2026/04/28 更新

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ナカガワ シゲキ
中川 茂樹
NAKAGAWA SHIGEKI
所属
研究・イノベーション本部 特任教授
職名
特任教授
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News & Topics

学位

  • 工学修士 ( 金沢大学 )

  • 工学博士 ( 東京工業大学 )

研究分野

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電気電子材料工学  / 磁気記録技術,スピントロニクスデバイス,磁性薄膜デバイス,パワーエレクトロニクス

  • ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性  / 磁性薄膜,スピントロニクス,磁気メモリ,磁気記録

学歴

  • 東京工業大学   学位取得 博士(工学)

    1993年6月

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  • 金沢大学   大学院工学研究科   電気電子工学

    1983年4月 - 1985年3月

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    国名: 日本国

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  • 金沢大学   工学部   電気工学科

    1979年4月 - 1983年3月

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    国名: 日本国

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経歴

  • 東京科学大学 工学院   教授

    2024年10月 - 現在

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  • 東京工業大学附属科学技術高校   校長

    2020年4月 - 2025年3月

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  • 東京工業大学 工学院   教授

    2016年4月 - 2024年9月

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  • 東京工業大学 大学院理工学研究科   教授

    2011年4月 - 2016年3月

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  • 東京工業大学 大学院理工学研究科   准教授

    2007年4月 - 2011年3月

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  • 東京工業大学 工学部 助教授

    1995年4月 - 2007年3月

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  • 米国ミネソタ大学 客員研究員   文部省在外研究員

    1994年10月 - 1995年3月

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    国名:アメリカ合衆国

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  • 東京工業大学 工学部 助手

    1985年4月 - 1995年3月

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所属学協会

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委員歴

  • IEEE Magnetics Society   Administrative Committee (AdCom) Member  

    2021年 - 2023年   

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  • 日本磁気学会   企画理事  

    2019年 - 2020年   

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  • 電気学会   「電気の礎」 顕彰選考小委員会 委員  

    2016年 - 2025年   

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  • IEEE Magnetics Society   Education Comittee Member  

    2013年 - 2014年   

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  • 日本磁気学会   編集委員 、総務幹事  

    2011年 - 2013年   

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  • IEEE Magnetics Society Japan Chapter, Tokyo Chapter   Chair  

    2011年 - 2012年   

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  • 電子情報通信学会   磁気記録情報ストレージ専門委員会 委員長  

    2008年4月 - 2010年3月   

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  • 日本磁気学会   広報理事  

    2007年 - 2011年   

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  • 日本応用磁気学会   広報理事  

    2005年 - 2007年   

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    日本応用磁気学会

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  • 電子情報通信学会   エレクトロニクスソサイエティ大会 委員長, 幹事  

    2005年 - 2006年   

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    電子情報通信学会

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  • 電気学会   ナノスケール磁性体の高機能化・新物性調査専門委員会, 光・熱・電気との相互作用を活用した高機能磁気デバイス技術調査専門委員会等  

    2004年 - 現在   

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  • 表面技術協会   学術専門委員  

    1998年   

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    表面技術協会

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  • 真空協会   スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会  

    1995年   

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    真空協会

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  • 財団法人 加藤科学振興会   評議員  

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    団体区分:その他

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  • 財団法人 加藤科学振興会   理事  

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    団体区分:その他

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  • 電子情報通信学会   EICE Electronics Express(ELEX)編集委員(磁気記録分野)  

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  • 日本MRS   理事 MRS-Jニュース編集委員長  

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  • 紛体粉末冶金協会   磁性材料分科会ならびにフェライト委員会主査、評議員、理事  

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論文

  • Comprehensive Demonstration Of New Magnetic Designs Utilizing Magnetic Anisotropy Of The Cores For Integrated Magnetics 査読

    Y. Takamura, H. Nitta, T. Miyazaki, K. Yamanaka, R. Ishido, A. Namba, K. Fujisaki, S. Nakagawa

    IEEE APEC 2025   1797 - 1802   2025年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Wide-field imaging of the magnetization process in soft magnetic-thin film using diamond quantum sensors

    Ryota Kitagawa, Teruo Kohashi, Takeyuki Tsuji, Shunsuke Nagata, Aoi Nakatsuka, Honami Nitta, Yota Takamura, Shigeki Nakagawa, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano

    Applied Physics Express   17   2023年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1882-0786/ad1002

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  • Fabrication of CoFeB–SiO2 Films With Large Uniaxial Anisotropy by Facing Target Sputtering and its Application to High-Frequency Planar-Type Spiral Inductors

    Yota Takamura, Honami Nitta, Kazuma Kawahara, Tadayuki Kaneko, Ryosuke Ishido, Tatsuya Miyazaki, Naoki Hosoda, Keisuke Fujisaki, Shigeki Nakagawa

    IEEE Transactions on Magnetics   2023年11月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2023.3291879

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  • Fabrication and Characterization CoZrO Films Deposited by Facing Targets Reactive Sputtering for Micromagnetic Inductors

    H. Nitta, Y. Takamura, T. Kaneko, S. Nakagawa

    IEEE Magn. Lett.   vol. 14   2023年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/LMAG.2023.3320495

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  • Development of Ultra-Thin CoPt Films With Electrodeposition for 3-D Domain Wall Motion Memory

    T. Huang, Y. Takamura, M. Saito, Md. M. Hasan, S. Kasai, Y. Sonobe, S. Nakagawa

    IEEE Transactions on Magnetics   Vol. 59 ( Issue 11 )   2023年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2023.3298911

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  • Pressure Sensor Using a Hybrid Structure of a Magnetostrictive Layer and Nitrogen-Vacancy Centers in Diamond

    R. Kitagawa, S. Nagata, K. Arai, K. Mizuno, T. Tsuji, I. Fujisaki, S. Urashita, T. Kohashi, Y. Takamura, T. Iwasaki, S. Nakagawa, M. Hatano

    Phys. Rev. Appl.   Vol. 19 ( Issue 4 )   2023年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1103/PhysRevApplied.19.044089

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  • Investigation of perpendicular magnetic anisotropy in Pd/Co2FeSi/MgO structures with evaluations of magnetic property, crystal structure, and elemental mapping

    E. Matsushita, Y. Takamura, S. Nakagawa

    J. Magn. Magn. Mater.   Vol. 562   2022年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jmmm.2022.169796

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  • Spin-orbit torque magnetization switching in a perpendicularly magnetized full Heusler alloy Co2FeSi

    M. Jiang, E. Matsushita, Y. Takamura, Le Duc Anh, S. Nakagawa, S. Ohya, M. Tanaka

    AIP Adv.   vol. 11 ( No. 11 )   2021年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/5.0062666

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  • Perpendicular Magnetic Anisotropy in Full-Heusler Co2FeSi Alloy and MgO Bilayers

    Y. Takamura, Y. Stutler, E. Matsushita, K. Shinohara, T. Suzuki, S. Nakagawa

    J. Magn. Soc. Jpn.   Vol. 43 ( No. 6 )   2019年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3379/msjmag.1911R004

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  • eラーニングを活用した工学系専門科目の理解度向上 -東京工業大学電気電子系-

    千葉 明, 安岡 康一, 中川 茂樹, 赤塚 洋, 西方 敦博, 萩原 誠, 渡辺 正裕, 竹内 希, 全 俊豪, 時岡 えい

    工学教育   Vol. 66 ( No. 5 )   2018年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Methods to induce perpendicular magnetic anisotropy in full-Heusler Co2FeSi thin layers in a magnetic tunnel junction structure 査読

    K. Shinohara, T. Suzuki, Y. Takamura, S. Nakagawa

    AIP Adv.   Volume 8 ( No. 5 )   055923/1-5   2018年1月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5007436

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  • Magnetic field-mediated two magnetic states in BiFeO3/CoPt layered structures

    Yue Wang, Takashi Harumoto, Jian Wang, Eiji Suzuki, Katsuyuki Nakada, Yoshio Nakamura, Shigeki Nakagawa, Ji Shi

    Journal of Magnetism and Magnetic Materials   Vol. 453   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jmmm.2018.01.028

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  • Self-Holding Magneto-Optical Switch Integrated with Thin-Film Magnet

    K. Okazeri, K. Muraoka, Y. Shoji, S. Nakagawa, N. Nishiyama, S. Arai, T. Mizumoto

    IEEE Photonics Technol. Lett.   vol. 30 ( no. 4 )   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/LPT.2018.2791924

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  • Epitaxial growth of BiFeO3 films on TiN under layers by sputtering deposition 査読

    Yue Wang, Tianjun Li, Jian Wang, Takashi Harumoto, Tingting Jia, Hideo Kimura, Katsuyuki Nakada, Shigeki Nakagawa, Yoshio Nakamura, Ji Shi

    AIP Advances   Vol. 7 ( 055815 )   2017年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4974888

    Web of Science

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  • Manipulation of the magnetic properties of Co- and Fe-doped layered titanates by alkyl ammonium intercalation

    F. Kishimoto, Y. Takamura, S. Nakagawa, Y. Wada

    Adv. Mater. Interfaces   Vol. 3 ( 23 )   2016年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/admi.201600509

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  • Inverse-magnetostriction-induced switching current reduction of STT-MTJs and its application for low-voltage MRAM

    Y. Takamura, Y. Shuto, S. Yamamoto, H. Funakubo, M. Kurosawa, S. Nakagawa, S. Sugahara

    Solid-State Electron.   vol. 128 ( no. Supplement C )   2016年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.sse.2016.10.007

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  • Operation of [Co/Pd] Nanowire Sequential Memory utilizing Bit-shift of Current-driven Magnetic Domains Recorded and Reproduced by Magnetic Head 査読

    M. Okuda, Y. Miyamoto, M. Kawana, E. Miyashita, N. Saito, S. Nakagawa

    IEEE Photonics Technol. Lett.   Vol. 52 ( No. 7 )   2016年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2016.2535211

    Web of Science

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  • Compact magnetooptical isolator with cobalt ferrite on silicon photonic circuits

    M. Yanaga, Y. Shoji, Y. Takamura, S. Nakagawa, T. Mizumoto

    Appl. Phys. Express   Vol. 8 ( No. 8 )   2015年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.8.082201

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  • Detection of Current Driven Magnetic Domains in [Co/Pd] Nanowire by Tunneling Magnetoresistive Sensor 査読

    M. Okuda, Y. Miyamoto, E. Miyashita, N. Saito, N. Hayashi, S. Nakagawa

    J. Appl. Phys.   Vol. 117 ( No. 17 )   2015年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4918694

    Web of Science

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  • Magnetic anisotropy of [Co2MnSi/Pd](n) superlattice films prepared on MgO(001), (110), and (111) substrates 査読

    Naoki Matsushita, Yota Takamura, Yorinobu Fujino, Yoshiaki Sonobe, Shigeki Nakagawa

    APPLIED PHYSICS LETTERS   106 ( 6 )   2015年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4907892

    Web of Science

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  • [Co/Pd]磁性細線における磁区の形成・駆動・検出 査読

    奥田 光伸, 宮本 泰敬, 川那 真弓, 宮下 英一, 斎藤 信雄, 林 直人, 中川 茂樹

    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集   2015 ( 0 )   31A - 1   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    DOI: 10.11485/iteac.2015.0_31A-1

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  • Full-Heusler Co2FeSi alloy thin films with perpendicular magnetic anisotropy induced by MgO-interfaces 査読

    Yota Takamura, Takahiro Suzuki, Yorinobu Fujino, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   115 ( 17 )   2014年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4865971

    Web of Science

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  • 15-2 [Co/Pd]磁性細線における微小溝加工による磁区駆動制御(第15部門 コンシューマエレクトロニクス・ストレージ・ディスプレイ) 査読

    奥田 光伸, 宮本 泰敬, 宮下 英一, 斎藤 信雄, 林 直人, 中川 茂樹

    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集   2014 ( 0 )   15 - 2-1_-_15-2-2_   2014年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    In order to apply magnetic nanowires to storage devices, domain size and domain shift length have to be controlled precisely. We fabricated [Co/Pd] nanowires on Si substrate with periodic nano grooves by nanoimprint lithography method, and succeeded to control the domain movement.

    DOI: 10.11485/iteac.2014.0_15-2-1_

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  • FeCoB Films with Large Saturation Magnetization and High Magnetic Anisotropy Field to Attain High Ferromagnetic Resonance Frequency 査読

    Shigeki Nakagawa, Ken-ichiro Hirata

    JOURNAL OF MAGNETICS   18 ( 2 )   155 - 158   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4283/JMAG.2013.18.2.155

    Web of Science

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  • Si/NiFe seed layers for Ru intermediate layer in perpendicular magnetic recording tape media 査読

    Gaku Saemma, Shota Takahashi, Satoshi Matsunuma, Tetsutaro Inoue, Shigeki Nakagawa

    Journal of Applied Physics   111 ( No. 7 )   2012年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3677884

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  • FePt-Ordered Alloy Films With (001) Orientation Fabricated With FeCoB Soft Magnetic Under Layer 査読

    Makoto Tanaka, Syunsuke Gomi, Yuji Ogata, Shigeki Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   47 ( 10 )   3151 - 3153   2011年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2011.2157111

    Web of Science

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  • FePt films 2 nanometers thick with (001) preferential orientation on a MgO underlayer 査読

    Makoto Tanaka, Yuji Ogata, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   109 ( 7 )   2011年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3549569

    Web of Science

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  • Effect of laminated crystalline FeCoB soft magnetic underlayer for perpendicular magnetic recording tape media 査読

    Shunsuke Gomi, Yasuhiro Mashiko, Ken Ichiro Hirata, Satoshi Matsunuma, Tetsutaro Inoue, Tsugihiro Doi, Toshiyuki Watanabe, Shigeki Nakagawa

    Journal of Applied Physics   109 ( No. 7 )   2011年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3561137

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  • Directional Alignment of FeCo Crystallites in Si/NiFe/Ru/FeCoB Multi layer with High Anisotropy Field Above 500 Oe 査読

    Ken-ichiro Hirata, Shunsuke Gomi, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY   11 ( 3 )   2739 - 2742   2011年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1166/jnn.2011.2711

    Web of Science

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  • Effect of third element for FePt ordered alloy thin films with perpendicular magnetic anisotropy fabricated from Fe/Pt/X trilayer 査読

    Yuji Ogata, Yasuharu Imai, Shigeki Nakagawa

    SPECIAL ISSUE ON THE 9TH PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING CONFERENCE   16   2011年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.phpro.2011.06.104

    Web of Science

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  • Observation of Stress Assisted Magnetization Reversal in a Spin Valve Structure 査読

    Kazuya Jimbo, Naoya Saito, Shigeki Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   46 ( 6 )   1649 - 1651   2010年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2010.2046018

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  • Direct observation of an anisotropic in-plane residual stress induced by B addition as an origin of high magnetic anisotropy field of Ru/FeCoB film 査読

    Ken-ichiro Hirata, Shunsuke Gomi, Yasuhiro Mashiko, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   107 ( 9 )   2010年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3350899

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  • Effect of multilayer configuration of [Fe/Pt] multilayer to attain (001) oriented FePt ordered alloy thin films 査読

    Yuji Ogata, Yasuharu Imai, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   107 ( 9 )   2010年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3337648

    Web of Science

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  • Effect of crystalline orientation and lattice distortion of FeCo spin polarization enhancement layer in perpendicular magnetic tunnel junction with RE-TM alloy films 査読

    Naoaki Miyamoto, Hideto Ohmori, Keisuke Mamiya, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   107 ( 9 )   2010年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3358601

    Web of Science

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  • 結晶性Si/NiFe/FeCoB裏打ち軟磁性層を用いた垂直磁気記録媒体 査読

    五味俊輔, 平田健一郎, 松鵜利光, 松沼悟, 井上鉄太郎, 土井嗣裕, 中川茂樹

    J Magn Soc Jpn   34 ( 5 )   559-562 (J-STAGE) - 562   2010年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Reducing the thickness of the Ru intermediate layer (IML) is one of the most effective ways of realizing high-density hard disk drives and magnetic tapes. Use of a crystalline soft magnetic underlayer (SUL) has the advantage of reducing the IML thickness and results in better (001) orientations in both Ru IML and CoPtCr-SiO<sub>2</sub> recording layer (RLs). Ru or Si/NiFe seed layers improve the degree of FeCo(110) orientation in the SUL and the c-axis orientation of the RL. An Ru/FeCoB layer and an Si/NiFe/FeCoB layer were compared for crystalline orientation and magnetic properties. The integrated intensity of the (002) diffraction peak of CoPtCr had an almost constant value even when the thickness of the Ru IML was changed from 30 nm to 2 nm. The coercivity and squareness ratio in the direction perpendicular to the of recording layer maintained the same value even when reducing the thickness of the Ru IML was reduced from 30 nm to 5 nm.

    DOI: 10.3379/msjmag.1008R002

    J-GLOBAL

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  • Comparison of playback performance of facing targets sputtered perpendicular and longitudinal tape media 査読

    Satoshi Matsunuma, Tetsutaro Inoue, Tsugihiro Doi, Toshimitsu Matsuu, Atsuto Hashimoto, Ken Ichiro Hirata, Shigeki Nakagawa

    IEEE Transactions on Magnetics   45 ( No. 10 )   3598 - 3600   2009年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2009.2023075

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  • Ru/FeCoB double layered film with high in-plane magnetic anisotropy field of 500 Oe 査読

    Ken-ichiro Hirata, Atsuto Hashimoto, Toshimitsu Matsuu, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   105 ( 7 )   2009年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3068037

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  • Ru/FeCoB crystalline soft magnetic underlayers with high anisotropy field for CoPtCr- SiO<inf>2</inf> granular perpendicular magnetic recording media 査読

    Toshimitsu Matsuu, Ken Ichiro Hirata, Atsuto Hashimoto, Satoshi Matsunuma, Satoshi Matsunuma, Tetsutaro Inoue, Tetsutaro Inoue, Tsugihiro Doi, Tsugihiro Doi, Shigeki Nakagawa

    Journal of Applied Physics   105   2009年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3072830

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  • Ru underlayers for enhancement of in-plane magnetic anisotropy field of Ru/FeCoB film 査読

    Ken-ichiro Hirata, Atsuto Hashimoto, Toshimitsu Matsuu, Shigeki Nakagawa

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-ADVANCED FUNCTIONAL SOLID-STATE MATERIALS   161 ( 1-3 )   134 - 137   2009年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.mseb.2009.03.002

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  • Crystal Structure as an Origin of High-Anisotropy Field of FeCoB Films With Ru Underlayer 査読

    A. Hashimoto, K. Hirata, T. Matsuu, S. Saito, S. Nakagawa

    IEEE Transactions on Magnetics   44 ( 11 )   3899 - 3901   2008年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2008.2002252

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  • Stress-Assisted Reversal of Perpendicular Magnetization of Thin Films With Giant Magnetostriction Constant 査読

    Naoya Saito, Shigeki Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   44 ( 11 )   2487 - 2490   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2008.2002606

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  • Control of Curie Temperature of FePt(Cu) Films Prepared From Pt(Cu)/Fe Bilayers 査読

    Jun-Ichi Ikemoto, Yasuharu Imai, Shigeki Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   44 ( 11 )   3543 - 3546   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2008.2001610

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  • Perpendicular magnetic tunnel junction with tunneling magnetoresistance ratio of 64% using MgO (100) barrier layer prepared at room temperature 査読

    Hideto Ohmori, Tomoya Hatori, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   103 ( 7 )   2008年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.2840016

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  • Improvement of stress-induced magnetization reversal process of DyFeCo thin films 査読

    Naoya Saito, Michiya Yamada, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   103 ( 7 )   2008年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.2832340

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  • GHz帯に共鳴周波数を有するFeCoB/NiFe/Si薄膜の透磁率特性

    松鵜 利光, 橋本 篤人, 中川 茂樹

    粉体および粉末冶金   55 ( 2 )   127 - 131   2008年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Japan Society of Powder and Powder Metallurgy  

    Recently the development of the magnetic devices has been expected in the high frequency applications. The soft magnetic films with large saturation magnetization and high anisotropy field Hk have been required. In this study, FeCoB/NiFe/Si thin films deposited by Facing Targets Sputtering (FTS) system have saturation magnetization of 2 T and Hk of 20 kA/m, and exhibited high ferromagnetic resonance (FMR) frequency of 6.0-7.0 GHz in permeability characteristics. For improvement of high frequency permeability characteristics, we reduced the thickness of FeCoB soft magnetic layer. The results showed that damping constant was reduced and exhibited smaller loss capability. When changing of the FeCoB thickness, we investigated the change of anisotropy field Hk and FeCoB(110) lattice spacing in the perpendicular direction, which indicated that there was correlation between each other. From this relationship, we examined the origin of anisotropy field Hk.

    DOI: 10.2497/jjspm.55.127

    CiNii Books

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    その他リンク: https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00310528355?from=CiNii

  • Fe/Pt極薄2層構造膜からの垂直磁気記録媒体用FePt規則合金(001)配向膜の作製

    池本 潤一, 中川 茂樹

    粉体および粉末冶金   55 ( 2 )   121 - 126   2008年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Japan Society of Powder and Powder Metallurgy  

    Pt(3nm)/Fe(3nm) bilayered films deposited directly on glass disk substrates at room temperature exhibited preferential (100) orientation in Pt as well as Fe layers because of a hetero epitaxial growth from the bottom Fe(100) to the top Pt(100) textures. Highly ordered fct-FePt(001) alloy texture was appeared in the bi-layered film after annealed at 600°C in hydrogen atmosphere. Increase of substrate temperature up to 600°C during the deposition of 3nm-thick Pt layer on the Fe layer brought about a direct fabrication of fct-FePt(001) ordered alloy thin film.

    DOI: 10.2497/jjspm.55.121

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    その他リンク: https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00310528348?from=CiNii

  • 裏打ち軟磁性層用FeCoB薄膜の結晶子歪と高異方性磁界の関係(記録システムおよび一般)

    平田 健一郎, 橋本 篤人, 松鵜 利光, 中川 茂樹

    映像情報メディア学会技術報告   32   41 - 46   2008年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    FeCoB薄膜における一軸磁気異方性について,FeCo結晶の結晶歪みと配列からその起源を求めた.製膜は対向ターゲット式スパッタ法により行い,結晶構造の解析にはX線回折(XRD)を用いた.下地層にRuを用い500 Oeの高異方性磁界を有するRu/FeCoB二層膜において,容易軸方向に傾いた結晶成長と異方的結晶配列が確認された.またFeCo(110)結晶には容易軸方向に0.5%の伸張が観測され,容易軸方向への磁気弾性エネルギーE_<elastic>は3.8×10^5 erg/ccと算出された.また,そこから計算される異方性磁界H_kは470 Oeとなり,実測値500 Oeによい近似をみせたことからFeCo結晶の歪みが特異に高い異方性磁界の発現原因であることが示唆された.

    DOI: 10.11485/itetr.32.23.0_41

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  • Highly (0 0 1) oriented FePt ordered alloy thin films fabricated from Pt(1 0 0)/Fe(1 0 0) structure on glass disks without seed layers 査読

    Shigeki Nakagawa, Taro Kamiki

    Journal of Magnetism and Magnetic Materials   287   204 - 208   2005年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1016/j.jmmm.2004.10.087

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  • Mn-Zn spinel ferrite thin films prepared by high rate reactive facing targets sputtering 査読

    Shigeki Nakagawa, Shunsuke Saito, Taro Kamiki, Sok-Hyun Kong

    Journal of Applied Physics   93 ( 10 )   7996 - 7998   2003年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1063/1.1555842

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  • 強磁性ホール効果による記録層/裏打ち層2層垂直磁気記録媒体の磁化機構評価

    サラバヌ ダス, 中川 茂樹

    映像情報メディア学会技術報告   27   7 - 12   2003年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    記録層および裏打ち軟磁性層からなる2層垂直磁気記録媒体の磁化機構および記録層内部での磁化粒子間相互作用を強磁性ホール効果を用いて評価した。記録層および裏打ち軟磁性層はそれぞれ垂直および面内方向に磁気異方性を持ち、磁界に対するホール電圧特性において異なる対称性を示す。これを応用することにより斜め磁界中における2つの層の磁化過程を分離評価した。また、記録層が示す初磁化過程を2層媒体の特性より分離し、粒子間相互作用を評価することが可能であることを示した。

    DOI: 10.11485/itetr.27.2.0_7

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  • ArとKr混合ガススパッタによるSrフェライト薄膜の作製

    水野啓介, 中川茂樹

    粉体および粉末冶金   50 ( 2 )   154 - 158   2003年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.2497/jjspm.50.154

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  • 反応性スパッタ法によるMn-Znフェライト軟磁性層の特性改善

    神木太朗, 斎藤俊介, 孔碩賢, 中川茂樹

    粉体および粉末冶金   50 ( 2 )   143 - 148   2003年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.2497/jjspm.50.143

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  • 磁気記録媒体の微細構造・特性制御のための下地層

    中川茂樹, 孔碩

    日本応用磁気学会誌   27 ( 12 )   1097 - 1105   2003年

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  • Ni-fe-o intermediate layer and [Ni-Fe/Si](n) laminated soft underlayer for backlayer of Co-Cr-Ta-Pt perpendicular recording media

    SH Kong, T Okamoto, KH Kim, S Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   38 ( 5 )   1982 - 1984   2002年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2002.801794

    Web of Science

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  • [Fe-Co/Si](n) multilayers with high saturation magnetization for backlayer of perpendicular magnetic recording media

    SH Kong, T Okamoto, S Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   38 ( 5 )   1997 - 1999   2002年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.2002.801800

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  • Magnetic interaction among particles in Co-Cr-Ta media and Co/Pt multilayered media evaluated by anomalous Hall effect

    S Das, S Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   91 ( 10 )   7427 - 7429   2002年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.1451744

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  • Co-Cr-Ta/Pt/Ti垂直記録膜の作製とPt中間層による微細粒子化

    佐藤厚, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会誌   25 ( 4-2 )   543 - 546   2001年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    Pt/Ti layers were investigated for the under layers of Co-Cr-Ta perpendicular magnetic recording media. The Co-Cr-Ta/Pt/Ti trilayered films exhibited better c-axis orientation and higher perpendicular coercivity than the Co-Cr-Ta/Pt bilayered films. In order to decrease grain size of the Co-Cr-Ta recording layer, a 5-nm-thick Pt interlayer was introduced to compose [Co-Cr-Ta/Pt]n multilayers. We found that the Pt interlayer was effective for decreasing the grain size of the Co-Cr-Ta recording layer without degrading its perpendicular coercivity. The Pt/Ti under layer and Pt interlayer are useful for the development of Co-Cr-Ta perpendicular magnetic recording media.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.25.543

    CiNii Books

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10465401

  • Pt下地層改良によるBaMフェライト薄膜の微粒子化

    船橋伸彦, 馮潔, 松下伸広, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会誌   25 ( 4-2 )   547 - 550   2001年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Magnetoplumbite-type BaM ferrite films deposited on Pt under layers have a large perpendicular anisotropy which is enough for the contact type of perpendicular magnetic recording media. Addition of Ta proved thoroughly effective in attaining smaller grain size in BaM ferrite films. By adding 1 at.% of Ta into Pt under layers, we decreased the grain size of those Pt under layers. BaM ferrite films with smaller grain size have higher perpendicular coercivity (3.5 kOe) and greater squareness (0.69). Lower noise level and higher recording density were obtained through this improvement.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.25.547

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10465402

  • Control of nano-structure of the initial growth layers of Co-Cr thin films deposited by facing targets sputtering 査読

    S Nakagawa, M Naoe

    VACUUM   51 ( 4 )   595 - 599   1998年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Relationship between Ta content and soft magnetism of Co-Zr-Ta films for backlayers in perpendicular magnetic recording media 査読

    S Nakagawa, S Tanaka, M Naoe

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   155 ( 1-3 )   231 - 233   1996年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • SYNTHESIS OF FERRIMAGNETIC MN4N FILMS EPITAXIALY DEPOSITED ON AL UNDERLAYERS BY PLASMA-FREE SPUTTERING 査読

    S NAKAGAWA, M NAOE

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   140   715 - 716   1995年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Ni-Fe/Cu GMR多層膜におけるイオン照射とアニールによる界面制御効果とスピンバルブのFeMn層配向制御効果 査読

    葭谷 徹, 宮本 泰敬, 中川 茂樹, 直江 正彦

    テレビジョン学会技術報告   19 ( 69 )   7 - 14   1995年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    Ni-Fe/Cu巨大磁気抵抗効果(GMR)多層膜をデュアルイオンビームスパッタ(DIBS)法により作製した。各層の初期堆積層へのイオン照射や後熱処理を行うことで、結晶構造や界面状態を変化させ、スピン依存散乱の界面における影響について調査を行なった。磁界感度は、界面付近の構造に大きく影響を受けていることを確認した。また、150℃の後熱処理を行うことで、磁気抵抗変化率と磁界感度を共に向上させることに成功した。次に耐蝕性を向上させる目的から、基板直上に配置したFeMn反強磁性層の上にGMRサンドイッチを堆積させた構造をもつスピンバルブ素子を作製した。この時イオン照射を行なったNi-Fe配向制御層を用いることでFeMn(111)配向が向上し、20〜30Oeの交換バイアス磁界が確認された。

    DOI: 10.11485/tvtr.19.69_7

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  • VERY THIN PROTECTIVE FILM OF FE-MO-B BASED HARD ALLOY FOR CURL-FREE MAGNETIC-TAPE 査読

    S AKIYAMA, N MATSUSHITA, S NAKAGAWA, M NAOE

    THIN FILMS : STRESS AND MECHANICAL PROPERTIES III   239   641 - 646   1992年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • 2-STEP DEPOSITION AT LOW AND HIGH Ar PRESSURE FOR CURL-FREE Co-Cr MAGNETIC TAPE

    Setsuo AKIYAMA, Nobuhiro MATSUSHITA, Shigeki NAKAGAWA, Masahiko NAOE

    Journal of the Magnetics Society of Japan   15 ( S_2_PMRC_91 )   S2_933 - 938   1991年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    DOI: 10.3379/jmsjmag.15.s2_933

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  • Preparation of Ybacuo Thin Films with Excellent Crystallinity on Amorphous substrates Prepared by Facing Targets sputtering 査読

    Shigeki Nakagawa, Takeshi Takeuchi, Masahiko Naoe

    IEEE Transactions on Magnetics   26 ( 5 )   1430 - 1432   1990年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/20.104400

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  • THE THICKNESS DEPENDENCE OF M-H CHARACTERISTICS OF CO-CR FILMS PREPARED BY FACING TARGETS SPUTTERING 査読

    S NAKAGAWA, Y KITAMOTO, M NAOE

    JOURNAL DE PHYSIQUE   49 ( C-8 )   1987 - 1988   1988年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • CoCr thin film preparation by facing targets sputtering 査読

    Yoshiro Niimura, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    Materials Science and Engineering   98 ( C )   53 - 56   1988年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/0025-5416(88)90125-5

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  • MULTILAYERED CO-CR FILMS WITH NON-MAGNETIC INTERMEDIATE LAYERS BY FTS SYSTEM 査読

    Y NIIMURA, Y KITAMOTO, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   23 ( 5 )   2464 - 2466   1987年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • INFLUENCE OF FILM-GROWTH CONDITIONS ON C-AXIS ORIENTATION IN SPUTTERED CO-CR THIN-FILMS 査読

    Y NIIMURA, S NAKAGAWA, Y KITAMOTO, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( 8 )   3152 - 3154   1987年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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  • Control of coercive force of co-cr sputtered films 査読

    Yoshiro Niimura, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    IEEE Transactions on Magnetics   23 ( 1 )   68 - 70   1987年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.1987.1064816

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  • The magnetic anisotropy in the initial layer of CO-CR sputtered thin films 査読

    Yoshiro Nilmura, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe, Yoichi Hoshi

    IEEE Transactions on Magnetics   23 ( 5 )   2461 - 2463   1987年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.1987.1065628

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  • 極薄膜Co-Crスパッタ膜の結晶配向と磁気的挙動

    中川 茂樹, 北本 仁孝, 隅出 真, 鍬崎 尚哉, 新村 嘉朗, 直江 正彦

    テレビジョン学会技術報告   11 ( 5 )   15 - 22   1987年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    DOI: 10.11485/tvtr.11.5_15

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  • Keffects of incident angle on C-axls orientation in sputtered co-cr films 査読

    Yoshiro Niimura, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    IEEE Transactions on Magnetics   23 ( 5 )   2043 - 2045   1987年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TMAG.1987.1065609

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書籍等出版物

  • 電子物性・材料の事典

    朝倉書店  2006年 

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  • 日本化学会編 第5版実験化学講座 27巻「機能性材料」

    丸善㈱  2004年 

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  • 図解 薄膜技術

    培風館  1999年 

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MISC

  • SmFe₂超磁歪薄膜を用いたピエゾエレクトロニック・磁気トンネル接合素子の最近の研究—Recent progress on piezo-electronic magnetoresistive devices using giant magnetostrictive SmFe₂ thin films

    浦下 宗輝, 小野澤 隼, 北川 涼太, 冨田 誠人, 春本 高志, 史 蹟, 中村 吉男, 高村 陽太, 中川 茂樹

    映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report   44 ( 25 )   13 - 16   2020年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:東京 : 映像情報メディア学会  

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    CiNii Research

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    その他リンク: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030790327

  • SmFe2超磁歪薄膜を用いたピエゾエレクトロニック・磁気トンネル接合素子の最近の研究

    浦下宗輝, 小野澤隼, 北川涼太, 冨田誠人, 春本高志, SHI Ji, 中村吉男, 高村陽太, 中川茂樹

    電子情報通信学会技術研究報告(Web)   120 ( 180(MRIS2020 1-4) )   2020年

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  • ピエゾエレクトロニック磁気抵抗素子の圧力印加構造の設計および試作

    北川涼太, 小野澤隼, スタットラー嘉也, 春本高志, 史蹟, 中村吉男, 高村陽太, 中川茂樹

    粉体粉末冶金協会講演大会(Web)   2019   2019年

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  • ピエゾエレクトロニック磁気トンネル接合の圧力印加構造の評価

    浦下宗輝, 北川涼太, 小野澤隼, STUTLER Y., 春本高志, SHI J., 中村吉男, 高村陽太, 中川茂樹

    日本磁気学会学術講演概要集   43rd   2019年

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  • [Co/Pd]磁性細線における磁区の形成・駆動・検出

    奥田光伸, 奥田光伸, 宮本泰敬, 川那真弓, 宮下英一, 斎藤信雄, 林直人, 中川茂樹

    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集(CD-ROM)   2015   2015年

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  • [Co/Pd]磁性細線への磁区形成における軟磁性下地層の効果

    奥田光伸, 奥田光伸, 宮本泰敬, 川那真弓, 宮下英一, 斎藤信雄, 林直人, 中川茂樹

    日本磁気学会学術講演概要集   39th   2015年

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  • [Co₂MnSi/Pd]n人工格子膜の磁気異方性のMgO基板結晶方位依存性 (磁気記録・情報ストレージ)

    松下 直輝, 藤野 頼信, 高村 陽太, 園部 義明, 中川 茂樹

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報   114 ( 140 )   1 - 5   2014年7月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    ハーフメタル強磁性体であるフルホイスラー合金Co_2MnSi(CMS)とPdの人工格子を異なる面方位の単結晶MgO基板上に作製し,その磁気異方性とMgO基板の面方位との関係を明らかにした.[CMS(0.6nm)/Pd(2nm)]_6人工格子膜をMgO(100),(110),(111)基板上に作製したところ,それぞれ,面内,等方的,垂直磁気異方性を示した.

    CiNii Books

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  • Application of Cobalt Ferrite to an Ultra-compact Magneto-Optical Isolator on Silicon Photonics Circuits

    Y. Shoji, M. Yanaga, T. Kashima, T. Suzuki, S. Nakagawa, T. Mizumoto

    J. Jpn. Soc. Powder Powder Metallurgy   Vol. 61 ( No. S61 )   2014年5月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.2497/jjspm.61.S343

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  • [Co/Pd]磁性細線における電流駆動磁区の磁気抵抗変化による検出

    奥田光伸, 奥田光伸, 宮本泰敬, 宮本泰敬, 宮下英一, 斎藤信雄, 林直人, 中川茂樹

    日本磁気学会学術講演概要集   38th   2014年

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  • [Co/Pd]磁性細線における微小溝加工による磁区駆動制御

    奥田光伸, 奥田光伸, 宮本泰敬, 宮本泰敬, 宮下英一, 斎藤信雄, 林直人, 中川茂樹

    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集(CD-ROM)   2014   2014年

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  • 高機能磁性薄膜作製技術の開発と磁気デバイスへの応用

    中川茂樹

    日本磁気学会誌 まぐね   Vol. 8 ( No. 2 )   2013年2月

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    記述言語:日本語  

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  • Playback performance of perpendicular magnetic recording tape media for over-50-TB cartridge by facing targets sputtering method

    S. Matsunuma, T. Inoue, T. Watanabe, T. Doi, Y. Mashiko, S. Gomi, K. Hirata, S. Nakagawa

    J. Magn. Magn. Mater.   Volume 324 ( No. 3 )   2012年12月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/j.jmmm.2010.12.030

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  • 反応性イオンビームスパッタリングによるCoFe2O4(100)配向膜の作製

    間宮 啓介, 久保田 雄紀, 中川 茂樹

    紛体および粉末冶金   Vol. 59 ( No. 3 )   2012年5月

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    記述言語:日本語  

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  • Fabrication of perpendicular magnetic recording tape media with a data capacity of over-50TB using Si/NiFe/FeCoB soft magnetic underlayers

    S. Gomi, Y. Mashiko, K. Hirata, S. Matsunuma, T. Inoue, T. Doi, T. Watanabe, S. Nakagawa

    Phys. Procedia   Vol. 16C   2011年12月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/j.phpro.2011.06.109

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  • 斜方入射スパッタ粒子を利用して作製した高異方性磁界を有するFeCoB膜

    中川茂樹

    日本磁気学会誌 まぐね   Vol. 7 ( No. 1 )   2011年12月

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    記述言語:日本語  

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  • Reducing Media Noise of Perpendicular Magnetic Recording Tape for Over-50TB Class Date Cartridge

    S. Matsunuma, T. Inoue, T. Watanabe, T. Doi, S. Gomi, Y. Mashiko, K. Hirata, S. Nakagawa

    J. Appl. Phys.   Vol. 109 ( No. 7 )   2011年4月

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    記述言語:英語  

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  • Growth of mixed phased films of γ-Fe2O3 and half metallic Fe3O4 using (100) MgO/Fe under layer for spin electronic devices

    M. Wang, S. Nakagawa

    J. Phys.: Conf. Ser.   Volume 266 ( Number 1 )   2011年2月

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    記述言語:英語  

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  • Evaluation of Magnetization Interaction at the Interface between FeCo and TbFeCo for p-MTJ

    N. Miyamoto, K. Mamiya, S. Nakagawa

    J. Phys.: Conf. Ser.   Volume 266 ( Number 1 )   2011年1月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1088/1742-6596/266/1/012099

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  • FeCoB Films with High Ferromagnetic Resonance Frequency above 9 GHz induced by Anisotropic Residual Stress

    S. Nakagawa, Y. Mashiko, K. Hirata

    2010年12月

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    記述言語:英語  

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  • Effect of Fe diffusion in MgO/Fe seedlayers to attain (100) oriented Pt underlayer for perovskite films with c-axis orientation

    T. Matsumoto, K. Tamai, Y. Murashima, K. Komaki, S. Nakagawa

    Thin Solid FIlms   Vol. 518   2010年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/j.tsf.2010.03.099

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  • Effect of Crystalline Orientation and Lattice Distortion of FeCo Spin Polarization Enhancement Layer in perpendicular MTJ with RE-TM Alloy Films

    N. Miyamoto, H. Ohmori, S. Nakagawa

    J. Appl. Phys.   Vol. 107 ( No. 9 )   2010年5月

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    記述言語:英語  

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  • Influence of crystallographic orientation of FeCo spin polarization enhancement layer on the magnetization coupling with RE-TM alloy films in perpendicular MTJ

    H. Ohmori, N. Miyamoto, S. Nakagawa

    2009年10月

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    記述言語:英語  

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  • Si/NiFe/FeCoB Crystalline SUL to Reduce Ru Intermediate Layer Thickness for CoPtCr-SiO2 Granular Perpendicular Magnetic Recording Media

    T. Matsuu, K. Hirata, S. Gomi, A. Hashimoto, S. Matsunuma, T. Inoue, T. Doi, S. Nakagawa

    IEEE Trans. Magn.   Vol. 45 ( No. 10 )   2009年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/TMAG.2009.2022498

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  • FePtCu Ordered alloy films with (001) orientation fabricated from Cu/Pt/Fe tri-layers

    Y. Imai, Y. Ogata, S. Nakagawa

    IEEE Trans. Magn.   2009年10月

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    記述言語:英語  

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  • RE-TM膜を用いた垂直MTJ中のFeCoスピン偏極層の結晶配向と磁化特性の評価

    宮本尚明, 大森秀人, 中川茂樹

    電子情報通信学会技術研究報告   109 ( 222 )   41 - 45   2009年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    RE-TM合金膜を用いた垂直MTJ内の、TbFeCoとFeCoの磁気的結合について評価を行った。特に、FeCoの結晶配向が異なる二つの試料TbFeCo/FeCo(001)/Ta膜とTbFeCo/FeCo(110)/Ta膜を用意し磁気特性を測定した。その結果、FeCo(001)膜を有する試料ではFeCo(110)膜を有する試料に比べて約9%の角型比の向上を確認した。また、FeCo(001)膜の格子定数を測定し、角型の良い垂直磁化特性を得るためにFeCoの格子を垂直方向に伸張する必要があることについても確認した。

    DOI: 10.11485/itetr.33.41.0_41

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  • Cu/Pt/Fe三層膜によるFePtCu規則合金薄膜の特性制御

    緒方祐史, 今井 康晴, 中川 茂樹

    電子情報通信学会技術研究報告   109 ( 132 )   1 - 5   2009年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    熱アシスト磁気記録用媒体材料として有望視されているL1_0FePt規則合金薄膜のキュリー温度の制御をCu添加により行った。Cu/Pt/Fe三層膜を水素雰囲気中において600℃で加熱することによりc軸配向したFePtCu規則合金薄膜を作製した。作製した試料のキュリー温度はFePtに比べ低下しており、Cuの添加効果を確認することができた。Cu/Pt(3nm)/Fe(3nm)三層膜においてCu膜厚を変える事によりFePtCuのCu組成比の制御を試みた。Cu膜厚が0.5nmまではFePt(001)ピーク強度が増大していくが0.7nmでは規則合金による回折線強度が低下した。Cu膜厚を増やすことによってキュリー温度の低下や200℃付近での保磁力の十分な低下が確認された。

    DOI: 10.11485/itetr.33.28.0_1

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  • 結晶性FeCoB裏打ち柔磁性層によるグラニュラー垂直磁気記録媒体の特性改善

    五味俊輔, 平田健一郎, 松鵜利光, 松沼悟, 井上鉄太郎, 渡辺利幸, 土井嗣裕, 中川茂樹

    電子情報通信学会技術研究報告   109 ( 132 )   41 - 45   2009年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    垂直磁気記録媒体の記録層と裏打ち軟磁性層の間に挿入される中間層Ruの薄膜化を達成するために結晶性裏打ち軟磁性層を適用することを検討した。結晶性裏打ち軟磁性層としてFeCoB層を用いて、bcc-FeCoBの(110)配向度を向上させることにより、中間層Ruのc軸配向度およびCoPtCr-SiO_2記録層のc-軸配向度の向上が可能となる。そこで、FeCoB層の(110)配向度を制御するために、Ru層およびSi/NiFe膜の2つのシード層を用いたFeCoB裏打ち軟磁性層を作製し比較した。Ru膜をシード層としたRu/FeCoB膜は高異方性磁界を持ち、Si/NiFe膜をシード層としたSi/NiFe/FeCoB膜はbcc-FeCoB(110)優先配向を促進するものである。Si/NiFe膜をシード層として用いると、Ruシード層の場合よりもFeCo(110)配向を促進することが確認された。また、FeCoB層の(110)配向度を向上させたRu/FeCoB膜やSi/NiFe/FeCoB膜を結晶性裏打ち軟磁性層として利用することにより、中間層Ruの膜厚を30nmから1nmまで低減させた場合に、記録層のCoPtCr(002)ピークの積分強度が維持されることが確認された。また、中間層Ruの膜厚を5nmまで薄くしても記録層の保磁力と角型比が維持されることが確認された。

    DOI: 10.11485/itetr.33.28.0_41

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  • RE-TM膜を用いた垂直MTJ中のFeCoスピン偏極層の結晶配向と磁化特性の評価(固体メモリおよび一般)

    宮本 尚明, 大森 秀人, 中川 茂樹

    映像情報メディア学会技術報告   109 ( 222 )   41 - 45   2009年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    RE-TM合金膜を用いた垂直MTJ内の、TbFeCoとFeCoの磁気的結合について評価を行った。特に、FeCoの結晶配向が異なる二つの試料TbFeCo/FeCo(001)/Ta膜とTbFeCo/FeCo(110)/Ta膜を用意し磁気特性を測定した。その結果、FeCo(001)膜を有する試料ではFeCo(110)膜を有する試料に比べて約9%の角型比の向上を確認した。また、FeCo(001)膜の格子定数を測定し、角型の良い垂直磁化特性を得るためにFeCoの格子を垂直方向に伸張する必要があることについても確認した。

    DOI: 10.11485/itetr.33.41.0_41

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  • Directional alignment and anisotropic internal stress in Ru/FeCoB films with high anisotropy field

    Shigeki Nakagaw, Kenichiro Hirata

    The Papers of Technical Meeting on Magnetics, IEE Japan   53   2009年

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  • Improvement of granular perpendicular magnetic recording media with Si/NiFeCoB crystalline SUL

    Shunsuke Gomi, Kenichiro Hirata, Toshimitsu Matsuu, Satoshi Matsunuma, Tetsutaro Inoue, Toshiyuki Watanabe, Tsugihiro Doi, Shigeki Nakagawa

    IEICE Techinical Report   109 ( 132 )   41 - 45   2009年

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  • 応力アシスト磁化反転用スピン注入型垂直磁化GMR多層膜の作製(固体メモリおよび一般)

    神保 和弥, 齋藤 直哉, 中川 茂樹

    映像情報メディア学会技術報告   109 ( 222 )   37 - 40   2009年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    垂直MRAMの書き込み時の消費電力を低減させる手法である応力アシスト磁化反転(Stress Assisted Magnetization Reversal:SAMR)に使用する超磁歪材料Terfenol-Dを用いたCu(15nm)/Terfenol-D(10nm)/Cu(3nm)/TbFeCo(30nm)/Cu(15nm)のGMR多層膜を作製した。この多層膜の上下の酸化防止層Cu(15mm)によって、100℃、2分間の加熱を経ても垂直磁化を失わないことが確認できた。また、このGMR多層膜にSAMRを適用した際の垂直磁化の変化を観測した。その結果、279MPaの応力印加によりフリー層の磁化のみを面内方向に倒れた事を異常Hall効果による磁化過程観測により確認した。

    DOI: 10.11485/itetr.33.41.0_37

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  • Cu/Pt/Fe三層膜によるFePtCu規則合金薄膜の特性制御(ヘッド・媒体および一般)

    緒方 祐史, 今井 康晴, 中川 茂樹

    映像情報メディア学会技術報告   109 ( 132 )   1 - 5   2009年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    熱アシスト磁気記録用媒体材料として有望視されているL1_0FePt規則合金薄膜のキュリー温度の制御をCu添加により行った。Cu/Pt/Fe三層膜を水素雰囲気中において600℃で加熱することによりc軸配向したFePtCu規則合金薄膜を作製した。作製した試料のキュリー温度はFePtに比べ低下しており、Cuの添加効果を確認することができた。Cu/Pt(3nm)/Fe(3nm)三層膜においてCu膜厚を変える事によりFePtCuのCu組成比の制御を試みた。Cu膜厚が0.5nmまではFePt(001)ピーク強度が増大していくが0.7nmでは規則合金による回折線強度が低下した。Cu膜厚を増やすことによってキュリー温度の低下や200℃付近での保磁力の十分な低下が確認された。

    DOI: 10.11485/itetr.33.28.0_1

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  • 高異方性磁界を有するRu/FeCoB/膜の方向性結晶配列と異方的残留応力

    中川茂樹, 平田健一郎

    電気学会研究会資料   53   2009年

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    記述言語:日本語  

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  • 応力アシスト磁化反転用スピン注入型垂直磁化GMR多層膜の作製

    神保和弥, 齋藤直哉, 中川茂樹

    電子情報通信学会技術研究報告   109 ( 222 )   37 - 40   2009年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    垂直MRAMの書き込み時の消費電力を低減させる手法である応力アシスト磁化反転(Stress Assisted Magnetization Reversal:SAMR)に使用する超磁歪材料Terfenol-Dを用いたCu(15nm)/Terfenol-D(10nm)/Cu(3nm)/TbFeCo(30nm)/Cu(15nm)のGMR多層膜を作製した。この多層膜の上下の酸化防止層Cu(15mm)によって、100℃、2分間の加熱を経ても垂直磁化を失わないことが確認できた。また、このGMR多層膜にSAMRを適用した際の垂直磁化の変化を観測した。その結果、279MPaの応力印加によりフリー層の磁化のみを面内方向に倒れた事を異常Hall効果による磁化過程観測により確認した。

    DOI: 10.11485/itetr.33.41.0_37

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  • 高異方性磁界を有する結晶質FeCoB裏打ち軟磁性層上の垂直グラニュラー膜の配向制御

    松鵜 利光, 平田 健一郎, 橋本 篤人, 松沼 悟, 井上 鉄太郎, 土井 嗣裕, 中川 茂樹

    映像情報メディア学会技術報告   32 ( 53 )   37 - 42   2008年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人映像情報メディア学会  

    CoPtCr-SiO_2垂直グラニュラー媒体の結晶性裏打ち軟磁性層としてbcc-FeCo(110)配向したFeCoB膜を利用した.このFeCoB膜の下地層として,Ru膜やSi/NiFe膜を導入することで高い面内一軸磁気異方性を有することやFeCoの結晶性が変化することが確認されており,これが中間層Ruに与える影響を調査した.bcc-FeCo(110)配向膜上にRu/CoPtCr-SiO_2膜を堆積させることで,裏打ち層なしではランダム配向を示したRu層が(001)優先配向を示し,CoPtCrの(001)配向と垂直磁化することが確認された.Ru中間層の膜厚を変化し,FeCo(110)の結晶性を向上させることで,Ru中間層の薄膜化の可能性が示唆された.

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  • 高異方性磁界を有する結晶質FeCoB裏打ち軟磁性層上の垂直グラニュラー膜の配向制御

    松鵜 利光, 平田 健一郎, 橋本 篤人, 松沼 悟, 井上 鉄太郎, 土井 嗣裕, 中川 茂樹

    電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録   108 ( 313 )   37 - 42   2008年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    CoPtCr-SiO_2垂直グラニュラー媒体の結晶性裏打ち軟磁性層としてbcc-FeCo(110)配向したFeCoB膜を利用した.このFeCoB膜の下地層として,Ru膜やSi/NiFe膜を導入することで高い面内一軸磁気異方性を有することやFeCoの結晶性が変化することが確認されており,これが中間層Ruに与える影響を調査した.bcc-FeCo(110)配向膜上にRu/CoPtCr-SiO_2膜を堆積させることで,裏打ち層なしではランダム配向を示したRu層が(001)優先配向を示し,CoPtCrの(001)配向と垂直磁化することが確認された.Ru中間層の膜厚を変化し,FeCo(110)の結晶性を向上させることで,Ru中間層の薄膜化の可能性が示唆された.

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  • Playback Performance of Facing Targets Sputtered Tape Media on Moving Tape Substrate with a High Speed

    S. Matsunuma, T. Inoue, T. Doi, T. Matsuu, A. Hashimoto, H. Fujiura, K. Hirata, S. Nakagawa

    IEEE Trans. Magn.   vol. 44 ( No. 11 )   2008年11月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/TMAG.2008.2003069

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  • 高異方性磁界を有するRu/FeCoB裏打ち軟磁性層上のCoPtCr‐SiO2垂直グラニュラー媒体の作製

    松鵜利光, 平田健一郎, 橋本篤人, 松沼悟, 井上鉄太郎, 土井嗣裕, 中川茂樹

    日本磁気学会学術講演概要集   32nd   17   2008年9月

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    記述言語:日本語  

    J-GLOBAL

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  • Magnetic anisotropy and crystalline orientation in high H(k)FeCoB thin films

    Atsuto Hashimoto, Toshimitsu Matsuu, Masaru Tada, Shigeki Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   103 ( 7 )   07E734   2008年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:速報,短報,研究ノート等(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.2838225

    Web of Science

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  • 裏打ち軟磁性層用FeCoB薄膜の結晶歪みと高異方性磁界の関係

    平田 健一郎, 橋本 篤人, 松鵜 利光, 中川 茂樹

    電子情報通信学会技術研究報告[MR:磁気記録・情報ストレージ]   MR2008-   2008年

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  • ガラス基板上のc軸配向FePt膜のキュリー点制御とMgOテンプレートによる作製法

    今井 康晴, 池本 潤一, 中川 茂樹

    電子情報通信学会技術研究報告[MR:磁気記録・情報ストレージ]   32   MR2008-17 - 44   2008年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 映像情報メディア学会  

    FePt規則化合金は,次世代記録媒体,特に熱アシスト磁気記録媒体およびビットパターン媒体の候補として研究が行われている.本研究では熱アシスト磁気記録媒体を目指したFePt(Cu)規則化合金薄膜のキュリー点制御性と,将来的な自己組織化パターン媒体を目指したMgOテンプレートによるFePt作製法について報告する.キュリー点制御に関しては,FePtに第三元素として添加するCuの量を調整することにより,結果として150℃から250℃までキュリー温度を制御することに成功した.MgOテンプレートによるFePt作製については,反応性スパッタリングによって作製したMgO(100)/Fe(100)優先配向膜を加熱することによってMgO層の下にあるFeがMgO中に拡散して表面に顕在することを示し,さらにそれを利用してFePt系規則化合金膜を作製することに成功した.

    DOI: 10.11485/itetr.32.28.0_39

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  • 対向ターゲット式スパッタ法によるCoPtCr‐SiO2磁気記録テープの磁気特性改善

    松鵜利光, 橋本篤人, 藤裏弘樹, 松沼悟, 井上鉄太郎, 土井嗣裕, 中川茂樹

    日本応用磁気学会学術講演概要集   31st   265   2007年9月

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    記述言語:日本語  

    J-GLOBAL

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  • MTJ elements with MgO barrier using RE-TM amorphous layers for perpendicular MRAM 査読

    T. Hatori, H. Ohmori, M. Tada, S. Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   43 ( 6 )   2331 - 2333   2007年6月

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  • テープ基板上へのCoPtCr‐SiO2面内磁気記録媒体とRu‐O/Ru下地層による垂直磁気記録媒体の作製と評価

    松鵜利光, 橋本篤人, 藤裏弘樹, 松沼悟, 井上鉄太郎, 土井嗣裕, 中川茂樹

    次世代磁気記録材料・システムへの挑戦   20   2007年

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    記述言語:日本語  

    J-GLOBAL

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  • Fe-Co-B/Ni-Fe/Si裏打ち軟磁性層の高異方性磁界の起源

    岡本健志, 孔碩賢, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   29 ( 1 )   37 - 40   2005年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Layers composed of Fe-Co-B layer and Ni-Fe (/Si) underlayer were prepared to increase the magnetic anisotropy field Hk for a greater signal to noise ratio (SNR). Fe-Co-B films with saturation magnetization Ms of 23 kG deposited on Ni-Fe seedlayer exhibited a low Hc of 0.6 Oe in the hard axis and a very high Hk of about 300 Oe. The magnitude of Hk depends on the condition of Ar gas pressure. The direction of depositing particles had an important role in the magnitude and direction of Hk. we proved that the mechanism to increase Hk : The magnetoelastic effect organized the difference of in-plane lattice spacing.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.29.37

    CiNii Books

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466892

  • LaCo置換型Srフェライト薄膜の多層化による特性改善

    松野圭介, 水野啓介, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   29 ( 6 )   649 - 652   2005年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Thin films of hexagonal magneto-plumbite-type strontium ferrite with La3+ and Co2+ thin films (LaCo-SrM) substituted for Fe3+ and Sr2+ as magnetic layer with a Pt underlayer were prepared by using a facing targets sputtering system and a flash-annealing process. After the films had been deposited at a low temperature of 250°C, which was not sufficient for crystallization, the specimens were flash-annealed at a high temperature of 900°C for a few minutes. A 22-nm-thick LaCo-SrM film revealed a coercivity of 5.2 kOe, a squareness of 0.85, and a particle size of 20 nm, respectively. To further improve the magnetic properties, LaCo-SrM/Pt multilayered thin films composed of three periods were prepared. The coercivity and squareness of a 78-nm-thick (total thickness of magnetic layers) LaCo-SrM multilayered film were as high as 5.5 kOe and 0.97, respectively. The particle size was also reduced to 18 nm. Stacking the LaCo-SrM in a multilayered structure was found to be effective for improving the magnetic properties necessary for high-density recording media.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.29.649

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  • [Ni-Fe/Si] double seedlayer with low surface energy for Fe-Co-B soft magnetic underlayer with high H-k for perpendicular magnetic recording media

    SH Kong, T Okamoto, S Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   40 ( 4 )   2389 - 2391   2004年7月

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  • Effect of intermediate layer at recording layer/soft magnetic underlayer interface in perpendicular recording media observed by ferromagnetic Hall effect

    S Das, SH Kong, S Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   40 ( 4 )   2464 - 2466   2004年7月

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  • Microstructure and magnetic properties in FeCoB/NiFe double layer

    SH Kong, T Okamoto, S Nakagawa

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   272   2184 - 2185   2004年5月

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  • 水素アニールによるFePt規則合金作製

    神木 太朗, 中川 茂樹

    日本応用磁気学会誌   28 ( 3 )   330 - 334   2004年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The magnetic characteristics of FePt bilayers annealed in various atmospheres were investigated. The in-plane coercivity of FePt bilayers changed markedly in response to the annealing atmosphere. FePt bilayers annealed in hydrogen atmosphere exhibited coercivities of several kOe above 400°C. However, specimens annealed in nitrogen and argon atmosphere did not exhibit FePt ordered phase. X-ray photoelectron spectroscopy study clarified that the oxygen introduced with Fe formed Fe2O3 and made interdiffusion between the Fe and Pt layers difficult. Suppression of inter-diffusion caused degeneration of ordered FePt phase. Annealing in hydrogen atmosphere was found to be effective for removing the oxygen, and led to the formation of FePt ordered phase during the annealing. Moreover, specimens annealed in a high-pressure hydrogen atmosphere showed higher in-plane coercivity than specimens annealed under low pressure. High-pressure annealing also decreased the ordering temperature from 400°C to 350°C.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.28.330

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466579

  • 水素アニールによるFePt規則合金作製

    神木太朗, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   28 ( 3 )   330 - 334   2004年

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  • 強磁性ホール効果によるCo/Pd多層膜の磁化機構評価

    ダスサラバヌ 吉川裕紀, 中川茂

    日本応用磁気学会誌   28 ( 4 )   543 - 548   2004年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The magnetization process in Co/Pd multilayers under a tilted magnetic field was studied using ferromagnetic Hall effect analysis. The loci of the tip of an effective magnetization vector were determined from the simultaneously detected anomalous and planar Hall voltage signals contributed by the perpendicular and in-plane magnetization components, respectively, inside a multilayered specimen. The evaluated magnetization reversal process exhibited a clear dependence on the multilayer structure due to the variation of the Co or Pd layer thickness. For different types of multilayers, Hall effect study under a tilted magnetic field revealed the difference in the magnetization reversal phenomenon, while no significant difference was detected in the characteristics measured in a perpendicular applied field.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.28.543

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  • Effect of Hydrogen on the Preparation of Fe/Pt Multilayer

    Taro Kamiki, Shigeki Nakagawa

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   29 ( 4 )   1565 - 1568   2004年

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  • Co/Pd多層膜の表面状態と垂直方向磁気特性の関係

    吉川裕紀, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   28 ( 3 )   263 - 266   2004年

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  • Soft Magnetic Fe-Co-B/Ni-Fe Double layer with High Magnetic Anisotropy Field

    Takeshi Okamoto Sok-Hyun Kong, Shigeki Nakagawa

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   29 ( 4 )   1581 - 1584   2004年

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  • Relationship between Surface Morphology and Perpendicular Magnetic Property of Co/Pd Multilayers

    H. Yoshikawa, S. Nakagawa

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   29 ( 4 )   1573 - 1575   2004年

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  • 強磁性ホール効果によるCo/Pd多層膜の磁化機構評価

    ダス サラバヌ, 吉川 裕紀, 中川 茂樹

    日本応用磁気学会誌   28 ( 4 )   543 - 548   2004年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The magnetization process in Co/Pd multilayers under a tilted magnetic field was studied using ferromagnetic Hall effect analysis. The loci of the tip of an effective magnetization vector were determined from the simultaneously detected anomalous and planar Hall voltage signals contributed by the perpendicular and in-plane magnetization components, respectively, inside a multilayered specimen. The evaluated magnetization reversal process exhibited a clear dependence on the multilayer structure due to the variation of the Co or Pd layer thickness. For different types of multilayers, Hall effect study under a tilted magnetic field revealed the difference in the magnetization reversal phenomenon, while no significant difference was detected in the characteristics measured in a perpendicular applied field.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.28.543

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  • Improvement of perpendicular coercivity of Hexagonal M-type ferrite thin films on Pt underlayer prepared by flash-annealing

    K.Matsuno, K.Mizuno, S.Nakagawa

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   29 ( 4 )   1607 - 1610   2004年

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  • Co/Pd多層膜の表面状態と垂直方向磁気特性の関係

    吉川 裕紀, 中川 茂樹

    日本応用磁気学会誌   28 ( 3 )   263 - 266   2004年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The magnetic properties of Co/Pd multilayers seem to be strongly dependent on the surface and interface morphology of the films. Microstructure of the multilayers can be tailored by controlling the process conditions. Effect of two process conditions: (1) changing number of periods and (2) insertion of Pd underlayer, has been studied. In both conditions we have found a common relationship between surface roughness Ra and α(=4π(dM/dH) @H=Hc). Increase of surface roughness caused large decrease of α due to the decoupling of exchange interaction among the grains. In order to confirm the effects of Co and Pd layer roughness, respectively, [Co/Pd]20 multilayers were deposited at different Ar gas pressures PAr for each layer. The M-H characteristics of the films with Pd layers deposited at low PAr didn't reveal high coecivity Hc. AFM observation clarified that the deposition of Pd layers at high PAr enhances the surface roughness of the multilayers. It was found that a high PAr condition during Pd deposition is essential for high Hc.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.28.263

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466565

  • 強磁性ホール効果によるCo/Pd多層膜の磁化機構評価

    SarbanooDas, 吉川裕紀, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   28 ( 4 )   543 - 546   2004年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The magnetization process in Co/Pd multilayers under a tilted magnetic field was studied using ferromagnetic Hall effect analysis. The loci of the tip of an effective magnetization vector were determined from the simultaneously detected anomalous and planar Hall voltage signals contributed by the perpendicular and in-plane magnetization components, respectively, inside a multilayered specimen. The evaluated magnetization reversal process exhibited a clear dependence on the multilayer structure due to the variation of the Co or Pd layer thickness. For different types of multilayers, Hall effect study under a tilted magnetic field revealed the difference in the magnetization reversal phenomenon, while no significant difference was detected in the characteristics measured in a perpendicular applied field.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.28.543

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  • Effect of Hydrogen on the Preparation of Fe/Pt Multilayer

    Taro Kamiki, Shigeki Nakagawa

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   29 ( 4 )   1565 - 1568   2004年

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  • Soft Magnetic Fe-Co-B/Ni-Fe Double layer with High Magnetic Anisotropy Field

    Takeshi Okamoto Sok-Hyun Kong, Shigeki Nakagawa

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   29 ( 4 )   1581 - 1584   2004年

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  • Relationship between Surface Morphology and Perpendicular Magnetic Property of Co/Pd Multilayers

    H. Yoshikawa, S. Nakagawa

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   29 ( 4 )   1573 - 1575   2004年

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  • フラッシュアニール法によるPt下地層上の六方晶フェライト薄膜の特性改善

    松野圭介, 水野啓介, 中川茂樹

    紛体および粉末冶金   51 ( 3 )   178 - 183   2004年

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    記述言語:日本語  

    DOI: 10.2497/jjspm.51.178

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  • Improvement of perpendicular coercivity of Hexagonal M-type ferrite thin films on Pt underlayer prepared by flash-annealing

    K.Matsuno, K.Mizuno, S.Nakagawa

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   29 ( 4 )   1607 - 1610   2004年

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  • Co/Pd多層膜の表面状態と垂直方向磁気特性の関係

    吉川裕紀, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   28 ( 3 )   263 - 266   2004年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The magnetic properties of Co/Pd multilayers seem to be strongly dependent on the surface and interface morphology of the films. Microstructure of the multilayers can be tailored by controlling the process conditions. Effect of two process conditions: (1) changing number of periods and (2) insertion of Pd underlayer, has been studied. In both conditions we have found a common relationship between surface roughness Ra and α(=4π(dM/dH) @H=Hc). Increase of surface roughness caused large decrease of α due to the decoupling of exchange interaction among the grains. In order to confirm the effects of Co and Pd layer roughness, respectively, [Co/Pd]20 multilayers were deposited at different Ar gas pressures PAr for each layer. The M-H characteristics of the films with Pd layers deposited at low PAr didn't reveal high coecivity Hc. AFM observation clarified that the deposition of Pd layers at high PAr enhances the surface roughness of the multilayers. It was found that a high PAr condition during Pd deposition is essential for high Hc.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.28.263

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  • 水素アニールによるFePt規則合金作製

    神木太朗, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   28 ( 3 )   330 - 334   2004年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The magnetic characteristics of FePt bilayers annealed in various atmospheres were investigated. The in-plane coercivity of FePt bilayers changed markedly in response to the annealing atmosphere. FePt bilayers annealed in hydrogen atmosphere exhibited coercivities of several kOe above 400°C. However, specimens annealed in nitrogen and argon atmosphere did not exhibit FePt ordered phase. X-ray photoelectron spectroscopy study clarified that the oxygen introduced with Fe formed Fe2O3 and made interdiffusion between the Fe and Pt layers difficult. Suppression of inter-diffusion caused degeneration of ordered FePt phase. Annealing in hydrogen atmosphere was found to be effective for removing the oxygen, and led to the formation of FePt ordered phase during the annealing. Moreover, specimens annealed in a high-pressure hydrogen atmosphere showed higher in-plane coercivity than specimens annealed under low pressure. High-pressure annealing also decreased the ordering temperature from 400°C to 350°C.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.28.330

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466579

  • 高飽和磁化と超高異方性磁界を持つ軟磁性薄膜の作製技術 ~500 Oe以上の異方性磁界を持つFe-Co-B軟磁性薄膜~

    孔碩賢, 岡本健志, 伊東祐史, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   28 ( 5 )   693 - 693   2004年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:日本応用磁気学会  

    超高密度垂直磁気記録媒体では,高い保磁力を持つ記録層を磁化反転させるために強い記録磁界を印加する必要があります.このため高飽和磁化を持つ裏打ち軟磁性層および記録ヘッドの開発が要求されています.さらに,裏打ち層においては,媒体全体の磁化を安定化して低ノイズ性を確保するために高い異方性磁界H_kを持たなければなりません.しかし,これまでに報告されている20kG以上の飽和磁化を持つ薄膜では,異方性磁界は高くても数十Oe程度であり,更なる高飽和磁化と高異方性磁界を持つ薄膜の開発が強く求められています.私たちは対向ターゲット式スパッタ法を用い,堆積粒子の基板への入射方向やシード層の配向性を制御すること等により,22kGの高飽和磁化と5000e以上の超高異方性磁界をあわせ持つFe-Co-B軟磁性薄膜作製に成功しました.

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  • Evaluation of magnetic interaction in [Co/Pd](n) multilayered thin film for perpendicular magnetic recording media under the tilted magnetic field

    S Das, H Yoshikawa, S Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   39 ( 5 )   2717 - 2719   2003年9月

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  • Fe-Co-B/Ni-Fe soft magnetic underlayer with high-saturation magnetization for perpendicular magnetic recording media

    SH Kong, T Okamoto, S Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   39 ( 5 )   2285 - 2287   2003年9月

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  • Soft magnetic underlayer with multilayer structure for perpendicular magnetic recording media

    SH Kong, T Okamoto, S Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   39 ( 5 )   2338 - 2340   2003年9月

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  • Improvement of c-axis preferred orientation of CoCr-based thin film with amorphous Si underlayer

    YJ Kim, WH Park, SH Kong, S Nakagawa, KH Kim

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   169   532 - 535   2003年6月

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  • Improvement of c-axis preferred orientation of CoCr-based thin film with amorphous Si underlayer

    YJ Kim, WH Park, SH Kong, S Nakagawa, KH Kim

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   169   532 - 535   2003年6月

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  • Oxide seed layer with low surface energy to attain fine grains in magnetic layers

    SH Kong, K Mizuno, T Okamoto, S Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   93 ( 10 )   6781 - 6783   2003年5月

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  • Evaluation of magnetic interactions in a double-layered perpendicular magnetic recording media using ferromagnetic Hall effects

    S Das, S Kong, S Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   93 ( 10 )   6772 - 6774   2003年5月

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  • Low temperature deposition of c-axis oriented Sr-ferrite thin films prepared by facing targets sputtering with mixture gas of Ar and Kr

    S Nakagawa, K Mizuno, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   93 ( 10 )   8170 - 8172   2003年5月

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  • Improvement of soft magnetic properties of Fe-Co-B underlayer with large saturation magnetization by Ni-Fe-O seedlayers

    S Kong, T Okamoto, S Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   93 ( 10 )   6778 - 6780   2003年5月

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  • Simultaneous detection of perpendicular and in-plane magnetization component in a [Co/Pd](n) perpendicular magnetic recording media

    S Das, H Yoshikawa, S Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   93 ( 10 )   8098 - 8100   2003年5月

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  • Co/Pd多層膜の膜厚方向特性分布の評価

    吉川裕紀, 孔碩賢, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   27 ( 4 )   215 - 219   2003年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The Ar gas pressure PAr, the thicknesses of Co and Pd layers, and the number of layers were optimized in Co/Pd multilayers for perpendicular magnetic recording media. A high squareness ratio S and high coercivity Hc were obtained in a [Co (0.2 nm)/Pd (0.6 nm)]20 film prepared at PAr of 30 mTorr. The relationship between the surface roughness Ra and Hc was examined. It was concluded that the top region of the multilayers exhibited higher Hc, while the bottom region revealed degraded Hc. Large Ra and smaller grain size are essential for attaining high Hc in Co/Pd multilayers.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.27.215

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466144

  • 強磁性ホール効果による[Co/Pd]n多層膜の磁性粒子間相互作用評価

    SarbanooDas, 吉川裕紀, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   27 ( 4 )   220 - 223   2003年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The inclination of the magnetization characteristic around the coercivity, λ(=(dM/dH)H=Hc), of a perpendicular magnetic recording medium is regarded attributable to magnetic interactions among magnetic grains in the medium. Magnetic interactions in [Co/Pd]n multilayer films with strong perpendicular magnetic anisotropy and different λ were studied using ferromagnetic Hall effect measurement, which detects the behavior of the perpendicular magnetization component even when an inclined magnetic field is applied. Specimens with high λ at Hc revealed a sharper and larger positive peak in the ΔV curves an evaluation index for magnetic interaction using the Hall effect than whose with low λ, indicating the dominance of strong exchange interaction among the particles.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.27.220

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466145

  • Magnetization processes of storage and back layers in double-layered perpendicular magnetic recording media observed using anomalous and planar Hall effects

    S Nakagawa, Sasaki, I, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   91 ( 10 )   8354 - 8356   2002年5月

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  • Study of magnetization process in Co-Cr-Ta media and Co/Pt multilayered media by Anomalous Hall effect analysis

    Sarbanoo Das, Shigeki Nakagawa

    Transactions of the Magnetic Society of Japan   2 ( 2 )   19 - 22   2002年

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  • 高密度磁気記録技術の開発動向と薄膜技術

    中川茂樹

    真空ジャーナル   ( 84 )   25 - 28   2002年

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  • 磁気記録用磁性薄膜の新展開

    中川茂樹

    工業材料   49 ( 12 )   42 - 45   2002年

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  • 垂直磁気記録媒体用下地軟磁性層の[Ni-Fe/Si]n多層構造化による特性改善

    孔碩賢, 中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   26 ( 4 )   253 - 257   2002年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Multilayers composed of Ni-Fe and amorphous Si interlayers were perpared in order to improve the soft magnetic properties and surface smoothness of the soft magnetic backlayer and reduce media noise originating in the domain walls. The magnetic structure, such as stripe domains, of the soft magnetic backlayer was restrained. Excellent c-axis orientation as well as high perpendicular coercivity of the Co-Cr-Ta recording layer was attained. It was revealed that [Ni-Fe/Si]n multilayers were suitable for improving the soft magnetic properties of the backlayer.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.26.253

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  • Study of magnetization process in Co-Cr-Ta media and Co/Pt multilayered media by Anomalous Hall effect analysis

    Sarbanoo Das, Shigeki Nakagawa

    Transactions of the Magnetic Society of Japan   2 ( 2 )   19 - 22   2002年

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  • Perpendicular magnetic recording media using hexagonal ferrite thin films deposited on Pt underlayers and interlayers

    S Nakagawa, N Matsushita, M Naoe

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   235 ( 1-3 )   337 - 341   2001年10月

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  • Perpendicular magnetic recording media using hexagonal ferrite thin films deposited on Pt underlayers and interlayers

    Shigeki Nakagawa, Nobuhiro Matsushita, Masahiko Naoe

    Journal of Magnetism and Magnetic Materials   235 ( 1-3 )   337 - 341   2001年10月

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  • Fabrication and recording characteristics of sputter-deposited Ba-ferrite thin films deposited on Pt-Ta underlayers for perpendicular magnetic recording media

    S Nakagawa, N Funabashi, J Feng, M Naoe

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E84C ( 9 )   1137 - 1141   2001年9月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • BaM/Pt multilayered films with fine grains and large perpendicular magnetic anisotropy for high density recording media

    N Matsushita, J Feng, N Funabashi, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   89 ( 11 )   6837 - 6839   2001年6月

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  • High Coercivity and Large Squareness of Ba Ferrite Films by Adding SiO_2_ and Substituting Al for Fe

    N. Funabashi, J. Feng, N. Matsushita, S. Nakagawa, M. Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1035 - 1037   2001年

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  • Ultra-high density recording characteristics of as-deposited ferrite thin film disks without post-annealing process and protective layers

    Shigeki Nakagawa, Nobuhiro Matsushita, Masahiko Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1027 - 1031   2001年

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  • High Coercivity and Large Squareness of Ba Ferrite Films by Adding SiO_2_ and Substituting Al for Fe

    N. Funabashi, J. Feng, N. Matsushita, S. Nakagawa, M. Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1035 - 1037   2001年

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  • Extremely Thin Barium Ferrite Layers with Excellent c-axis Orientation and High Coercivity

    N. Matsushita, S. Nakagawa, M. Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1041 - 1043   2001年

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  • Low Transition Noise Level of Co-Fe Ferrite with Pt Interlayer

    S. Saito, T, Murakoso, N. Matsushita, S. Nakagawa, M. Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1076 - 1078   2001年

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  • BaM/Pt and BaM/Pt-Ta Bilayer Disks for Perpendicular Magnetic Recording

    J. Feng, N. Funabashi, N. Matsushita, S. Nakagawa, M. Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1038 - 1040   2001年

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  • Ultra-high density recording characteristics of as-deposited ferrite thin film disks without post-annealing process and protective layers

    Shigeki Nakagawa, Nobuhiro Matsushita, Masahiko Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1027 - 1031   2001年

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  • Extremely Thin Barium Ferrite Layers with Excellent c-axis Orientation and High Coercivity

    N. Matsushita, S. Nakagawa, M. Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1041 - 1043   2001年

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  • Si 下地層上のCo/Cu多層膜の結晶性とGMR特性

    斉藤弘幸, 清水優, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会誌   25 ( 4-2 )   803 - 806   2001年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Co/Cu multilayers using Si buffer layers revealed good crystallinity and lower resistivity than those using other buffer layers. The periodicity and sharpness at the interface between layers were not as good as those in a multilayer using other buffer layers. Therefore the multilayer using Si buffer layer showed lower resistivity but a slightly smaller change in resistivity Δρ. The MR ratio for the multilayer with an Si buffer layer was 11.1 % in as-deposited state. The annealing process improved the periodicity in the Co/Cu multilayer using an Si buffer layer, and the MR ratio for the multilayer using an Si buffer layer (17.1 %) became larger than any of those for multilayers.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.25.803

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10465466

  • 異常Hall効果を用いた垂直記録媒体の磁化過程観測

    佐々木一郎, 佐藤厚, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会誌   25 ( 4-2 )   599 - 602   2001年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    It is very useful to evaluate the magnetization vector in extremely thin films by combining the results determined by Hall voltage measurement and those observed by the conventional VSM method. Major and minor loops of a 30-nm-thick Co-Cr-Ta single layer implied that a magnetization reversal occurs mainly in the in-plane direction at a relatively low magnetic field. On the other hand, a 30-nm-thick Co-Cr-Ta film deposited on a (111) plane-oriented Pt underlayer revealed a more definite c-axis orientation than the Co-Cr-Ta single layer. Magnetization reversal of Co-Cr-Ta/Pt film occurs mainly in a direction perpendicular to the film, in spite of its large perpendicular anisotropy.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.25.599

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10465415

  • Low Transition Noise Level of Co-Fe Ferrite with Pt Interlayer

    S. Saito, T, Murakoso, N. Matsushita, S. Nakagawa, M. Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1076 - 1078   2001年

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  • BaM/Pt and BaM/Pt-Ta Bilayer Disks for Perpendicular Magnetic Recording

    J. Feng, N. Funabashi, N. Matsushita, S. Nakagawa, M. Naoe

    Proc. of the 8th International Conference on Ferrites (ICF8)   1038 - 1040   2001年

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  • Addition of SiO2 to increase coercivity and squareness ratio of Ba ferrite films for perpendicular magnetic recording media

    J Feng, N Funabashi, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E83C ( 9 )   1489 - 1493   2000年9月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Co-Cr-Ta perpendicular magnetic recording media using Pt seed layer

    A Sato, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   36 ( 5 )   2387 - 2389   2000年9月

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  • Improvement of read/write characteristics of sputtered Ba ferrite disks by adding Ta into Pt underlayers

    J Feng, N Funabashi, T Murakoso, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   36 ( 5 )   2408 - 2410   2000年9月

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  • Co-Cr-Ta/Pt bilayered films for perpendicular magnetic recording media

    A Sato, S Nakagawa, M Naoe

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E83C ( 9 )   1462 - 1466   2000年9月

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    記述言語:英語  

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  • Addition of SiO2 to increase coercivity and squareness ratio of Ba ferrite films for perpendicular magnetic recording media

    J Feng, N Funabashi, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E83C ( 9 )   1489 - 1493   2000年9月

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    記述言語:英語  

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  • Increase of coercivity and squareness ratio of Ba ferrite thin films by adding SiO2 and substituting Al for Fe

    J Feng, N Funabashi, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   36 ( 5 )   2930 - 2932   2000年9月

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  • Improvement of crystallinity and magnetic characteristics of ferromagnetic-Co77Cr20Ta3/paramagnetic-Co65Cr35 bilayered films

    A Sato, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   36 ( 5 )   2936 - 2938   2000年9月

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  • Observation of magnetization reversal processes in Co–Cr and Co–Cr–Ta ultrathin films under the canted magnetic field using anomalous Hall effect

    Shigeki Nakagawa, Atsushi Sato, Ichiro Sasaki, Masahiko Naoe

    Journal of Applied Physics   87 ( 9 )   5705 - 5707   2000年5月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1063/1.372496

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  • Observation of magnetization reversal processes in Co–Cr and Co–Cr–Ta ultrathin films under the canted magnetic field using anomalous Hall effect

    Shigeki Nakagawa, Atsushi Sato, Ichiro Sasaki, Masahiko Naoe

    Journal of Applied Physics   87 ( 9 )   5705 - 5707   2000年5月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1063/1.372496

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  • a-Si buffer layer for improvement of crystallographic and magnetoresistance characteristics of Co/Cu multilayers

    Y Shimizu, K Nishimura, H Saito, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   87 ( 9 )   5158 - 5160   2000年5月

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  • Strict control of grain size in Co-Cr-Ta recording layer for longitudinal magnetic media by intermittently depositing Cr underlayer

    T Fukuda, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   87 ( 9 )   6349 - 6351   2000年5月

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  • Strict control of grain size in Co-Cr-Ta recording layer for longitudinal magnetic media by intermittently depositing Cr underlayer

    T Fukuda, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   87 ( 9 )   6349 - 6351   2000年5月

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  • Perpendicular Magnetic Recording Media Using Hexagonal Ferrite Thin Films Deposited on Pt Underlayers and Interlayers

    Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    Digests of PMRC 2000   161 - 162   2000年

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  • Crystallographic and GMR Characteristics of Co/Cu Multilayers Deposited on Si Underlayer

    Hiroyuki Saito, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    Digests of PMRC 2000   103 - 104   2000年

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  • Perpendicular Magnetic Recording Media Using Hexagonal Ferrite Thin Films Deposited on Pt Underlayers and Interlayers

    Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    Digests of PMRC 2000   161 - 162   2000年

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  • Perpendicular Magnetic Recording Media Using Pt/Ti Underlayers and Pt Interlayers

    Atsushi Sato Sok, Hyun Kong, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    Digests of PMRC2000   49 - 50   2000年

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  • Simultaneous Observations of Magnetization Processes in Co-Cr Recording Layer and Ni-Fe Back Layer Using Anomalous and Planar Hall Effects

    Ichiro Sasaki, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    Digests of PMRC 2000   57 - 58   2000年

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  • Co-Cr-Ta/Pt Bilayered Films for Perpendicular Magnetic Recording Media

    Atsushi Sato, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    IEICE Transactions on Electronics   E83-C ( 9 )   1462 - 1466   2000年

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  • Addition of SiO_2_ to increase Coercivity and Squareness Ratio of BaFerrite Films for Perpendicular Magnetic Recording Media

    Jie Feng Nobuhiko Funabashi Nobuhiro Matsushita Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    IEICE Transactions on Electronics   E83-C ( 9 )   1462 - 1466   2000年

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  • a-Si Buffer Layer for Improvement of Crystallograpic and MR Characteristics of Co/Cu Multilayeres

    Yutaka Shimizu, Koichi Nishimura, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    J.Appl.Phys.   87 ( 9 )   5158 - 5160   2000年

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  • Simultaneous Observations of Magnetization Processes in Co-Cr Recording Layer and Ni-Fe Back Layer Using Anomalous and Planar Hall Effects

    Ichiro Sasaki, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    Digests of PMRC 2000   57 - 58   2000年

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  • Crystallographic and GMR Characteristics of Co/Cu Multilayers Deposited on Si Underlayer

    Hiroyuki Saito, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    Digests of PMRC 2000   103 - 104   2000年

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  • 対向ターゲット式スパッタ法により作製した(La,Sr)MnO_3_薄膜の磁気特性

    浪川達男, 中川茂樹, 金田久美子, 松下伸広, 直江正彦

    粉体および粉末冶金   47 ( 2 )   175 - 178   2000年

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    記述言語:日本語  

    DOI: 10.2497/jjspm.47.175

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  • Perpendicular Magnetic Recording Media Using Pt/Ti Underlayers and Pt Interlayers

    Atsushi Sato Sok, Hyun Kong, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    Digests of PMRC2000   49 - 50   2000年

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  • Co-Cr垂直磁気記録媒体における非磁性シード層の基板温度最適化

    佐藤厚, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会論文誌   24 ( 4-2 )   267 - 270   2000年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Ferromagnetic Co77Cr20Ta3 layers were deposited on paramagnetic Co65Cr35 and Pt seed layers. The crystallographic and magnetic characteristics of the Co-Cr-Ta layer were improved by independently adjusting the substrate temperature Ts of the Co65Cr35 seed layer in the range 150°C - 200°C. The Pt seed layer results in better c-axis orientation even at a low Ts of around 250°C, and a 50-nm-thick Co-Cr-Ta layer deposited on it exhibited a high perpendicular coercivity Hc⊥ of 2.5 kOe at a Ts of 250°C. Optimization of Ts for the paramagnetic Co-Cr layer and use of the Pt seed layer were effective for depositing ultra-thin Co-Cr-Ta recording layers.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.24.267

    CiNii Books

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10464899

  • スパッタ法・めっき法によるフェライト薄膜の体積技術と構造・物性の比較

    北本仁孝, 中川茂樹, 阿部正紀, 直江正彦

    粉体および粉末冶金   47 ( 2 )   165 - 170   2000年

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    記述言語:日本語  

    DOI: 10.2497/jjspm.47.165

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  • Compensation for the Demagnetizing Field in Remanence Measurements of Perpendicular Magnetic Recording Films

    Feng J., Matsushita N., Nakagawa S., NAOE M.

    日本応用磁気学会論文誌   24 ( 4-2 )   267 - 270   2000年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Remanence measurements are very useful for estimating the characteristics of intergranular magnetic interactions in recording layers. However, it is necessary to compensate for the demagnetizing field in remanence measurements of perpendicular magnetic recording films. In this study, a new method of compensating for the demagnetizing field is proposed and an effective reverse field Heff is used to evaluate the dc demagnetization measurements, isothermal remanent magnetization measurements, and ΔM for perpendicular magnetic recording films.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.24.251

    CiNii Books

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10464895

  • Deposition of paramagnetic Co4Cr2 seed layer for ferromagnetic Co5Cr1 recording layer in high density perpendicular media

    A Sato, M Hatakeyama, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   35 ( 5 )   2742 - 2744   1999年9月

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  • Deposition of paramagnetic Co4Cr2 seed layer for ferromagnetic Co5Cr1 recording layer in high density perpendicular media

    A Sato, M Hatakeyama, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   35 ( 5 )   2742 - 2744   1999年9月

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  • Annealing effect on magnetic characteristics on (La,Sr)MnO3 sputtered films

    T Namikawa, K Kaneta, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   35 ( 5 )   2850 - 2852   1999年9月

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  • Annealing effect on magnetic characteristics on (La,Sr)MnO3 sputtered films

    T Namikawa, K Kaneta, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   35 ( 5 )   2850 - 2852   1999年9月

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  • Study of perpendicular magnetic anisotropy in ultra-thin Co-Cr films evaluated by anomalous Hall effect

    S Nakagawa, K Takayama, A Sato, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   35 ( 5 )   2739 - 2741   1999年9月

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  • Deposition of C-axis oriented BaM ferrite layers with low surface roughness on textured underlayers

    M Naoe, N Matsushita, K Watanabe, M Ichinose, S Nakagawa

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   35 ( 5 )   3016 - 3018   1999年9月

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  • Development of high density perpendicular magnetic recording system using a probe head of sharpened optical fiber

    S Nakagawa, K Hiraide, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   35 ( 5 )   3130 - 3132   1999年9月

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  • Improvement of crystallinity and exchange bias field in reverse type Ni-Fe/FeMn bilayers using Si/Ni-Fe composite type of underlayers

    S Nakagawa, K Nishimura, Y Shimizu, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   35 ( 5 )   2970 - 2972   1999年9月

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  • Al substituted Ba ferrite films with high coercivity and excellent squareness for low noise perpendicular recording layer

    J Feng, N Matsushita, K Watanabe, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   85 ( 8 )   6139 - 6141   1999年4月

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  • Ultrathin Si buffer layers to improve the exchange bias between Ni-Fe and FeMn layers

    S Nakagawa, K Nishimura, Y Shimizu, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   85 ( 8 )   4934 - 4936   1999年4月

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  • Al substituted Ba ferrite films with high coercivity and excellent squareness for low noise perpendicular recording layer

    J Feng, N Matsushita, K Watanabe, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   85 ( 8 )   6139 - 6141   1999年4月

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  • Study of magnetization reversal mechanism of very thin film with perpendicular magnetic anisotropy by means of the anomalous Hall effect

    S Nakagawa, K Takayama, A Sato, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   85 ( 8 )   4592 - 4594   1999年4月

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  • Study of initial growth region of CO83Cr17 in Co83Cr17/Co67Cr33/Cr trilayered films for longitudinal recording media

    S Nakagawa, M Hatakeyama, K Takayama, M Naoe

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   193 ( 1-3 )   63 - 67   1999年3月

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  • Study of initial growth region of CO83Cr17 in Co83Cr17/Co67Cr33/Cr trilayered films for longitudinal recording media

    S Nakagawa, M Hatakeyama, K Takayama, M Naoe

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   193 ( 1-3 )   63 - 67   1999年3月

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  • Relationship between coercivity and deposition conditions of Ba ferrite films prepared by facing targets sputtering apparatus

    N Matsushita, J Feng, T Siosawa, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   193 ( 1-3 )   121 - 123   1999年3月

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  • Effects of Al substitution for Fe in Ba ferrite thin films

    J Feng, N Matsushita, T Murakoso, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   193 ( 1-3 )   152 - 154   1999年3月

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  • Co-Zn ferrite films prepared by facing targets sputtering system for longitudinal recording layer

    N Matsushita, M Ichinose, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   193 ( 1-3 )   68 - 70   1999年3月

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  • Plasma Diagnosis and Low-Substrate-Temperature Deposition of Ba Ferrite Films in a Damage-Free Sputtering Apparatus with Mixed Gases

    N.Matsushita, K.Noma, S.Nakagawa, Masahiko Naoe

    Vacuum   51 ( 4 )   543 - 548   1999年

  • Reactive sputter-deposition of ferrite film on Pt underlayer and their crystal growth

    N. Matsushita, J. Feng, T, Murakoso, N. Funabashi, S. Nakagawa, M. Naoe

    The Fifth International Symposium on Sputtering and Plasma Processes   9 - 10   1999年

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  • PtおよびAu下地層を使用したBaフェライト薄膜の作製

    一瀬誠, 村社智宏, 松下伸広, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会論文誌,   23 ( 4-2 )   1205 - 1208   1999年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Ba ferrite films with excellent c-axis orientation were deposited on Au(111) and Pt(111) underlayers at substrate temperatures Ts higher than 500°C. C-axis orientation was also achieved by depositing the films at Ts in the range from 300°C to 400°C and then annealing in air. The specimen films exhibited low perpendicular coercivity in the range from 0.5 to 0.8 kOe.<BR>The surface of as-deposited BaM/Au film looked rough, and the in-plane coercivity Hc// was high. For as-deposited BaM/Pt film, the average center-line roughness Ra was as small as about 1.7 nm, and the perpendicular and in-plane coercivity were 2.5 kOe and 0.3 kOe, respectively. These results suggested that it might be possible to use BaM/Pt for a perpendicular magnetic recording layers.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.23.1205

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  • Al置換BaMフェライト薄膜の磁気特性

    馮潔 渡部康, 松下伸広, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会論文誌   23 ( 4-2 )   1213 - 1216   1999年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Al-substituted Ba ferrite (Al-BaM) films with a composition of BaAlxFe12-xO19 (Al content x = 0,1,2) were deposited on SiOx/Si wafers with Pt seed layers. A post-annealing process and high substrate temperature Ts are necessary to crystallize the films. With an increase of the Al content x in Al-BaM ferrite films, the saturation magnetization 4πMs decreased, while the perpendicular coercivity Hc⊥ increased, reaching over 3.3 kOe. The perpendicular squareness ratio S was increased to about 0.9 by substitution of Al for Fe. The Al-BaM ferrite films with suitable Hc⊥ and large S prepared in this study may be applicable as perpendicular magnetic recording layers with low noise levels.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.23.1213

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  • Pt下地層上の超薄Co-Cr合金垂直磁化膜の特性改善

    中川茂樹, 佐藤厚, 佐々木一郎, 直江正彦

    日本応用磁気学会論文誌   23 ( S2 )   59 - 62   1999年

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  • Co-Cr垂直磁化膜の異常ホール効果測定と磁気特性の評価

    佐藤厚, 高山和久, 酒巻直人, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会論文誌   23 ( 4-2 )   1181 - 1185   1999年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    The Magnetization characteristics of Co-Cr thin films deposited by facing-targets sputtering were studied by observation of the anomalous Hall effect. The induced Hall voltage became larger with decreasing film thickness and reached a maximum value when the magnetic field was applied perpendicular to the film plane. From the results, it was found that a Co-Cr film, with a sufficiently small c-axis dispersion angle, could be magnetized easily in a direction to its plane regardless of the angle of the applied field. The shapes of the normalized Hall loop for 80 Å and 150 Å thick films were compared with the shapes of the loops observed by both VSM and the Kerr loop tracer method. The results suggest that the magnetic characteristics of the Co-Cr film could be detected even the thickness below 100 Å.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.23.1181

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  • Analysis of stray magnetic field at the substrate and effect of applying external magnetic field in facing targets sputtering

    T Ichihara, S Nakagawa, M Naoe

    VACUUM   51 ( 4 )   715 - 718   1998年12月

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  • Effects of ion bombardment to interfaces on residual internal stress and crystallite structures on multilayered films

    Y Miyamoto, K Watanabe, S Nakagawa, M Naoe

    VACUUM   51 ( 4 )   711 - 714   1998年12月

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  • Improvement of GMR Characteristics in[Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2/Cu]Multilayers by Interfacial Modulation Technique using Kr Ions

    Yasuyoshi Miyamoto Kentaro Watanabe Koichi Nishimura, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    IEEE Trans. on Magn.   34 ( 4 )   921 - 923   1998年7月

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  • Improvement of GMR characteristics in [Ni81Fe19/Cu] multilayers by interfacial modulation technique using Kr ions

    Y Miyamoto, K Watanabe, K Nishimura, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   34 ( 4 )   921 - 923   1998年7月

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  • Nano-size magnetic crystallite formation in Co-Cr thin films for perpendicular recording media

    S Kadokura, M Naoe, S Nakagawa, Y Maeda

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   34 ( 4 )   1642 - 1644   1998年7月

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  • Three-dimensional analysis of dual track complementary type of heads for perpendicular magnetic recording

    T Ichihara, S Nakagawa, H Matsumiya, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   34 ( 4 )   1489 - 1491   1998年7月

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  • Preparation and characteristics of Co-Zn ferrite rigid disks without protective layers for high density recording

    N Matsushita, M Ichinose, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   34 ( 4 )   1639 - 1641   1998年7月

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  • Preparation of soft magnetic films of nanocrystalline Fe-Cu-Nb-Si-B alloy by facing targets sputtering

    M Naoe, H Matsumiya, T Ichihara, S Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   83 ( 11 )   6673 - 6675   1998年6月

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  • イオンビームを用いた界面ミキシングによる巨大磁気抵抗変化の増大

    中川茂樹, 宮本泰敬, 渡辺健太郎, 西村高一, 直江正彦

    表面技術協会講演大会講演要旨集   97th   1998年

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  • Control of Microcrystal Structure of BaM Ferrite Films with Perpendicular Magnetic Anisotropy Deposited Using Plasma-Free Sputtering System

    Kenji Noma, Nobuhiro Matsushita Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    J. of Magnetics Soc. of Japan   22 ( S1 )   120 - 122   1998年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;Ba ferrite films composed of microcrystallites with well c-axis orientation which seem to be suitable for perpendicular magnetic recording media were deposited using various sputtering apparatus and their microstructural and magnetic characteristics were investigated. The bombardment of energetic particles to the film during deposition and the elevation of substrate temperature strongly affected the growth prcess of Ba ferrite crystallites and the increase of perpendicular coercivity. The films deposited using Facing Targets Sputtering apparatus at the substrate temperature as low as 475&deg;C revealed that they were composed of nanocrystallites with the grain size below 100 nm and exhibited the coercivity of as high as 2.3 kOe.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.22.S1_120

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  • PREPARATION OF Ba FERRITE FILM WITH WELL c-AXlS ORIENTATION USING Pt UNDERLAYER

    SIOSAWA T., MATSUSHITA N., NAKAGAWA S., NAOE M.

    日本応用磁気学会誌   22 ( S1 )   123 - 125   1998年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;Ba ferrite/Pt bilayered films were deposited on thermally oxidized Si wafers using plasma-free sputtering apparatus and post-annealed at 800&deg;C in air for 15 min, and then, the dependence of crystallographical and magnetic characteristics at the substrate temperature Ts in the range from room temperature to 550&deg;C were investigated. Although Ba ferrite films deposited directly on the substrates revealed random c-axis orientation, the Ba ferrite layer deposited on Pt underlayer at Ts above 200&deg;C and post-annealed revealed excellent c-axis orientation. They exhibited the saturation magnetization 4&pi;Ms of 4.2 kG and almost same in-plane and perpendicular coercivity Hc|| and Hc&perp; of 0.7 kOe. The film deposited at Ts above 500&deg;C exhibited 4&pi;Ms of 4.6 kG and high Hc&perp; of 1.8 kOe.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.22.S1_123

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  • Crystal Structure and Magnetic Characteristics of(La, Sr)MnO┣D23┫D2 Films Deposited by Kr Sputtering

    Tatsuo Namikawa Jie Feng, Kumiko Kaneta Nobuhiro Matsushita, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    J. of Magnetics Soc. of Japan   22 ( S1 )   203 - 205   1998年

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  • CONTROL OF MAGNETOCRYSTALLINE ANISOTROPY OF Co-Zn FERRITE SPUTTERED FILMS

    MATSUSHITA N., NOMA K., NAKAGAWA S., NAOE M.

    日本応用磁気学会誌   22 ( S1 )   117 - 119   1998年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;Co ferrite and Co-Zn ferrite films were deposited on SiO2/Si substrates and quarts disks under various preparation conditions using the facing targets sputtering apparatus and their crystallographic, magnetic and read/write characteristics have been investigated. Co ferrite films deposited at partial oxygen gas pressure Po2 below 0.2 mTorr at various substrate temperature revealed (311) orientation and quasi in-plane magnetic anisotropy. High Ts above 500&deg;C and Po2 of 2.0 mTorr were necessary to obtain well (111) orientation which had isotropic orientation of magnetization and was suitable for high recording density media. On the other hand, Co-Zn ferrite films deposited at Ts up to 250&deg;C and PO2 of 0.01 mTorr had (111) orientation and possessed moderately large 4&pi;Ms of about 3.7 kG and almost the same in-plane and perpendicular coercivity of about 2.0 kOe. The (111) oriented Co-Zn ferrite disk exhibited high linear recording density D50 as high as 136 kfrpi.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.22.S1_117

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  • Control of Microcrystal Structure of BaM Ferrite Films with Perpendicular Magnetic Anisotropy Deposited Using Plasma-Free Sputtering System

    NOMA Kenji, MATSUSHITA Nobuhiro, NAKAGAWA Shigeki, NAOE Masahiko

    日本応用磁気学会誌   22 ( S1 )   120 - 122   1998年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;Ba ferrite films composed of microcrystallites with well c-axis orientation which seem to be suitable for perpendicular magnetic recording media were deposited using various sputtering apparatus and their microstructural and magnetic characteristics were investigated. The bombardment of energetic particles to the film during deposition and the elevation of substrate temperature strongly affected the growth prcess of Ba ferrite crystallites and the increase of perpendicular coercivity. The films deposited using Facing Targets Sputtering apparatus at the substrate temperature as low as 475&deg;C revealed that they were composed of nanocrystallites with the grain size below 100 nm and exhibited the coercivity of as high as 2.3 kOe.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.22.S1_120

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  • スパッタ法による磁性膜作製におけるガス種の検討

    中川茂樹

    表面技術   49 ( 10 )   1078 - 1082   1998年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Surface Finishing Society of Japan  

    DOI: 10.4139/sfj.49.1078

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    その他リンク: https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00055558662?from=CiNii

  • 垂直磁気記録用高保持力・大角形比Baフェライト薄膜

    松下伸広, 馮潔, 渡部康, 村社智宏, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会誌   22 ( S3 )   27 - 31   1998年

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    出版者・発行元:社団法人 日本磁気学会  

    In the first half of this work, a magnetoplumbite-type of Ba ferrite (BaM) layers were deposited from BaFe11O19-y targets and BaFe13O19-y ones on a ZnO(001) underlayer in a gas mixture of Ar, Xe, and O2 using facing targets sputtering apparatus. It was clarified that a stoichiometric composition is necessary for preparing Ba ferrite films with large saturation magnetization 4πMs and excellent perpendicular anisotropy. Ba ferrite films deposited at optimum conditions exhibited large 4πMs of 4.7 kG and high perpendicular coercivity Hc⊥ of 2.4 kOe and low in-plane one Hc// of 0.2 kOe even when substrate temperature Ts was as low as 475°C. In the latter half of this work, Al substituted Ba ferrite films were deposited from BaFe11Al1O19-y targets and BaFe10Al2O19-y ones on Pt (111) underlayer for increasing Hc⊥ and perpendicular squareness Sc⊥. Although 4πMs decreased with increase of substitution amount x, Hc⊥ increased even for as-deposited films. S⊥ increased after annealing at 850-900°C for 15 min in air the maximum S⊥ of 0.91 was attained for films deposited from BaFe10Al2O19-y target.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.22.S3_27

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  • Baフェライト磁気ディスクの低温作製と記録再生特性

    松下伸広, 馮潔, 塩澤友祥, 渡部康, 一瀬誠, 中川茂樹, 直江正彦

    日本応用磁気学会誌   49 ( 10 )   1078 - 1082   1998年

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  • Preparation of Ba Ferrite Film with c-axis Orientation Using Pt Underlayer

    Tomoyoshi Siosawa, Nobuhiro Matsushita Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    J. of Magnetics Soc. of Japan   22 ( S1 )   123 - 125   1998年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;Ba ferrite/Pt bilayered films were deposited on thermally oxidized Si wafers using plasma-free sputtering apparatus and post-annealed at 800&deg;C in air for 15 min, and then, the dependence of crystallographical and magnetic characteristics at the substrate temperature Ts in the range from room temperature to 550&deg;C were investigated. Although Ba ferrite films deposited directly on the substrates revealed random c-axis orientation, the Ba ferrite layer deposited on Pt underlayer at Ts above 200&deg;C and post-annealed revealed excellent c-axis orientation. They exhibited the saturation magnetization 4&pi;Ms of 4.2 kG and almost same in-plane and perpendicular coercivity Hc|| and Hc&perp; of 0.7 kOe. The film deposited at Ts above 500&deg;C exhibited 4&pi;Ms of 4.6 kG and high Hc&perp; of 1.8 kOe.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.22.S1_123

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  • Crystal Structure and Magnetic Characteristics of(La, Sr)MnO┣D23┫D2 Films Deposited by Kr Sputtering

    Tatsuo Namikawa Jie Feng, Kumiko Kaneta Nobuhiro Matsushita, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    J. of Magnetics Soc. of Japan   22 ( S1 )   203 - 205   1998年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;La1-xSrxMnO3 films were deposited on SiO2/Si substrates by using the facing target sputtering apparatus with La0.76Sr0.24Mn0.78O3 targets in mixture gas of Kr and O2 or Ar and O2. For films deposited in Kr+O2, (111) orientation was observed, while (110) orientation was preferential for films deposited in Ar+O2. 4&pi;Ms of as-deposited films was very small at most 0.17 kG, of which the value corresponded to 1/18 of that of targets. It increased up to 2.4 kG after post-annealing at 1000&deg;C in O2, while the films prepared under same conditions in Ar+O2 exhibited relatively small 4&pi;Ms of 1.6 kG.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.22.S1_203

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  • Control of Magnetocrystalline Anisotropy of Co-Zn Ferrite Sputtered Films

    Nobuhiro Matsushita, Kenji Noma, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    J. of Magnetics Soc. of Japan   22 ( S1 )   117 - 119   1998年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;Co ferrite and Co-Zn ferrite films were deposited on SiO2/Si substrates and quarts disks under various preparation conditions using the facing targets sputtering apparatus and their crystallographic, magnetic and read/write characteristics have been investigated. Co ferrite films deposited at partial oxygen gas pressure Po2 below 0.2 mTorr at various substrate temperature revealed (311) orientation and quasi in-plane magnetic anisotropy. High Ts above 500&deg;C and Po2 of 2.0 mTorr were necessary to obtain well (111) orientation which had isotropic orientation of magnetization and was suitable for high recording density media. On the other hand, Co-Zn ferrite films deposited at Ts up to 250&deg;C and PO2 of 0.01 mTorr had (111) orientation and possessed moderately large 4&pi;Ms of about 3.7 kG and almost the same in-plane and perpendicular coercivity of about 2.0 kOe. The (111) oriented Co-Zn ferrite disk exhibited high linear recording density D50 as high as 136 kfrpi.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.22.S1_117

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  • Excellent crystallographic and perpendicular magnetic characteristics of Ba ferrite films deposited by gas mixture of Ar, Xe and O-2

    N Matsushita, K Noma, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   176 ( 1 )   41 - 45   1997年12月

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  • Excellent Crystallographic and Perpendicular Magnetic Characteristics of Ba Ferrite Films Deposited by Gas Mixture of Ar, Xe and O┣D22┫D2

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J, Magnetism and Magnetic Materials   176 ( 1 )   41 - 45   1997年12月

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  • Ni-Fe/CuおよびFeMn/Ni-Fe多層膜における界面変調効果

    宮本 泰敬, 渡邊 健太郎, 西村 高一, 中川 茂樹, 直江 正彦

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan   21   166 - 166   1997年10月

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    記述言語:日本語  

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  • Krイオンビームスパッタ堆積によるGMR多層膜の特性改善

    渡辺 健太郎, 西村 高一, 宮本 泰敬, 中川 茂樹, 直江 正彦

    電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録   97 ( 245 )   29 - 25   1997年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    巨大磁気抵抗効果を示す [Ni_<81>Fe_<19>/Cu]_<30> 多層膜を、デュアルイオンビームスパッタ装置を用いて作製した。イオンビームスパッタ法においては、高真空中で膜堆積を行うためにターゲットからの反跳粒子が多層膜の結晶構造、界面構造に大きく影響していると思われる。そこで反跳粒子のエネルギーを抑えるために、スパッタガスとして従来用いられているArの代わりに、より質量の大きなKrを採用し膜堆積を行った。これにより抵抗変化率は9.6%から14.5%まで向上した。また、多層膜の界面構造を制御するため、界面の2原子層にのみKrイオンを照射しながら膜の堆積を行った。100V程度の加速電圧で界面にイオン照射を行うことで界面がシャープになり、抵抗変化率は17.8%まで向上した。しかし、Ni-Fe, Cuの(111)面の成長が促進するにつれて、MR ratio は急激に減少した。

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  • MR Characteristics of Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2/Cu Multilayers Deposited by Kr Sputtering with Ar Ion Bombardment on Interfaces

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEEE Trans. on Magn.   33 ( 5 )   3523 - 3525   1997年9月

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  • Distribution of coercivity and anisotropy through thickness direction in sputtered Co-Cr films and its relationship to noise characteristics in perpendicular magnetic recording

    S Nakagawa, S Takayama, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   33 ( 5 )   3091 - 3093   1997年9月

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  • Study on S- and R-block construction with additional spinel blocks in sputter-deposited Ba ferrite films

    K Noma, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   33 ( 5 )   3637 - 3639   1997年9月

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  • MR characteristics of Ni81Fe19/Cu multilayers deposited by Kr sputtering with Br ion bombardment on interfaces

    Y Miyamoto, K Watanabe, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   33 ( 5 )   3523 - 3525   1997年9月

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  • Improvement of Soft Magnetic Properties of Ferro Magnetic Fe-Co-Ta : N/M Films Multilayered with Paramagnetic Ti, Co┣D267┫D2Cr┣D233┫D2 and Fe┣D282┫D2Co┣D29┫D2Ta┣D29┫D2 : N Interlayers

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEEE Trans. on Magn.   33 ( 5 )   3805 - 3807   1997年9月

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  • Improvement of Micromagnetism of Ni-Fe/Co┣D267┫D2Cr┣D233┫D2 Multilayers for Backlayers of Perpendicular Magnetic Recording Media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEEE Trans. on Magn.   33 ( 5 )   3004 - 3006   1997年9月

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  • Ni-Fe/Cu多層膜における界面へのイオン照射

    宮本 泰敬, 渡邊 健太郎, 中川 茂樹, 直江 正彦

    日本応用磁気学会誌   21 ( 4 )   565 - 568   1997年4月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    Fe/[Ni81Fe19/Cu]30 multilayers with giant magnetoresistance (GMR) were deposited by the dual ion beam sputtering method, which allows the crystallite orientations and interfacial structures to be controlled by the ion bombardment. In this study, only a few monolayers at interfaces in Ni-Fe/Cu multilayers were exposed to ion bombardment, which causes local interfacial mixing and diffusion. A large MR ratio, low saturation resistivity, and relatively sharp interfacial structure were attained for films deposited by ion bombardment when the acceleration valtage of the bombarding ion source was 160 V. Reducing the residual stress seems to be effective for attaining good magnetoresistive characteristics.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.21.565

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10463498

  • Preparation of ferrimagnetic Mn4N compound films at low substrate temperature by reactive facing target sputtering

    S Nakagawa, Y Li, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   81 ( 8 )   5180 - 5180   1997年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(国際会議)  

    Web of Science

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  • Mossbauer study of Ba ferrite sputtered films with large saturation magnetization and perpendicular magnetic anisotropy constant

    K Noma, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   81 ( 8 )   5137 - 5137   1997年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(国際会議)  

    Web of Science

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  • Effects of Composition Control on Crystallographic and Magnetic Characteristics of Ba Ferrite Films Sputtered with the Mixture of Xe, Kr, Ar and O┣D22┫D2 for Recording Media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Appl. Phys.   81 ( 8 )   4377 - 4379   1997年4月

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  • Preparation of soft magnetic and thermally stable Fe-Co-Ta:N/Ti multilayered films by sputter deposition

    S Nakagawa, K Suemitsu, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   81 ( 8 )   3782 - 3784   1997年4月

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  • Effects of composition control on crystallographic and magnetic characteristics of Ba ferrite films sputtered with the mixture of Xe, Kr, Ar and O┣D22┫D2 for recording media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Journal of Applied Physics   81 ( 8 )   4377 - 4379   1997年4月

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  • Sputter deposition of ferrite films and application for high density rigid disk media in contact mode

    M Naoe, N Matsushita, K Noma, S Nakagawa

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV   7 ( C1 )   735 - 738   1997年3月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Crystallographic and magnetic characteristics of Ba ferrite sputtered films for high density magnetic recording disks

    M Naoe, K Noma, N Matsushita, S Nakagawa

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV   7 ( C1 )   749 - 750   1997年3月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Increase of saturation magnetization of Ba ferrite films deposited by adding Xe into sputtering gas mixture

    K Noma, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV   7 ( C1 )   487 - 488   1997年3月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Sputter deposition of ferrite films and application for high density rigid disk media in contact mode

    M Naoe, N Matsushita, K Noma, S Nakagawa

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV   7 ( C1 )   735 - 738   1997年3月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Ferromagnetic characteristics of a perovskite type of (La, Sr)MnO3 films deposited by Kr sputtering

    N Matsushita, K Noma, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV   7 ( C1 )   629 - 630   1997年3月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Crystallographic and magnetic characteristics of Ba ferrite sputtered films for high density magnetic recording disks

    M Naoe, K Noma, N Matsushita, S Nakagawa

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV   7 ( C1 )   749 - 750   1997年3月

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    記述言語:英語  

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  • Increase of saturation magnetization of Ba ferrite films deposited by adding Xe into sputtering gas mixture

    K Noma, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV   7 ( C1 )   487 - 488   1997年3月

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    記述言語:英語  

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  • Sputter deposition of ferrite films and application for high density rigid disk media in contact mode

    M Naoe, N Matsushita, K Noma, S Nakagawa

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV   7 ( C1 )   735 - 738   1997年3月

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    記述言語:英語  

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  • Ferromagnetic Characteristics of a Perovskite Type of (La, Sr)MnO┣D23┫D2 Films Deposited by Kr Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 7th International Conference on Ferrites(ICF7)   7 ( C1 )   629 - 630   1997年3月

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    記述言語:英語  

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  • Analysis of Stray Magnetic Field at The Substrate and Effect of Applying External Magnetic Field in Facing Targets Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   251 - 256   1997年

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  • 磁界印加堆積法によるNi-Fe/Co┣D267┫D2Cr┣D233┫D2多層膜の透磁率向上

    中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   21 ( 4-2 )   485 - 488   1997年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    To control the soft magnetic properties and the magnetic anisotropy of Ni-Fe/Co67Cr33 multilayers, an external field Hex of about 80 Oe was applied to films grown by using a facing-targets sputtering (FTS) apparatus during the deposition of the multilayers. The relative permeability μr of Ni79Fe21/Co67Cr33 multilayers without a Co67Cr33 underlayer was drastically improved in any direction when Hex was applied to the layers in the FTS apparatus. On the other hand, Ni79Fe21/Co67Cr33 multilayers with a Co67Cr33 underlayer revealed good (111) orientation of Ni-Fe crystallites, which had higher μr only in the Hex direction.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.21.485

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    その他リンク: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10463478

  • 垂直磁気記録媒体・ヘッド用軟磁性層の特性改善

    中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   21 ( 6 )   983 - 988   1997年

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  • Effect of Paramagnetic Co┣D267┫D2Cr┣D233┫D2 Intermediate Layer on Longitudinal Recording Media with Ferromagnetic Co┣D283┫D2Cr┣D217┫D2/Cr Bilayered Film

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magnetics Soc. of Japan   21 ( S2 )   537 - 540   1997年

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  • Preparation of Soft Magnetic Films of Nanocrystalline Fe-Cu-Nb-Si-B Alloy for Low Noise Backlayers

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magnetics Soc. of Japan   21 ( S2 )   549 - 552   1997年

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  • Crystallographic and Magnetic Characteristics of c-axis Oriented Ba Ferrite Layer Deposited on Pt(111)Underlayer

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magnetics Soc. of Japan   21 ( S2 )   73 - 76   1997年

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  • Investigation of the Exchange Coupling Field between Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2/Fe┣D250┫D2Mn┣D250┫D2 Bilayers in Spin Valve Devices by Ion Bombardment to Interfaces

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magnetics Soc. of Japan   21 ( S2 )   379 - 382   1997年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;Ni81Fe19/Fe50Mn50 bilayers were deposited by using dual ion beam sputtering apparatus which can control the crystallographic structures at interfacial monoatomic layers of the multilayers by ion bombardment to the growing film surfaces. In this study, Ar ions were bombarded to the interfaces of Ni-Fe/FeMn bilayers. The relationship between the structure at the interfaces and the exchange coupling field Hex. were investigated. Ion bombardment to the interfaces at proper energy promoted (111) orientation of FeMn crystallites to increase Hex. between Ni-Fe and FeMn layers. Ion bombardment to 2&sim;20 monolayers at the interfaces promoted crystallization of FeMn layers while the ion bombardment to the whole FeMn layers suppressed any crystallization.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.21.S2_379

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  • Ion Beam Deposition Method Using Facing Targets Sputtering Ion Source As a New Reactive Deposition Method

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   411 - 420   1997年

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  • Effects of Ion Bombardment to Interfaces on Residual Internal Stress and Crystalline Structures on Multilayered Films

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   245 - 250   1997年

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  • Effects of composition control on crystallographic and magnetic characteristics of Ba ferrite films sputtered with the mixture of Xe, Kr, Ar and O┣D22┫D2 for recording media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Journal of Applied Physics   81 ( 8 )   4377 - 4379   1997年

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  • Thickness dependence of coercivity and magnetic anisotropy of Co-Cr thin films and their relationship with read/write performance

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Journal of Magnetics Society of Japan   21 ( S1 )   29 - 33   1997年

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  • Preparation of Isotropic Magnetic Recording Disks using Ferrite Thin Film and Read/Write Characteristics

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Journal of Magnetics Society of Japan   21 ( S1 )   34 - 37   1997年

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  • Sputter Deposition of Ferrite Films and Application for High Density Rigid Disk Media in Contact Mode

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc, of 7th Int. Conf. on Ferrites(ICF7, Bordeaux, 1996)   735 - 738   1997年

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  • Crystallographic and Magnetic Characteristics of c-axis Oriented Ba Ferrite Layer Deposited on Pt(111)Underlayer

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magnetics Soc. of Japan   21 ( S2 )   73 - 76   1997年

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  • Improvement of soft magnetic properties of ferromagnetic fe-co-ta:n/m films multilayered with paramagnetic ti, Co67Cr33 and Fe82Co9Ta9:N interlayers

    Shigeki Nakagawa, Katsumi Suemitsu, Masahiko Naoe

    IEEE Transactions on Magnetics   33 ( 5 )   3805 - 3807   1997年

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/20.619577

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  • Improvement of micromagnetism of ni-fe/co67cr33 multilayers for backlayers of perpendicular magnetic recording media

    Takayuki Ichihara, Shigeki Nakagawa, Hiroaki Matsumiya, Masahiko Naoe

    IEEE Transactions on Magnetics   33 ( 5 )   3004 - 3006   1997年

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/20.617825

    Scopus

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  • Control of Nano-Structure of the Initial Growth Layers of Co-Cr Thin Films Deposited by Facing Targets Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   151 - 156   1997年

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  • Effects of Composition Control on Crystallographic and Magnetic Characteristics of Ba Ferrite Films Sputtered with the Mixture of Xe, Kr, Ar and O┣D22┫D2 for Recording Media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Appl. Phys.   81 ( 8 )   4377 - 4379   1997年

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  • Diagnosis of Mixture Gas Discharge in Damage-Free Sputtering Apparatus and Deposition of Ba Ferrite Films at Low Substrate Temperature

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   117 - 122   1997年

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  • Giant Magnetoresistance of Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2/Cu Multilayers Deposited by Dual Ion Beam Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   123 - 128   1997年

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  • Analysis of Stray Magnetic Field at The Substrate and Effect of Applying External Magnetic Field in Facing Targets Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   251 - 256   1997年

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  • Preparation of Very Soft Magnetic Ni-Fe/Co┣D267┫D2Cr┣D233┫D2 Multilayers by Facing Targets Sputtering with External Magnetic Field

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   111 - 116   1997年

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  • Ion Beam Deposition Method Using Facing Targets Sputtering Ion Source As a New Reactive Deposition Method

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   411 - 420   1997年

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  • Co-Cr薄膜の保磁力と磁気異方性の膜厚方向分布と記録再生特性

    中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   21 ( S1 )   29 - 33   1997年

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  • 酸化物磁性薄膜による等方性磁気ディスクの作製と記録再生特性

    中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   21 ( S1 )   34 - 37   1997年

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  • Preparation of Soft Magnetic Films of Nanocrystalline Fe-Cu-Nb-Si-B Alloy for Low Noise Backlayers

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magnetics Soc. of Japan   21 ( S2 )   549 - 552   1997年

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  • Investigation of the Exchange Coupling Field between Ni81Fe19/Fe50Mn50 Bilayers in Spin Valve Devices by Ion Bombardment to Interfaces

    WATANABE Kentaro, MIYAMOTO Yasuyoshi, NISHIMURA Koichi, NAKAGAWA Shigeki, NAOE Masahiko

    日本応用磁気学会誌   21 ( S2 )   379 - 382   1997年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;Ni81Fe19/Fe50Mn50 bilayers were deposited by using dual ion beam sputtering apparatus which can control the crystallographic structures at interfacial monoatomic layers of the multilayers by ion bombardment to the growing film surfaces. In this study, Ar ions were bombarded to the interfaces of Ni-Fe/FeMn bilayers. The relationship between the structure at the interfaces and the exchange coupling field Hex. were investigated. Ion bombardment to the interfaces at proper energy promoted (111) orientation of FeMn crystallites to increase Hex. between Ni-Fe and FeMn layers. Ion bombardment to 2&sim;20 monolayers at the interfaces promoted crystallization of FeMn layers while the ion bombardment to the whole FeMn layers suppressed any crystallization.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.21.S2_379

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  • Effect of Paramagnetic Co┣D267┫D2Cr┣D233┫D2 Intermediate Layer on Longitudinal Recording Media with Ferromagnetic Co┣D283┫D2Cr┣D217┫D2/Cr Bilayered Film

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magnetics Soc. of Japan   21 ( S2 )   537 - 540   1997年

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  • Giant Magnetoresistance of Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2/Cu Multilayers Deposited by Dual Ion Beam Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   123 - 128   1997年

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  • Control of Nano-Structure of the Initial Growth Layers of Co-Cr Thin Films Deposited by Facing Targets Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   151 - 156   1997年

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  • Preparation of Very Soft Magnetic Ni-Fe/Co┣D267┫D2Cr┣D233┫D2 Multilayers by Facing Targets Sputtering with External Magnetic Field

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   111 - 116   1997年

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  • Diagnosis of Mixture Gas Discharge in Damage-Free Sputtering Apparatus and Deposition of Ba Ferrite Films at Low Substrate Temperature

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   117 - 122   1997年

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  • Effects of Ion Bombardment to Interfaces on Residual Internal Stress and Crystalline Structures on Multilayered Films

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)   245 - 250   1997年

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  • Ni-Fe/Cu多層膜における界面へのイオン照射

    宮本 泰敬, 渡邊 健太郎, 中川 茂樹, 直江 正彦

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan   20   399 - 399   1996年9月

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    記述言語:日本語  

    CiNii Books

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  • Co-Crスパッタ薄膜における膜厚方向の保磁力分布

    高山 誓龍, 中川 茂樹, 北本 仁孝, 直江 正彦

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan   20   231 - 231   1996年9月

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    記述言語:日本語  

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  • Effects of Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2underlayer and Ar ion bombardment to deposition of(111)oriented Fe┣D250┫D2Mn┣D250┫D2 layers for spin valve devices

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEEE Trans. on Magn.   32 ( 5 )   4672 - 4674   1996年9月

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  • Improvement of the magnetic characteristics of multilayered Ni-Fe thin films by applying external in-plane field during sputtering

    T Ichihara, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   32 ( 5 )   4582 - 4584   1996年9月

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  • Dependence of perpendicular coercivity on residual stress of Ba ferrite/ZnO bilayered films deposited on fused quartz substrate

    K Noma, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   32 ( 5 )   3822 - 3824   1996年9月

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  • Read/write characteristics of Co-Zn ferrite rigid disks in contact mode recording

    N Matsushita, K Noma, A Morisako, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   32 ( 5 )   3578 - 3580   1996年9月

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  • Investigations of GMR characteristics and crystal structures for Ni81Fe19/Cu multilayers with Ar ion bombardment on interfaces

    Y Miyamoto, T Yoshitani, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   32 ( 5 )   4719 - 4721   1996年9月

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  • Effects of Ni81Fe19 underlayer and Ar ion bombardment to deposition of (111) oriented Fe50Mn50 layers for spin valve devices

    Y Miyamoto, T Yoshitani, S Nakagawa, M Naoe

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   32 ( 5 )   4672 - 4674   1996年9月

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  • Investigation of GMR characteristics and crystal structures for Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2/Cu multilayers with Ar ion bombardment on interfaces

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEEE Trans. on Magn.   32 ( 5 )   4719 - 4721   1996年9月

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  • Ni-Fe/Cu多層膜の界面におけるイオン照射効果と磁気抵抗特性の変化

    宮本 泰敬, 渡邊 健太郎, 中川 茂樹, 直江 正彦

    電気学会研究会資料. MAG, マグネティックス研究会   1996 ( 76 )   37 - 46   1996年7月

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    記述言語:日本語  

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  • Change of magnetoresistance characteristic and crystal structure by ion bombardment to interfaces in [Ni81Fe19/Cu] multilayers

    Y Miyamoto, T Yoshitani, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 8 )   6392 - 6392   1996年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(国際会議)  

    Web of Science

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  • Theory, fabrication and testing of dual track complimentary type of thin-film recording heads for perpendicular magnetic recording system

    T Ichihara, S Nakagawa, N Matsushita, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 8 )   5910 - 5912   1996年4月

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  • Highly crystallized (La,Sr)MnO3 films deposited by facing targets sputtering apparatus

    N Matsushita, K Noma, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 8 )   5247 - 5249   1996年4月

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  • Preparation of soft magnetic Fe/Ta and Fe:N/Ta:N multilayered films with large magnetization for inductive recording head

    M Naoe, S Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 8 )   5015 - 5017   1996年4月

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  • Improvement of Soft Magnetizm of Fe┣D290┫D2Co┣D210┫D2 Sputtered Films by Addition of N and Ta

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J.Appl.Phys   79 ( 8 )   5156 - 5158   1996年4月

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  • Ba ferrite films with large saturation magnetization and high coercivity prepared by low-temperature sputter deposition

    K Noma, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 8 )   5970 - 5972   1996年4月

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  • Theory, fabrication and testing of dual track complimentary type of thin-film recording heads for perpendicular magnetic recording system

    T Ichihara, S Nakagawa, N Matsushita, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 8 )   5910 - 5912   1996年4月

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  • Highly Crystallized (La,Sr)MnO┣D23┫D2 Films Deposited by Facing Targets Sputtering Apparatus

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J.Appl.Phys   79 ( 8 )   5247 - 5249   1996年4月

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  • Preparation of soft magnetic Fe/Ta and Fe:N/Ta:N multilayered films with large magnetization for inductive recording head

    M Naoe, S Nakagawa

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 8 )   5015 - 5017   1996年4月

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  • Improvement of soft magnetism of Fe90Co10 sputtered films by addition of N and Ta

    S Nakagawa, S Tanaka, K Suemitsu, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 8 )   5156 - 5158   1996年4月

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  • Ba ferrite films with large saturation magnetization and high coercivity prepared by low-temperature sputter deposition

    K Noma, N Matsushita, S Nakagawa, M Naoe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 8 )   5970 - 5972   1996年4月

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  • Diagnosis of Facing Targets Sputtering System for Deposition of Ba Ferrite Films in Ar, Xe and O_2_ Gas Mixture

    N.Matsushita, K.Noma, S.Nakagawa, M.Naoe

    J. of Korean Institute of Surface Engineering   29 ( 6 )   834 - 838   1996年

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  • スパッタ中膜面磁界によるNi-Fe/Al多層膜の軟磁気特性の改善

    中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   20 ( 2 )   333 - 336   1996年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    It has been recognized that the soft magnetic characteristics of Ni-Fe thin films deteriorate as the thickness of the film increases. In this study, therefore, magnetic multilayers composed of Ni-Fe layers and paramagnetic Al interlayers were prepared. The Ni-Fe/Al multilayers possessed good soft magnetic characteristics when the Al interlayers were thicker than 5 nm. Some Ni-Fe single layers and Ni-Fe/Al multilayers were prepared by applying an external field Htr of about 200 Oe along the film plane and transverse to the direction of a plasma confining field Hp of about 30 Oe in the facing targets sputtering system. The films had very high permeability when a strong external field Htr were applied. For the Ni-Fe/Al multilayers, the permeability was especially isotropically high when both of Hp and Htr were applied.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.20.333

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  • プラズマフリースパッタ法で作製したCo-Zuフェライト膜の結晶性と磁気特性

    中川茂樹

    紛体粉末冶金   43 ( 1 )   46 - 51   1996年

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    記述言語:中国語  

    DOI: 10.2497/jjspm.43.46

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  • Xeを用いたスパッタリングによる大飽和磁化Baフェライト薄膜の作製と磁気特性

    中川茂樹

    紛体粉末冶金   43 ( 1 )   25 - 30   1996年

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    記述言語:中国語  

    DOI: 10.2497/jjspm.43.25

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  • Xeをスパッタガスとした大飽和磁化Baフェライト薄膜の作製

    中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   20 ( 2 )   325 - 328   1996年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:The Magnetics Society of Japan  

    Non-stoichiometric Ba ferrite films were deposited by plasma-free sputtering in the mixture of Xe, Ar, and O2. By using Xe as sputtering gas, the discrepancy of the film composition and the bombardment of growing surface with energetic particles were sufficiently suppressed, and Ba ferrite films with good c-axis crystallite orientation and large saturation magnetization 4πMs seemed to be obtained even at substrate temperatures Ts below 600°C. Sintered Ba ferrite plates with non-stoichiometric compositions of BaO·6.5Fe2O3 were used as sputtering targets, and the Ba content x and dispersion angle of the c-axis orientation of BaM crystallites corresponded well to the Xe partial pressure PXe. The Ba content of films deposited at an optimum PXe of 0.10 Pa was almost the same as that of stoichiometric BaM ferrite, and 4πMS values of 5.1 kG, which is larger than that of bulk BaM ferrite, and 4.7 kG were attained at Ts of 600°C and 475°C, respectively.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.20.325

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  • Ni-Fe/Cu GMR多層膜におけるイオン照射とアニールによる界面制御効果とスピンバルブのFeMn層配向制御効果

    葭谷 徹, 宮本 泰敬, 中川 茂樹, 直江 正彦

    電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録   95 ( 384 )   7 - 14   1995年11月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Ni-Fe/Cu巨大磁気抵抗効果(GNARR)多層膜をデュアルイオンビームスパッタ(DIBS)法により作製した。各層の初期堆積層へのイオン照射や後熱処理を行うことで、結晶構造や界面状態を変化させ、スピン依存散乱の界面における影響について調査を行なった。磁界感度は、界面付近の構造に大きく影響を受けていることを確認した。また、150℃の後熱処理を行うことで、磁気抵抗変化率と磁界感度を共に向上させることに成功した。次に耐蝕性を向上させる目的から、基板直上に配置したFeMn反強磁性層の上にGMRサンドイッチを堆積させた構造をもつスビンバルブ素子を作製した。この時イオン照射を行なったNi-Fe配向制御層を用いることでFeMn(111)配向が向上し、20〜30Oeの交換バイアス磁界が確認された。

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  • CO-ZN FERRITE RIGID DISKS PREPARED BY PLASMA-FREE SPUTTERING AT LOW SUBSTRATE-TEMPERATURE

    N MATSUSHITA, K NOMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   31 ( 6 )   2779 - 2781   1995年11月

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  • CONTROL OF SOFT MAGNETISM OF CO-ZR AND CO-ZR-TA FILMS FOR BACKLAYERS IN PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING MEDIA

    S NAKAGAWA, M NAOE

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS   E78C ( 11 )   1557 - 1561   1995年11月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Effect of Ion Bombardment and Bias Fielding for [Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2/Cu] Multilayers with Giant Magunetoresistance Deposited by Dud Ion Beam Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEEE Trans. on Magn.   31 ( 6 )   4103 - 4105   1995年11月

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  • CO-ZN FERRITE RIGID DISKS PREPARED BY PLASMA-FREE SPUTTERING AT LOW SUBSTRATE-TEMPERATURE

    N MATSUSHITA, K NOMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   31 ( 6 )   2779 - 2781   1995年11月

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  • GMR素子用Ni-Fe/Cu膜における界面へのイオン照射

    宮本 泰敬, 葭谷 徹, 中川 茂樹, 直江 正彦

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan   19   97 - 97   1995年9月

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    記述言語:日本語  

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  • Ni-Fe層によるスピンバルブ中FeMn層配向度制御効果

    葭谷 徹, 宮本 泰敬, 中川 茂樹, 直江 正彦

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan   19   351 - 351   1995年9月

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    記述言語:日本語  

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  • Ni-Fe/Cu GMR多層膜におけるイオン照射による配向・界面制御効果

    宮本泰敬, よし谷徹, 中川茂樹, 直江正彦

    電子情報通信学会技術研究報告   95 ( 224(MR95 26-31) )   1995年

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  • Control of crystallographic and magnetic characteristics in Co-Zn ferrite sputtered films

    N.Matsushita, K.Noma, S.Nakagawa, M.Naoe

    Journal of Magnetism and Magnetic Materials   140/144 ( Pt 3 )   2085 - 2086   1995年

  • 混合ガススパッタによる垂直磁気記録媒体用Baフェライト薄膜の低温形成

    中川茂樹

    日本応用磁気学会誌   19 ( S2 )   71 - 74   1995年

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    出版者・発行元:社団法人 日本磁気学会  

    Ba ferrite films with well c-axis orientation and magnetic characteristics were deposited on ZnO underlayer at substrate temperature Ts from 475 to 600°C in the gas mixture of Xe 0.10 Pa, Ar 0.08 Pa and O2 0.02 Pa using the facing targets sputtering apparatus. The film deposited at Ts of 600°C was composed of BaM ferrite and spinel crystallites and had saturation magnetization 4πMs of 5.1 kG and perpendicular anisotropy constant Kul of 4.23×105 J·m-3 which were larger than those of bulk BaM ferrite of 4.8 kG and 3.30 × 105 J·m-3, respectively. C-axis orientation was observed even for the film deposited at low Ts of 475°C and its values of 4πMs, perpendicular coercivity Hc⊥ and in-plane one Hc// were 4.7 kG, 2.38 kOe and 0.19 kOe, respectively.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.19.S2_71

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  • Preparation of Diamond-Like Carbon Thin Films by Facing Targets Sputtering Method

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of IUMRS-ICA-94   717   1995年

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  • Deposition of Baferrite Films for Perpedicular Maguetic Media Using Mixed Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEICE Transaction on Electronics   E78 ( 11 )   1562   1995年

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  • GMR・スピンバルブ素子用多層膜の界面調整と特性制御

    中川 茂樹, 宮本 泰敬, 葭谷 徹, 直江 正彦

    日本応用磁気学会誌   19 ( 2 )   S2_34 - 37   1995年

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    出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;[Ni81Fe19/Cu]30 multilayers with giant magnetoresistance were deposited using Dual Ion Beam Sputtering apparatus, which can control the crystallite orientation and interfacial structure by using ion bombardment effects. In this study, it was confirmed that the bulk scattering is remarkable for Ni-Fe/Cu multilayers, but the field sensitivity is much influenced by the structures interfaces. The ion bombardment to Ni-Fe thin underlayers for Fe50Mn50 anti-ferromagnetic layers in Spin Valve multilayers was also useful to attain a large exchange bias field.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.19.S2_34

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  • New Processes of Syuthesizlug Co Fevvites Films at Low Substvate Tempevature by Facing Targets Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of IUMRS-ICA-94   671   1995年

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  • Application of Substvate Bias and Hetero-Epitaxial Growth for Control of Preferential Orientation of Co-Cr Crystallites on Cr Urderlayers

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of IUMRS-ICA-94   653   1995年

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  • Deposition of Baferrite Films for Perpedicular Maguetic Media Using Mixed Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEICE Transaction on Electronics   E78 ( 11 )   1562   1995年

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  • Application of Substvate Bias and Hetero-Epitaxial Growth for Control of Preferential Orientation of Co-Cr Crystallites on Cr Urderlayers

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of IUMRS-ICA-94   653   1995年

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  • Control of Soft Maguetism of Co-Zr and Co-Zr-Ta Films for Back Layers in Perpendicular Maguetic Recording Media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEICE Transaction on Electronics   E78 ( 11 )   1562   1995年

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  • New Processes of Syuthesizlug Co Fevvites Films at Low Substvate Tempevature by Facing Targets Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of IUMRS-ICA-94   671   1995年

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  • Effect of Ion Bombardment and Bias Fielding for [Ni&lt;inf&gt;81&lt;/inf&gt;Fe&lt;inf&gt;19&lt;/inf&gt;/Cu] Multilayers with Giant Magnetoresistance Deposited by Dual Ion Beam Sputtering

    Yasuyoshi Miyamoto, Tohru Yoshitani, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    IEEE Transactions on Magnetics   31 ( 6 )   4103 - 4105   1995年

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/20.489875

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  • Preparation of Diamond-Like Carbon Thin Films by Facing Targets Sputtering Method

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of IUMRS-ICA-94   717   1995年

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  • Soft Magnetic and Crystallographic Properties of Ni┣D281┫D2Fe@119@/Co┣D267┫D2Cr┣D233┫D2 Multilayers as Backlayers in Perpendicular Magnetic Recording Media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEEE Trans. on Magn.   30 ( 6 )   4020 - 4022   1994年11月

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  • PHYSICS AND TECHNOLOGY OF SPUTTERING FOR DEPOSITING MAGNETIC-FILMS

    M NAOE, N MATSUSHITA, S NAKAGAWA

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   134 ( 2-3 )   395 - 402   1994年6月

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  • METHODS TO CONTROL INTERNAL-STRESS IN CO-CR SPUTTERED FILMS ON POLYMER TAPE FOR CURL-FREE RECORDING TAPE

    S NAKAGAWA, S AKIYAMA, M NAOE

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   134 ( 2-3 )   354 - 361   1994年6月

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  • PREPARATION OF NI-FE/CU MULTILAYERS WITH LOW COERCIVITY AND GMR EFFECT BY ION-BEAM SPUTTERING

    M NAOE, Y MIYAMOTO, S NAKAGAWA

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   75 ( 10 )   6525 - 6527   1994年5月

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  • PREPARATION AND MAGNETIC-PROPERTIES OF MN4N FILMS BY REACTIVE FACING TARGETS SPUTTERING

    S NAKAGAWA, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   75 ( 10 )   6568 - 6570   1994年5月

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  • PREPARATION AND MAGNETIC-PROPERTIES OF BAM FILMS WITH EXCELLENT CRYSTALLINITY BY XE SPUTTERING

    N MATSUSHITA, K NOMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   75 ( 10 )   7131 - 7133   1994年5月

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  • PREPARATION OF CO-ZN FERRITE FILMS AT LOW SUBSTRATE-TEMPERATURE BY PLASMA-FREE DC SPUTTERING FOR MAGNETIC RECORDING MEDIA

    N MATSUSHITA, K NOMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   75 ( 10 )   5975 - 5977   1994年5月

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  • Preparation and Magnetic Properties of Mn┣D24┫D2N Films by Reactive Facing Targets Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Appl. Phys.   75 ( 10 )   6568 - 6570   1994年5月

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  • PREPARATION OF NI-FE/CU MULTILAYERS WITH LOW COERCIVITY AND GMR EFFECT BY ION-BEAM SPUTTERING

    M NAOE, Y MIYAMOTO, S NAKAGAWA

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   75 ( 10 )   6525 - 6527   1994年5月

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  • イオンビームスパッタ法によるNi-Fe/Cu巨大磁気抵抗効果多層膜のバッファー層制御特性

    宮本 泰敬, 中川 茂樹, 直江 正彦

    電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録   93 ( 515 )   25 - 32   1994年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    比較的軟磁気特性の良好なNi-Fe, Cu巨大磁気抵抗効果(GMR)多層膜を、イオンビームスパッタ法によって作製した。Ni-FeおよびCuの結晶子が(100)配向すると、磁気抵抗変化率MR-Ratioが大きくなる傾向がある。この結晶配向を制御するために、Feバッファー層の結晶配向を変化させた。Ni-Fe(100)のエピタキシャル成長が期待できるFe(100)配向と、最密面のFe(100)配向とにFeバッファー層を制御し、それらの上に堆積したGMR多層膜の特性の差違を調べたところ、MR-Ratioの大きさそのものにはそれほどFeバッファー層の配向依存性は見られなかったが、外部磁界に対する磁界感度に差が生じることが確かめられた。(100)配向のFeバッファー層上の[Ni_81>Fe_19>(15Å)/Cu(10Å]_30>多層膜において、MR-Ratio5%,その時の10Oeにおける磁界感度0.13%/Oeが得られた。

    CiNii Books

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  • Structure and magnetic properties of a hexagonal type ferrite thin films prepared by facing targets sputtering

    N.Matsushita, K.Noma, S.Nakagawa, M.Naoe

    Proc. of the first Magneto-Electronics International Symposium   11 - 14   1994年

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  • Dual Track Complimentary Type of Thin Film Recording Heads for Perpendicular Magnetic Recording

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   18 ( S1 )   213 - 216   1994年

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  • Preparation and Recording Characteristics of Rigid Disks using Co-Zn Ferrite Sputtered Films for High Density Magnetic Recording with Perpendicular Anisotropy

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   18 ( S1 )   447 - 450   1994年

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  • The Magnetic Multilayers Deposited by Facing Targets Sputtering for High Density Recording Media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Trans. Mat. Res. Soc. Jpn.   15B   1135   1994年

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  • Synthesis of Ferrimagnetic Mn┣D24┫D2N Films Epitaxialy Deposited on Al Underlayers by Plasma-free Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Magn. Magn. Mat.   140 - 145   1994年

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  • Soft magnetic and crystallographic properties of Ni81Fe19/Co67Cr33 multilayers as backlayers in perpendicular recording media

    Shigeki Nakagawa, Takayuki Ichihara, Masahiko Naoe

    IEEE Transactions on Magnetics   30 ( 6 )   4020 - 4022   1994年

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/20.333976

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  • 2 STEP SPUTTERING METHOD AND ITS APPLICATION TO PREPARATION OF BILAYER MEDIA

    S NAKAGAWA, S YOSHIDA, T ICHIHARA, M NAOE

    ADVANCED MATERIALS '93, II - A & B   15 ( A & B )   769 - 772   1994年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Strict Control of c-axis Orientation and Magnetic Anisotropy in Co-Cr Thin Films for Perpendicular Recording Media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of the 1st Magneto-Electronics Int. Symp.   15 - 18   1994年

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  • Preparation and Recording Characteristics of Rigid Disks using Co-Zn Ferrite Sputtered Films for High Density Magnetic Recording with Perpendicular Anisotropy

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   18 ( S1 )   447 - 450   1994年

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  • Synthesis of Ferrimagnetic Mn┣D24┫D2N Films Epitaxialy Deposited on Al Underlayers by Plasma-free Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Magn. Magn. Mat.   140 - 145   1994年

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  • 2 STEP SPUTTERING METHOD AND ITS APPLICATION TO PREPARATION OF BILAYER MEDIA

    S NAKAGAWA, S YOSHIDA, T ICHIHARA, M NAOE

    ADVANCED MATERIALS '93, II - A & B   15 ( A & B )   769 - 772   1994年

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    記述言語:英語  

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  • Strict Control of c-axis Orientation and Magnetic Anisotropy in Co-Cr Thin Films for Perpendicular Recording Media

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of the 1st Magneto-Electronics Int. Symp.   15 - 18   1994年

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  • 垂直磁気記録媒体用Co-Cr薄膜における結晶c軸配向度の重要性とその制御法

    中川茂樹

    学術雑誌   21 ( S1 )   1 - 6   1994年

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  • Enhancement in MR Field Sensitivity of [Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2/Cu] Multilayers by Control of Crystallite Orientation in Fe Buffer layer

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   18 ( S1 )   409 - 412   1994年

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  • 対向ターゲット式スパッタ法による垂直磁気テープ用Co-Cr系合金薄膜の内部応力制御法

    中川茂樹

    学術雑誌   20 ( 9 )   147 - 154   1994年

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  • Physics and Technology of Sputtering Depositing Magnetic Films

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Magn. Magn. Mat.   134   395 - 502   1994年

  • Enhancement in MR Field Sensitivity of [Ni┣D281┫D2Fe┣D219┫D2/Cu] Multilayers by Control of Crystallite Orientation in Fe Buffer layer

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   18 ( S1 )   409 - 412   1994年

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  • THE MAGNETIC MULTILAYERS DEPOSITED BY FACING TARGETS SPUTTERING FOR HIGH DENSITY RECORDING MEDIA

    M NAOE, S NAKAGAWA, N MATSUSHITA

    ADVANCED MATERIALS '93, II - A & B   15 ( A & B )   1135 - 1140   1994年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Dual Track Complimentary Type of Thin Film Recording Heads for Perpendicular Magnetic Recording

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   18 ( S1 )   213 - 216   1994年

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  • MAGNETO-OPTICAL CHARACTERISTICS OF BAM FERRITE/CO-OXIDE MULTILAYERED FILMS

    M NAOE, S NAKAGAWA

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   29 ( 6 )   3393 - 3395   1993年11月

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  • STRUCTURAL AND MAGNETIC CHARACTERISTICS OF BAFE12O19/ZNO MULTILAYERS BY ARC-DISCHARGE EVAPORATION

    M NAOE, S NAKAGAWA

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   29 ( 6 )   3096 - 3098   1993年11月

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  • Structural and Magnetic Characteristics of BaFe┣D212┫D2O┣DB19(/)-┫DB/Zno Multilayers by Arc Discharge Evaporation

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEEE Trans. on Magn.   29 ( 6 )   3096 - 3098   1993年11月

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  • THE CONTROL OF MAGNETIC CHARACTERISTICS OF BAM FERRITE THIN-FILMS BY BIAS SPUTTERING

    M NAOE, K NOMA, S NAKAGAWA, N MATSUSHITA

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   73 ( 10 )   6696 - 6696   1993年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(国際会議)  

    Web of Science

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  • THE CONTROL OF MAGNETIC CHARACTERISTICS OF BAM FERRITE THIN-FILMS BY BIAS SPUTTERING

    M NAOE, K NOMA, S NAKAGAWA, N MATSUSHITA

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   73 ( 10 )   6696 - 6696   1993年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(国際会議)  

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  • EFFECTIVE SUPPRESSION OF INTERNAL-STRESSES IN CO-CR FILMS USING A MIXTURE OF AR AND KR AS THE SPUTTERING GAS

    S NAKAGAWA, M NAOE

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   120 ( 1-3 )   345 - 348   1993年3月

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  • FE-NI-ZR FILMS WITH LARGE PERPENDICULAR ANISOTROPY DEPOSITED ON PEN TAPE BY FACING TARGETS SPUTTERING

    S NAKAGAWA, H TANAKA, M NAOE

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   120 ( 1-3 )   349 - 352   1993年3月

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  • Magnetic and structural characteristics of Fe/Al multilayers deposited by ion beam sputtering with Kr

    T. Hamaguchi, H. Aida, S. Nakagawa, M. Naoe

    Journal of Applied Physics   73 ( 10 )   6444 - 6446   1993年

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1063/1.352627

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  • 対向ターゲット式スパッタ法で作製したCo-Cr膜の結晶配向に及ぼすバイアス電圧の効果

    中川茂樹

    学術雑誌 日本応用磁気学会誌   17 ( 2 )   97 - 100   1993年

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  • CRYSTALLOGRAPHIC AND MAGNETIC CHARACTERISTICS OF CO-ZN FERRITE FILMS DEPOSITED AT LOW SUBSTRATE-TEMPERATURE BY USING FACING TARGETS SPUTTERING METHOD

    N MATSUSHITA, K NOMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    FIRST INTERNATIONAL CONFERENCE ON PROCESSING MATERIALS FOR PROPERTIES   1169 - 1172   1993年

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    記述言語:英語  

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  • デュアルトラック相補型薄膜磁気ヘッド用軟磁性巨大磁気抵抗効果多層膜の作製

    中川 茂樹, 宮本 泰敬, 直江 正彦

    日本応用磁気学会誌   17 ( 2 )   S2_97 - 102   1993年

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    出版者・発行元:公益社団法人 日本磁気学会  

    &nbsp;&nbsp;Dual truck complementary head has been proposed in this study. It was confirmed that the recording mechanism was correct in principle through the read-write charactristics using conventional thin film head. Thin film with giant magneto-resistivity GMR ratio is required to construct the hybrid type of read-write head. Ni-Fe/Cu multilayers with Cu layer thickness of 10&Aring; prepared by ion beam sputtering method exhibited high magneto-resistivity (MR) ratio as large as aobut 16%. The multilayer seemed to be suitable for detecting of flux reversal in dual truck complementary heads.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.17.S2_97

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  • 垂直磁気記録媒体用アモルファスCo-Zr-Ta軟磁性裏打ち層

    中川茂樹

    学術雑誌 日本応用磁気学会誌   17 ( S2 )   249 - 254   1993年

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    出版者・発行元:社団法人 日本磁気学会  

    The materials and its prepartion methods of backlayer for Co-Cr perpendicular magnetic recording media have been investigated. Multilayers composed of Ni-Fe layers and Co67Cr33 paramagnetic layers were proposed in order to satisfy the requirements of both the <111> axis orientation and excellent soft magnetism in Ni-Fe ferromagnetic layers. The multilayer revealed soft magnetic properties sufficiently as well as the good crystallinity and well <111> orientation suitable for the growth of Co-Cr crystallites with good c-axis orientation. Co-Zr-Ta thin films showed good soft magnetism with large saturation magnetization regardless of the film thickness. Ti interlayers between Co-Cr recording layers and Co-Zr-Ta backlayers were helpfull to achieve good c-axis orientation of Co-Cr crystallites which were deposited on it.

    DOI: 10.3379/jmsjmag.17.S2_249

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  • PREPARATION OF SOFT MAGNETIC FE-N FILMS BY ION-BEAM DEPOSITION METHOD WITH STRICT CONTROL OF PLASMA POTENTIAL

    S NAKAGAWA, T HAMAGUCHI, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   28 ( 5 )   2946 - 2948   1992年9月

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  • PREPARATION OF CO FERRITE THIN-FILMS WITH LARGE PERPENDICULAR AND INPLANE COERCIVITIES BY FACING TARGETS SPUTTERING

    N MATSUSHITA, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   28 ( 5 )   3108 - 3110   1992年9月

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  • HIGH PERMEABILITY OF IRON-NITRIDE FILMS PREPARED BY ION-BEAM DEPOSITION USING NH3

    S NAKAGAWA, T HAMAGUCHI, M NAOE

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   112 ( 1-3 )   392 - 394   1992年7月

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  • High Permeability of Iron-nitride Films Prepared by Ion Beam Deposition using NH┣D23┫D2

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Magn. Magn. Mat.   112 ( 1-3 )   392 - 394   1992年7月

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  • PREPARATION OF SOFT MAGNETIC-FILMS BY MECHANICAL ALLOYING OF FE/SI/AL MULTILAYERS UNDER AR ION-BOMBARDMENT

    M NAOE, K KUBOTA, S NAKAGAWA

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   112 ( 1-3 )   439 - 442   1992年7月

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  • STRUCTURAL AND MAGNETIC CHARACTERISTICS OF CO-CR FILMS SPUTTERED IN A MIXTURE OF AR AND CH4 GAS

    S NAKAGAWA, Y FURUTO, M NAOE

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   104   2047 - 2048   1992年2月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Ta and W Addition to Co┣D283┫D2Cr┣D217┫D2 Thin Films Deposited on Co┣D279┫D2Cr┣D221┫D2 Underlayer

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Magn. Magn. Mat.   104   1801 - 1802   1992年2月

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Structural and Magnetic Characteristics of Co-Cr Films Sputtered in Mixture of Ar and CH┣D24┫D2 Mixture Gas

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Magn. Magn. Mat.   104   2047 - 2048   1992年2月

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    記述言語:英語  

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  • TA AND W ADDITIONS TO CO83CR17 THIN-FILMS DEPOSITED ON CO79CR21 UNDERLAYER

    S NAKAGAWA, Y FURUTO, M NAOE

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   104   1801 - 1802   1992年2月

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    記述言語:英語  

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  • MAGNETISM AND STRUCTURE OF IRON NITRIDE THIN-FILMS DEPOSITED BY A FACING-TARGETS TYPE OF ION-SOURCE

    S NAKAGAWA, K HASEGAWA, M NAOE

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   104   1899 - 1900   1992年2月

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    記述言語:英語  

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  • Magneto-optical Properties of Cobalt Ferrite Thin Films Prepared by Facing Targets Sputtering

    N. Matsushita, K. Noma, S.Nakagawa, M.Naoe

    Proc. of 6th International Conference on Ferrites(ICF6)   1633 - 1636   1992年

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  • Magnetic and Crystallographic Characteristics of CoFe_2_O_4_ Thin Films on ZnO Underlayer

    N. Matsushita, K.Noma, S.Nakagawa, M.Naoe

    Proc. of 6th International Conference on Ferrites(ICF6)   428 - 431   1992年

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  • SMALL D-SPACING AND INTERNAL-STRESS OF CO-CR FILMS DEPOSITED BY KR ION SPUTTERING

    S AKIYAMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    MAGNETIC SURFACES, THIN FILMS, AND MULTILAYERS   231   335 - 340   1992年

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    記述言語:英語  

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  • Preparation Of Co Ferrite Thin Films With Large Perpendicular And In-Plane Coercivities By Facing Targets Sputtering

    Nobuhiro Matsushita, Shigeki Nakagawa, Masahiko Naoe

    IEEE Transactions on Magnetics   28 ( 5 )   3108 - 3110   1992年

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/20.179728

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  • Modification of Magnetic Properties of Fe/Mn Multilayers with Modulation of Layer Thickness

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Appl. Phys.   73 ( 10 )   6447   1992年

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  • Preparation of Co-Zn Ferrite Thin Films for Rigid Disks with High Recording Density

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Ferrites Proceedings of the 6th International Conference on Ferrites   1479 - 1482   1992年

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  • Preparation of Co-Zn Ferrite Thin Films for Rigid Disks with High Recording Density

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Ferrites Proceedings of the 6th International Conference on Ferrites   1479 - 1482   1992年

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  • SMALL D-SPACING AND INTERNAL-STRESS OF CO-CR FILMS DEPOSITED BY KR ION SPUTTERING

    S AKIYAMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    MAGNETIC SURFACES, THIN FILMS, AND MULTILAYERS   231   335 - 340   1992年

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    記述言語:英語  

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  • Modification of Magnetic Properties of Fe/Mn Multilayers with Modulation of Layer Thickness

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. Appl. Phys.   73 ( 10 )   6447   1992年

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  • SUCCESSIVE GROWTH OF BA-FERRITE MAGNETIC LAYERS ON C-AXIS ORIENTED YBACUO SUPERCONDUCTIVE LAYERS

    M NAOE, N MATSUSHITA, S NAKAGAWA

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   70 ( 10 )   6489 - 6491   1991年11月

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  • ELECTRICALLY CONDUCTIVE LAYER OF WEAR-RESISTANT FE-MO-B ALLOY FOR PROTECTING MAGNETIC RECORDING TAPE

    S AKIYAMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   27 ( 6 )   5094 - 5096   1991年11月

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  • INCREASE IN COERCIVITY OF FE/TI MULTILAYERED FILMS BY CR ADDITION INTO TI LAYERS

    S NAKAGAWA, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   70 ( 10 )   6424 - 6426   1991年11月

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  • DEPOSITION OF STRESS-FREE CO-CR ALLOY THIN-FILMS ON THIN TAPE SUBSTRATE BY KR ION SPUTTERING

    S AKIYAMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   27 ( 6 )   4751 - 4753   1991年11月

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  • INCREASE IN COERCIVITY OF FE/TI MULTILAYERED FILMS BY CR ADDITION INTO TI LAYERS

    S NAKAGAWA, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   70 ( 10 )   6424 - 6426   1991年11月

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  • ELECTRICALLY CONDUCTIVE LAYER OF WEAR-RESISTANT FE-MO-B ALLOY FOR PROTECTING MAGNETIC RECORDING TAPE

    S AKIYAMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   27 ( 6 )   5094 - 5096   1991年11月

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  • DEPOSITION OF STRESS-FREE CO-CR ALLOY THIN-FILMS ON THIN TAPE SUBSTRATE BY KR ION SPUTTERING

    S AKIYAMA, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   27 ( 6 )   4751 - 4753   1991年11月

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  • FE-ZR SPUTTERED THIN-FILMS FOR PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING MEDIA

    S NAKAGAWA, H TANAKA, M NITTA, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   69 ( 8 )   5181 - 5183   1991年4月

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  • FE-ZR SPUTTERED THIN-FILMS FOR PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING MEDIA

    S NAKAGAWA, H TANAKA, M NITTA, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   69 ( 8 )   5181 - 5183   1991年4月

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  • THIN-FILMS OF MECHANICALLY HARDENED FE-MO-B-CR-NI ALLOYS DEPOSITED BY THE FACING TARGETS SPUTTERING METHOD

    S AKIYAMA, S NAKAGAWA, M NAOE, K TAKAGI

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING   134   1309 - 1314   1991年3月

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  • PERIODIC LENGTH DEPENDENCE OF MAGNETIC-PROPERTIES IN FE/MNSB MULTILAYERED FILMS

    S NAKAGAWA, H TANAKA, M NAOE

    MAGNETIC MATERIALS : MICROSTRUCTURE AND PROPERTIES   232   177 - 182   1991年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

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  • Occurrence and Thermal Stability of Perpendicular Magnetic Anisotropy in Fe-Zr Sputtered Films

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   15 ( S2 )   605 - 608   1991年

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  • The Effect of Additional Elements in Cr Underlayer of Co-Cr-Ta/Cr Bilayered Films at Various Substrate Temperature

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   15 ( S2 )   649 - 652   1991年

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  • Control of Internal Stress in Co-Cr Thin Films on Polymer Tape by Using Kr as Sputtering Gas

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   15 ( S2 )   27 - 31   1991年

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  • Improvement of Cryrstallinity of Co-Cr and Ni-Fe Layers Media by Using Co┣D279┫D2Cr┣D221┫D2 Ultra Thin Underlayer and Interlayer

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   15 ( S2 )   657 - 661   1991年

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  • Fabrication of Co-Cr : C Sputtered Thin Films by Reactive Sputtering in CH┣D24┫D2

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of Int. Symp. on 3d-Transition Metal Thin Films   123   1991年

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  • Preparation of YBaCuO thin films with excellent crystullinity on amorphous substrates prepared by Facing Targets Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Journal of Applied Physics   69   8   1991年

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  • Successive growth of Ba-ferrite magnetic layers on c-axis oriented YBaCuO Supercondutice layers

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Journal of Applied Physics.   70   10   1991年

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  • Control of Internal Stress in Co-Cr Thin Films on Polymer Tape by Using Kr as Sputtering Gas

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   15 ( S2 )   27 - 31   1991年

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  • Improvement of Cryrstallinity of Co-Cr and Ni-Fe Layers Media by Using Co┣D279┫D2Cr┣D221┫D2 Ultra Thin Underlayer and Interlayer

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   15 ( S2 )   657 - 661   1991年

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  • Preparation of YBaCuO thin films with excellent crystullinity on amorphous substrates prepared by Facing Targets Sputtering

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Journal of Applied Physics   69   8   1991年

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  • Fabrication of Co-Cr : C Sputtered Thin Films by Reactive Sputtering in CH┣D24┫D2

    SHIGEKI NAKAGAWA

    Proc. of Int. Symp. on 3d-Transition Metal Thin Films   123   1991年

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  • The Effect of Additional Elements in Cr Underlayer of Co-Cr-Ta/Cr Bilayered Films at Various Substrate Temperature

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   15 ( S2 )   649 - 652   1991年

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  • PERIODIC LENGTH DEPENDENCE OF MAGNETIC-PROPERTIES IN FE/MNSB MULTILAYERED FILMS

    S NAKAGAWA, H TANAKA, M NAOE

    MAGNETIC MATERIALS : MICROSTRUCTURE AND PROPERTIES   232   177 - 182   1991年

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    記述言語:英語  

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  • Occurrence and Thermal Stability of Perpendicular Magnetic Anisotropy in Fe-Zr Sputtered Films

    SHIGEKI NAKAGAWA

    J. of Magn. Soc. Jpn.   15 ( S2 )   605 - 608   1991年

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  • IMPROVEMENT OF MAGNETIC-PROPERTIES AND CRYSTALLINITY OF CO-CR/NI-FE DOUBLE-LAYER WITH VERY THIN CO79CR21 UNDERLAYER

    S NAKAGAWA, S AKIYAMA, M SUMIDE, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   26 ( 5 )   1608 - 1610   1990年9月

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  • Improvement of Magnetic properties and crystallinity of Co-Cr/Ni-Fe double layer with very thin Co┣D279┫D2 Cr┣D221┫D2 under layer.

    SHIGEKI NAKAGAWA

    IEEE Transactions on Magnetics   26 ( 5 )   1608 - 1610   1990年9月

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  • CONTROL OF INTERNAL-STRESS OF CO-CR FILMS DEPOSITED BY FACING TARGETS SPUTTERING

    S NAKAGAWA, Y KITAMOTO, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   26 ( 1 )   106 - 108   1990年1月

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  • CONTROL OF INTERNAL-STRESS OF CO-CR FILMS DEPOSITED BY FACING TARGETS SPUTTERING

    S NAKAGAWA, Y KITAMOTO, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   26 ( 1 )   106 - 108   1990年1月

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  • CONTINUOUS FORMATION OF COCR FILMS ON PEN TAPE BY FACING TARGETS SPUTTERING

    S AKIYAMA, M SUMIDE, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   25 ( 5 )   4189 - 4191   1989年9月

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  • CONTINUOUS FORMATION OF COCR FILMS ON PEN TAPE BY FACING TARGETS SPUTTERING

    S AKIYAMA, M SUMIDE, S NAKAGAWA, M NAOE

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   25 ( 5 )   4189 - 4191   1989年9月

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  • STUDIES ON COERCIVITY IN CO-CR THIN-FILMS BY MEANS OF A MULTILAYER TECHNIQUE

    S NAKAGAWA, M SUMIDE, Y KITAMOTO, Y NIIMURA, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   63 ( 8 )   2911 - 2913   1988年4月

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  • STUDIES ON COERCIVITY IN CO-CR THIN-FILMS BY MEANS OF A MULTILAYER TECHNIQUE

    S NAKAGAWA, M SUMIDE, Y KITAMOTO, Y NIIMURA, M NAOE

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   63 ( 8 )   2911 - 2913   1988年4月

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講演・口頭発表等

  • FeCoB/NiFe/Si薄膜における高周波透磁率特性の基礎検討

    第30回日本応用磁気学会学術講演会  2006年 

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  • Stress Induced Enhancement of Magnetization Reversal Process of DyFeCo Films With Perpendicular Magnetization

    2006 IEEE International Magnetics Conference (Intermag2006)  2006年 

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  • Dy-Fe-Co薄膜の逆磁歪効果による磁化反転アシスト基礎実験

    第30回日本応用磁気学会学術講演会  2006年 

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  • Pt膜形成時の加熱によるFePt規則合金配向膜のAs-depo形成

    第30回日本応用磁気学会学術講演会  2006年 

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  • 強磁性ホール効果によるFeCo/TbFeCo 2層膜の磁気特性評価

    第30回日本応用磁気学会学術講演会  2006年 

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  • Influence of spin polarization enhancement layer to rare earth-transition metal thin films for perpendicular tunneling magnetoresistance evaluated by ferromagnetic Hall effect

    Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2006年 

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  • 垂直MRAM用RE-TM合金上のFeCo, MgO結晶配向性

    第30回日本応用磁気学会学術講演会  2006年 

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  • BST(Ba0.5Sr0.5TiO3) Thin Films Prepared at Low Sputtering Gas Pressure by RF-Facing Targets Sputtering

    14th Annual International Conference on Composites/Nano Engineering (ICCE-14)  2006年 

     詳細を見る

    会議種別:ポスター発表  

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  • RF-Facing Targets Sputtering System for Deposition of Oxide Thin Films

    14th Annual International Conference on Composites/Nano Engineering (ICCE-14)  2006年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Effect of Hydrogen to Attain (001) Oriented FePt Ordered Alloy Films from Fe/Pt Bilayers

    IEEE International Magnetics Conference (INTERMAG) 2006  2006年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Trial to Deposit (001) Oriented FePt Thin Films in as-Deposited State using Fe/Pt Bilayered Structure

    Magneto-Optical recording International Symposium 2006  2006年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Fe-Co-B/[Ni-Fe/Si] Soft Magnetic Underlayer with High Anisotropy Field along Cross Track Direction on Disk Substrate

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

     詳細を見る

  • Effect of Roughness and Continuity of Co layers to Magnetic Properties of Co/Pd Multilayers

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

     詳細を見る

  • Study of magnetization reversal phenomena in CoCrTaPt perpendicular recording thin film media in a tilted magnetic field

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

     詳細を見る

  • An approach to estimate the magnetic anisotropy constants in a CoCrPt recording layer with a NiFe soft underlayer

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

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  • Magnetization reversal enhancement using stress-induced effects for RE-TM perpendicularly magnetized thin films

    Asian Symposium on Information Storage Technology (ASIST-8)  2006年 

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  • FeCo/TbFeCo 2層膜における磁気的結合の検討

    第99回スピニクス特別研究会  2006年 

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  • ポストアニール処理無しでのFePt 規則合金配向膜の形成手法

    第99回スピニクス特別研究会  2006年 

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  • 逆磁歪効果応用による磁性薄膜の新機能性開発

    第99回スピニクス特別研究会  2006年 

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  • 垂直MRAM用のトンネルバリア用極薄MgO膜の結晶性向上手法

    第99回スピニクス特別研究会  2006年 

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  • Magnetization reversal enhancement using stress-induced effects for RE-TM perpendicularly magnetized thin films

    The 8th Asian Symposium on Information Storage Technology (ASIST-8)  2006年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Pt/Fe 積層構造からのc軸配向FePt規則合金薄膜の形成

    ここまできた次世代ハイブリッド記録の基礎技術  2006年 

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  • Effect of Roughness and Continuity of Co layers to Magnetic Properties of Co/Pd Multilayers

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

     詳細を見る

  • Highly (001) Oriented FePt Ordered Alloy Thin Films Fabricated from Pt(100)/Fe(100) Structure on Glass Disks without Seed Layers

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

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  • An approach to estimate the magnetic anisotropy constants in a CoCrPt recording layer with a NiFe soft underlayer

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

     詳細を見る

  • Fe-Co-B/[Ni-Fe/Si] Soft Magnetic Underlayer with High Anisotropy Field along Cross Track Direction on Disk Substrate

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

     詳細を見る

  • Development of RF-Facing Targets Sputtering System for Deposition of Oxide Films

    8th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2005)  2005年 

     詳細を見る

    会議種別:ポスター発表  

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  • Study of magnetization reversal phenomena in CoCrTaPt perpendicular recording thin film media in a tilted magnetic field

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

     詳細を見る

  • Magnetic interactions in FePt/soft magnetic underlayer double-layered structure observed by anomalous Hall effect

    49th Annual Conference on Magnetism & Magnetic Materials  2005年 

     詳細を見る

  • Hall effect study of soft magnetic properties of thin films (FeCoB, NiFe) stacked on FePt thin films with perpendicular magnetic anisotropy

    INTERMAG 2005  2005年 

     詳細を見る

    会議種別:ポスター発表  

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  • FeCoB thin films with high anisotropy field suitable for GHz band operation

    4th International Workshop on High Frequency Micromagnetic Devices and Materials (MMDM4)  2005年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Highly (001) Oriented FePt Ordered Alloy Thin Films Fabricated from Pt(100)/Fe(100) Structure on Glass Disks without Seed Layers

    The 7th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2004)  2005年 

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  • Fe(100) formation in Fe/Pt bilayers to attain [001] orientation of FePt ordered alloy thin films in as-deposited state

    INTERMAG 2005  2005年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Coercivity Control of c-Axis Oriented FePt Thin Films Deposited on Glas Disks by Substrate Surface Pinning Sites

    Magneto-Optical recording International Symposium 2004  2004年 

     詳細を見る

    会議種別:ポスター発表  

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  • Highly C-Axis Oriented Hexagonal M-Type Ferrite Thin Films on Pt Underlayers

    9th International Conference on Ferrites (ICF 9)  2004年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • High Rate Reactive Facing Targets Sputtering for Deposition of Mn-Zn Spinel Ferrite Thin Films

    9th International Conference on Ferrites (ICF 9)  2004年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • C-Axis Oriented Sr-Ferrite Films Prepared at Low Temperature by Facing Targets Sputtering Using Mixture Gas of Ar and Kr

    9th International Conference on Ferrites (ICF 9)  2004年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Coercivity Control of c-Axis Oriented FePt Thin Films Deposited on Glas Disks by Substrate Surface Pinning Sites

    Magneto-Optical recording International Symposium 2004  2004年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Highly C-Axis Oriented Hexagonal M-Type Ferrite Thin Films on Pt Underlayers

    9th International Conference on Ferrites (ICF 9)  2004年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Development of RF-Facing Targets Sputtering System for Deposition of Oxide Films

    8th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2005)  2005年 

     詳細を見る

    会議種別:ポスター発表  

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  • FeCoB thin films with high anisotropy field suitable for GHz band operation

    4th International Workshop on High Frequency Micromagnetic Devices and Materials (MMDM4)  2005年 

     詳細を見る

    会議種別:ポスター発表  

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  • Magnetic interactions in FePt/soft magnetic underlayer double-layered structure observed by anomalous Hall effect

    49th Annual Conference on Magnetism & Magnetic Materials  2005年 

     詳細を見る

  • Fe(100) formation in Fe/Pt bilayers to attain [001] orientation of FePt ordered alloy thin films in as-deposited state

    INTERMAG 2005  2005年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Hall effect study of soft magnetic properties of thin films (FeCoB, NiFe) stacked on FePt thin films with perpendicular magnetic anisotropy

    INTERMAG 2005  2005年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • FeCoB薄膜の巨大異方性発現と斜方結晶成長の相関評価

    第31回日本応用磁気学会学術講演会  2007年 

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  • As-grown preparation of FePt-ordered alloy thin films from Pt/Fe bi-layered structure

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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  • Fabrication of ultrathin FePt(Cu) ordered alloy thin films directly on glass disks from Pt(Cu)/Fe bilayers

    52nd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2007年 

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  • Effect of thermal proces on magnetic anisotropy in FeCoB soft underlayer

    The 8th Perpendicular magnetic recording conference  2007年 

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  • テープ基板上へのCoPtCr-SiO2面内磁気記録媒体とRu-O/Ru下地層による垂直磁気記録媒体の作製と評価

    PMRC2007 サテライトミーティング  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Playback performance and microstructure of sputtered tape media formed by facing targets sputtering

    The 8th Perpendicular magnetic recording conference  2007年 

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  • 低温堆積MgO(100)配向膜作製とRE-TM合金を用いた垂直MTJの試作

    PMRC2007 サテライトミーティング  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Dyx(Fe90Co10)1-x薄膜の応力アシスト磁化反転プロセス

    PMRC2007 サテライトミーティング  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Fabrication of MgO barrier for magnetic tunnel junction in as-deposited state using amorphous RE-TM alloy

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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  • Effect of Thermal Process on Magnetic Anisotropy in FeCoB Soft Underlayer

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Stress assisted magnetization reversal in perpendicularly magnetized thin films

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Ru-O/Ru hybrid type of underlayer for CoPtCr-SiO2 perpendicular recording media on flexible tape

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Magnetization reversal enhancement using stress-induced effects for RE-TM perpendicularly magnetized thin films

    The 8th Asian Symposium on Information Storage Technology (ASIST-8)  2006年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Magnetization reversal enhancement using stress-induced effects for RE-TM perpendicularly magnetized thin films

    Asian Symposium on Information Storage Technology (ASIST-8)  2006年 

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  • Stress Induced Enhancement of Magnetization Reversal Process of DyFeCo Films With Perpendicular Magnetization

    2006 IEEE International Magnetics Conference (Intermag2006)  2006年 

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  • RF-Facing Targets Sputtering System for Deposition of Oxide Thin Films

    14th Annual International Conference on Composites/Nano Engineering (ICCE-14)  2006年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Influence of spin polarization enhancement layer to rare earth-transition metal thin films for perpendicular tunneling magnetoresistance evaluated by ferromagnetic Hall effect

    Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2006年 

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  • Trial to Deposit (001) Oriented FePt Thin Films in as-Deposited State using Fe/Pt Bilayered Structure

    Magneto-Optical recording International Symposium 2006  2006年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • BST(Ba0.5Sr0.5TiO3) Thin Films Prepared at Low Sputtering Gas Pressure by RF-Facing Targets Sputtering

    14th Annual International Conference on Composites/Nano Engineering (ICCE-14)  2006年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Improvement of stress-induced magnetization reversal process of DyFeCo thin films

    52nd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Effect of Hydrogen to Attain (001) Oriented FePt Ordered Alloy Films from Fe/Pt Bilayers

    IEEE International Magnetics Conference (INTERMAG) 2006  2006年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Magnetic anisotropy and crystalline orientation in high Hk FeCoB thin films

    Abstracts of 52nd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2007年 

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  • Perpendicular magnetic tunnel junction with tunneling magnetoresistance ratio of 64% using MgO(100) barrier layer prepared at room temperature

    52nd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2007年 

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  • Observation of stress assisted magnetization reversal in a spin valve structure using giant magnetoresistive multilayer

    The 11th Joint MMM-Intermag Conference  2010年 

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  • Effect of multilayer configuration of [Fe/Pt] multilayer to attain (001) oriented FePt ordered alloy thin films

    The 11th Joint MMM-Intermag Conference  2010年 

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  • ステンレスクラッド鋼を用いた箱桁の曲げ疲労実験

    土木学会構造工学論文集  1997年 

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  • Bending Fatigue Test on a Box Plate Girder of Stainless Clad Steel

    1997年 

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  • High Rate Reactive Facing Targets Sputtering for Deposition of Mn-Zn Spinel Ferrite Thin Films

    9th International Conference on Ferrites (ICF 9)  2004年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • C-Axis Oriented Sr-Ferrite Films Prepared at Low Temperature by Facing Targets Sputtering Using Mixture Gas of Ar and Kr

    9th International Conference on Ferrites (ICF 9)  2004年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Effect of thermal proces on magnetic anisotropy in FeCoB soft underlayer

    The 8th Perpendicular magnetic recording conference  2007年 

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  • Stress assisted magnetization reversal for GMR multi-layer

    The 33rd Annual Conference on Magnetics in Japan 2009  2009年 

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  • FePtCu films for heat assisted magnetic recording media prepared from Cu/Pt/Fe trilayers

    The 33rd Annual Conference on Magnetics in Japan 2009  2009年 

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  • Enhancement on porperties of Si/NiFe/FeCoB crystalline SUL for perpendicular magnetic recording media

    The 33rd Annual Conference on Magnetics in Japan 2009  2009年 

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  • Ru/FeCoB crystalline soft magnetic underlayer with high anisotropy field for CoPtCr-SiO2 granular perpendicular magnetic recording media

    53rd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2009年 

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  • Ru/FeCoB double layered film with high in-plane magnetic anisotropy field of 500 Oe

    53rd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2009年 

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  • Effect of Fe diffusion in MgO/Fe seedlayers to attain (100)oriented Pt underlayer for Perrovskite films with c-axis orientation

    ICMAT 2009 and IUMRS-ICA 2009  2009年 

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  • Application of Si-N Insulation Layer to CPP-GMR Device

    Magnetics and Optics Research International Symposium for New Storage Technology  2009年 

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  • Effect of Crystalline Orientation and Lattice Distortion of FeCo Spin Polarization Enhancement Layer in perpendicular MTJ with RE-TM Alloy Films

    11th Joint MMM-Intermag Conference  2010年 

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  • Direct observation of an anisotropic in-plane residual stress induced by B addition as an origin of high magntic anisotropy field of Ru/FeCoB film

    11th Joint MMM_Intermag Conference  2010年 

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  • Observation of stress assisted magnetization reversal in a spin valve structure using giant magnetoresistive multilayer

    The 11th Joint MMM-Intermag Conference  2010年 

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  • Effect of multilayer configuration of [Fe/Pt] multilayer to attain (001) oriented FePt ordered alloy thin films

    The 11th Joint MMM-Intermag Conference  2010年 

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  • Effect of Fe diffusion in MgO/Fe seedlayers to attain (100)oriented Pt underlayer for Perrovskite films with c-axis orientation

    ICMAT 2009 and IUMRS-ICA 2009  2009年 

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  • Application of Si-N Insulation Layer to CPP-GMR Device

    Magnetics and Optics Research International Symposium for New Storage Technology  2009年 

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  • Directional Alignment of FeCo Crystallites in Si/NiFe/Ru/FeCoB Multilayer with High Anisotropy Field above 500 Oe

    ICMAT2009 and IUMRS-ICA 2009  2009年 

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  • Fablication Methods of Perpendiculary Oriented FePt Ordered Alloy Thin Films from Pt/Fe Bilayered Films for Hybrid Magnetic Recording Media

    Magnetics and Optics Research International Symposium for New Storage Technology  2009年 

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  • Influence of crystallographic orientation of FeCo spin polarization enhancement layer on the magnetization coupling with RE-TM alloy films in perpendicular MTJ

    Intermag 2009  2009年 

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  • Comparison of Playback Performance of Facing Targets Sputtered Perpendicular and Longitudinal Tape Media

    IEEE Transactions on Magnetics  2009年 

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  • FePtCu Ordered alloy films with (001) orientation fabricated from Cu/Pt/Fe tri-layers

    Intermag 2009  2009年 

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  • Effects of Ru underlayer for FeCoB upperlayer with high in-plane magnetic anisotropy field

    Bunkyo campus, Nagasaki University,  2009年 

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  • Si/NiFe/FeCoB Crystalline SUL to Reduce Ru Intermediate Layer Thickness for CoPtCr-SiO2 Granular Perpendicular Magnetic Recording Media

    2009年 

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  • Playback performance of perpendicular magnetic recording tape by facing targets sputtering

    The 33rd Annual Conference on Magnetics in Japan 2009  2009年 

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  • Influence of crystalline orientation of FeCo on magnetic couping in TbFeCo/FeCo bilayer in p-MTJ

    The 33rd Annual Conference on Magnetics in Japan 2009  2009年 

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  • Comparison of Playback Performance of Facing Targets Sputtered Perpendicular and Longitudinal Tape Media

    IEEE Transactions on Magnetics  2009年 

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  • FePtCu Ordered alloy films with (001) orientation fabricated from Cu/Pt/Fe tri-layers

    Intermag 2009  2009年 

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  • 高い面内異方性磁界を有するFeCoB膜に及ぼすRu下地層の影響

    長崎大学 文教キャンパス(長崎市文教町1-14)  2009年 

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  • Si/NiFe/FeCoB Crystalline SUL to Reduce Ru Intermediate Layer Thickness for CoPtCr-SiO2 Granular Perpendicular Magnetic Recording Media

    2009年 

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  • 垂直MTJ内のTbFeCo/FeCo 磁気的結合へのFeCo 結晶配向の影響

    第33回 日本磁気学会学術講演 2009  2009年 

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  • Cu/Pt/Fe 三層構造から作製した熱アシスト記録媒体用 FePtCu 薄膜

    第33回 日本磁気学会学術講演会 2009  2009年 

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  • 対向ターゲット式スパッタ法による垂直磁気記録テープ媒体の記録再生特性

    第33回 日本磁気学会学術講演会 2009  2009年 

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  • 結晶性 Si/NiFe/FeCoB 裏打ち軟磁性層を用いた垂直磁気記録媒体

    第33回 日本磁気学会学術講演会  2009年 

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  • 応力アシスト磁化反転を用いたGMR多層膜の作製

    第33回 日本磁気学会学術講演会  2009年 

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  • Ru/FeCoB crystalline soft magnetic underlayer with high anisotropy field for CoPtCr-SiO2 granular perpendicular magnetic recording media

    53rd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2009年 

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  • Ru/FeCoB double layered film with high in-plane magnetic anisotropy field of 500 Oe

    53rd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2009年 

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  • Ru underlayers for enhancement of in-plane magnetic anisotropy field of Ru/FeCoB film

    Joint Conference of The 2nd International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC2) And The 1st International Conference on Science and Technology of Solid Surface and Interface  2008年 

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  • Perpendicular magnetic tunnel junction with tunneling magnetoresistance ratio of 64% using MgO(100) barrier layer prepared at room temperature

    52nd Magnetism and Magnetic Materials  2008年 

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  • Stress assisted reversal of perpendicular magnetization of thin films with giant magnetostriction constant

    International Magnetic Conference 2008 (Intermag2008)  2008年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Change of orientation in BST films on Pt(111) and Pt(100) buffer layers

    Joint Conference of The 2nd International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC2) And The 1st International Conference on Science and Technology of Solid Surface and Interface  2008年 

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  • Control of Curie temperature of FePt(Cu) films prepared from Pt(Cu)/Fe bilayers

    International Magnetic Conference 2008 (Intermag2008)  2008年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Improvement of (100) orientation of MgO films deposited at room temperature for perpendicular MTJ

    International Magnetic Conference 2008 (Intermag2008)  2008年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Effect of deposition condition of Ru-oxide/Ru bilayers on magnetic properties and orientation of CoPtCr-SiO2 perpendicular recording media

    International Magnetic Conference 2008 (Intermag2008)  2008年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Fablication Methods of Perpendiculary Oriented FePt Ordered Alloy Thin Films from Pt/Fe Bilayered Films for Hybrid Magnetic Recording Media

    Magnetics and Optics Research International Symposium for New Storage Technology  2009年 

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  • Perpendicular magnetic tunnel junction with RE-TM alloy and MgO(100) tunneling barrier layer prepared at room temperature

    The Fourth International Nanotechnology Conference on Communication and Cooperation (INC4)  2008年 

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  • Influence of crystallographic orientation of FeCo spin polarization enhancement layer on the magnetization coupling with RE-TM alloy films in perpendicular MTJ

    Intermag 2009  2009年 

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  • Directional Alignment of FeCo Crystallites in Si/NiFe/Ru/FeCoB Multilayer with High Anisotropy Field above 500 Oe

    ICMAT2009 and IUMRS-ICA 2009  2009年 

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  • Effect of Crystalline Orientation and Lattice Distortion of FeCo Spin Polarization Enhancement Layer in perpendicular MTJ with RE-TM Alloy Films

    11th Joint MMM-Intermag Conference  2010年 

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  • Direct observation of an anisotropic in-plane residual stress induced by B addition as an origin of high magntic anisotropy field of Ru/FeCoB film

    11th Joint MMM_Intermag Conference  2010年 

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  • 極薄FePt規則合金薄膜のBit Patterned Media化の検討

    第31回日本応用磁気学会学術講演会  2007年 

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  • 対向ターゲット式スパッタ法によるCoPtCr-SiO2磁気記録テープの磁気特性改善

    第31回日本応用磁気学会学術講演会  2007年 

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  • 室温作製MgO(100)配向膜を用いた垂直MTJ構造の試作

    第31回日本応用磁気学会学術講演会  2007年 

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  • Fe/Pt極薄2層構造膜からの垂直磁気記録媒体用FePt規則合金(001)配向膜の作製

    2007年 

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  • Dyx(Fe90Co10)1-x薄膜の応力誘起磁化反転アシスト過程の改善

    第31回日本応用磁気学会学術講演会  2007年 

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  • GHz帯に共鳴周波数を有するFeCoB/NiFe/Si薄膜の透磁率特性

    粉末粉体冶金協会平成19年度春季大会講演予稿集  2007年 

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  • 垂直MRAM用スピン偏極増強用FeCo層およびMgOバリア層の結晶性向上

    粉末粉体冶金協会平成19年度春季大会講演予稿集  2007年 

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  • Magnetization reversal technique of DyTbFeCo films at magnetic field as low as 1/6 of coercivity using a stress-induced magnetic anisotropy

    10th Joint Magnetism and Magnetic Materials - International Magnetics (MMM-Intermag) Conference  2007年 

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  • Improvement of soft magnetic properties of Si/NiFe/FeCoB thin films at GHz band frequency range by multilayer configuration

    10th Joint Magnetism and Magnetic Materials - International Magnetics (MMM-Intermag) Conference  2007年 

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  • Fabrication of CoCrPt-SiO_2_ films on flexible tape substrate using facing target sputtering system

    International Conference on Magnetism 2006  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Control of Curie temperature of FePt(Cu) films prepared from Pt(Cu)/Fe bilayers

    International Magnetic Conference 2008 (Intermag2008)  2008年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Improvement of (100) orientation of MgO films deposited at room temperature for perpendicular MTJ

    International Magnetic Conference 2008 (Intermag2008)  2008年 

     詳細を見る

    会議種別:ポスター発表  

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  • Perpendicular magnetic tunnel junction with RE-TM alloy and MgO(100) tunneling barrier layer prepared at room temperature

    The Fourth International Nanotechnology Conference on Communication and Cooperation (INC4)  2008年 

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  • Effect of deposition condition of Ru-oxide/Ru bilayers on magnetic properties and orientation of CoPtCr-SiO2 perpendicular recording media

    International Magnetic Conference 2008 (Intermag2008)  2008年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Fe/Pt極薄2層構造膜からの垂直磁気記録媒体用FePt規則合金(001)配向膜の作製

    2008年 

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  • 室温作製MgO(100)配向膜を用いた垂直MTJ構造の試作

    日本磁気学会誌  2008年 

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  • 垂直MRAM用スピン偏極増強用FeCo層およびMgOバリア層の結晶性向上

    粉体および粉末冶金  2008年 

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  • Crystal Structure as an Origin of High-Anisotropy Field of FeCoB Films with Ru Underlayer

    Intermag Europe 2008 International Magnetics Conference  2008年 

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  • GHz帯に共鳴周波数を有するFeCoB/NiFe/Si薄膜の透磁率特性

    粉体および粉末冶金  2008年 

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  • Improvement of stress-induced magnetization reversal process of DyFeCo thin films

    52nd Magnetism and Magnetic Materials  2008年 

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  • Playback Performance of Facing Targets Sputtered Tape Media on Moving Tape Substrate with a High Speed

    Intermag Europe 2008 International Magnetics Conference  2008年 

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  • MTJ elements with MgO barrier using RE-TM amorphous layers for perpendicular MRAM

    10th Joint Magnetism and Magnetic Materials - International Magnetics (MMM-Intermag) Conference  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • RE-TM amorphous alloy and Fe bi-layered films for buffer layer to attain MgO(100) texture

    10th Joint Magnetism and Magnetic Materials - International Magnetics (MMM-Intermag) Conference  2007年 

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  • Playback Performance of Facing Targets Sputtered Tape Media on Moving Tape Substrate with a High Speed

    Intermag Europe 2008 International Magnetics Conference  2008年 

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  • Crystal Structure as an Origin of High-Anisotropy Field of FeCoB Films with Ru Underlayer

    Intermag Europe 2008 International Magnetics Conference  2008年 

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  • Perpendicular magnetic tunnel junction with tunneling magnetoresistance ratio of 64% using MgO(100) barrier layer prepared at room temperature

    52nd Magnetism and Magnetic Materials  2008年 

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  • Improvement of stress-induced magnetization reversal process of DyFeCo thin films

    52nd Magnetism and Magnetic Materials  2008年 

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  • 高配向BST薄膜用Pt(100)/MgOバッファ層の開発

    第25回 強誘電体応用会議 (FMA-25)  2008年 

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  • rf対向ターゲットスパッタ法による低損失(Ba0.4,Sr0.6)TiO3薄膜の作製

    第25回 強誘電体応用会議 (FMA-25)  2008年 

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  • Ru underlayers for enhancement of in-plane magnetic anisotropy field of Ru/FeCoB film

    Joint Conference of The 2nd International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC2) And The 1st International Conference on Science and Technology of Solid Surface and Interface  2008年 

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  • Stress assisted reversal of perpendicular magnetization of thin films with giant magnetostriction constant

    International Magnetic Conference 2008 (Intermag2008)  2008年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Change of orientation in BST films on Pt(111) and Pt(100) buffer layers

    Joint Conference of The 2nd International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC2) And The 1st International Conference on Science and Technology of Solid Surface and Interface  2008年 

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  • Effect of Thermal Process on Magnetic Anisotropy in FeCoB Soft Underlayer

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Playback performance and microstructure of sputtered tape media formed by facing targets sputtering

    The 8th Perpendicular magnetic recording conference  2007年 

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  • Ru-O/Ru hybrid type of underlayer for CoPtCr-SiO2 perpendicular recording media on flexible tape

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Fabrication of MgO barrier for magnetic tunnel junction in as-deposited state using amorphous RE-TM alloy

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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  • Improvement of soft magnetic properties of Si/NiFe/FeCoB thin films at GHz band frequency range by multilayer configuration

    10th Joint Magnetism and Magnetic Materials - International Magnetics (MMM-Intermag) Conference  2007年 

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  • Stress assisted magnetization reversal in perpendicularly magnetized thin films

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Fabrication of CoCrPt-SiO_2_ films on flexible tape substrate using facing target sputtering system

    International Conference on Magnetism 2006  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Magnetization reversal technique of DyTbFeCo films at magnetic field as low as 1/6 of coercivity using a stress-induced magnetic anisotropy

    10th Joint Magnetism and Magnetic Materials - International Magnetics (MMM-Intermag) Conference  2007年 

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  • Improvement of in-plane anisotropy field in FeCoB/NiFe/Si thin films by Kr sputtering

    International Conference on Magnetism 2006  2007年 

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  • Magnetization reversal process of DyFeCo films under an addition of mechanical stress for application of MRAM

    International Conference on Magnetism 2006  2007年 

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  • Evaluation of magnetization behavior of Soft/RE-TM layer for perpendicular MRAM by anomalous Hall effect

    International Conference on Magnetism 2006  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Evaluation of magnetization behavior of Soft/RE-TM layer for perpendicular MRAM by anomalous Hall effect

    International Conference on Magnetism 2006  2007年 

     詳細を見る

    会議種別:ポスター発表  

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  • Improvement of in-plane anisotropy field in FeCoB/NiFe/Si thin films by Kr sputtering

    International Conference on Magnetism 2006  2007年 

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  • RE-TM amorphous alloy and Fe bi-layered films for buffer layer to attain MgO(100) texture

    10th Joint Magnetism and Magnetic Materials - International Magnetics (MMM-Intermag) Conference  2007年 

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  • Magnetization reversal process of DyFeCo films under an addition of mechanical stress for application of MRAM

    International Conference on Magnetism 2006  2007年 

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  • Improvement of stress-induced magnetization reversal process of DyFeCo thin films

    52nd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • MTJ elements with MgO barrier using RE-TM amorphous layers for perpendicular MRAM

    10th Joint Magnetism and Magnetic Materials - International Magnetics (MMM-Intermag) Conference  2007年 

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    会議種別:ポスター発表  

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  • Magnetic anisotropy and crystalline orientation in high Hk FeCoB thin films

    Abstracts of 52nd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2007年 

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  • Perpendicular magnetic tunnel junction with tunneling magnetoresistance ratio of 64% using MgO(100) barrier layer prepared at room temperature

    52nd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2007年 

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  • As-grown preparation of FePt-ordered alloy thin films from Pt/Fe bi-layered structure

    The 8th Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)  2007年 

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  • Fabrication of ultrathin FePt(Cu) ordered alloy thin films directly on glass disks from Pt(Cu)/Fe bilayers

    52nd Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials  2007年 

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受賞

  • 優秀研究賞

    2012年   日本磁気学会  

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  • 論文賞(平成20年度)

    2009年   粉体粉末冶金協会  

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  • 新技術・新製品賞(平成16年度)

    2004年   日本応用磁気学会  

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    受賞国:日本国

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  • 論文賞

    2000年   第8回国際フェライト会議  

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  • 第1回コニカ画像科学奨励賞

    1994年  

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    受賞国:日本国

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  • 論文賞

    1993年   第3回IUMRS-ICAM-93先進材料国際会議  

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  • 第6回国際フェライト会議論文賞

    1992年  

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    受賞国:日本国

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  • 論文賞

    1989年   第5回国際フェライト会議  

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共同研究・競争的資金等の研究課題

  • Magnetic Thin Film Devices

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    資金種別:競争的資金

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  • 磁性薄膜デバイス

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    資金種別:競争的資金

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  • 垂直磁気記録技術

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    資金種別:競争的資金

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  • Perpendicular Magnetic Recording Technology

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    資金種別:競争的資金

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  • 薄膜作製技術

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    資金種別:競争的資金

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  • Thin Film Deposition Technology

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    資金種別:競争的資金

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担当経験のある科目(授業)

  • 電子物性論

    機関名:東京工業大学 大学院

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  • 電気電子計測

    機関名:東京工業大学

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  • 磁性・誘電体物性

    機関名:東京工業大学

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  • 磁性スピン工学

    機関名:東京工業大学 大学院

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  • 先端電子材料

    機関名:東京工業大学 大学院

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  • 半導体物性

    機関名:東京工業大学

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  • 化学II

    機関名:東京工業大学

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  • 電気磁気学

    機関名:東京工業大学

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  • 化学I

    機関名:東京工業大学

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  • 電子物性基礎論

    機関名:東京工業大学 大学院

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  • 情報ストレージ工学

    機関名:東京工業大学 大学院

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  • 量子力学

    機関名:東京工業大学

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