログリッパ

    日本機械学会山梨講演会  2011年10月 

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  • 偏流板を用いた交流電気浸透マイクロポンプ

    日本機械学会2011年度年次大会  2011年9月 

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  • 交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステム

    日本機械学会2012年度年次大会  2012年9月 

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  • ECFマイクロシリンダ

    第24回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム  2012年5月 

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  • ECFジェット駆動マイクロ液圧用シリンダ

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会2012（ROBOMEC2012）  2012年5月 

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  • 交流圧力源を用いたMEMSベースERマイクロフィンガ

    日本機械学会山梨講演会  2013年10月 

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  • 電極分割形フレキシブルERバルブを用いたマイクログリッパ

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会2013（ROBOMEC2013）  2013年5月 

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  • 形状適応機能を有する多自由度ERアクチュエータに関する研究（基本ユニットラージモデルの試作および基礎実験）

    平成25年春季フルードパワーシステム講演会  2013年5月 

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  • 機能性流体の応用事例：次世代フルードパワーシステムを目指して

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会公開技術フォーラム「これがフルードパワーの魅力だ！〜油圧・水圧・空気圧・機能性流体のスペシャリストを迎えて〜」  2013年 

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  • 形状適応機能を有する多自由度ERアクチュエータの開発（提案と基礎実験）

    2013年度精密工学会春季大会学術講演会  2013年3月 

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  • スリット−直方体電極対を用いた交流電気浸透マイクロポンプ

    第21回MAGDAコンファレンス in 仙台  2012年11月 

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  • 形状適応機能を有する多自由度ERアクチュエータに関する研究

    平成24年秋季フルードパワーシステム講演会  2012年11月 

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  • スリット−直方体電極対を用いた交流電気浸透マイクロポンプの特性評価

    日本機械学会山梨講演会  2012年10月 

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  • 形状適応機能を有する多自由度ERアクチュエータに関する研究（可動電極形ERバルブの開発）

    日本機械学会山梨講演会  2012年10月 

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  • 周波数可変交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステム

    日本機械学会2013年度年次大会  2013年9月 

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  • MEMS技術を用いた電極分割形フレキシブルERバルブ

    日本機械学会山梨講演会  2013年10月 

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  • アクチュエータ技術と制御および高機能化への応用

    吉田和弘

    ?日本テクノセンターセミナー「アクチュエータ技術と制御および高機能化への応用」  2015年 

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  • ERF（電気粘性流体）を応用した高機能マイクロアクチュエータ

    吉田和弘

    日本機械学会講習会「産業に役立つアクチュエータ研究開発の最前線」講習会  2015年 

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  • MEMS技術を用いた電極分割形フレキシブルERマイクロバルブの開発

    平成26年春季フルードパワーシステム講演会  2014年5月 

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  • 平板−円筒電極を用いた交流電気浸透マイクロポンプの提案

    日本機械学会2014年度年次大会  2014年9月 

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  • 交流圧力源を用いたMEMS-ERマイクログリッパに関する研究

    日本機械学会第14回機素潤滑設計部門講演会  2014年4月 

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  • 高周波交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステムの開発

    日本機械学会第14回機素潤滑設計部門講演会  2014年4月 

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  • 機能性流体ERFを用いたマイクロアクチュエータシステム

    吉田和弘

    IFPEXカレッジコーナー  2014年 

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  • 位置フィードバック機構を内蔵したERマイクロアクチュエータ

    吉田和弘

    東京工業大学新技術説明会  2014年 

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  • 高周波交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステム

    日本機械学会山梨講演会  2013年10月 

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  • 高周波交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステムの開発（1自由度システムの特性解析）

    平成25年秋季フルードパワーシステム講演会  2013年11月 

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  • 平板−円筒電極対を用いた交流電気浸透マイクロポンプの特性評価

    日本機械学会山梨講演会  2014年10月 

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  • DRIEによる高アスペクト比三角柱ースリット形電極（TPSE）の製作に関する研究

    日本機械学会山梨講演会  2016年10月 

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  • パリレンを用いた可変焦点形ECFレンズの提案

    平成29年春季フルードパワーシステム講演会  2017年5月 

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  • 流体慣性を応用した圧電マイクロポンプの高出力化（シミュレーションによる検討）

    日本機械学会山梨講演会  2016年10月 

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  • フォトリソグラフィで製作するDEアクチュエータ駆動蠕動マイクロポンプの提案

    平成28年秋季フルードパワーシステム講演会  2016年10月 

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  • マイクロチェックバルブを集積したECFマイクロ液圧源の提案

    平成28年秋季フルードパワーシステム講演会  2016年10月 

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  • UV硬化性材料を用いた積層形DEアクチュエータの提案

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2016（ROBOMECH2016）  2016年6月 

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  • MEMS技術を応用したマイクロ交流圧力源搭載形2自由度ERアクチュエータシステムに関する研究

    日本機械学会2016年度年次大会  2016年9月 

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  • MEMS技術を応用した交流圧力システムのための2自由度ソフトアクチュエータ

    日本機械学会第16回機素潤滑設計部門講演会  2016年4月 

    　詳細を見る

  • 積層ダイアフラム形DEアクチュエータを用いたマイクロポンプに関する基礎的研究

    平成28年春季フルードパワー講演会  2016年5月 

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  • 平板−円筒電極アレイを用いた交流電気浸透マイクロポンプの開発

    平成27年春季フルードパワーシステム講演会  2015年5月 

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  • 流体共振回路を用いた複数アクチュエータシステムのマイクロ化に関する研究

    日本機械学会山梨講演会  2015年10月 

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  • A Fabrication Process of Flxible Electro-Rheological Microvalve (FERV) Using UV-Curable PEDOT:PSS Electrodes

    日本機械学会第18回機素潤滑設計部門講演会  2018年4月 

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  • 犠牲層を用いないSU-8構造体の剥離方法の提案

    日本機械学会第18回機素潤滑設計部門講演会  2018年4月 

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  • SU-8自立形微細構造体の製作と接合

    日本機械学会山梨講演会  2017年10月 

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  • 磁性体ステンシルマスクの開発

    日本機械学会山梨講演会  2017年10月 

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  • UV硬化性PEDOT:PSSへの糖アルコール添加による誘電エラストマーアクチュエータの特性改善

    日本機械学会山梨講演会  2017年10月 

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  • SU-8で製作されたマイクロチェックバルブの幾何学的パラメータに関する検討

    日本機械学会2017年度年次大会  2017年9月 

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  • スリット電極と複数の四角柱電極を用いた交流電気浸透マイクロポンプの特性評価

    日本機械学会山梨講演会  2017年10月 

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  • 誘電エラストマーアクチュエータの高出力化に関する研究（UV硬化性PEDOT:PSSへの糖アルコール添加の効果）

    日本機械学会2017年度年次大会  2017年9月 

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  • スリット電極と複数の四角柱電極を用いた交流電気浸透マイクロポンプの提案

    日本機械学会2017年度年次大会  2017年9月 

    　詳細を見る

  • 機能性流体ERFを用いたマイクロアクチュエータシステム

    吉田和弘

    IFPEXカレッジコーナー  2017年9月 

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  • 機能性流体ECFを用いたマイクロ液圧源とその応用

    IFPEXカレッジコーナー  2017年9月 

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  • Proposal of a two-DOFs soft microactuator integrated with flexible ER microvalves

    日本機械学会第31回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム  2019年5月 

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  • ECF液圧源で駆動する昆虫形ソフトロボットに関する研究

    日本機械学会第31回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム  2019年5月 

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  • 裏面露光を用いたUV硬化性PDMSによる生体模倣膜の形成に関する研究

    日本機械学会山梨講演会  2018年10月 

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  • ECFマイクロポンプの高出力化を可能にする新たな電極対の提案

    2019年春季フルードパワーシステム講演会  2019年5月 

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  • ECFマイクロポンプを搭載した昆虫形ソフトロボットの提案

    日本機械学会山梨講演会  2018年10月 

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  • 静電レンズを用いたエレクトロスプレーデポジション（ESD）法によるマイクロパターニング

    日本機械学会2018年度年次大会  2018年9月 

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  • 流体慣性を応用した圧電マイクロポンプの高出力化（ポンプ室高剛性化の実験的検討）

    日本機械学会山梨講演会  2018年10月 

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  • Au-ITO複合配線を用いたUV裏面露光による新たなUV-LIGAプロセスの提案

    日本機械学会2018年度年次大会  2018年9月 

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  • 誘電エラストマーアクチュエータの高出力化に関する研究（UV硬化性PDMSへのチタン酸バリウム添加の効果

    日本機械学会2018年度年次大会  2018年9月 

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  • ECFマイクロポンプを用いたジャミンググリッパの提案

    平成30年春季フルードパワーシステム講演会  2018年5月 

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  • T形電極アレイを用いた交流電気浸透マイクロポンプの提案

    平成30年春季フルードパワーシステム講演会  2018年5月 

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  • 流体慣性を応用した空気圧マイクロポンプの提案と設計

    日本機械学会山梨講演会2020  2020年11月 

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  • 高パワー管内走行マイクロロボットとそのマイクロ液圧源

    日本機械学会山梨講演会2020  2020年11月 

    　詳細を見る

  • 交流電気浸透マイクロポンプの高出力化に関する研究

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月 

    　詳細を見る

  • 低電圧で駆動する静電駆動形高速空気圧MEMSバルブの提案

    日本機械学会山梨講演会2020  2020年11月 

    　詳細を見る

  • エレクトロスピニング法を用いた配向ナノファイバに関する研究

    日本機械学会山梨講演会  2019年10月 

    　詳細を見る

  • ECFマイクロポンプのラボオンチップへのパッケージングに関する研究

    2019年秋季フルードパワーシステム講演会  2019年11月 

    　詳細を見る

  • 交流電気浸透のメカニズムに関する研究

    日本機械学会山梨講演会  2019年10月 

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  • 多自由度アクチュエータシステムのための共振形マイクロ交流圧力源に関する研究

    日本機械学会山梨講演会  2019年10月 

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  • 高圧で駆動するERマイクロシステムに関する研究

    日本機械学会山梨講演会  2019年10月 

    　詳細を見る

  • 誘電エラストマーアクチュエータの高出力化に関する研究（UV硬化性PDMSへのシリコンオイル添加の効果）

    日本機械学会2019年度年次大会  2019年9月 

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  • 電界共役流体（ECF）を液圧源とするマイクロジャミンググリッパに関する研究

    日本機械学会2019年度年次大会  2019年9月 

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  • 機能性流体ERFを応用したパワーマイクロロボット技術

    第26回フルードパワー国際見本市カレッジ研究発表展示コーナー  2021年10月 

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  • ECFマイクロポンプ駆動により肺胞の動的環境を再現するマイクロデバイスの提案

    日本機械学会2021年度年次大会  2021年9月 

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  • 低電圧で駆動する静電駆動形高速空気圧MEMSバルブの開発

    日本機械学会2021年度年次大会  2021年9月 

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  • 積層形ERマイクロバルブに関する研究

    2021年春季フルードパワーシステム講演会  2021年6月 

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  • マイクロ流体デバイスにおける接着剤のはみだしがないパッケージング手法の提案

    日本機械学会山梨講演会2020  2020年11月 

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  • ソフトロボット用の繊維強化マイクロ脚関節の提案

    2020年秋季フルードパワーシステム講演会  2020年12月 

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  • ERバルブのマイクロ化に関する研究

    日本機械学会山梨講演会2020  2020年11月 

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  • 深堀り反応性イオンエッチング（DRIE）における開口パターンの高アスペクト比形状への影響

    日本機械学会山梨講演会2020  2020年11月 

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  • MEMS技術によるECFジェットアクチュエータ

    日本機械学会2008年度年次大会  2008年 

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  • 医療用デバイスに応用できるフレキシブルERマイクロアクチュエータ

    第5回次世代医療システム産業化フォーラム2008  2008年 

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  • 外乱補償機能を有するERマイクロアクチュエータ

    第26回日本ロボット学会学術講演会  2008年 

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  • 出力変位を拡大した位置フィードバック形ERマイクロアクチュエータ

    日本機械学会2008年度年次大会  2008年 

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  • ポンプ・バルブ一体形ERマイクロアクチュエータに関する研究

    第17回ＭＡＧＤＡコンファレンス  2008年 

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  • ERマイクログリッパに関する研究

    山梨講演会2008  2008年 

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  • MEMS技術を用いたフレキシブルＥＲマイクロアクチュエータ（FERMA）

    機能性流体を活用した次世代型フルードパワーシステムに関する公開シンポジウム  2008年 

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  • Development of a Flexible ER Microactuator by MEMS Technology

    2007年 

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  • MEMS技術によるECFジェットアクチュエータの高出力化

    第51回自動制御連合講演会  2008年 

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  • MEMS技術を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータ

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'07（ROBOMEC2007）  2007年 

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    会議種別：ポスター発表  

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  • 管路内の流体慣性を応用した高粘度流体用マイクロ流体パワー源

    第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム  2007年 

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  • An ER Microactuator with Built-in Pump and Valve

    12th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR 2010)  2010年 

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  • 機能性流体利用アクチュエータ

    吉田和弘

    日本機械学会講習会「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ」教材  2010年 

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  • 機能性流体利用アクチュエータ

    吉田和弘

    日本機械学会講習会「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ」教材  2009年 

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  • 交流電気浸透流を用いたマイクロアクチュエータの提案

    日本機械学会2010年度年次大会  2010年 

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  • ERF を用いたマイクログリッパ

    （社）日本機械学会 2009年度年次大会  2009年 

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  • ポンプ・バルブ一体形ER マイクロアクチュエータの開発

    （社）日本機械学会 2009年度年次大会  2009年 

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  • ERバルブ一体形マイクロベロフラムアクチュエータ

    平成２１年 秋季フルードパワーシステム講演会  2009年 

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  • ERFを用いたマイクログリッパの開発

    第27回日本ロボット学会学術講演会  2009年 

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  • 位置フィードバック機構を内蔵したERマイクロアクチュエータの開発

    第8回機素潤滑設計部門講演会  2008年 

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  • 均一系ER流体を応用したニューマイクロアクチュエータ

    日本機械学会2008年度年次大会  2008年 

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  • MEMS技術を用いたECFマイクロモータ

    第8回機素潤滑設計部門講演会  2008年 

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  • ベロフラムアクチュエータのマイクロ化とERマイクロアクチュエータへの応用

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会2010（ROBOMEC2010）  2010年6月 

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  • 2自由度屈曲可能なERマイクロバルブ

    平成23年春季フルードパワーシステム講演会  2011年5月 

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  • ECFジェット駆動マイクロシリンダの開発

    平成23年春季フルードパワーシステム講演会  2011年5月 

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  • 機能性流体利用アクチュエータ

    吉田和弘

    日本機械学会講習会「実用化が近い新原理アクチュエータ」  2011年 

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  • 交流電気浸透を用いたマイクロ流動発生器の提案

    第23回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム  2011年5月 

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  • 機能性流体ERF を用いた位置制御マイクロシステム

    吉田和弘

    IFPEXカレッジコーナー  2011年 

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  • 次世代機械システム実現に貢献する機能性流体アクチュエータ

    吉田和弘

    平成23年度YNU学術ディスコース（第2回）  2011年 

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  • 高温環境における機能性流体アクチュエータの可能性

    第26回日本ロボット学会学術講演会  2010年9月 

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  • 交流電気浸透流を用いたアクチュエータ駆動用マイクロポンプ

    日本機械学会 山梨講演会  2010年10月 

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  • ERバルブ一体形マイクロベロフラムアクチュエータの提案と応用

    日本機械学会第10回機素潤滑設計部門講演会  2010年4月 

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  • ERFを作動流体としたポンプ搭載形管内走行マイクロマシン

    平成22年春季フルードパワーシステム講演会  2010年5月 

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  • 高温環境におけるECF アクチュエータの可能性−温度変化による電流値の変化

    第29回日本ロボット学会学術講演会  2011年9月 

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  • 流体の慣性効果を用いたマイクロポンプの高出力化

    吉田和弘

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'03講演論文集  2003年 

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  • バルブ内蔵形MRシリンダ

    吉田和弘

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2003年 

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  • 管路慣性を応用したマイクロポンプの最適構造

    吉田和弘

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2003年 

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  • マイクロ流体パワー源のための高出力圧電マイクロポンプ

    吉田和弘

    第87回電子セラミック・プロセス研究会資料  2003年 

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  • MRF駆動マニピュレータ

    吉田和弘

    計測自動制御学会第4回流体計測制御シンポジウム講演論文集  2003年 

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  • 機能性流体を用いたマイクロアクチュエータとその応用

    吉田和弘

    ㈱技術情報協会セミナー「MEMSデバイスへの要求性能と実用化･量産化に向けた課題」資料  2003年 

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  • 流体応用マイクロシステムの最先端動向－高出力流体駆動アクチュエータを中心として－

    吉田和弘

    横浜市工業技術センターテクノパートナー推進プロジェクト「先端機械技術の応用」2年度第1回技術交流会資料  2003年 

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  • MR流体を作動流体としたマイクロバルブ（高応答化の検討）

    吉田 米田, 横田, 杉原

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2002年 

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  • 輝度勾配に基づく実時間運動ステレオビジョン（計測速度の向上）

    吉田 松浪

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2002年 

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  • 流体の慣性効果を用いたマイクロポンプのシミュレーション

    吉田和弘

    日本機械学会2003年度年次大会講演論文集  2003年 

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  • 画像積算を用いた実時間運動ステレオビジョン

    吉田和弘

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'03講演論文集  2003年 

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  • 電界共役流体（ECF）を応用した電子チップ液冷用平面形ポンプ

    吉田和弘

    日本機械学会2004年度年次大会講演論文集  2004年 

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  • MRシリンダ駆動マニピュレータ

    吉田和弘

    日本機械学会2004年度年次大会講演論文集  2004年 

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  • MR流体を用いたマイクロ流体制御システム

    吉田和弘

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2004年 

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  • 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータの提案

    吉田和弘

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2004年 

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  • 共振駆動チェック弁を用いたER流体ポンピング用圧電マイクロポンプ

    吉田和弘

    平成16年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集  2004年 

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  • 電子チップ液冷用平面形ECFポンプ

    吉田和弘

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2004年 

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  • アクティブバルブを用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ

    吉田和弘

    日本機械学会第3回機素潤滑設計部門講演会講演論文集  2003年 

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  • MRF弁体バルブを用いたマイクロ流体制御システム

    吉田和弘

    平成16年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集  2004年 

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  • シート形アクティブシャトル弁を用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ

    吉田和弘

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'03講演論文集  2003年 

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  • MR流体を作動流体としたマイクロバルブの高応答化

    吉田和弘

    日本機械学会第3回機素潤滑設計部門講演会講演論文集  2003年 

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  • 共振駆動スプール弁を用いた圧電マイクロポンプ

    吉田和弘

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2004年 

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  • 管路内の流体慣性を応用した全波整流形圧電マイクロポンプ

    日本機械学会山梨講演会  2005年 

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  • 均一系ER流体を応用したマイクロアクチュエータ

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体を用いたスマートフルードパワーシステムに関する研究委員会公開研究会  2005年 

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  • 共振駆動を用いた圧電マイクロポンプ（マイクロシートバルブの提案と実験的検討）

    朴 吉田, 中須, 横田, 瀬戸 高城

    平成13年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集  2001年 

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  • MR流体を作動流体とした圧力制御弁（MR流体の特性改善と3ポートバルブの試作）

    吉田和弘, 高橋寛如, 横田眞一, 河内仁, 枝村一弥

    平成１２年秋季フルイドパワーシステム講演会講演論文集  2000年 

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  • 均一系ER流体を用いたポンプ搭載形管内走行マイクロマシン（バルブおよびポンプの実験的検討）

    吉田和弘, 朴重濠, 清水孝之, 横田眞一

    日本機械学会北海道支部第４０回講演会講演概要集  2000年 

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  • レンジ情報による移動ロボットの位置同定

    第5回知能移動ロボットシンポジウム  1990年 

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  • 半導体プロセスを用いたマイクロERバルブ（3ポートマイクロERバルブの試作と特性実験）

    吉田和弘, 菊地正晃, 朴重濠, 横田眞一

    日本機械学会2000年度年次大会講演会講演論文集  2000年 

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  • MR流体を作動流体としたベローズ駆動マニピュレータ

    吉田, 佐々木, 朴, 横田, 河内 枝村

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2001年 

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  • MRF液滴を弁体としたマイクロバルブ（直交形弁駆動磁気回路の提案）

    吉田 鄭 横田

    日本機械学会山梨講演会講演論文集  2001年 

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  • MR流体を作動流体としたマイクロバルブ（試作マイクロMRバルブの基本特性）

    吉田和弘, 高松環, 横田眞一

    日本機械学会東海支部第49期総会講演会講演論文集  2000年 

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  • 積層形ERマイクロバルブを用いたソフトマイクロアクチュエータの特性評価

    吉田和弘

    第33回MAGDAコンファレンス in 東京  2024年11月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • ジャミング転移現象による可変変位拘束機構の提案

    江口淳

    日本機械学会山梨講演会2024  2024年10月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 交流圧力駆動ソフトマイクロフィンガに搭載する積層形ERマイクロバルブユニットの製作と評価

    石関康汰

    日本機械学会山梨講演会2024  2024年10月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 交流圧力源システムに用いる静電吸着機構に関する研究

    川合光

    日本機械学会山梨講演会2024  2024年10月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 交流圧力源システムに用いる静電閉鎖チェック弁の特性改善

    楠田悠賀

    日本機械学会山梨講演会2024  2024年10月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 機能性流体ERFを用いたマイクロアクチュエータに関する研究 招待

    吉田和弘

    日本フルードパワーシステム学会機能性流体FPSのフロンティア展開に関する第7回研究委員会  2024年9月 

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    記述言語：日本語   会議種別：公開講演，セミナー，チュートリアル，講習，講義等  

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  • 交流電気浸透を用いた2次元流体操作マイクロデバイスの提案

    吉田和弘

    日本機械学会2024年度年次大会  2024年9月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 電界共役流体の発生圧力を用いた蠕動マイクロポンプの製作に関する研究

    金俊完

    日本機械学会第23回機素潤滑設計部門講演会  2024年4月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 交流圧力駆動ソフトマイクロフィンガに搭載する積層形ERマイクロバルブの提案と設計

    石関康汰

    日本機械学会第23回機素潤滑設計部門講演会  2024年4月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 静電閉鎖チェック弁を用いた交流圧力源システムの提案

    楠田悠賀

    日本機械学会第23回機素潤滑設計部門講演会  2024年4月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 静電吸着機構を用いた交流圧力源システムの提案

    川合光

    日本機械学会第23回機素潤滑設計部門講演会  2024年4月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • 剛性異方性を有するソフトマイクロフィンガ

    吉田和弘

    日本機械学会第23回機素潤滑設計部門講演会  2024年4月 

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

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  • MEMS技術を用いて形成するPDMS多孔質膜を有するセルカルチャーインサートの製作

    大友

    令和5年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会  2024年3月 

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  • 電界共役流体（ECF）駆動形蠕動マイクロポンプの提案

    山本

    日本機械学会山梨講演会2023  2023年11月 

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  • 絶縁形交流電気浸透を用いたマイクロ流体デバイスの提案

    定本

    日本機械学会山梨講演会2023  2023年11月 

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  • 柔軟性を能動制御できるソフトマイクロフィンガの提案

    吉原

    日本機械学会山梨講演会2023  2023年11月 

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  • 鋭角形状のコレクタと補助電極を用いたエレクトロスピニング法の提案

    金俊完

    日本機械学会2023年度年次大会  2023年9月 

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  • マイクロシートバルブを用いた高出力空気圧マイクロポンプに関する研究

    吉田和弘

    日本機械学会2023年度年次大会  2023年9月 

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  • 積層形ERマイクロバルブを搭載したソフトマイクロアクチュエータの開発

    吉田和弘

    2023年春季フルードパワーシステム講演会  2023年5月 

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  • MR環境下で使用できるECFアクチュエータに関する研究

    金俊完

    2023年春季フルードパワーシステム講演会  2023年5月 

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  • 柔軟動作と位置決め動作が可能な剛性異方性を有するソフトマイクロフィンガの提案

    吉原

    2023年春季フルードパワーシステム講演会  2023年5月 

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  • 高圧力駆動ERマイクロアクチュエータに関する研究

    吉田和弘

    日本機械学会第21回機素潤滑設計部門講演会  2022年12月 

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  • カーボンナノチューブ技術を用いたECFマイクロポンプ用の針状電極作製に関する研究

    Zhu

    2022年秋季フルードパワーシステム講演会  2022年11月 

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  • ECFマイクロレートジャイロの高性能化に向けた基礎研究

    矢島

    日本機械学会山梨講演会2022  2022年10月 

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  • ECFジェット効果を用いたMR環境下で使用できるアクチュエータに関する基礎研究

    片岡

    日本機械学会山梨講演会2022  2022年10月 

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  • 積層形ERマイクロバルブを搭載したソフトマイクロアクチュエータの提案

    長谷川

    日本機械学会山梨講演会2022  2022年10月 

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  • マイクロシートバルブを用いた高出力空気圧マイクロポンプの提案

    久保

    日本機械学会山梨講演会2022  2022年10月 

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  • 粒子分散系ERFを用いた高機能交流圧力源システムに関する研究

    吉田和弘

    日本機械学会2022年度年次大会  2022年9月 

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  • EHDマイクロポンプの発生圧力を用いた液滴トラップデバイスの提案

    金俊完

    2022年度精密工学会春季大会学術講演会  2022年3月 

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  • 流体慣性を応用した空気圧マイクロポンプに関する研究

    吉田和弘

    2022年度精密工学会春季大会学術講演会  2022年3月 

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  • 流体慣性マイクロポンプを応用した管内走行マイクロロボットの提案と設計

    吉田和弘

    日本機械学会第20回機素潤滑設計部門講演会  2021年12月 

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  • エレクトロスピニング法を用いた配向角度を有するナノファイバの形成

    金俊完

    日本機械学会第20回機素潤滑設計部門講演会  2021年12月 

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  • エレクトロスピニング法によるナノファイバの整列に関する研究

    杉山

    日本機械学会山梨講演会2021  2021年11月 

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  • EHDマイクロポンプの発生圧力を用いた液滴トラップデバイスの提案

    近藤

    日本機械学会山梨講演会2021  2021年11月 

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  • ECFマイクロポンプにおけるリング形電極の新たな製作方法に関する研究

    Zhu

    日本機械学会山梨講演会2021  2021年11月 

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  • 高圧力制御用ERマイクロバルブの設計および試作

    江﨑

    日本機械学会山梨講演会2021  2021年11月 

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  • 粒子分散系ERFを用いた高機能交流圧力源システムの提案

    早川

    日本機械学会山梨講演会2021  2021年11月 

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産業財産権

  • アクチュエータシステム

    吉田和弘, 横田眞一

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    出願番号：特願2012-19584  出願日：2012年2月

    公開番号：特開2013-160238  公開日：2013年8月

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  • 電気粘性流体アクチュエータ

    吉田和弘

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    出願番号：特願2007-198359  出願日：2007年7月

    公開番号：特開2009-036216  公開日：2009年2月

    公表番号：特許第4953131号  公表日：2012年3月

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  • 微細中空構造体ダイアフラムおよびその応用素子

    吉田和弘, 秦誠一

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    出願番号：特願2005-304912  出願日：2005年10月

    公開番号：特開2007-113654  公開日：2007年5月

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  • 電気粘性流体装置

    吉田和弘

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    出願番号：特願2004-307108  出願日：2004年10月

    公開番号：特開2006-118605  公開日：2006年5月

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  • ポンプ

    高城邦彦, 瀬戸毅, 吉田和弘

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    出願番号：特願2004-99234  出願日：2004年3月

    公開番号：特開2005-282498  公開日：2005年10月

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  • ポンプの駆動方法

    高城邦彦, 瀬戸毅, 吉田和弘

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    出願番号：特願2003-364739  出願日：2003年10月

    公開番号：特開2005-127246  公開日：2005年5月

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  • ポンプ

    高城邦彦, 瀬戸毅, 吉田和弘

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    出願番号：特願2002-28762  出願日：2002年2月

    公開番号：特開2002-322986  公開日：2002年11月

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  • 多眼視覚装置の信号処理法及びこの方法を用いた多眼視覚装置

    広瀬茂男, 吉田和弘

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    出願番号：特願昭62-172823  出願日：1987年7月

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  • 複眼レンジファインダ装置の信号処理方式

    広瀬茂男, 吉田和弘

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    出願番号：特願昭61-169841  出願日：1986年7月

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  • 二眼レンジファインダ装置の信号処理法

    広瀬茂男, 吉田和弘

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    出願番号：特願昭61-169840  出願日：1986年7月

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Works（作品等）

  • A Study on High-Power Micropumps

    2003年

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    作品分類：芸術活動  

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  • Development of Resonantly-Driven Micropumps

    2002年

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    作品分類：芸術活動  

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  • Development of Resonantly-Driven High-Power Micropumps

    2001年

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    作品分類：芸術活動  

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  • Development of Resonantly-Driven High-Power Micropumps

    2000年

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    作品分類：芸術活動  

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受賞

  • Best Paper Award (26th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2023))

    2023年10月  

    T. Kubo, K. Yoshida, J.-w. Kim

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  • 東工大工系教育賞

    2022年3月   東京工業大学工系3学院  

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  • 日本AEM学会著作賞

    2021年12月   日本AEM学会  

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  • 一般社団法人日本機械学会機素潤滑設計部門一般表彰（優秀講演）

    2021年5月   日本機械学会  

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  • 日本機械学会フェロー

    2020年2月   一般社団法人日本機械学会  

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  • 一般社団法人日本機械学会機素潤滑設計部門一般表彰（優秀講演）

    2015年4月  

    吉田 和弘

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  • JFPS Best Conference Paper Award (9th JFPS Int. Symp. on Fluid Power, Matsue 2014)

    2014年10月  

    吉田 和弘

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  • Best Paper Award (17th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2013))

    2013年10月  

    吉田 和弘

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  • 一般社団法人日本機械学会機素潤滑設計部門一般表彰（優秀講演）

    2012年4月  

    吉田 和弘

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  • 社団法人日本機械学会機素潤滑設計部門一般表彰（優秀講演）

    2010年4月  

    吉田 和弘

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  • 社団法人日本機械学会機素潤滑設計部門業績賞

    2010年4月  

    吉田 和弘

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  • Best Paper Award (11th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT2007))

    2007年11月  

    吉田 和弘

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  • 日本AEM学会著作賞

    2006年11月  

    吉田 和弘

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  • 財団法人油空圧機器技術振興財団「学術論文顕彰」

    2005年5月  

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    受賞国：日本国

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  • 財団法人油空圧機器技術振興財団「学術論文顕彰」

    1997年4月  

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    受賞国：日本国

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  • 財団法人精密測定技術振興財団「高城賞」

    1994年10月  

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    受賞国：日本国

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共同研究・競争的資金等の研究課題

  • 生体の動的環境をワンチップに再現する細胞培養・センシングプラットフォーム

    研究課題/領域番号：24K00786  2024年4月 - 2027年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    金 俊完, 吉田 和弘, 池内 真志

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    配分額：18460000円 （ 直接経費：14200000円 、 間接経費：4260000円 ）

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  • 電界共役流体ジェットとエレクトロスピニングを融合した積層配向ナノファイバの形成

    研究課題/領域番号：20K20957  2020年7月 - 2022年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  挑戦的研究(萌芽)

    金 俊完, 吉田 和弘

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    配分額：6370000円 （ 直接経費：4900000円 、 間接経費：1470000円 ）

    細胞工学で必要とする人工的な細胞外マトリックス（ECM）の形成を実現するために，(1)コレクタ電極として電解質溶液を用い，(2)この電解質溶液の位置を電界共役流体（ECF）ジェットで制御する新たなエレクトロスピニング手法を提案している．その基礎研究として，可動式の鋭角形状のコレクタを用いて，整列したナノファイバ膜を形成することを提案している．より正確に制御するために，鋭角コレクタに加えて補助電極を配置することも提案している．提案された方法を可能にするエレクトロスピニングシステムを開発し，形成されたナノファイバの配向精度を実験的に確認することでその有効性を検証している．

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  • ナノ加工技術を用いた機能性流体ECFマイクロ液圧源の高出力パワー密度化

    2018年4月 - 2021年3月

    文部科学省  基盤研究（B）（一般） 

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    資金種別：競争的資金

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  • 蠕動マイクロポンプと能動マイクロミキサーを内蔵する高機能μ-TASデバイスの開発

    2016年4月 - 2019年3月

    文部科学省  基盤研究（C）（一般） 

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    資金種別：競争的資金

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  • 静電レンズアレイを用いたナノ・マイクロパターニングと神経細胞ネットワークへの応用

    研究課題/領域番号：16K14143  2016年4月 - 2018年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  挑戦的萌芽研究

    金 俊完, 吉田 和弘, 嚴 祥仁

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    配分額：3640000円 （ 直接経費：2800000円 、 間接経費：840000円 ）

    ステンシルマスクを用いたエレクトロスプレーデポジション(ESD)法は，生体/有機高分子材料を広範囲にマイクロパターニングできるため注目されている．しかし，ステンシルマスク穴のナノ加工は難しく，粒子が詰まる可能性も高いためパターンの微細化には限界がある．本論文では，ESD法と静電場の制御が可能なステンシルマスクを用いた新たなパターニング手法を提案し，ステンシルマスク穴より小さいパターニングやパターンサイズの制御を目的とする．
    磁性体と絶縁体からなるステンシルマスクと磁力によるギャップ変化を用いた制御法，および，静電レンズを有するステンシルマスクと印加電圧の変化を用いた制御法を明確にした．

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  • 高パワー作業を行う狭隘空間内作業マイクロロボットの開発

    2014年4月 - 2018年3月

    文部科学省  基盤研究（B）（一般） 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：12700000円

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  • 電界共役流体マイクロポンプを内蔵したマイクロ液滴生成デバイスの開発と応用

    2014年4月 - 2017年3月

    文部科学省  基盤研究（B）（一般） 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：12700000円

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  • 交流電気浸透を用いた外部刺激応答形ドラッグデリバリーシステムの基礎研究

    2014年4月 - 2017年3月

    文部科学省  挑戦的萌芽研究 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：3000000円

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  • 機能性流体ECFを用いた高出力パワー密度マイクロ液圧源

    2012年4月 - 2015年3月

    文部科学省  基盤研究（A）（一般） 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：35300000円

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  • 交流電気浸透流を用いたマイクロアクチュエーションシステムの開発

    2011年4月 - 2014年3月

    文部科学省  基盤研究（B）（一般） 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：14700000円

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  • 形状適応機能を有する次世代内視鏡のためのヒモ形アクチュエータの開発

    2010年4月 - 2013年3月

    文部科学省  挑戦的萌芽研究 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：3100000円

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  • 電界共役流体のコモンラインを利用したマイクロアーム／多指ハンドシステムの研究

    2009年4月 - 2012年3月

    文部科学省  基盤研究（A）（一般） 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：35800000円

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  • 電界共役流体を用いた極薄液体レートジャイロの研究

    2009年4月 - 2011年3月

    文部科学省  挑戦的萌芽研究 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：3200000円

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  • 電界共役流体を応用した高性能マイクロジャイロスコープの研究

    2007年4月 - 2009年3月

    文部科学省  萌芽研究 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：3500000円

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  • 位置フィードバック機構を内蔵した多自由度ERマイクロアクチュエータの試作

    2006年4月 - 2008年3月

    文部科学省  萌芽研究 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：3400000円

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  • 電界共役流体ジェット駆動フレキシブルマイクロ多指ハンドに関する研究

    2005年4月 - 2008年3月

    文部科学省  基盤研究（B）（一般） 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：15500000円

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  • 機能性流体を応用したニューアクチュエータの研究

    2004年4月 - 2009年3月

    文部科学省  特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」計画研究 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：61700000円

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  • 電界共役流体（ECF）を用いたマイクロ人工筋の研究

    2004年4月 - 2006年3月

    文部科学省  萌芽研究 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：3500000円

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  • フレキシブル電極を用いた多自由度ERマイクロアクチュエータの開発

    2004年4月 - 2005年3月

    財団法人三豊科学技術振興協会  研究助成 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：2490000円

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  • ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究

    研究課題/領域番号：16078101  2004年 - 2009年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  特定領域研究

    樋口 俊郎, 鈴森 康一, 黒澤 実, 服部 正, 則次 俊郎, 横田 眞一, 吉田 和弘, 山本 晃生, 神田 岳文, 横田 眞一, 黒澤 実, 服部 正, 則次 俊郎

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    配分額：39500000円 （ 直接経費：39500000円 ）

    本研究課題は,特定領域「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」の総括班としての活動に関するものである.この特定領域は,新しい高性能アクチュエータの実現が,社会の様々な局面において今後ますます重要となることを鑑みて活動を開始したものであり,これまで異なる分野で個別に研究されてきたアクチュエータ研究者に共通の活動の場を与えることなどをめざし,平成16年度より平成20年度まで5年間にわたり研究活動を実施してきた.特定領域しての主な研究活動は平成20年度をもって終了しているが,本年度は,これまでの5年間にわたる研究成果をとりまとめ広く公表することを目的として総括班活動を実施した.
    本年度の中心となった活動は,一連の成果を英文の書籍として出版することであった,特定領域で活動した研究者らにより執筆された原稿をとりまとめ,世界的に著名な出版社であるSpringer社より,Next-generation actuators leading breakthroughsと題する総ページ数438ページに及ぶ英文書籍として2010年1月に出版した.
    また,2010年1月には,この英文書籍の一般への配布をかねて,この特定領域最後のシンポジウムとなる,3rd International Symposium on Next Generation Actuators Leadin Breakthroughsを東京工業大学大岡山キャンパスにて開催した.シンポジウムでは,出版した書籍の内容に即して,各研究者が研究成果の発表を行った.

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  • 電界共役流体（ECF）を応用した極限環境用高機能マイクロヘリコプタの実現

    2002年4月 - 2005年3月

    文部科学省  基盤研究（A） 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：39800000円

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  • 電界共役流体を応用した高パワー軽量な高集積化マイクロモータの開発

    2002年4月 - 2004年3月

    文部科学省  萌芽研究 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：3400000円

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  • 電界共役流体(ECF)を応用した直径φ1mmマイクロモータの開発

    研究課題/領域番号：12875031  2000年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  萌芽的研究

    横田 眞一, 朴 重濠, 吉田 和弘, 近藤 豊

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    配分額：2100000円 （ 直接経費：2100000円 ）

    本研究課題では新しい機能性流体として電界共役流体(ECF : Electro-Conjugate Fluid)に注目している.ECFは線状電極で直流高電圧を印加されると,活発な流動(ジェット)を生じる.この現象を応用し,電磁モータでは実環が困難な,直径φ1mmのマイクロモータを実現することを目的としている.本年度は主に,昨年度試作した内径φ2mmのマィクロECFモータの詳細な特性評価をしている.また,内径φ1mmのマイクロECFモータの試作に成功している.実施結果の具体的内容は以下のとおりである.試作した内径φ2mmマイクロECFモータでは,最高値として,無負荷回転速度135rad/s(1300rpm),出力トルク7.5μNm、出力パワー0.57mW,効率15%,出力トルク密度5.3×10^2Nm/m^3,出力パワー密度4.0×10^4W/m^3を得た.ついで,内径φ1mmマイクロECFモータの試作をおこなっている.マイクロECFモータでは,ブラシなどの従来の方法でロータへ通電することは不可能である.本研究では,直径φ0.2mm鋼球を軸受けとして用いるとともに,鋼球を接点としてロータへ通電する方法を考案している.また,マイクロECFモータではロータ側面に微細電極を構成する必要がある.本研究では,ロータ外形を機械加工の後,スパッタで金コーティングし,ついで,FHG-YAGレーザー加工機でアブレーション加工を施すことで電極のパターニングを行う.これにより,直径がφ0.8mmのロータ側面に微細電極を構成している.試作したマイクロECFモータの大きさは,外径2mm内径1mm),高さ4.5mmである.質量は50mgである.試作したφ1mmマイクロECFモータが無負荷回転速度140rad/s(1330rpm)で回転することを確認している.

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  • 機能性流体を用いたマイクロ運動システムのためのマイクロフルイドパワー集積デバイス

    1999年4月 - 2002年3月

    文部科学省  基盤研究（A）（2）（一般） 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：36400000円

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  • MR（磁気粘性）流体を作動流体とした液圧サーボシステム

    1999年4月 - 2001年3月

    文部科学省  奨励研究（A） 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：2000000円

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  • ER（電気粘性）流体を用いた高機能管内作業マイクロマシンの試作

    1998年4月 - 2000年3月

    文部科学省  基盤研究（B）（2）（展開） 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：13000000円

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  • 繊維植毛電極によるER効果を用いた高機能液圧制御弁および高機能液圧サーボシステム

    研究課題/領域番号：10875036  1998年 - 1999年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  萌芽的研究

    横田 眞一, 吉田 和弘, 近藤 豊

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    配分額：2100000円 （ 直接経費：2100000円 ）

    ごく最近,ER流体を用いなくても,繊維を植毛した電極により一般的な絶縁性流体に電界を印加することで,ER効果が発現することが千葉大の大坪らにより報告された.本研究課題はこの新しいER効果をフルイドパワーシステムへ応用し,新しい液圧制御弁(植毛ERバルブ)を実現することを目的としている.本年度は,主に植毛電極によるER効果の基本特性解明実験,液圧アクチュエータを制御可能な4ポート液圧制御弁の試作,液圧制御弁数学モデルの確立をおこなった.実施結果の具体的内容は以下のとおりである,
    まず,昨年度に本研究で試作した2ポート植毛ERバルブを用いて,作動流体や植毛の材質などの様々な因子の影響を調べた.その結果,ECF流体(Electro-conjugate Fluid)は一般に油圧システムで用いられている鉱油系作動油に比べ,より大きなER効果を示すこと,植毛材質にグラファイトを混合するとER効果は大きくなるが同時に放電しやすくなるため,安定して電界が印加できなくなること,ER効果が流量,電極間隔,電極長さによらないこと,などを明らかにした.また,これらの結果に基づき,2ポート植毛ERバルブ静特性数学モデルを提案した.ついで,実用に近い形として4ポート植毛ERバルブを提案および試作した.設計に際しては,前述の数学モデルをもとに設計した.提案する4ポート植毛ERバルブは4つの植毛電極で構成され,各電極に印加する電界を変えることで,2つの出力ポートに差圧が生じ,負荷圧力を得ることができるものである.試作したバルブは外形寸法85×80×170mmで,供給圧1.8MPaで平均0.18MPaの負荷圧力を得た.さらに,実際に液圧ピストンシリンダと試作した4ポート植毛ERバルブによりサーボ系を構成し,ピストン変位を振幅±5mm,周波数0.05Hz,正弦波に追従させることに成功した.

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  • 均一系ER流体を用いたマイクロ制御弁

    1997年4月 - 1999年3月

    文部科学省  奨励研究（A） 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：2300000円

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  • 磁性流体を用いたマイクロマシン用ポンプシステムの開発

    1996年4月 - 1998年3月

    財団法人メカトロニクス技術高度化財団  研究助成 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：1500000円

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  • マイクロ流体集積回路のための平面形マイクロ制御弁の開発

    1996年4月 - 1997年3月

    財団法人高度自動化技術振興財団  研究開発への助成 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：1300000円

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  • 機能性流体を用いたマイクロ制御弁

    1995年4月 - 1997年3月

    文部科学省  一般研究（C） 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：2500000円

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  • 磁性流体を用いた電気液圧マイクロ変換器の開発

    1994年4月 - 1996年3月

    財団法人メカトロニクス技術高度化財団  研究助成 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：1100000円

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  • 機能性流体を用いたマイクロ制御弁の開発

    1994年4月 - 1995年3月

    財団法人マイクロマシンセンター  研究助成 

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    資金種別：競争的資金

    配分額：1900000円

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  • 液圧パワーを用いた高出力マイクロアクチュエータの試作と管内走行機械への応用

    1993年4月 - 1994年3月

    財団法人油空圧機器技術振興財団  研究助成 

    吉田和弘

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：1000000円

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  • 新しい液圧アクチュエータを応用した極限環境用マニピュレータの開発

    研究課題/領域番号：05650158  1993年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  一般研究(C)

    横田 眞一, 吉田 和弘

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    配分額：2200000円 （ 直接経費：2200000円 ）

    ここで用いている著者らの開発したフレキシブルハイドロウリックアクチュエータ(FHA)は液圧の大きな弱点となりうる漏れがなく,また摺動部がないため潤滑の必要がないという優れた特長をもち、ほかのアクチュエータと比較して出力/自重比の点でもはるかに優れている.
    この利点を生かして、試作した2本のFHAを用いた1自由度回転関節形マニピュレータの概略図を示す.この場合内圧の立ち上がりがシステムの動特性を大きく支配するので内圧制御が重要になる.FHAを応用したマニピュレータシステムの回転角度制御に際し,FHAの体積変化による流量補償を加えた内圧制御を付加することによる制御系の安定化を行ない、変位フィードバックのみの制御に比べ内圧および変位の応答性が十分に改善されることを確かめている(文献1参照).
    またマニピュレータの姿勢変化およびハンドリング負荷の有無による関節周りの慣性モーメントの変化などによるシステムの大きな特性変動に対して影響を受けない制御系を実現するために,外乱オブザーバを用いた外乱推定補償形ロバスト制御系を本マニピュレータシステムに適用し,実験とシミュレーションを通じて、サーボ弁の中立点ずれ、ループゲインの大幅な変化(100%)、また関節周りの慣性負荷の3倍の変化などにこの制御手法が有効に働くことを確かめている(文献1参照).
    さらに、真空のような極限環境で使用可能な液圧マニピュレータ用アクチュエータの駆動には漏れのない高速弁が必要となるため、ここでは両側をベローズで封印したスプール弁を,申請者らが高速弁の駆動に用いている積層ピエゾ素子で駆動する新たな高速3方弁の試作を行った.スプール駆動用のピエゾ素子に起因するヒステリシスなどの非線形特性の影響を低減するため外乱オブザーバを用いたロバスト制御と推定速度フィードバックをマイナーな部分にも応用して、300Hzの高応答性を実現している(文献2参照).

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  • 自走マイクロメカニズムの研究

    研究課題/領域番号：02402025  1990年 - 1992年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  一般研究(A)

    林 輝, 吉田 和弘, 岩附 信行, 浜口 幸久, 徳田 耕一, 中村 哲朗

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    配分額：17300000円 （ 直接経費：17300000円 ）

    本研究では、マイクロメカニズムの内でも最も多くの特徴的問題を持つ自走マイクロメカニズムの実現のため、そのモデルの試作を進めながら問題点を探り解明した。3年間の結果をまとめると次の通りである。
    (1)設計基礎:マイクロメカニズムの速度の法則を動物界を含めた走行機械につき調査し、自然法則を見いだした。滑面、軸受面の摩擦力の寸法効果を実験的に調査し、1mm以下では急激に増加し、0.1mm以下では普通の3〜4倍にもなる事を確認した。また、主な機構の成立に必要な精度の解析を行い、マイクロメカニズムの限界寸法の一端を解明した。
    (2)走行機構:微小動物の観察結果を参考に、表面張力を利用した天井・壁面走行機構を試作し、研究を進めた。更に、生体表面の走行用を目指した柔軟表面走行用のマイクロメカニズムを試作・検討した。
    (3)アクチュエータ:高吸水性高分子ゲルの電流変形の基礎式を誘導し、走行機械への応用までの研究を行った。さらに、このゲルを用いたモータを試作・検討し、問題点を解明した。また、複合材料によるアクチュエータ拡大機構を試作・検討し、問題点を解明した。
    (4)エネルギー供給:エネルギー伝送の各種方法を検討し、環境エネルギーの利用には、閉じた配管内走行への管内圧力変動の利用、ブラウン運動エネルギー利用の基礎研究を行った。
    (5)微小力測定:マイクロメカニズムやマイクロアクチュエータの出力、性能の測定のため、ピエゾ薄膜バイモルフの負荷によるインピーダンス変化を利用した10^<-6>[N]オーダの測定が可能なことを解明し、その実用試験として微小昆虫の出力測定を開始した。
    上記を含め、これまでの研究のうち、走行マイクロメカニズムの試作とマイクロメカニズム全体の現状をまとめ、研究を終了させた。

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  • 宇宙ロボット用超磁歪アクチュエ-タの研究

    研究課題/領域番号：02805021  1990年 - 1991年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  一般研究(C)

    林 巌, 吉田 和弘, 岩附 信行, 林 輝

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    配分額：1800000円 （ 直接経費：1800000円 ）

    超磁歪駆動要素の出力持性についての基礎実験と、回転型アクチュエ-タの回転性能に関する理論的検討および実験による実証を行った。
    まず、超磁歪駆動要素について、静的変位特性、周波数特性等、その出力特性についていくつかの実験を行った結果、1)その最大ひずみ量は10^<ー3>程度の大きさであり、圧電素子より小さいこと、2)素材が金属であるため縦弾性係数が圧電素子の約2倍の大きさで、出力パワ-が期待できること、3)駆動コイルを使用するため高周波駆動には適さず又外形が大きくなることがわかり、大きな力で微小な変位を精度よく制御する必要のある超精密加工分野に向いていることが明らかとなった。
    次に、高周波駆動に適さない超磁歪駆動要素のかわりに、積層圧電素子を用いた回転型アクチュエ-タを試作し、低い周波数からその駆動系の共振周波数を含む高い周波数で駆動する実験を行うとともに、出力持性について理論的に検討した。その結果、1)低い周波数から高い周波数まで全範囲にわたって、理論的に求められる回転数と1%以内の誤差で回転すること、つまり全回転数範囲で回転原理が成立すること、2)出力トルクは回転数とともに上昇し、共振周波数を越えても回転が停止する直前の回転数まで上昇すること、3)負荷トルクが増してもほとんど一定の回転数で回転すること、4)最大出力トルクは約0.07Nm,最高効率は約20%であったこと、などが明らかとなった。つまりこの回転型アクチュエ-タは、従来の電磁モ-タにない特長を有することがわかり、宇宙ロボット用小型アクチュエ-タとしての可能性を見出すことができた。

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  • In-PiPe Mobile Micromachines Using Fluid Power

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    資金種別：競争的資金

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  • Advanced Fluid Control Elements Using Functional Fluids

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    資金種別：競争的資金

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  • High Output Micro Fluid Power Sources

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    資金種別：競争的資金

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